CN107850619B - 扫描型探针显微镜 - Google Patents

Abstract

拍摄控制部(11)以每1张图像为单位切换适合拍摄激光光斑的第1拍摄条件与适合拍摄悬臂的第2拍摄条件，并对摄像机(8)进行控制而进行拍摄。图像合成部(15)制作将在连续2张图像中分别清晰显现的激光光斑影像与悬臂影像合成的图像，在显示部(9)显示。激光中心位置检测部(13)、悬臂前端位置检测部(14)及位置调整量运算部(16)根据由图像处理从连续的2张图像求出的激光中心位置与悬臂前端位置，计算用于光轴调整的位置调整量，该数值也在显示部(9)显示。操作者一边观察该图像与调整量一边对操作部(7)进行操作，从而执行光轴调整。由此，基于在通常的拍摄中难以充分地看到的实际观察图像，能够容易并且可靠地进行光轴调整。

Description

扫描型探针显微镜

技术领域

本发明涉及扫描型探针显微镜，更详细地说，涉及具备对设置有探针的悬臂的机械位移进行光学检测的位移检测部的扫描型探针显微镜。

背景技术

作为进行金属、半导体、陶瓷、合成树脂等的表面观察或表面粗糙度等的测量的装置，众所周知地存在以原子力显微镜(AFM：Atomic Force Microscope)为代表的扫描型探针显微镜(SPM：Scanning Probe Microscope)，所述原子力显微镜(AFM：Atomic ForceMicroscope)对作用于探针(probe)与样品表面间的原子力进行测量。虽然能够在原子力显微镜中使用多个测量模式，但是最近多使用被称为非接触模式或动态模式的方法，该方法使设置了探针的悬臂在其共振点附近振动，使在该状态下作用于探针与试料表面之间的相互作用转换为悬臂的振动的振幅、位相或者频率的变化而进行检测。

图7是一般的扫描型探针显微镜的要部的构成图。观察对象即样品1被保持在样品台2上，所述样品台2设置在大致圆筒形状的扫描仪3上。扫描仪3包括：XY扫描仪31，在相互地正交的X、Y的2个轴方向上对样品1进行扫描；Z扫描仪32，在与X轴以及Y轴正交的Z轴方向上微动，驱动源是分别通过由外部施加的电压而产生位移的压电元件。在样品1的上方配置有在前端具备探针5的悬臂4，该悬臂4由包括未图示的压电元件的激励部振动。

为了检测悬臂4的Z轴方向的位移，在悬臂4的上方设置有包括激光光源61、半透明反射镜63、反射镜64以及光检测器65的光学位移检测部6。在光学位移检测器6中，使从激光光源61发射的激光在半透明反射镜63处大致垂直地反射，从而照射在设置于悬臂4的前端部背面的反射面4a。在该悬臂4的反射面4a被反射的光经由反射镜64入射至光检测器65。光检测器65例如是四象限光检测器，具有在Z轴方向以及Y轴方向上被分割为四部分的受光面。若悬臂4在Z轴方向上位移，则入射至多个受光面的光量的比例会发生变化，通过对与多个受光光量相对应的检测信号进行运算处理，能够计算悬臂4的位移量。

对在上述构成的扫描型探针显微镜中的非接触模式下的测量工作进行简单地说明。

通过未图示的激励部使悬臂4以其共振点附近的频率在Z轴方向上振动。若此时引力或斥力作用在探针5与样品1表面之间，则悬臂4的振动振幅发生变化。通过由光检测器65检测的信号检测出微小的振动振幅的变化量，使其变化量为零，即Z扫描仪32的压电元件被反馈控制，以振动振幅维持为恒定的方式使样品1在Z轴方向上移动。在这样的状态下，通过控制XY扫描仪31的压电元件，而在X-Y面内对样品1进行扫描，与上述的Z轴方向有关的反馈控制量反映样品1的表面的微小凹凸。因此，未图示的数据处理部使用示出该反馈控制量的信号从而制作样品1的表面图像。

在这样的扫描型探针显微镜中，在悬臂4中没有挠曲的状态下，分别对激光光源61与光检测器65的位置进行调整，使在悬臂4的反射面4a处被反射的、强度最强的激光入射至光检测器65的四象限受光面的中央。在扫描型探针显微镜中，这样的调整被称为“光轴调整”(参照专利文献1、2等)。

