CN107895699A - 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 - Google Patents
一种花篮检测装置以及电池片生产系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107895699A CN107895699A CN201711340622.9A CN201711340622A CN107895699A CN 107895699 A CN107895699 A CN 107895699A CN 201711340622 A CN201711340622 A CN 201711340622A CN 107895699 A CN107895699 A CN 107895699A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- decorated basket
- gaily decorated
- detection means
- lowering
- hoisting gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 25
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 239000012634 fragment Substances 0.000 abstract description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Abstract
本发明涉及电池片生产技术领域，尤其是涉及一种花篮检测装置以及电池片生产系统。该花篮检测装置包括：检查机构；所述检查机构包括：升降装置和安装于所述升降装置的至少一个检查装置，所述检查装置的一端能够插入至所述花篮的装片槽，且在所述升降装置的带动下进行升降移动。该花篮检测装置用于检测花篮放置面是否形变、移位，将原有人为判断方式变为利用机械结构的方式进行判断，减少人为误差，从而保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险。
Description
技术领域
本发明涉及电池片生产技术领域，尤其是涉及一种花篮检测装置以及电池片生产系统。
背景技术
目前，常规电池片一般生产工艺为制绒-扩散-刻蚀-镀膜-激光-印刷-烧结。在生产过程中为减少二次污染采用花篮为中转装置，在各工艺前端添加自动上下料机器来提高工作效率，所以花篮的定位精度要求也随之提高。现有花篮为一种拼装结构，在多次工序运转过程中会出现变形、移位等状态容易碎片、压片，需定期检查花篮的定位精度。目前，传统花篮检查大多通过人为判断及卡尺、塞规检测。这样检查方式存在如下缺点：1.检查时间长且工作效率低。2.对操作人员的工作经验要求高，易出现判断误差。3.出现问题维修麻烦、不便。
公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
发明内容
本发明的目的在于提供一种花篮检测装置，以解决如何检测花篮放置面是否形变、移位，从而保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险的技术问题。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供一种花篮检测装置，其包括：检查机构；
所述检查机构包括：升降装置和安装于所述升降装置的至少一个检查装置，所述检查装置的一端能够插入至所述花篮的装片槽，且在所述升降装置的带动下进行升降移动。
作为一种进一步的技术方案，所述检查装置包括：检查件、旋转件、滑动件和固定座；
所述检查件固定设置于所述旋转件上，所述旋转件可转动地设置于所述滑动件上，所述滑动件可滑动地设置于所述固定座上，所述固定座固定设置于所述升降装置上。
作为一种进一步的技术方案，所述检查装置还包括：千分表，所述千分表固定设置于所述固定座上，且所述千分表的测量杆与所述滑动件连接。
作为一种进一步的技术方案，所述升降装置包括：滑动柱、限位板、压板、底座和弹性件；
所述滑动柱固定设置于所述底座上；所述弹性件、压板、限位板依次套设于所述滑动柱，所述检查装置固定设置于所述压板上，所述压板与所述滑动柱可活动地连接，所述限位板与所述滑动柱固定连接。
作为一种进一步的技术方案，所述升降装置还包括：锁紧件；
所述锁紧件固定设置于所述压板上，用于锁定所述压板相对于所述滑动柱的位置。
作为一种进一步的技术方案，该花篮检测装置还包括：定位机构；
所述定位机构包括：支撑底板、限位装置和夹紧装置，所述限位装置与所述夹紧装置相对设置在所述支撑底板上，以在所述支撑底板上形成用于固定所述花篮的定位空间；所述检查机构位于所述限位装置与所述夹紧装置之间。
作为一种进一步的技术方案，所述定位机构还包括：两组支撑块；
其中一组所述支撑块设置于所述支撑底板靠近所述限位装置内侧的位置，另一组所述支撑块设置于所述支撑底板靠近所述限位装置外侧的位置。
作为一种进一步的技术方案，该花篮检测装置还包括：行走机构；
所述行走机构包括：导轨装置和滑块装置；所述导轨装置铺设于支撑底板上；所述滑块装置可滑动地设置于所述导轨装置上；所述升降装置设置于所述滑块装置上。
作为一种进一步的技术方案，所述检查装置的数量为两个，两个所述检查装置相对于所述升降装置呈对称设置。
