JP2018523806A - クリーンガスチャンバのためのフレームプロファイル要素、壁要素、およびフレームワーク - Google Patents

Abstract

本発明は、クリーンガスチャンバのフレームプロファイル要素、壁要素、およびフレームワークに関する。
クリーンガスチャンバの構造は、クリーンガスチャンバの使用場所でのクリーンガスチャンバの単純な組み立てを可能にし、クリーンガスチャンバの寸法は、封入されるシステムの要件に容易に適合させることができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、フレームプロファイル、壁要素、およびフレームプロファイルから形成されるクリーンガスチャンバのフレームワークに関する。

生産および研究開発の両方における多くの製造プロセスと手順は、通常の周囲条件では実行できず、別個の雰囲気が必要である。これらのような製造プロセスは、例えば、半導体の製造時のコーティング作業、ＬＣＤもしくはＯＬＥＤ製造における封止手順、または、例えば医療もしくは製薬工学および溶接用途、特にチタン溶接における超高純度原料の製造工程であり得る。これらのプロセスは、例えば、クリーンルーム条件、低湿度、不活性ガス雰囲気、またはこのタイプのおよびさらなる条件の種々の組み合わせを必要とする可能性がある。

このような製造プロセスまたは手順を、必要な条件に従って雰囲気を確立することができる密閉空間内で実施することが知られている。密閉空間にはエアロックが設けられており、それを介して必要な物質を密閉空間および取り出される製品に導入することができる。

このような空間は、文献（「Ｒｅｉｎｒａｕｍｔｅｃｈｎｉｋ（クリーンルーム工学）」（３ｒｄ ｕｐｄａｔｅｄ ａｎｄ ｅｘｔｅｎｄｅｄ ｅｄｉｔｉｏｎ，Ｓｐｒｉｎｇｅｒ，ｐｐ．２０２−２０７）参照）に十分に記載されているようなグローブボックス内に形成される。そのようなグローブボックスは、通常、ステンレス鋼から製造される。それらは、グローブフィードスルーを介してグローブボックス内で所望の手順を実行することを可能にする。必要な雰囲気を確立するために、適切なガス供給または循環ラインが設けられ、ガスはグローブボックスから抽出され、少なくとも１つのガス処理ユニットを通ってガイドされ、次いでグローブボックスに戻される。それらの構造に起因して、密閉されるシステムは、そのようなグローブボックスを生産ライン、特に大型製造ユニットに統合することは困難であり、その理由は提供されたエアロックを介してしかグローブボックス内に持ち込むことができないからである。

したがって、フード設計を有する不活性ガスハウジングまたはクリーンガスチャンバが知られている。フードは、ベースプレートとともに、必要な雰囲気が確立され得る密閉空間を形成する。予め組み立てられたフードは、上方からベースプレート上に配置され、シールされる。必要なフィードスルー、エアロック、上流チャンバおよび他の必要なユニットおよびアセンブリは、好ましくは、フード上で既に組み立てられ、テストされていることが好ましい。したがって、不活性ガスハウジングは、意図された作業場または作業ステーションに迅速に配置することができる。フード設計を使用することにより、密閉空間内の任意のシステムまたはシステム部品を操作することが可能になり、その雰囲気は要件に応じて確立することができる。この目的のために、フードのサイズはそれぞれのシステムに適合させることができる。不活性ガスハウジングを構成するために使用される材料は、それらの材料が、例えば、汚染またはガス放出によって、不活性ガスハウジングの内部の雰囲気を変更しないように設計される。さらに、筐体は、不活性ガスハウジングの内部と周囲との間でガス交換が起こらないように設計される。ステンレス鋼またはアルミニウム製の不活性ガスハウジングが知られている。
このような不活性ガスハウジングの欠点は、その大きさと重い重量であり、これは生産場所の作業における輸送および設置を複雑にする。

「Ｒｅｉｎｒａｕｍｔｅｃｈｎｉｋ（クリーンルーム工学）」（３ｒｄ ｕｐｄａｔｅｄ ａｎｄ ｅｘｔｅｎｄｅｄ ｅｄｉｔｉｏｎ，Ｓｐｒｉｎｇｅｒ，ｐｐ．２０２‐２０７）

したがって、本発明の目的は、クリーンガスチャンバの設計を単純化すること、またはクリーンガスチャンバの設計を、使用場所でのクリーンガスチャンバの単純でコスト効率の良い組み立てを可能にするように構成することである。

本発明の目的は、フレームプロファイルを有する請求項１に従って達成され、締結部がフレームプロファイルの当接辺に配置され、シール要素を受け入れるための少なくとも１つの長手方向に向けられたシール部が、各事例において少なくとも１つの当接辺に配置され、プレート要素のシール受け入れのための長手方向に向けられたプレート接続領域がプレート接続辺に配置されている。このようにして、フレームプロファイルは、形成されたクリーンガスチャンバのプレート要素および壁要素に気密に接続することができる。壁要素のプレート要素は、ここでは、好ましくは、フレームプロファイルによって周囲を境界付けられている。締結部は、フレームプロファイルの長手方向の範囲に対して載っているクリーンガスチャンバの他の構造要素に上記プレート要素が結合されることを可能にする。シール要素は、壁要素と他の構造要素との間の気密結合が達成されるように、シール部に接続することができる。このようにして、例えば、複数の壁要素を互いに気密に接続し、したがって、クリーンガスチャンバを構成することができる。

本発明の文脈において、「気密」という用語は、例えば、＜０．２５容量％／ｈの範囲内の許容可能な漏れ率を有する構成を意味する。これは、例えば、不活性ガス作動システムに適用される。より好ましくは、本発明の文脈において、「気密」は、動作時に≦１ｐｐｍの残留酸素濃度が達成される場合、＜０．０１容量％／ｈの範囲内の漏れ率をも意味し得る。

本発明の好ましい構成は、フレームプロファイルが複数の当接辺を有し、隣接する当接辺が好ましくは互いに直角であるようなものである。次に、２つのフレームプロファイルを使用する様々なコーナ接続を生成することができる。特に好ましくは、３つの当接辺とプレート接続辺がフレームプロファイルに設けられている。