以往一般的光轴调整的顺序如下。

即，首先利用能够进行光学显微观察的摄像机8从正上方拍摄悬臂4的前端部附近，并使拍摄的图像在显示部9的画面上显示。图8a是示出光轴调整时的理想的拍摄图像的图。操作者一边确认该图像，一边通过操作部7进行规定的操作，通过驱动机构62调整激光光源61的位置，使激光光斑影像6a在画面上到达悬臂4前端的适当位置。优选是如专利文献1记载的那样，使激光投影于放置在光检测器65跟前的纸片，以激光在该投影像中最亮地投影的方式对激光光源61的位置进行微调整。如果确定了激光光源61的位置，之后则对光检测器65的位置进行调整，使在悬臂4处反射的激光的光斑到达光检测器65的四象限受光面的中央。

由此，以往一般是由操作者一边目视确认在光轴调整用中拍摄的图像，一边人工地进行扫描型探针显微镜中的光轴调整。但是，如专利文献1所指出的那样，激光光斑的亮度非常高，因此如图8b所示的一例那样地，以激光光斑影像6a与悬臂4一同被容纳的方式而拍摄的图像中，悬臂4的部分变得非常暗。操作者难以从这样的图像适当地掌握悬臂4的位置，这成为光轴调整的作业变难的原因之一。

在专利文献1中为了解决这样的技术问题，使示出悬臂的位置的标记与示出激光的亮度重心位置的标记在图像上显示，使用这些标记进行光轴调整。当然在这样的方法中能够进行光轴调整，但是对于已经习惯了以往的光轴调整作业的操作者而言，存在难以直观地理解使用了标记的位置的调整的情况。因此，并非观察图像上显示的标记，而是观察实际拍摄的物体像来进行位置调整这样的要求也变得强烈。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-225722号公报

专利文献2：日本特开2014-44144号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明是为了解决上述技术问题而完成的，其第1目的在于提供一种扫描型探针显微镜，操作者能够一边在实际观察的图像上观察悬臂与激光光斑，一边准确地进行光轴调整。

此外，本发明的第2目的在于提供一种扫描型探针显微镜，基于对悬臂的前端位置与激光光斑的位置的准确掌握而能够自动地进行准确的光轴调整。

用于解决上述技术问题的方案

为了解决上述技术问题而完成的本发明是具备如下部件的扫描型探针显微镜：悬臂，设置有探针并具有挠性；悬臂位移检测部，包括激光光源部、使从该激光光源部发出的激光反射并照射至所述悬臂的反射镜、以及检测相对于该照射光从所述悬臂反射而来的光的检测器；驱动部，为了该悬臂位移检测部中的光轴调整而使所述反光镜或者所述激光光源部中的至少任一方移动；摄像部，为了所述光轴调整而对光照射在所述悬臂的部位附近进行拍摄，其特征在于，所述扫描型探针显微镜具备：

a)拍摄控制部，一边切换第1拍摄条件与第2拍摄条件，一边由所述摄像部执行拍摄，所述第1拍摄条件适于对通过激光向所述悬臂的照射而形成的激光光斑进行拍摄，所述第2拍摄条件适于对该悬臂进行拍摄；

b)合成图像制作部，对在所述第1拍摄条件下拍摄的图像与在所述第2拍摄条件下拍摄的图像进行合成处理，由此制作使激光光斑影像与悬臂影像一同显现的图像；

c)显示部，对由所述合成图像制作部制作的图像进行显示，供操作者利用所述驱动部进行光轴调整或者供操作者确认该光轴调整的结果。

在本发明的扫描型探针显微镜中，能够使第1拍摄条件与第2拍摄条件、例如曝光条件不同。若上述拍摄控制部在摄像部中设定第1拍摄条件而进行拍摄，则得到如下的图像：悬臂的部分因曝光不足而变暗从而几乎看不见，但是亮度高的激光光斑影像鲜明地显现。另一方面，若上述拍摄控制部在摄像部中设定第2拍摄条件而进行拍摄，则得到如下的图像：激光光斑的部分因曝光过剩而变得过亮从而几乎看不见，但是悬臂的影像鲜明地显现。合成图像制作部制作对在第1拍摄条件下拍摄的图像中清晰地显现的激光光斑影像与在第2拍摄条件下拍摄的图像中清晰地显现的悬臂影像进行合成的图像，显示部对该图像进行显示。

