CN202837352U

CN202837352U - 探针卡安装台及探针测量装置

Info

Publication number: CN202837352U
Application number: CN 201220520534
Authority: CN
Inventors: 温娟; 孙艳辉; 张冠
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Corp; Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-10-11
Filing date: 2012-10-11
Publication date: 2013-03-27
Anticipated expiration: 2022-10-11

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡安装台及探针测量装置，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，还包括一组相互啮合的蜗轮和蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。通过蜗杆旋转转盘可以有效提高其调整精度，从而提高对位的效率，达到提高测试效率的目的。

Description

探针卡安装台及探针测量装置

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种探针卡安装台及探针测量装置。

背景技术

在半导体器件的生产和开发中，为了监控半导体器件的稳定性、调试新产品设计以及进行失效分析，经常需要测试半导体器件的各种电学特性。在上述测试过程中通常使用探针测量装置，探针测量装置包括探针卡和探针卡安装台。

如图1所示，探针卡10包括一探针基台11；设置于所述探针基台11上的探针凸台12；设置于所述探针凸台12上的多个探针13；设置于所述探针基台11上的两个对位凸起14。所述探针凸台12上具有第一通孔15，所述探针13一端连接在所述探针凸台12上。

如图2所示，所述探针卡安装台20包括一安装基台21；设置于所述安装基台21上的凹槽22，所述凹槽22内具有第二通孔23；设置于所述凹槽22上的转盘24，所述转盘24上具有与所述第二通孔23对应的第三通孔25，在所述转盘24的外边具有两个通槽26，在所述通槽26内设置有可沿通槽26自由移动并能固定的固定螺丝27；在所述转盘24的靠近外边具有两个对位孔28。所述第二通孔23、第三通孔25与所述探针凸台12对应，所述对位孔28与所述对位凸起14对应。将所述探针卡10反扣到所述探针卡安装台20，所述对位凸起14插入对应所述对位孔28内。所述探针卡10安装到所述探针卡安装台20上后，所述探针13的另一端朝向所述第三通孔25和第二通孔23，使得位于所述探针凸台12上的探针13的另一端通过第三通孔25和第二通孔23与所述待测晶圆的测试引脚相连接。

利用上述探针测量装置，对半导体晶圆进行测试按照如下方法进行：

S101：将所述对位凸起14与所述对位孔28对准装入，所述探针凸台12即被装入所述第三通孔25和第二通孔23内，使所述探针卡10固定在所述转盘24上；

S102：将待测晶圆放置于所述第二通孔23之下；

S103：松开所述固定螺丝27，手动旋转转盘24，带动所述探针卡10使所述探针13位于所述晶圆对应的测试引脚上；

S104：固定所述固定螺丝27，通过显微镜观察所述探针13是否准确的位于所述晶圆对应的测试引脚上，若所述探针13没有位于所述晶圆对应的测试引脚上时，重复步骤S103和S104，直到所述探针13准确的位于所述晶圆对应的测试引脚上为止；

S105：对所述晶圆进行测试。

在上述测试过程的步骤S 103和步骤S 104中，所述探针13与所述晶圆对应的测试引脚的对位是通过手动旋转所述转盘24完成的。通常，每个所述探针卡都有22个左右的探针，需要分别与晶圆上的22个测试引脚对位连接，而要通过手动旋转转盘24完成上述对位连接，由于测试引脚大小都在微米量级，手动旋转转盘24的调整精度有限，导致上述S103步骤耗时较长。另外，在步骤S104中，在固定所述固定螺丝27的过程中，因为紧固好所述螺丝27后，应力有所释放，可能会使转盘24发生微小的位移，导致步骤S103的对位连接被破坏，从而需要重新进行步骤S103和S104，导致整个调整对位时间较长。

因此，在采用上述探针测量装置进行晶圆测试的过程中，存在手动调整精度不高，对位效率低下的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种探针卡安装台及探针测量装置，以解决上述手动调整精度低和对位效率低下的问题，达到提高测试效率的目的。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种探针卡安装台，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，还包括一组相互啮合的蜗轮和蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。

可选的，所述蜗轮平行于所述转盘设置，并位于所述基台和转盘之间，所述蜗杆位于所述基台的一侧。

可选的，所述转盘边缘上设置有对位标记，所述基台靠近转盘一侧的边缘设置有刻度。

可选的，还包括一螺旋测微器，所述蜗杆一端连接所述螺旋测微器。

可选的，还包括用于固定所述蜗杆的紧固器件，所述紧固器件位于所述基台一侧。

可选的，所述转盘外边设有至少两个通槽，所述通槽内设有用于固定所述转盘的固定器件。

可选的，所述转盘靠近外边沿的位置设有至少两个对位孔。

可选的，所述对位孔的距转盘中心的距离小于所述通槽距转盘中心的距离。

可选的，所述基台上设置有凹槽，所述转盘位于所述凹槽内。

相应的，本发明还提供一种探针测量装置，包括一探针卡和所述探针卡安装台。

本实用新型采用的探针卡安装台，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，还包括一组相互啮合的蜗轮蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。旋转所述蜗杆后，所述蜗杆推动蜗轮并带动所述转盘一起转动，对所述转盘的调整可以通过旋转蜗杆完成。相对于手动旋转转盘，通过蜗杆旋转转盘可以有效提高其调整精度。因为调整精度的提升，也可以提高对位调整的效率，从而达到提高测试效率的目的。

附图说明

图1为现有技术中探针卡的结构示意图；

图2为为现有技术中探针卡安装台的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例中探针卡安装台的俯视图；

图4为本实用新型一实施例中蜗轮蜗杆的透视图；

图5为本实用新型另一实施例中探针卡安装台的俯视图；

图6为本实用新型另一实施例中蜗轮蜗杆的透视图。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于，探针卡安装台包括一组相互啮合的蜗轮蜗杆；探针卡安装台的转盘固定于所述蜗轮上。旋转所述蜗杆后，所述蜗杆推动蜗轮并带动所述转盘一起转动，对所述转盘的调整可以通过旋转蜗杆完成。相对于手动旋转转盘，通过蜗杆旋转转盘可以有效提高其调整精度。因为调整精度的提升，也可以提高对位的效率，从而达到提高测试效率的目的。

为了使本实用新型的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图来进一步做详细说明。

结合图3和图4，本实用新型一实施例的探针卡安装台100包括：基台101、转盘102、一组相互啮合的蜗轮103和蜗杆104。所述基台101上设置有凹槽105，所述转盘102位于所述凹槽105内，所述转盘102固定于所述蜗轮103上，所述蜗轮103平行于所述转盘102设置于所述基台101和转盘102之间，所述蜗杆104位于所述基台101的一侧。

继续参考图3和图4，当需要调整所述转盘102的角度的时候，可以旋转所述蜗杆104，蜗杆104推动蜗轮103并带动所述转盘102旋转。为了准确定位所述转盘102的位置，可以在所述转盘102边缘上设置对位标记106，同时在所述基台101靠近转盘102一侧的边缘设置有刻度107。通过对位标记106和刻度107的相对位置，可以准确的将转盘102定位到某一位置。为了更准确的定位，还可以在所述蜗杆104一端设置一螺旋测微器108，通过所述螺旋测微器108的读数也可以将转盘精确的定位到某一位置。

继续参考图3和图4，为了将准确定位后的转盘固定于该位置，可以在所述转盘102上（本实施例中是靠近外边沿的位置）设有至少两个通槽109，所述通槽109内设有固定器件110，所述固定器件110可以在所述通槽109内自由移动并能够固定于某一位置，用于固定所述转盘102。另外，所述转盘102上（本实施例中是靠近内边沿的位置）还设有至少两个对位孔111，用于与探针卡对位使用。为了保证能够方便的调整所述固定器件110，所述对位孔111距转盘102中心的距离L1小于所述通槽109距转盘102中心的距离L2。

如图3所示，在所述基台101的一侧设置有三个连接孔112，所述三个连接孔112用于连接其它调整移动系统，用于调整所述探针卡安装台100在X、Y和Z方向的位置。

结合图5和图6，为了减小固定器件110在固定过程中对转盘102的影响，在本实用新型另一实施例中，也可以在所述基台101的一侧设置一紧固器件113，用于固定所述蜗杆104，所述紧固部件113可以为螺丝。当所述转盘102到达确定位置后，可以旋紧紧固部件113固定所述蜗杆104，从而使转盘102的位置固定。

本实用新型的改进之处都集中在所述探针卡安装台100上，而作为配套使用的探针卡并没有变动。然而，应当理解的是，包含所述探针卡安装台100的探针测量装置也属于本发明保护的范围。

综上，本实用新型所采用的探针卡安装台的转盘固定于蜗轮上，所述蜗轮与一蜗杆相互啮合，所述蜗杆位于所述安装台的一侧。旋转所述蜗杆后，所述蜗杆推动蜗轮并带动所述转盘一起转动，对所述转盘的调整可以通过旋转蜗杆完成。相对于手动旋转转盘，通过蜗杆旋转转盘可以有效提高其调整精度。因为调整精度的提升，也可以提高对位的效率，从而达到提高测试效率的目的。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims

1.一种探针卡安装台，包括一基台和转盘，所述转盘位于所述基台上，其特征在于，还包括一组相互啮合的蜗轮和蜗杆；所述转盘固定于所述蜗轮上。

2.如权利要求1所述的探针卡安装台，其特征在于，所述蜗轮平行于所述转盘设置，并位于所述基台和转盘之间，所述蜗杆位于所述基台的一侧。

3.如权利要求1所述的探针卡安装台，其特征在于，所述转盘边缘上设置有对位标记，所述基台靠近转盘一侧的边缘设置有刻度。

4.如权利要求1或3所述的探针卡安装台，其特征在于，还包括一螺旋测微器，所述蜗杆一端连接所述螺旋测微器。

5.如权利要求1所述的探针卡安装台，其特征在于，还包括用于固定所述蜗杆的紧固器件，所述紧固器件位于所述基台一侧。

6.如权利要求1所述的探针卡安装台，其特征在于，所述转盘外边设有至少两个通槽，所述通槽内设有用于固定所述转盘的固定器件。

7.如权利要求6所述的探针卡安装台，其特征在于，所述转盘靠近外边沿的位置设有至少两个对位孔。

8.如权利要求7所述的探针卡安装台，其特征在于，所述对位孔的距转盘中心的距离小于所述通槽距转盘中心的距离。

9.如权利要求1所述的探针卡安装台，其特征在于，所述基台上设置有凹槽，所述转盘位于所述凹槽内。

10.一种探针测量装置，包括一探针卡，其特征在于，还包括一如权利要求1-9中任意一项所述探针卡安装台。