有利には、少なくとも１つのシール部が、当接辺に配置された２つの締結部の間に配置されることが可能にされ得る。したがって、シール部に接続されたシール要素は、フレームプロファイルの中央領域において保護されて配置される。この配置は、例えば、１つのシール要素のみを使用して、２つの隣接するフレームプロファイルの密封結合を可能にする。

代替の実施形態は、少なくとも１つのシール部が、締結部の側に、当接辺の縁部に沿って配置されることを可能にすることができる。密封は、フレームプロファイルの縁部に沿って提供されることが有利であり、結果として、汚染が蓄積する可能性がある、フレームプロファイルと隣接する構造要素との間の残りの間隙は、クリーンガスチャンバの内部から分離される。フレームプロファイルと隣接する構造要素との間の２つのフレームプロファイルの縁部に沿って２つのシール要素を使用する結果として、これらの間に冗長な密封接続がもたらされる。

フレームプロファイルを隣接する構造要素に単純に結合することは、フレームプロファイルに長手方向に向けられた締結スロットによって、または締結要素の列によって締結部が形成される点で達成することができる。例えば、締結スロットにスロットナットを導入することができ、スロット内には、隣接する構造要素が保持されるネジ止めボルトが入る。

その結果、プレート要素は、プレート接続領域がプレートレセプタクルの形態をとり、対向する接触面がプレートレセプタクル内に配置され、接着剤を受け入れるためのリザーバスロットが、接触面の少なくとも１つの領域に配置されるという点で、単純に、機械的に堅牢かつ気密的に、フレームプロファイルに接続することができる。したがって、プレートレセプタクルを備えたフレームプロファイルは、関連するプレート要素の縁部に適合させることができる。その際、接触面上で横方向のガイドが進行する。フレームプロファイルは、好ましくは、接触面の領域内のプレート要素に接着される。余剰の接着剤はここでリザーバスロットに受け入れられ、結果としてプレート要素はその縁部をプレートレセプタクルに完全に挿入され得る。

当接辺に設けられたシール要素は、少なくとも１つのシール部がシールレセプタクルとして構成され、かつ／またはシールレセプタクルが半円形もしくは矩形断面を有するという点で、正確に位置決めされ、保持され得る。シールレセプタクルの断面は好ましくは、使用される好ましくは自己接着性のシール要素の断面に従う。後者は、シールレセプタクル内に配置され、それによって保持することができる。シールレセプタクルおよびシール要素の設計は、シール要素がフレームプロファイルの当接辺の上にどれだけ突出するか、および、さらなる構造要素に結合されるときにどれだけ変形するかを規定する。シールレセプタクルおよびシール要素の断面は、好ましくは、シール要素の規定された変形が結合中に進行し、それによってシール効果が保証され得、したがって許容できない破砕が防止されるように互いに適合される。

本発明の目的はまた、壁要素が少なくともプレート要素から形成され、フレームプロファイルが周囲に気密に接続されており、締結部がフレームプロファイルの当接辺に配置され、シール要素を受け入れるための少なくとも１つの長手方向に向けられたシール部が、各事例において当接辺に配置され、プレート要素のシール締結のための長手方向に向けられたプレート接続領域がプレート接続辺に配置されているという点において、壁要素によっても達成される。したがって、壁要素は、フレームプロファイルによって囲まれた構造単位を構成する。フレームプロファイルは、壁要素をクリーンガスチャンバの他の構造要素、例えば他の壁要素に単純に接続することを可能にする。締結部は、フレームプロファイルと隣接する構造要素との間の単純で確実な接続を可能にする。シール部上にシール要素を配置することができる。これらは、壁要素と隣接する構造要素との間の当接面をシールする。結果として、これらのような壁要素を使用することにより、気密なクリーンガスチャンバを、例えば後続の使用場所などで迅速かつ容易に構築することが可能になる。

クリーンガスチャンバの重量は、プレート要素が構造コアプレート、特にアルミニウムハニカムコアプレートの形態をとるという点において、低く保たれ得る。構造コアプレートはかなりの曲げ剛性を有し、結果として構造コアプレートによって形成される壁要素は負荷の下で弾性曲げをほとんどまたはまったく受けない。それらのカバープレートは両側に配置されているため、それらは使用されるカバープレートの透過特性に従って、それらの表面法線の方向に気密である。カバープレートおよび構造コアがアルミニウムで形成されるアルミニウムハニカムコアプレートは、クリーンガスチャンバの気密側壁を製造するのに特に適している。構造コアは、構造コアプレート内のガスがその表面法線の横方向に流れるのを防止する。これにより、例えば、カバープレート内に互い違いに導入された開口部を介して、ガスがクリーンガスチャンバに流入し得ず、またはクリーンガスチャンバから流出し得ないことが保証される。

本事例において、構造コアプレートは、特に、サンドイッチのように構成され、その間に構造コアが配置される２つまたは複数のカバープレートを有するプレート形状の構造構成要素を意味する。構造コアは、特に、任意の所望の軽量構造であり得る。これは、例えば、ハニカムコア、波状またはジグザグ状の材料、発泡材料などで形成することができる。

フレームプロファイルとプレート要素との間の確実な気密接合は、プレート要素が、プレートレセプタクルとして構成されてそれに接着されている、周縁に配置されたフレームプロファイルのプレート接続領域内にその外縁を挿入されるという点で達成することができる。

さらに、本発明の目的は、フレームワークによってさらに達成され、プレート要素への気密接続のためのプレート接続領域を有するプレート接続辺が、各事例においてフレームワークのフレームプロファイル上に配置され、シール要素を受け入れるための少なくとも１つの長手方向に向けられたシール部を有する少なくとも１つの当接辺が、各事例においてフレームプロファイル上に配置され、複数のフレームプロファイルがプレート要素に対して周縁に配置されてプレート要素に気密に接続され、少なくとも１つのフレームプロファイルが、その当接辺によって、さらなるフレームプロファイルの当接辺に気密に接続され、かつ／またはフレームプロファイルの少なくとも１つが当接辺によって接続プロファイル、特に、コーナコネクタおよび／またはさらなるプレート要素の表面に気密に接続される。結果として、フレームワークは、プレート要素を囲むフレームプロファイルから形成される。周縁フレームプロファイルとともに、プレート要素は気密壁要素を同時に形成し、当該壁要素によってクリーンガスチャンバを使用場所でわずかな労力および費用で構築することができる。結果として、フレームプロファイルは、複数の作業、すなわちプレート要素および隣接する構造要素への気密接続の提供、ならびにクリーンガスチャンバの支持構造の提供を実行する。予め組み立てられた壁要素は、クリーンガスチャンバの設置場所に供給され、クリーンガスチャンバ内に迅速かつ容易に構築され得る。シール要素は、クリーンガスチャンバの内部と周囲との間で望ましくないガス交換が起こらないことを確実にする。