这样地显示的图像是分别对在其中映出的激光光斑与悬臂的曝光进行了适当调整的状态下的图像，这些图像均鲜明。因此，在操作者人工地利用了驱动部进行光轴调整的情况下，能够从显示的图像准确地掌握激光光斑与悬臂的位置关系，容易并且可靠地进行光轴调整。此外，在如后述那样地自动地进行光轴调整的情况下，操作者能够基于显示的图像确认是否准确地进行了光轴调整。

此外，在本发明的扫描型探针显微镜中，优选是也可以构成为：所述拍摄控制部以每1张图像为单位交替地执行在第1拍摄条件下的拍摄与在第2拍摄条件下的拍摄，每当通过所述拍摄部得到1张新的图像，所述合成图像制作部就连续地对在第1拍摄条件下拍摄的1张图像与在第2拍摄条件下的拍摄的1张图像进行合成处理，制作合成图像，所述显示部显示该合成图像。

根据该构成，为了光轴调整而通过驱动部驱动激光光源部或反射镜，在激光光斑的位置移动时，在显示部显示追踪该移动的最新图像。因此，在人工调整、自动调整的任一种情况下，操作者利用图像确认激光光斑与悬臂之间的位置关系的最新状态，能够即时地掌握或判断调整是否合适。

在本发明的第1方案的扫描型探针显微镜中，能够是如下的构成：还具备调整量计算部，所述调整量计算部基于在所述第1拍摄条件下拍摄的图像检测激光光斑的中心位置，并且基于在所述第2拍摄条件下拍摄的图像检测悬臂的前端位置，基于检测的激光光斑的中心位置以及悬臂的前端位置，计算用于使激光光斑移动到悬臂的规定位置的调整量，所述显示部显示由所述合成图像制作部制作的图像，并显示由所述调整量计算部计算的调整量。

此外，在本发明的第2方案的扫描型探针显微镜中，能够构成为还具备：调整量计算部，基于在所述第1拍摄条件下拍摄的图像检测激光光斑的中心位置，并且基于在所述第2拍摄条件下拍摄的图像检测悬臂的前端位置，基于检测的激光光斑的中心位置以及悬臂的前端位置，计算用于使激光光斑移动到悬臂的规定位置的调整量；

光轴调整控制部，基于所述调整量计算部计算的调整量使所述驱动部工作，由此使激光光斑移动到悬臂的规定位置。

在上述第1以及第2方案的扫描型探针显微镜中，调整量计算部基于在第1拍摄条件下拍摄的图像检测激光光斑的中心位置，并且基于在第2拍摄条件下拍摄的图像检测悬臂的前端位置。另外，虽然激光光斑的中心位置例如能够通过求出多个值的重心的运算而获得，但是在光的衍射或散射等的影响较大的情况下，通过形态学运算处理的开运算处理等进行噪声除去，之后进行求出多值重心的运算即可。而且，调整量计算部基于激光光斑的中心位置的坐标与悬臂的前端位置的坐标，计算用于使激光光斑移动到悬臂的规定位置(例如前端位置)的调整量。该调整量也可以是例如在图像的面内相互地正交的两个轴方向的各自的距离等。

在第1方案的扫描型探针显微镜中，上述那样地计算的调整量例如作为数值与图像一并地显示。因此，操作者一边观察显示的图像一边粗略地进行光轴调整，并且能够比参照显示的调整量进行更细微的光轴调整。

另一方面，在第2方案的扫描型探针显微镜中，基于上述那样地计算的调整量，光轴调整控制部使驱动部工作，由此自动地实现光轴调整。因此，无需操作者本身进行与光轴调整有关的麻烦的操作，仅观察显示的图像来对光轴调整是否适当进行最终的确认即可。

发明效果

根据本发明的扫描型探针显微镜，在光轴调整时，操作者能够对如下的图像进行确认，所述图像能够清晰地观察到通过通常的拍摄未清晰地映出的激光光斑与悬臂这两者。由此，在人工地进行光轴调整的情况下，也能够容易并且准确地进行该作业。此外，在自动地进行光轴调整的情况下，操作者能够容易地确认该自动调整的结果。

此外，根据本发明的第1方案的扫描型探针显微镜，操作者能够简单地进行准确的光轴调整。因此，例如即便是不习惯这样的作业的人，也能够进行作业。此外，能够减轻每个操作者进行光轴调整的偏差。此外，根据本发明的第2方案的扫描型探针显微镜，能够自动化地进行麻烦的光轴调整，能够减轻操作者的负担，也能够减少每个操作者进行光轴调整的偏差。