第二方面，本发明还提供一种电池片生产系统，其包括上面所述的花篮检测装置。
采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：
本发明提供一种花篮检测装置，用于检测花篮放置面是否形变、移位，将原有人为判断方式变为利用机械结构的方式进行判断，减少人为误差，从而保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的花篮检测装置的结构示意图；
图2为图1所示的检查机构的结构示意图；
图3为图1所示的检查装置的分解示意图；
图4为图1所示的升降装置的结构示意图；
图5为图1所示的限位装置的结构示意图；
图6为图1所示的夹紧装置的结构示意图；
图7为图1所示的移动底板的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的花篮检测装置的使用状态示意图。
图标：1-支撑底板；2-限位装置；3-夹紧装置；4-支撑块；5-行走机构；6-检查机构；7-检查装置；8-升降装置；9-移动底板；10-固定座；11-移动板；12-移动柱；13-旋转卡板；14-旋转盘；15-定位卡扣；16-检查板；17-千分表；18-滑动柱；19-限位板；20-压板；21-弹性件；22-锁紧板；23-锁紧栓；24-底座；25-定位销；26-定位支架；27-锁紧定位栓；28-锁紧支架；29-锁紧螺栓；31-装片槽。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
实施例一
结合图1至图8所示，本实施例提供一种花篮检测装置，其包括：检查机构6；该检查机构6包括：升降装置8和安装于升降装置8的至少一个检查装置7，其中，检查装置7的一端能够插入至花篮的装片槽31(用于放置电池片)，且在升降装置8的带动下进行升降移动，即，当检查装置7的一端插入至花篮的装片槽31之后，通过升降装置8带动检查装置7在装片槽31内上下移动。当装片槽31内出现变形或者移位时，会致使检查装置7的滑动受阻(例如：出现卡顿情况)，从而实现了检测花篮放置面是否出现形变、移位的情况，保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险。
值得说明的是，本实施例中对于检查装置7的数量而言并不局限。例如，其数量可以为一个，也可以为两个。当然，优选的，检查装置7的数量为两个，其中，两个检查装置7相对于升降装置8呈对称设置，即，检查装置7相对立地设置于升降装置8的顶部两侧。这样，通过两个检查装置7不仅提高检查效率，而且，还能避免出现检测盲区，方便检查花篮端部的装片槽31。
本实施例中，作为一种进一步的技术方案，结合图3所示，该检查装置7包括：检查件、旋转件、滑动件和固定座10；其中，检查件固定设置于旋转件上，旋转件可转动地设置于滑动件上，以对检查件进行转动控制，滑动件可滑动地设置于固定座10上，以对检查件进行水平调节，固定座10固定设置于升降装置8上。
具体而言，检查件优选为检查板16，该检查板16可以为矩形板，检查板16的厚度以保证略大于常规电池片即可。当然，该检查板16也可以其他形状，例如杆状等，只要能够插入至花篮的装片槽31内即可。
优选的，旋转件包括：旋转盘14和旋转卡板13，旋转盘14上的旋转轴与旋转卡板13的轴承连接，检查板16与旋转盘14固定连接，检查板16可随旋转盘14一起转动。当然，检查板16在旋转盘14的带动下可进行360度旋转，从而使其在工作状态和非工作状态间自由切换。
更加优选的，在旋转盘14上沿其周向均匀分布有四个定位卡扣15，对应的，在旋转卡板13上相应位置设置有定位卡槽，其中，定位卡扣15与定位卡槽之间可配合定位。
优选的，滑动件包括：移动板11；移动板11的一面与旋转卡板13固定连接，移动板11的另一面垂直设置有两个移动柱12，当然，对应在固定座10上设置有两个通孔，移动柱12可活动地设置于通孔内。
优选的，固定座10为L形板，其中一个面与移动板11平行，另一个面安装于升降装置8的顶部，结构简单，方便取材。
此外，该检查装置7还包括：千分表17，千分表17固定设置于固定座10上，且千分表17的测量杆与滑动件连接。千分表17的设置可以实现对检查板16进行精确的水平调节，根据千分表17的指示调节滑动件，从而可精确调节检查板16相对于放置面的距离。
本实施例中，作为一种进一步的技术方案，结合图4所示，升降装置8包括：滑动柱18、限位板19、压板20、底座24和弹性件21；其中，滑动柱18固定设置于底座24上；弹性件21、压板20、限位板19依次套设于滑动柱18，检查装置7固定设置于压板20上。其中，压板20与滑动柱18可活动地连接(可沿滑动柱18的轴向进行滑动)。其中，限位板19与滑动柱18固定连接，由于弹性件21具有使压板20进行复位的作用，因此通过限位板19实现对压板20起到限位的作用。
优选的，压板20为一个矩形板，在矩形板的中间位置设置有用于与滑动柱18滑动连接的滑动孔，在矩形板的两侧位置设置有用于安装固定座10的安装孔。
优选的，底座24为一个凸形支撑块4，该凸形支撑块4的上面设置有螺孔，对应的滑动柱18下边缘设置于螺纹孔内，实现滑动柱18的固定。
本实施例中，作为一种进一步的技术方案，该升降装置8还包括：锁紧件；锁紧件固定设置于压板20上，用于锁定压板20相对于滑动柱18的位置。