締結部がフレームプロファイルの少なくとも１つの当接辺に配置され、隣接するフレームプロファイルが接続要素を介して互いに接続され、接続要素が締結要素によってフレームプロファイルの締結部に締結されるという点において、フレームワークおよびクリーンガスチャンバの容易に組み立てを達成することができる。例えば、穿孔プレートまたは開口を有する他の表面要素を、接続要素、特にまた、例えば締結部にねじ止めされる孔を有するプレートとして使用することができる。

コーナコネクタが互いに角度を成して配置された少なくとも２つのアームを有し、各アームがフレームプロファイルの１つの当接辺に当接し、締結手段、特にボルトを介して当接辺に接続されるという点において、クリーンガスチャンバの任意の所望のコーナ角を得ることができる。

コーナコネクタは、有利には、互いに角度をなして接続されるフレームプロファイルの全長にわたって延伸する。シール要素（複数可）は、フレームプロファイルの関連するシール部に接続され、コーナコネクタのそれぞれのアームに当接する。これにより、フレームプロファイルとコーナコネクタとの間の当接面がシールされる。フレームプロファイルに導入される締結部は、有利には締結スロットの形態をとることができる。コーナコネクタのアームがボルトによって固定される、コーナコネクタに面するプロファイルの辺上で、上記締結スロットにスロットナットを挿入することができる。ボルトの締め付け力のために、シール要素の変形は、最適なシール効果が達成されるように調整することができる。有利には、ボルトが限界停止まで締め付けられ、次いでシール要素の適切な変形が達成されることが可能にされ得る。限界停止は、シールレセプタクルの外側のコーナコネクタのアームに対するフレームプロファイルの接触によって形成することができる。

本発明の一実施形態によれば、コーナコネクタのアームが湾曲部によって互いに直接的に統合されるか、または、アームがウェブによって接続され、かつ／または、アームが少なくとも１つの安定化要素によって接続されることが可能にされ得る。湾曲とウェブの両方が、コーナコネクタの２つのアームの気密接続をもたらす。コーナ領域は、ウェブの長さにわたって延在させることができ、それによってクリーンガスチャンバの輪郭がそれぞれの要件に適合される。好ましくはアームの間に取り付けられた安定化要素は、アーム間の、したがってそれに締結された壁要素間の角度が変化するのを防ぐことができる。安定化要素は、フレームプロファイルの長手方向の端部に配置することもできる。次に、それらを使用して、隣接するフレームプロファイルの間の移行領域においてコーナ接続部の端面をシールすることもできる。

本発明は、図面に示される例示的な実施形態に基づいてより詳細に以下に説明される。

フレームプロファイルＡから作製されているフレームワークを有する部分的に組み立てられたクリーンガスチャンバの斜視図である。 フレームプロファイルＢから作製されたフレームワークを有する、図１と同一の部分的に組み立てられたクリーンガスチャンバの反対方向から見た斜視図である。 フレームプロファイルＡの断面図である。 クリーンガスチャンバの第５のコーナの上方からの断面図である。 クリーンガスチャンバの第３のコーナの上方からの断面図である。 フレームプロファイルＢの断面図である。 クリーンガスチャンバの第２のコーナの上方からの断面図である。 クリーンガスチャンバの第４のコーナの上方からの断面図である。 上下に配置された２つの側壁要素の接続を示す図である。 クリーンガスチャンバの第５のコーナの斜視図である。

図１は、図３により詳細に示す、フレームプロファイルＡ２０から作製されているフレームワークを有する部分的に組み立てられたクリーンガスチャンバ１０の斜視図である。

図２は、図６で断面を示されている、フレームプロファイルＢ２７から作製されている、図１のようなフレームワークを有する同一の部分的に組み立てられたクリーンガスチャンバの反対方向から見た斜視図を示す。

図１および図２に示すクリーンガスチャンバ１０は、５つのコーナ１６．１、１６．２、１６．３、１６．５および１６．５を有する輪郭を有する。この目的のために、側壁要素の形態の壁要素１１は、基部１３の外縁に沿って配置され、保持ブラケット１５を介してそれに接続される。基部１３は、構造コアプレート１２、本事例ではアルミニウムハニカムコアプレートから形成される。壁要素１１は、フレームプロファイル２０，２７によって境界付けされたプレート要素から形成されている。この例示的な実施形態では、プレート要素は、構造コアプレート１２、好ましくはアルミニウムハニカムコアプレートから作製されている。フレームプロファイル２０，２７は、壁要素１１のコーナ領域において留め継ぎされ、第１の接続要素１４．１によって互いに接続される。したがって、プレート要素は、フレームプロファイル２０，２７によって周縁境界を定められ、それに気密に接続される。

互いに隣接する平面内に配置された壁要素１１により、長手方向に沿って互いに当接するフレームプロファイル２０，２７は、第２の接続要素１４．２を介して互いに接続される。第２の接続要素１４．２は、クリーンガスチャンバ１０の内部および外側の両方に向かって、一対のフレームプロファイル２０，２７の間に組み立てられる。

互いに直に隣接し、図示されている例示的な実施形態の場合は、第２のコーナ１６．２および第５のコーナ１６．５に示されているように直角に配置されている壁要素１１の場合、長手方向に沿って互いに当接するフレームプロファイル２０，２７は、第３の接続要素１４．３を介して互いに接続されている。第３の接続要素１４．３は、コーナブラケットの形態をとり、第２のコーナ１６．２および第５のコーナ１６．５の内部コーナに配置される。フレームプロファイル２０，２７は、好ましくは長方形、この例示的な実施形態では正方形の断面を有する。図３および図６に示すように、壁要素１１のフレームプロファイル２０，２７は、プレートの平面の方向に延伸する第１の当接辺２６．１または第３の当接辺２６．３およびプレートの平面の横方向に延伸する第２の当接辺２６．２上で第２のコーナ１６．２および第５のコーナ１６．５に当接する。これによって、第２のコーナ１６．２および第５のコーナ１６．５において互いに当接する壁要素１１の間に直角が形成される。