附图说明

图1是本发明的一实施例的扫描型探针显微镜的要部构成图。

图2是用于本实施例的扫描型探针中的光轴调整的图像合成处理的说明图。

图3是在本实施例的扫描型探针显微镜中、由光轴调整用控制、处理部实施的处理的说明图。

图4是用于本实施例的扫描型探针显微镜中的光轴调整的悬臂的前端位置检测处理的说明图。

图5是示出本实施例的扫描型探针显微镜中的光轴调整量计算处理的顺序的流程图。

图6是本发明的另一实施例的扫描型探针显微镜的要部构成图。

图7是一般的扫描型探针显微镜的要部构成图。

图8中的(a)示出光轴调整时的理想的拍摄图像的一例,(b)示出实际得到的图像的一例。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的一实施例即扫描型探针显微镜进行说明。图1是本实施例的扫描型探针显微镜的要部构成图。对与图7所示的以往的扫描型探针显微镜相同的构成要素赋予相同的附图标记并省略详细的说明。

作为以往的装置所不具备的构成要素，本实施例的扫描型探针显微镜具备光轴调整用控制、处理部10，所述光轴调整用控制、处理部10具有对摄像机8进行控制、并且对由摄像机8拍摄的图像数据进行处理的功能。该光轴调整用控制、处理部10包括分别作为功能模块的拍摄控制部11、图像分离部12、激光中心位置检测部13、悬臂前端位置检测部14、图像合成部15、位置调整量运算部16，在显示部9的画面上显示图像合成部15以及位置调整量运算部16的输出。

对本实施例的扫描型探针显微镜中的特征动作进行说明。图3是用于说明在光轴调整用控制、处理部10中实施的处理的示意图。

拍摄控制部11对摄像机8的摄像动作进行控制，每一帧地交替执行第1拍摄条件下的拍摄与第2拍摄条件下的拍摄，所述第1拍摄条件下的拍摄适于对激光光斑进行拍摄，所述第2拍摄条件下的拍摄适于对悬臂4进行拍摄。通常，第1、第2拍摄条件的不同在于曝光的不同。即，激光光斑影像的亮度非常高，相反悬臂4因为光照不到，所以亮度非常低。因此，与第2拍摄条件相比，使第1拍摄条件的曝光大幅度地降低。虽然也可以使用装置生产商预先确定的默认值作为各拍摄条件中适当的曝光，但是若各用户预先通过实验来确定适当的曝光，则能够进行更恰当的拍摄。因此，用户也可以通过未图示的输入部等预先设定第1、第2拍摄条件。

为了进行光轴调整，若操作者从未图示的输入部进行规定的指示，则在拍摄控制部11的控制下，摄像机8开始对悬臂4的反射面4a附近的规定的平面范围进行连续的拍摄。因为每通过拍摄获得1帧图像、就交替地切换拍摄条件(即曝光)，所以在第1拍摄条件下得到的图像数据与在第2拍摄条件下得到的图像数据交替地从摄像机8被输出。

图2a是在第1拍摄条件下得到的图像#1的一例，图2b是在第2拍摄条件下得到的图像#2的一例。因为第1拍摄条件是适合激光光斑的曝光，所以激光光斑影像6a清晰地映出，但是相反悬臂4曝光不足，因此其图像较暗为几乎看不到的状态。另一方面，第2拍摄条件为适合悬臂4的曝光，所以悬臂4的影像清晰地映出，但是相反激光光斑曝光过度，过于明亮，因此几乎看不到其图像。

构成从摄像机8交替地被输出的二种图像#1、#2的数据依次被输入至图像合成部15。图像合成部15基于时间上连续的2帧部分的图像数据，一帧一帧地制作对激光光斑影像6a与悬臂4的影像进行合成的图像。

具体而言，如图2a所示，在第1拍摄条件下得到的图像#1实质上仅显现激光光斑影像6a，所以在例如通过提高其图像整体的亮度使激光光斑影像6a以外的部分变亮的基础上，在该图像上合成在第2拍摄条件下得到的图像#2。由此，能够得到如图2c所示那样的激光光斑影像6a与悬臂4的影像都清晰地显现的图像。这样地合成的图像数据被发送至显示部9，显示在显示部9的画面上。如图3所示，因为2帧部分的图像的合成处理是一帧一帧地进行的，所以显示部9能够始终地显示通过最新的拍摄得到的图像。