优选的，该锁紧件包括：锁紧板22和锁紧栓23，所述锁紧板22垂直设置于压板20中间的下边缘，在锁紧板22上设置有锁紧栓23，其中，锁紧栓23可与底座24进行连接，用于将压板20固定在需要的位置。
本实施例中，作为一种进一步的技术方案，该花篮检测装置还包括：定位机构；该定位机构可以实现对花篮进行定位。
优选的，结合图1、图5和图6所示，定位机构包括：支撑底板1、限位装置2和夹紧装置3，限位装置2与夹紧装置3相对设置在支撑底板1上，以在支撑底板1上形成用于固定花篮的定位空间；其中，检查机构6位于限位装置2与夹紧装置3之间。
优选的，限位装置2为固定定位锥板，其包括：定位支架26，该定位支架26呈凹字形，且在定位支架26的内凹部还设置有一个凸块，而且，在定位支架26的侧面上设置有定位销25。
优选的，夹紧装置3为定位夹紧机构，其包括：锁紧支架28，该锁紧支架28的主体形状与上述定位支架26的形状基本相同，在锁紧支架28上设置有锁紧定位栓27。
本实施例中，该定位机构还包括：两组支撑块4；其中一组支撑块4设置于支撑底板1靠近限位装置2内侧的位置，另一组支撑块4设置于支撑底板1靠近限位装置2外侧的位置。优选的，支撑块4的数量为两个，每个支撑块4的上面设置有弧面凹面，以便能够对花篮下底面的两根连接定位柱进行固定。
本实施例中，作为一种进一步的技术方案，该花篮检测装置还包括：行走机构5；该行走机构5用于带动检查机构6进行移动。
优选的，结合图1所示，行走机构5包括：导轨装置和滑块装置；导轨装置铺设于支撑底板1上；滑块装置可滑动地设置于导轨装置上；升降装置8设置于滑块装置上。在本实施中，结合图7所示，在升降装置8的下方设置有一个移动底板9，滑块装置设置于移动底板9的下方，当然在移动底板9上也可设置有一个锁紧螺栓29，具有锁定的作用。
本实施例中的花篮检测装置的工作过程如下描述：
1)把检查装置7的检查板16旋转至非工作状态，不阻碍放置大花篮。
2)把大花篮下底面的两根连接定位柱放置在支撑块4上，花篮一面紧靠固定定位锥板，另一面和定位夹紧机构有一定缝隙。
3)通过定位夹紧机构上的锁紧定位栓27锁紧大花篮。
4)通过行走机构5带动检查机构6至花篮需检测位置，锁紧升降装置8下方移动底板9的锁紧螺栓29，使得花篮检测位置固定。
5)调节检查机构6上的千分表17，使检查板16到精确位置。
6)旋转检查板16至工作状态。
7)下压压板20，带动检查机构6完成检测工作。
8)当发现花篮放置面出现位移、偏离时，锁紧锁紧件上的锁紧栓23，以检查板16为标准来调整放置面的位置，如有形变需报废花篮。
综上，本发明提供一种花篮检测装置，用于检测花篮放置面是否形变、移位，将原有人为判断方式变为机械结构判断，减少人为误差，从而保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险。而且，通过该花篮检测装置可单个工位及多工位同时检测，根据不同需求可测单工位花篮放置面形变，可测不同放置面距离位移。工作人员在发现问题后可及时作出调整以降低安全隐患风险。
实施例二
本实施例二还提供一种电池片生产系统，其包括上面实施例一中的花篮检测装置。结合图1至图8所示，其中，该检查机构6包括：升降装置8和安装于升降装置8的至少一个检查装置7，其中，检查装置7的一端能够插入至花篮的装片槽31，且在升降装置8的带动下进行升降移动，即，当检查装置7的一端插入至花篮的装片槽31之后，通过升降装置8带动检查装置7在装片槽31内上下移动。当装片槽31内出现变形或者移位，会致使检查装置7的滑动受阻(例如：出现卡顿情况)，从而实现了检测花篮放置面是否出现形变、移位的情况，保障机台上下料及硅片中转减少污染、碎片风险。
值得说明的是，本实施例中对于检查装置7的数量而言，其至少为一个。当然，优选的，检查装置7的数量为两个，其中，两个检查装置7相对于升降装置8呈对称设置。这样，通过两个检查装置7不仅提高检查效率，而且，还能方便检查花篮端部的装片槽31。
至于其他的结构已经在上述实施例一中详细描述，此处不再赘述。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种花篮检测装置，其特征在于，包括：检查机构；
所述检查机构包括：升降装置和安装于所述升降装置的至少一个检查装置，所述检查装置的一端能够插入至所述花篮的装片槽，且在所述升降装置的带动下进行升降移动。
2.根据权利要求1所述的花篮检测装置，其特征在于，所述检查装置包括：检查件、旋转件、滑动件和固定座；
所述检查件固定设置于所述旋转件上，所述旋转件可转动地设置于所述滑动件上，所述滑动件可滑动地设置于所述固定座上，所述固定座固定设置于所述升降装置上。
3.根据权利要求2所述的花篮检测装置，其特征在于，所述检查装置还包括：千分表，所述千分表固定设置于所述固定座上，且所述千分表的测量杆与所述滑动件连接。
4.根据权利要求1所述的花篮检测装置，其特征在于，所述升降装置包括：滑动柱、限位板、压板、底座和弹性件；
所述滑动柱固定设置于所述底座上；所述弹性件、压板、限位板依次套设于所述滑动柱，所述检查装置固定设置于所述压板上，所述压板与所述滑动柱可活动地连接，所述限位板与所述滑动柱固定连接。
5.根据权利要求4所述的花篮检测装置，其特征在于，所述升降装置还包括：锁紧件；
所述锁紧件固定设置于所述压板上，用于锁定所述压板相对于所述滑动柱的位置。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的花篮检测装置，其特征在于，还包括：定位机构；