第１のコーナコネクタ３０が、クリーンガスチャンバ１０の第４のコーナ１６．４に沿って隣接する側壁要素１１の間に配置される。第４のコーナ１６．４に沿って垂直に延伸する隣接する壁要素１１のフレームプロファイル２０，２７は、各事例において、図８に示される第１のコーナコネクタ３０の第１のアーム３１．１および第２のアーム３１．２によって、それらの第２の当接辺２６．２に接続される。隣接するフレームプロファイル２０，２７は、第４のコーナ１６．４の内角を介して第４の接続要素１４．４に接続されている。第１のコーナコネクタ３０を介して間接的に接続された壁要素１１間の角度は、第１のアーム３１．１と第２のアーム３１．２との間の角度によって予め定められる。したがって、第１のアーム３１．１と第２のアーム３１．２との間の角度を適切に選択することによって、間接的に隣接する壁要素１１間の任意の所望の角度を実現することができる。角度を安定させるために、第１のアーム３１．１と第２のアーム３１．２との間に安定化要素が設けられている。これらの要素は図示の例示的な実施形態では三角形の安定化要素３２である。

第２のコーナコネクタ４０が、クリーンガスチャンバ１０の第３のコーナ１６．３に沿って隣接する側壁要素１１の間に配置される。第３のコーナ１６．３に沿って垂直に延伸する隣接する壁要素１１のフレームプロファイル２０，２７は、各事例において、図５に示される第２のコーナコネクタ４０の第３のアーム４１．２および第４のアーム４１．３によって、それらの第２の当接辺２６．２に接続される。第２のコーナコネクタ４０を介して間接的に接続された壁要素１１間の角度は、第３のアーム４１．２と第４アーム４１．３との間の角度によって予め定められる。したがって、間接的に隣接する壁要素１１間の任意の所望の角度も第２のコーナコネクタ４０によって、第３のアーム４１．２と第４のアーム４１．３との間の角度を適切に選択することによって実現することができる。第１のコーナコネクタ３０とは対照的に、第２のコーナコネクタ４０の場合、第３のアーム４１．２および第４のアーム４１．３は、ウェブ４１．１によって離間されている。これにより、２つの間接的に当接する壁要素１１間の角度だけでなく距離も予め決定することが可能になる。角度を安定させるために、第３のアーム４１．２と第４のアーム４１．３との間に安定化要素４２が設けられている。

クリーンガスチャンバ１０の上部は、蓋（図示せず）によって閉じられている。蓋は、同様に、例示的な実施形態では構造コアプレート１１によって示されているプレート要素で構成されている。

図４，５，７および８に示されるように、シール要素１８が、フレームプロファイル２０，２７とそれらの長手方向に沿って隣接する構造要素との間に配置される。プレート要素がフレームプロファイル２０，２７に気密に接続されていることがさらに可能にされる。その結果、プレート要素からなる壁要素１１およびそれに締結されたフレームプロファイル２０および２７が形成され、それらはそれらの表面法線の方向に気密である。壁要素１１は、側壁要素としてだけでなく、蓋（図示せず）を構築するための壁要素１１または代替的に構築された基部１３として構成することもできる。フレームプロファイル２０，２７は、シール要素１８によって隣接する構造要素に気密に接続することができる。したがって、長手方向に沿って隣接する壁要素１１の２つのフレームプロファイル２０，２７の間に気密接続を形成することができる。フレームプロファイル２０，２７と、接続要素、例えば図示のコーナコネクタ２０，２７との間に気密接続を形成することもできる。また、例えば、図示された例示的な実施形態では、側壁要素と基部１３との間に設けられるように、フレームプロファイル２０，２７と隣接する水準面との間に気密接続を形成することも可能である。

フレームプロファイル２７は、クリーンガスチャンバ１０の支持構造としてフレームワークを形成する。フレームワークは、接続要素１４．１，１４．２，１４．３，１４．４と、フレームプロファイル２０，２７に接続されたプレート要素とによって安定化される。

このようにして構成されたクリーンガスチャンバ１０は、その周囲からシールされたハウジングを構築する。製造システムまたは実験室構造などを、クリーンガスチャンバ１０の内部に配置することができる。さらに、所定の雰囲気をクリーンガスチャンバ１０の内部に確立することができる。この目的のために、所定の組成の特定のガスまたはガス混合物をクリーンガスチャンバ１０の内部に存在させることができる。ガスまたはガス混合物は、不活性ガスであり得る。さらに、ガスまたはガス混合物の湿度を調整することができる。クリーンガスチャンバ１０のための必要なクリーンルーム等級は、さらなる要件として予め決定することができる。要件は、個別にも組み合わせても両方適用することができる。さらに、温度および圧力などのさらなる雰囲気パラメータも確立することができる。本発明によれば、クリーンガスとは、それぞれ提示された要件を満たす雰囲気を意味する。

クリーンガスチャンバ１０は、特定の雰囲気を必要とする製造プロセスまたは手順を実行することを可能にする。このような製造工程は、例えば医薬品産業におけるコーティングプロセス、カプセル化プロセス、または超高純度物質の処理もしくは製造であり得る。必要な材料および物質はエアロックを介して供給される。

予め形成された壁要素、特に壁要素１１、ベースプレート、コーナコネクタおよび蓋要素を有するモジュール構造は、クリーンガスチャンバを現場で迅速かつ容易に構築することを可能にする。組み立て位置において壁要素１１を製造し、したがって、局所的な条件または必要な変更を考慮することも可能である。

プレート要素は、好ましくは、構造コアプレート１２から形成される。特に、アルミニウムハニカムコアプレートをこの目的のために使用することができる。構造コアプレート１２は、多層構造を有する。少なくとも２つの離間したカバープレートが構造コアに広範囲にわたって接続される。アルミニウムハニカムコアプレートの場合、カバープレートおよび構造コアはアルミニウムから製造される。構造コアはハニカムコアとして構成される。このようにして、相当の曲げ剛性と軽量とを同時に組み合わせたプレートが製造される。その結果、クリーンガスチャンバ１０は、中実のアルミニウムまたはステンレス鋼壁で製造されたクリーンガスチャンバ１０よりもはるかに軽量である。これにより、密閉されたシステム部品およびクリーンガスチャンバ１０の重量から生じる床荷重がかなり低減される。その結果、クリーンガスチャンバ１０は、床荷重容量の低い建物で使用することができる。さらに、重量が軽いと、持ち上げデバイスが必要なく、または低容量の持ち上げデバイスしか必要ないため、使用場所にクリーンガスチャンバ１０を容易に設置することができる。