另一方面，构成从摄像机8交替地被输出的二种图像#1、#2的数据被输入至图像分离部12。图像分离部12每一帧地交替分配图像数据。然后，构成在第1拍摄条件下得到的图像#1的数据被输入至激光中心位置检测部13，构成在第2拍摄条件下得到的图像#2的数据被输入至悬臂前端位置检测部14。激光中心位置检测部13、悬臂前端位置检测部14以及位置调整量运算部16根据图5所示的流程图，计算用于光轴调整的位置调整量。

即，激光中心位置检测部13从图2a所示那样的、显现激光光斑影像6a的图像#1，制作对原本的激光光斑以外的部分进行遮蔽的掩模图像(步骤S1)。制作掩模图像是因为在拍摄的图像所映出的激光光斑影像中，因衍射或散射以及除此以外的外部干扰的影响而出现的、并非原本的激光光斑而是被称为噪声的假象。虽然图2a中难以理解，但是在图8b中可知这样的假象以在纵方向上并列的方式重复出现多个。

能够使用一般在图像处理中所利用的多种方法制作掩模图像。掩模图像制作的第1种方法是利用形态学运算处理的开运算处理的方法。在该处理中组合N次的收缩处理与N次的膨胀处理，能够除去作为目标的对象图像的周围噪声。由此，能够得到对因衍射或散射的影响等而引起的噪声部分进行遮蔽的掩模图像。此外，掩模图像制作的第2种方法是组合了使用拉普拉斯滤波器的边缘(轮廓)检测与使用了高斯滤波器的平滑化的方法。此外，除此以外也能够利用使用标签进行噪声除去等方法。

如果得到了掩模图像，则接着激光中心位置检测部13得到原本的图像与掩模图像的每个像素的逻辑乘，制作仅出现原本(推定的)的激光光斑影像的修正光斑图像(步骤S2)。然后，在该修正光斑图像中，计算激光光斑影像部分的多值重心，决定将计算的重心的位置坐标作为激光光斑的中心位置(步骤S3)。

另一方面，悬臂前端位置检测部14从图2b所示那样的、显现悬臂4的影像的图像#2求出细尖的悬臂最前端部的位置(步骤S4)。

图3是悬臂前端位置检测处理的说明图。此处，利用悬臂的前端形状大多为三角形状这一情况，首先从映出有悬臂的图像#2通过图像识别等切出悬臂部分。接着，从切出的图像计算沿着悬臂的外形轮廓的三角形的两边的直线。然后，决定该两边的直线的交点位置为悬臂的最前端位置。

因为这样地求出激光光斑的中心位置与悬臂的最前端位置，所以位置调整量运算部16由这两个位置信息计算用于光轴调整所需的位置调整量(步骤S5)。具体而言，也可以分别对图像的面内垂直的两轴方向即X方向与Y方向计算两个位置信息的差值，将其作为位置调整量。此外，也可以将其换算为实际的长度从而作为位置调整量。这样地计算的位置调整量也被发送至显示部9，与上述图像一并地在显示部9的画面上显示。因为也与图像的合成处理同样地每帧地进行位置调整量的计算，能够始终在显示部9显示基于最新的拍摄得到的图像的位置调整量。

操作者一边观察显示部9的画面上所显示的图像以及位置调整量的数值，一边对操作部7进行操作。因为驱动机构62根据该操作使激光光源61移动，所以由半透明反射镜63反射的激光所形成的光斑的位置也移动。在显示的图像上，粗略地将激光光斑影像6a调整到悬臂4的前端，最终一边观察位置调整量的数值一边进行细微调整，由此能够进行光轴调整使激光适当地照射至悬臂4的反射面4a。

接着，参照附图对本发明的另一实施例即扫描型探针显微镜进行说明。图6是本实施例的扫描型探针显微镜要部的构成图。对与图1所示的本实施例的扫描型探针显微镜相同的构成要素赋予相同的附图标记并省略详细说明。

虽然在上述实施例的扫描型探针显微镜中，操作者通过人工操作调整了激光光源61的位置，但是在本实施例的扫描型探针显微镜中，为了自动地进行这样的调整而在光轴调整用控制、处理部10设置有光轴调整控制部17。

即，如在上述实施例所说明的那样，若位置调整量运算部16计算位置调整量，则光轴调整控制部17将该位置调整量转换为驱动机构62的驱动量。然后，经由驱动机构62使激光光源61移动规定量，激光光斑到达悬臂4的反射面4a的规定位置。由此，操作者能够不进行麻烦的调整操作而实现光轴调整。当然，与上述实施例同样地，合成的图像显示在显示部9的画面上，因此操作者能够观察该图像从而确认光轴调整是否存在问题。

另外，在上述实施例中，虽然对悬臂的前端部的形状为三角形状的前端位置进行了检测，但是即便前端部的形状为其他的形状，也能够利用其他的方法容易地检测前端位置。例如，在前端形状为矩形状的情况下，求出包括最前端部的一边，将该一边的中央部看作最前端位置即可。

此外，虽然在上述实施例中，通过调整激光光源61的位置进行了光轴调整，但是因为通过调整半透明反射镜63的位置或倾斜角也会使得形成有激光光斑的位置发生改变，所以也能够以这种方式进行光轴调整。

进而，上述实施例不过是本发明的一例，即便在本发明的主旨范围内进行适当的修改、变更、添加，也明显包含在本申请的权利要求的范围内。

附图标记说明

1 样品

2 样品台

10 光轴调整用控制、处理部

11 拍摄控制部

12 图像分离部

13 激光中心位置检测部

14 悬臂前端位置检测部

15 图像合成部

16 位置调整量运算部

17 光轴调整控制部

3 扫描仪

4 悬臂

4a 反射面

5 探针

6 光学位移检测部

61 激光光源

62 驱动机构

63 半透明反射镜

64 反射镜

65 光检测器

6a 激光光斑

7 操作部

8 摄像机

9 显示部

Claims (5)

1.一种扫描型探针显微镜，具备：

悬臂，设置有探针并具有挠性；

悬臂位移检测部，包括激光光源部、使从该激光光源部发出的激光反射并照射至所述悬臂的反射镜、以及检测从所述悬臂对来自所述反射镜的照射光反射而来的光的检测器；

驱动部，为了该悬臂位移检测部中的光轴调整而使所述反光镜或者所述激光光源部中的至少任一方移动；

摄像部，为了所述光轴调整而对光照射在所述悬臂的部位附近进行拍摄，

其特征在于，所述扫描型探针显微镜具备：

a)拍摄控制部，一边切换第1拍摄条件与第2拍摄条件，一边由所述摄像部执行拍摄，所述第1拍摄条件适于对通过激光向所述悬臂的照射而形成的激光光斑进行拍摄，所述第2拍摄条件适于对该悬臂进行拍摄；

b)合成图像制作部，对在所述第1拍摄条件下拍摄的图像与在所述第2拍摄条件下拍摄的图像进行合成处理，由此制作使激光光斑影像与悬臂影像一同显现的图像；

c)显示部，对由所述合成图像制作部制作的图像进行显示，供操作者利用所述驱动部进行光轴调整或者供操作者确认该光轴调整的结果。

2.如权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，还具备调整量计算部，所述调整量计算部基于在所述第1拍摄条件下拍摄的图像检测激光光斑的中心位置，并且基于在所述第2拍摄条件下拍摄的图像检测悬臂的前端位置，基于检测的激光光斑的中心位置以及悬臂的前端位置，计算用于使激光光斑移动到悬臂的规定位置的调整量，

所述显示部显示由所述合成图像制作部制作的图像，并显示由所述调整量计算部计算的调整量。

3.如权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，还具备：

调整量计算部，基于在所述第1拍摄条件下拍摄的图像检测激光光斑的中心位置，并且基于在所述第2拍摄条件下拍摄的图像检测悬臂的前端位置，基于检测的激光光斑的中心位置以及悬臂的前端位置，计算用于使激光光斑移动到悬臂的规定位置的调整量；

光轴调整控制部，基于所述调整量计算部计算的调整量使所述驱动部工作，由此使激光光斑移动到悬臂的规定位置。

4.如权利要求1～3的任一项所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，所述拍摄控制部以每1张图像为单位交替地执行在第1拍摄条件下的拍摄与在第2拍摄条件下的拍摄，每当通过所述拍摄部得到1张新的图像，所述合成图像制作部就连续地对在第1拍摄条件下拍摄的1张图像与在第2拍摄条件下的拍摄的1张图像进行合成处理，制作合成图像，所述显示部显示该合成图像。

5.如权利要求2或3所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，所述调整量计算部基于所述第1拍摄条件下拍摄的图像而检测激光光斑的中心位置时实施噪声除去，所述噪声除去使用了基于形态学运算处理的开运算处理。

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