所述定位机构包括：支撑底板、限位装置和夹紧装置，所述限位装置与所述夹紧装置相对设置在所述支撑底板上，以在所述支撑底板上形成用于固定所述花篮的定位空间；所述检查机构位于所述限位装置与所述夹紧装置之间。
7.根据权利要求6所述的花篮检测装置，其特征在于，所述定位机构还包括：两组支撑块；
其中一组所述支撑块设置于所述支撑底板靠近所述限位装置内侧的位置，另一组所述支撑块设置于所述支撑底板靠近所述限位装置外侧的位置。
8.根据权利要求6所述的花篮检测装置，其特征在于，还包括：行走机构；
所述行走机构包括：导轨装置和滑块装置；所述导轨装置铺设于支撑底板上；所述滑块装置可滑动地设置于所述导轨装置上；所述升降装置设置于所述滑块装置上。
9.根据权利要求1所述的花篮检测装置，其特征在于，所述检查装置的数量为两个，两个所述检查装置相对于所述升降装置呈对称设置。
10.一种电池片生产系统，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的花篮检测装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711340622.9A CN107895699B (zh) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711340622.9A CN107895699B (zh) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107895699A true CN107895699A (zh) | 2018-04-10 |
| CN107895699B CN107895699B (zh) | 2024-04-16 |
Family
ID=61807893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711340622.9A Active CN107895699B (zh) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107895699B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116031182A (zh) * | 2023-03-24 | 2023-04-28 | 无锡江松科技股份有限公司 | 一种硅片插补装置及其使用方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0547725A (ja) * | 1991-02-04 | 1993-02-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体ウエハ用カセツトの検査方法及びその装置並びに半導体ウエハ用カセツトの洗浄装置 |
| JPH09153529A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| KR19990023090U (ko) * | 1997-12-03 | 1999-07-05 | 구본준 | 반도체 더미 웨이퍼의 휨 검사장치 |
| US6833048B1 (en) * | 1999-10-11 | 2004-12-21 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Apparatus for in-cassette monitoring of semiconductor wafers |
| WO2015037032A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | 平田機工株式会社 | 検査方法及び検査装置 |
| CN204441255U (zh) * | 2015-02-09 | 2015-07-01 | 张家港市超声电气有限公司 | 硅片工装花篮方向检测机构 |
| CN106298573A (zh) * | 2016-09-13 | 2017-01-04 | 冠礼控制科技（上海）有限公司 | 通过硅片自旋转及振荡机构改善蚀刻率的测试方法 |
| CN207489813U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-06-12 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 |
-
2017
- 2017-12-14 CN CN201711340622.9A patent/CN107895699B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0547725A (ja) * | 1991-02-04 | 1993-02-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体ウエハ用カセツトの検査方法及びその装置並びに半導体ウエハ用カセツトの洗浄装置 |
| JPH09153529A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| KR19990023090U (ko) * | 1997-12-03 | 1999-07-05 | 구본준 | 반도체 더미 웨이퍼의 휨 검사장치 |