第１のコーナ１６．１は、角度のある側壁要素１１によって形成されている。この目的のために、プレート要素として使用される構造コアプレート１２は、第１のコーナ１６．１の外角に沿ってくさび形にスロット加工される。スロットは、外側カバープレートおよび構造コアプレート１２の構造コアを貫通する。したがって、構造コアプレート１２は、楔形スロットが外側で開くように、残りの内側カバープレートの周りに曲げることができる。残りのカバープレートは、構造コアプレート１２が第１のコーナ１６．１の領域において気密のままであることを保証する。垂直に配置されたフレームプロファイル２０，２７は、第１のコーナ１６．１の領域において留め継ぎされている。

図３は、フレームプロファイルＡ２０の断面図を示す。フレームプロファイルＡ２０は、好ましくはアルミニウム製の押出成形プロファイルとして製造される。このプロファイルは、この例示的な実施形態では正方形の断面を有する。材料および重量を節約するために、押出成形プロファイルの内部に空洞が形成される。

離間された締結スロット２１の形態の２つの締結部は、３つの当接辺２６．１，２６．２，２６．３の各々に沿って成形されている。締結スロット２１は、フレームプロファイルＡ２０の長手方向の方向に延伸する。それらは、それぞれの当接辺２６．１，２６．２，２６．３に対して開いており、フレームプロファイルＡ２０に向かって広がっている。その結果、図４，図５，図７および図８に示されているようなスロットナット１９を締結スロット２１に導入し、締結スロット２１に沿って位置決めしてそこに保持することができる。第１のシールレセプタクル２２の形態のシール部は、締結スロット２１の間に形成される。シールレセプタクル２２は、矩形凹部として構成されることが好ましい。しかし、例えば半円形のプロファイルを有する他の設計も考えられる。シールレセプタクル２２は、シール要素１８を受け入れて位置決めする役目をする。それらの断面およびそれらの深さは、好ましくは、使用されるシール要素１８の幾何形状に適合される。

プレートレセプタクル２３の形態のプレート接続領域は、プレート接続辺２６．４の長手方向に沿ってフレームプロファイルＡ２０へと成形される。プレートレセプタクル２３は、接触面２３．２によって横方向に境界を定められている。フレームプロファイルＡ２０に向かって、プレートレセプタクル２３は限界停止面２３．４によって閉じられている。リザーバスロット２３．１，２３．３が、接触面２３．２の領域に形成されている。内側リザーバスロット２３．１は、接触面２３．２の、限界停止面２３．４への移行部に設けられている。外側リザーバスロット２３．３は、プレートレセプタクル２３の開口に沿って配置されている。好ましくは矩形のスロットとしての長手方向に延伸する窪み２５が、プレートレセプタクル２３の側方に配置される。

プレート要素、好ましくは構造コアプレート１１を、その外縁でプレートレセプタクル２３に挿入することができる。構造コアプレート１１は、２つの接触面２３．２の間にガイドされる。フレームプロファイルＡ２０のプレート要素内での確実な保持、および、同時に、フレームプロファイルＡ２０とプレート要素との間に緊密な接続を達成するために、フレームプロファイルＡ２０およびプレート要素は、プレートレセプタクル２３の領域において互いに接着される。このために、接着剤が、プレート要素の外縁および／またはプレートレセプタクル２３内に塗布され、プレート要素がプレートレセプタクル２３に挿入される。余剰の接着剤はリザーバスロット２３．１，２３．３内に移される。これにより、プレート要素がプレートレセプタクル２３内へ、限界停止面２３．４まで導入され得ることが保証される。

図４および図５に示すシール要素１８は、第１のシールレセプタクル２２内に位置決めして保持することができる。シール要素１８の断面は、好ましくは、シール要素１８がシールレセプタクル２２内へと確実にガイドされ、それぞれの当接辺２６．１，２６．２、２６．３を越えて突出するように、第１のシールレセプタクル２２の断面に適合される。

図４は、クリーンガスチャンバ１０の第５のコーナ１６．５の上方からの断面図を示す。クリーンガスチャンバ１０のフレームワークは、フレームプロファイルＡ２０によって構成されている。壁要素１１のフレームプロファイルＡ２０は、その第２の当接辺２６．２で、さらなる壁要素１１のフレームプロファイルＡ２０の第１の当接辺２６．１に載置される。

スロットナット１９が、隣接するフレームプロファイルＡ２０の、クリーンガスチャンバ１０に対して外側に向いている締結スロット２１に導入される。第２の接続要素１４．２は、皿頭ボルト１７．１によって２つのフレームプロファイルＡ２０にねじ止めされる。この目的のために、皿頭ボルト１７．１は、第１の接続要素１４．１の関連する孔を通ってガイドされ、スロットナット１９とともにねじ止めされる。

第３の接続要素１４．３が、第５のコーナ１６．５の内側で２つの壁要素１１を接続する。コーナブラケットとして構成されるとき、第３の接続要素１４．３は、この目的のために壁要素１１の水平に延伸するフレームプロファイルＡ２０にねじ止めされる。

断面で示されている垂直に配置されたフレームワーク要素Ａ２０は、第５の接続要素１４．５を介して付加的に接続される。第５の接続要素１４．５は、ボルト１７．２によって、垂直に延伸するフレームプロファイル２０の１つとともにねじ止めされる。この目的のために、スロットナット１９が、ここでも、ボルト１７．２がねじ止めされる関連締結スロット２１に導入される。第５の接続要素１４．５は、端部において角度を付けられている。角度のある領域は、第２の垂直に延伸するフレームプロファイルＡ２０の窪み２８と係合する。これはまた、第５のコーナ１６．５の内側で、２つの垂直に延伸するフレームプロファイルＡ２０を接続する。

シール要素１８が、２つの隣接するフレームプロファイルＡ２０の第１の当接辺２６．１と第２の当接辺２６．２との間の当接縁部に沿って、第１のシールレセプタクル２２内に設置される。シール要素１８は、隣接する壁要素の２つの垂直に延伸するフレームプロファイルＡ２０の間の隙間をシールする。

構造コアプレート１１の形態のプレート要素は、図３に示すように、２つのフレームワーク要素Ａ２０のプレートレセプタクル２３に挿入され、接着される。

図４に示される構造は、組み立てが容易で気密性であるコーナ接続が、２つの好ましくは予め形成された壁要素１１の間に作製されることを可能にする。

図５は、クリーンガスチャンバ１０の第３のコーナ１６．３の上方からの断面図を示す。２つの壁要素１１が、互いに角度をなして配置され、第２のコーナコネクタ４０を介して互いに間接的に接続される。壁要素１１は、フレームプロファイルＡ２０によって構成されている。しかし、代替的に、フレームプロファイルＢ２７も使用されてもよい。

第２のコーナコネクタ４０は、互いに角度を付けられ、ウェブ４１．１を介して互いに接続された２つのアーム４１．２，４１．３を有する。安定化要素４２が、アーム４１．２，４１．３とウェブ４１．１との間に配置される。アーム４１．２，４１．３は各々、それらが当接するフレームプロファイルＡ２０の第２の当接辺２６．２に接続されている。この目的のために、アーム４１．２，４１．３は、ボルト１７．２がガイドされる孔を有する。ボルト１７．２は、第２の当接辺２６．２の締結スロット２１に保持されるスロットナット１９をねじ止めされる。シール要素１８が、第２の当接辺２６．２の第１のシールレセプタクル２２内に配置される。これらは、第２の当接辺２６．２とアーム４１．２，４１．３との間に形成される間隙を気密シールする。

第２のコーナコネクタ４０の２つのアーム４１．２，４１．３の間の角度を適切に選択することによって、壁要素１１をほぼ任意の所望の角度で互いに接続することができる。ウェブ４１．１の幅は、壁要素１１間の距離を予め決定することを可能にする。したがって、それぞれの条件および要件に適合した様々な輪郭を有するクリーンガスチャンバ１０を製造することができる。

図６は、フレームプロファイルＢ２７の断面図を示す。図３のフレームプロファイルＡ２０について説明した同一のプロファイル部分は、同様に指定される。

フレームプロファイルＡ２０とは異なり、フレームプロファイルＢ２７の場合、第２のシールレセプタクル２４の形態のシール部が、当接辺２６．１，２６．２，２６．３上でフレームプロファイルＢ２７の縁に沿って配置される。第２のシールレセプタクル２４は、締結スロット２１の側に配置されている。その結果、当接辺２６．１，２６．２，２６．３あたり２つのシールレセプタクル２４が設けられる。

図７は、クリーンガスチャンバ１０の第２のコーナ１６．２の上方からの断面図を示す。クリーンガスチャンバ１０のフレームワークは、フレームプロファイルＢ２７によって構成されている。

この断面は、一定の角度をなして互いに合致する２つの壁要素１１の、水平に延伸する上部のフレームプロファイルＢ２７．１，２７．２の領域内を延伸する。フレームプロファイルＢ２７の留め継ぎされたコーナ領域に起因して、２つの垂直に配置されたフレームプロファイルＢ２７．３，２７．４の平行斜線で表された断面が、それぞれの壁要素１１の縁部上に見えている。

この断面は、水平に延伸するフレームプロファイルＢ２７．１，２７．２の締結スロット２１の領域内に配置されており、それによって、その中に挿入されたスロットナット１９が断面内で見えている。水平に延伸するフレームプロファイルＢ２７．１，２７．２は、第２のコーナ１６．２の内側で第３の接続要素１４．３を介して互いに接続されている。コーナブラケットとして構成された第３の接続要素１４．３は、スロットナットにねじ止めされた皿頭ボルト１７．１によって水平フレームプロファイルＢ２７．１，２７．２に接続されている。図２に示すように、２つの垂直フレームプロファイルＢ２７．３，２７．４は、第２の接続要素１４．２によってクリーンガスチャンバ１０の外側にともに保持される。

第１の垂直フレームプロファイルＢ２７．３は、その第３の当接辺２６．３で、第２の垂直フレームプロファイル２７．４の第２の当接辺２６．２上に載値される。２つの当接辺２６．２，２６．３の間の第２のシールレセプタクル２４内には、シール要素１８が配置されている。これらは、隣接するフレームプロファイル２７．３，２７．４の２つの縁部に沿って２つの当接辺２６．２，２６．３の間の間隙をシールする。

フレームプロファイルＢ２７は、隣接する当接面の間の隙間が２つのシール要素１８によってシールされるという利点を提供する。これにより、ガスがクリーンガスチャンバ１０に出入りすることができないという点で、改善されたシール効果および安全性の増大が達成される。

図８は、クリーンガスチャンバ１０の第４のコーナ１６．４の上方からの断面図を示す。第４のコーナ１６．４に沿って、図示されている例示的な実施形態の２つの壁要素１１、すなわち側壁要素が、第１のコーナコネクタ３０を介して互いに間接的に接続されている。壁要素１１は、フレームプロファイルＢ２７によって構成されている。図７に示すように、表示の断面縁は、壁要素１１の２つの水平に延伸する上部フレームプロファイルＢ２７．５，２７．６の締結スロット２１に沿って延伸している。垂直に延伸するフレームプロファイル２７．７，２７．８は、壁要素１１のコーナ領域のフレームプロファイル２７のマイターカットに起因して、壁要素１１の縁部上の平行斜線としてしか見えない。

各事例における壁要素１１は、垂直フレームプロファイル２７．７，２７．８の第２当接辺２６．２で、第１のコーナコネクタ３０のアーム３１．１，３１．２上に載置されている。垂直フレームプロファイル２７．７，２７．８の長さに沿って分布されたスロットナット１９が、第２の当接辺２６．２の、クリーンガスチャンバ１０に対して外部にある締結スロット２１に導入される。アーム３１．１，３１．２は、ボルト１７．２によってこれらのスロットナット１９にねじ止めされている。シール要素１８が、第２の当接辺２６．２の第２のシールレセプタクル２４内に配置される。これらは、第２の当接辺２６．２と第１のコーナコネクタ３０のアーム３１．１，３１．２との間に挟持されている。それによって、第２の当接辺２６．２とアーム３１．１，３１．２との間の突合せ接合部は、両側でシールされる。アーム３１．１，３１．２自体は、湾曲部を介して互いに接続され、それによって、第１のコーナコネクタ３０も気密に構成される。アーム３１．１，３１．２の間の角度は、湾曲部を適切に構成することによって予め決定することができる。したがって、これらのような第１のコーナコネクタ３０により、壁要素、特に側壁要素１１は、ほぼ任意の所望の角度で互いに気密に接続することができる。図５に示す第２のコーナコネクタ４０と同様に、第１のコーナコネクタ３０は、２つのフレームプロファイルＡ２０、Ｂ２７と組み合わせることもできる。

図５に示す第２のコーナコネクタ４０とは対照的に、第１のコーナコネクタ３０の場合、２つの垂直フレームプロファイルＢ２７．７，２７．８は、第４のコーナ１６．４の内側で互いにほぼ当接する。したがって、２つの垂直フレームプロファイルＢ２７．７，２７．８は、図２に示す第４の接続要素１４．４を介して互いに直接接続することができる。第４の接続要素１４．４は、第４のコーナ１６．４の角度に従って湾曲される。

図９は、上下に配置された２つの壁要素１１の接続を示す。壁要素１１は、プレート要素、好ましくは構造コアプレート１１から作製されており、図示の例示的な実施形態では、フレームプロファイルＢ２７によって周縁境界を定められている。代替的に、フレームプロファイルＡ２０を設けることもできる。フレームプロファイルＢ２７のコーナは、互いに留め継ぎおよび接合されている。この目的のために、側壁要素１１の１つのコーナにおいて、当接するフレームプロファイルＢ２７が第１の接続要素１４．１によって接続される。第１の接続要素１４．１は、穿孔された平板状の構造構成要素として構成されている。それらは、角のある基部領域を有し、それによって、２つのフレームプロファイルＢ２７に当接する。穿孔は、締結スロット２１に沿って配置されている。穿孔の反対側に隠れて位置するスロットナット１９が締結スロット２１に導入される。第１の接続要素１４．１は、皿頭ボルト１７．１によってこれらのスロットナット１９に接続されている。これにより、壁要素１１のフレームプロファイルＢ２７の間の安定した強固なコーナ接続が達成される。

壁要素１１は、第２の接続要素１４．２によって互いに接続されており、図示の部分にはそのうちの１つのみが示されている。第２の接続要素１４．２もまた、穿孔された板状の構造構成要素として構成されている。それらは、皿頭ボルト１７．１を介して２つの隣接するフレームプロファイルＢ２７に接続されている。接続要素１４．２の穿孔は、それらが締結スロット２１に対向して位置するように選択され、それによって、皿頭ボルト１７．１を、導入されたスロットナット１９とともにねじ止めすることができる。ここで、内側の穿孔間の距離は、隣接するフレームプロファイルＢ２７が互いに緊密に引っ張られ、それらの第２の当接辺２６．２で互いに直接当接するように選択される。

有利には、第１の接続要素１４．１および第２の接続要素１４．２は、クリーンガスチャンバ１０の内部および外部の両方に配置される。これにより、フレームプロファイルＢ２７の安定した接続が達成され、それによってクリーンガスチャンバ１０の安定して構成されたフレームワークが達成される。プレート要素（構造コアプレート１１）の、フレームプロファイルＢ２７とフレームプロファイルＢ２７の間に隠れて配置されているシール要素１８とに対する気密接着により、クリーンガスチャンバ１０の気密外壁が得られる。

図１０は、クリーンガスチャンバ１０の第５のコーナ１６．５の斜視図を示す。２つの壁要素１１は、第５のコーナ１６．５において一定の角度をなして互いに合致する。壁要素１１は、フレームプロファイルＢ２７によって構成されているが、代替的にフレームプロファイルＡ２０が設けられていてもよい。２つの垂直に配置されたフレームプロファイルＢ２７は、それらの第１の当接辺２６．１および第２の当接辺２６．２で互いに当接する。壁要素１１の水平に延伸する上部のフレームプロファイルＢ２７は、一定の角度をなして互いに接触する。２つの壁要素１１は、コーナブラケットとして構成された第３の接続要素１４．３によって、第５のコーナ１６．５の内側で互いに接続されている。この目的のために、第３の接続要素１４．３は、上述したように、皿頭ボルト１７．１によって、垂直に延伸する上部フレームプロファイルＢ２７にねじ止めされる。

図１および図２に示すようなクリーンガスチャンバ１０を製造するために、プレート要素、フレームプロファイル２０，２７、およびコーナコネクタ３０，４０が最初に適切なサイズに切断される。フレームプロファイル２０，２７が留め継ぎされる。次に、接着剤がプレートレセプタクル２３に、またはそれぞれのプレート要素の縁部に塗布される。次いで、フレームプロファイル２０，２７が、それらのプレートレセプタクルによって、それぞれのプレート要素の縁部に嵌合される。したがって、留め継ぎされたフレームプロファイル２０，２７は、プレート要素の周縁に延伸するフレームを形成し、プレート要素に気密に接続される。このようにして予め製作された壁要素１１は、クリーンガスチャンバの設置場所で接続要素１４．１，１４．２，１４．３，１４．４，１４．５によって接続される。この目的のために、まず、基部１３、次いで側壁および最後に蓋が組み立てられる。壁要素１１が組み立てられる前に、シール要素（複数可）１８が、クリーンガスチャンバ１０のさらなる構造要素に当接する当接辺２６．１，２６．２，２６．３上のシールレセプタクル２２，２４内に配置される。

フレームプロファイル２０，２７によって境界が定められ、それ自体が気密性である図示の壁要素１１により、クリーンガスチャンバ１０を現場で素早くかつわずかな労力および費用で構築することができる。接続要素１４．１，１４．２，１４．３，１４．４，１４．５は、フレームプロファイル２０，２７の間の確実な接合を可能にし、クリーンガスチャンバ１０の強固なフレームワークが得られるようにする。シール要素１８は、壁要素１１を互いにまたは隣接するさらなる構造要素に対してシールする。コーナコネクタ３０，４０を使用することにより、壁要素１１を異なる角度で互いに結合することが可能であり、それによって、クリーンガスチャンバ１０の輪郭をそれぞれの使用状況に最適に適合させることができる。構造コアプレート１２、特にアルミニウムハニカムコアプレートをプレート要素として使用することにより、クリーンガスチャンバの軽量であるが強固な気密構造を達成することができる。

Claims (15)

1. クリーンガスチャンバ（１０）のフレームワークのフレームプロファイル（２０，２７）であって、
   締結部が前記フレームプロファイル（２０，２７）の当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）に配置され、各事例において、要素（１８）を受け入れるための少なくとも１つの長手方向に向けられたシール部が、前記当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）の少なくとも１つに配置され、長手方向に向けられたプレート接続領域（２３）が、プレート要素を気密的に受け入れるための１つのプレート接続辺（２６．４）上に配置されることを特徴とする、フレームプロファイル（２０，２７）。
2. 前記少なくとも１つのシール部は、当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）に配置された２つの締結部の間に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のフレームプロファイル（２０，２７）。
3. 前記少なくとも１つのシール部は、締結部の側部および前記当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）の縁部に沿って配置されることを特徴とする、請求項１または２に記載のフレームプロファイル（２０，２７）。
4. 前記フレームプロファイル（２０，２７）に長手方向に向けられた締結スロット（２１）によって、または締結要素の列によって前記締結部が形成されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のフレームプロファイル（２０，２７）。
5. プレート接続領域がプレートレセプタクル（２３）の形態をとり、反対の接触面（２３．２）が前記プレートレセプタクル（２３）内に配置され、接着剤を受け入れるためのリザーバスロット（２３．１、２３．３）が、前記接触面（２３．２）の少なくとも１つの領域に配置されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のフレームプロファイル（２０，２７）。
6. 前記少なくとも１つのシール部は、シールレセプタクル（２２，２４，２５）として構成され、かつ／または前記シールレセプタクル（２２，２４，２５）は、半円形または長方形の断面を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレームプロファイル（２０，２７）。
7. クリーンガスチャンバ（１０）の壁要素（１１）であって、
   前記壁要素（１１）は、フレームプロファイル（２０，２７）が周縁に気密接続されている少なくとも１つのプレート要素から形成され、締結部が前記フレームプロファイル（２０，２７）の当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）に配置され、各事例において、要素（１８）を受け入れるための長手方向に向けられたシール部が、前記当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）の少なくとも１つに配置され、長手方向に向けられたプレート接続領域が、前記プレート要素を気密的に受け入れるための１つのプレート接続辺（２６．４）上に配置されることを特徴とする、クリーンガスチャンバ（１０）の壁要素（１１）。
8. 前記プレート要素が構造コアプレート（１２）、特にアルミニウムハニカムコアプレートの形態をとることを特徴とする、請求項７に記載の壁要素（１１）。
9. 前記プレート要素が、プレートレセプタクル（２３）として構成されて前記プレート要素に接着されている、周縁に配置された前記フレームプロファイル（２０，２７）のプレート接続領域内に外縁を挿入されることを特徴とする、請求項７または８に記載の壁要素（１１）。
10. 請求項１〜６のいずれか一項に記載のフレームプロファイル（２０，２７）を有する、請求項７〜９のいずれか一項に記載の壁要素（１１）。
11. フレームプロファイル（２０，２７）を有するクリーンガスチャンバ（１０）のためのフレームワークであって、
    プレート要素への気密接続のためのプレート接続領域を有するプレート接続辺（２６．４）が、各フレームプロファイル（２０，２７）上に配置され、各事例において、シール要素（１８）を受け入れるための少なくとも１つの長手方向に向けられたシール部（２２、２４、２５）を有する少なくとも１つの当接辺（２６．１、２６．２、２６．３）が、前記フレームプロファイル（２０，２７）上に配置され、複数のフレームプロファイル（２０，２７）が前記プレート接続辺（２６．４）上で前記プレート要素に対して周縁に配置されて前記プレート要素に気密に接続され、少なくとも１つの前記フレームプロファイル（２０，２７）が、当接辺（２６．１、２６．２、２６．３）によって、さらなるフレームプロファイル（２０，２７）の前記当接辺（２６．１、２６．２、２６．３）に気密に接続され、かつ／または前記フレームプロファイル（２０，２７）の少なくとも１つが、前記当接辺（２６．１、２６．２、２６．３）によって接続プロファイル、特に、コーナコネクタ（３０，４０）および／またはさらなるプレート要素の表面に気密に接続されることを特徴とする、フレームワーク。
12. 前記締結部が前記フレームプロファイル（２０，２７）の少なくとも１つの当接辺（２６．１、２６．２、２６．３）に配置され、隣接するフレームプロファイル（２０，２７）が接続要素（１４．１，１４．２，１４．３，１４．４，１４．５）を介して互いに接続され、前記接続要素（１４．１，１４．２，１４．３，１４．４，１４．５）が締結要素によって前記フレームプロファイル（２０，２７）の前記締結部に締結されることを特徴とする、請求項１１に記載のフレームワーク。
13. コーナコネクタ（３０、４０）が、互いに角度をなして配置された少なくとも２つのアーム（３１．１，３１．２，４１．２，４１．３）を有し、各アーム（３１．１，３１．２、４１．２、４１．３）が、フレームプロファイル（２０，２７）の当接辺（２６．１，２６．２，２６．３）に当接し、締結手段、特にねじ（１７．２）を介して前記フレームプロファイル（２０，２７）に接続されていることを特徴とする、請求項１１または１２に記載のフレームワーク。
14. 前記コーナコネクタ（３０）の前記アーム（３１．１，３１．２，４１．２，４１．３）が湾曲部によって互いに直接的に統合されるか、または、前記アーム（３１．１，３１．２，４１．２，４１．３）がウェブ（４１．１）によって接続され、かつ／または、前記アーム（３１．１，３１．２，４１．２，４１．３）が少なくとも１つの安定化要素（４２）によって接続されることを特徴とする、請求項１３に記載のフレームワーク。
15. 請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレームプロファイル（２０，２７）を有する、請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のフレームワーク。
    

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