| US6833048B1 (en) * | 1999-10-11 | 2004-12-21 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Apparatus for in-cassette monitoring of semiconductor wafers |
| WO2015037032A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | 平田機工株式会社 | 検査方法及び検査装置 |
| CN204441255U (zh) * | 2015-02-09 | 2015-07-01 | 张家港市超声电气有限公司 | 硅片工装花篮方向检测机构 |
| CN106298573A (zh) * | 2016-09-13 | 2017-01-04 | 冠礼控制科技（上海）有限公司 | 通过硅片自旋转及振荡机构改善蚀刻率的测试方法 |
| CN207489813U (zh) * | 2017-12-14 | 2018-06-12 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116031182A (zh) * | 2023-03-24 | 2023-04-28 | 无锡江松科技股份有限公司 | 一种硅片插补装置及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107895699B (zh) | 2024-04-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203240981U (zh) | 一种汽车仪表板横梁分总成柔性检验工装 | |
| CN210954210U (zh) | 一种电气自动化设备的检测装置 | |
| CN107895699A (zh) | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 | |
| CN111076881B (zh) | 一种大型建筑钢结构智能形变检测系统 | |
| WO2021068343A1 (zh) | 一种瓷砖平面度检测装置 | |
| CN207489813U (zh) | 一种花篮检测装置以及电池片生产系统 | |
| US20030196342A1 (en) | Alignment tool and method for aligning large machinery | |
| CN104567609B (zh) | 弧形曲面上孔位距离的检测装置和检测方法 | |
| JPH06258374A (ja) | 被検査電極板の検査方法 | |
| CN106475834A (zh) | 一种丝杠轴承座找正的方法 | |
| CN202837352U (zh) | 探针卡安装台及探针测量装置 | |
| US3484944A (en) | Aligning of guide v-rails | |
| CN206056436U (zh) | 一种空间多配合面检具 | |
| CN112857168A (zh) | 一种定位检测机构及标准板尺寸公差的快速检测装置 | |
| CN110634789B (zh) | 一种玻璃承载装置的调节方法 | |
| CN207423069U (zh) | 一种滚针轴承壁厚自动检测装置 | |
| CN210160660U (zh) | 一种管道对位调整工具 | |
| CN110345854A (zh) | 一种移动式转子系统不对中多维度定量检测装置及方法 | |
| CN218298311U (zh) | 一种配电自动化一体化检测装置 | |
| CN214407318U (zh) | 一种用于船舶建造的平整度检验装置 | |
| CN216898717U (zh) | 平板平面度校验治具 | |
| CN115682867B (zh) | 一种五轴头检测机构及检测方法 | |
| CN219736165U (zh) | 一种焊接件的检验装置 | |
| CN216179939U (zh) | 一种用于inv产线拧紧工位伺服轴的校准工装 | |
| CN218646895U (zh) | 一种带磁产品检测设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: No. 199, deer mountain road, Suzhou high tech Zone, Jiangsu Province Applicant after: CSI Cells Co.,Ltd. Applicant after: Atlas sunshine Power Group Co.,Ltd. Address before: No. 199, deer mountain road, Suzhou high tech Zone, Jiangsu Province Applicant before: CSI Cells Co.,Ltd. Applicant before: CSI SOLAR POWER GROUP Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |