CN107705883A - 透明电极、包括其的触摸传感器及影像显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种透明电极、包括其的触摸传感器及影像显示装置，尤其涉及一种如下透明电极，即：所述透明电极包括网格图案，所述网格图案包括依次层叠的第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层，所述透明电极的550nm波长上的反射率为5％至20％，所述透明电极具有高透过率和低反射率，从而具有改善的可见性，具有低面电阻和优秀的弯折特性，且因与基材的附着性强，适合适用于柔性及大面积影像显示装置。

Description

透明电极、包括其的触摸传感器及影像显示装置
技术领域
本发明涉及一种透明电极、包括所述透明电极的触摸传感器及包括所述触摸传感器的影像显示装置。
背景技术
当前，随着信息化社会的发展，对显示领域的要求也正以多种形态增多，顺应地，目前正在展开对具有薄型化、轻量化、低功耗化等特征的诸多平板显示装置(Flat PanelDisplay device)，例如，液晶显示装置(Liquid Crystal Display device)、等离子显示装置(Plasma Display Panel device)，电致发光显示装置(Electro Luminescent Displaydevice)等的研究。
此外，作为附着于所述显示装置上的能够用人的手或物体选择画面中出现的指示内容来输入用户的命令的输入装置的触摸面板(touch panel)得到青睐。触摸面板具备于显示装置的前面(front face)来将直接接触人的手或物体的接触位置转换为电信号。
从而，在接触位置上选择的指示内容被当做输入信号接收。由于这种触摸面板可以代替如键盘和鼠标等连接于影像显示装置来动作的另外的输入装置，其利用范围呈逐渐扩大的趋势。
由于这种触摸面板的电极需形成于显示装置的前面，作为众所周知的透明电极，通常使用ITO(indium doped Tin Oxide)。然而，ITO电极因脆性(brittleness)问题，不但难以适用于柔性(flexible)触摸传感器，还因呈现出高电阻的特性，在实现大面积化方面具有局限性，故存在难以使用的问题。
一方面，在透明电极中，就金属网格(metal mesh)结构而言，虽然因金属的延展性和低电阻特性具有容易适用于柔性触摸传感器和大面积触摸传感器的优点，但因其可见性薄弱的缺点，同样存在难以适用于触摸传感器的问题。
韩国公开专利第2013-0116597号中公开了触摸屏面板。
现有技术文献
专利文献
韩国公开专利第2013-0116597号
发明内容
技术问题
首先，本发明的目的在于提供一种因具有高透过率和低反射率，使电极无法用肉眼可见的透明电极。
其次，本发明的目的在于提供一种因具有优秀的弯折特性，适合适用于柔性显示装置的透明电极。
再次，本发明的目的在于提供一种因具有低面电阻，适合适用于大面积影像显示装置的透明电极。
从次，本发明的目的在于提供一种与基材的附着力强的透明电极。
此外，本发明的目的在于提供一种包括前述透明电极的触摸传感器和包括所述触摸传感器的影像显示装置。
技术方案
(1)一种透明电极，所述透明电极包括网格图案，所述网格图案包括依次层叠的第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层，所述透明电极的550nm波长上的反射率为5％至20％。
(2)根据上述(1)所述的透明电极，所述透明电极的所述550nm波长上的反射率为5％至13％。
(3)根据上述(1)所述的透明电极，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的550nm波长上的折射率各自分别为1.7至2.2，所述金属层的550nm波长上的折射率为0.1至1.0，所述金属层的消光系数为2.0至7.0。
(4)根据上述(1)所述的透明电极，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的厚度各自分别为5nm至140nm，所述金属层的厚度为5nm至30nm。
(5)根据上述(1)所述的透明电极，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的厚度各自分别为30nm至50nm，所述金属层的厚度为8nm至15nm。
(6)根据上述(1)所述的透明电极，所述网格图案的线宽为1μm至7μm。
(7)根据上述(1)所述的透明电极，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层各自分别包括选自由铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)、铝锌氧化物(AZO)、镓锌氧化物(GZO)、铟锡锌氧化物(ITZO)、锌锡氧化物(ZTO)、铟镓氧化物(IGO)、氧化锡(SnO2)以及氧化锌(ZnO)组成的组中的至少一个。
(8)根据上述(1)所述的透明电极，所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层各自分别包括选自由铟锡氧化物(ITO)和铟锌氧化物(IZO)组成的组中的至少一个。
(9)根据上述(1)所述的透明电极，所述金属层包括选自由银、金、铜、铝、铂、钯、铬、钛、钨、铌、钽、钒、钙、铁、锰、钴、镍、锌以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个。
(10)根据上述(1)所述的透明电极，所述金属层包括选自由银、金、铜、钯、铝以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个。
(11)根据上述(1)所述的透明电极，所述透明电极的雾度为-1％至+1％。
(12)根据上述(1)所述的透明电极，所述透明电极的色差值b*为-4至+4。
(13)根据上述(1)所述的透明电极，当以1mm以上的曲率半径向180°方向折所述透明电极时，线电阻无变化。
(14)一种触摸传感器，其包括根据上述(1)至(13)中任一项所述的透明电极。
(15)根据上述(14)所述的触摸传感器，所述透明电极具备于包括选自由环烯烃聚合物(COP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚苯硫醚(PPS)、聚芳酯(Polyarylate)、聚酰亚胺(PI)、醋酸丙酸纤维素(CAP)、聚醚砜(PES)、三乙酸纤维素(TAC)、聚碳酸酯(PC)、环烯烃共聚物(COC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)组成的组中的至少一个的基材上。
(16)根据上述(14)所述的触摸传感器，所述透明电极具备于包括环烯烃聚合物(COP)的基材上。
(17)根据上述(14)所述的触摸传感器，所述触摸传感器包括多个隔离的感测图案，所述感测图案配置于同一面上，且由所述透明电极形成。
(18)根据上述(17)所述的触摸传感器，所述触摸传感器包括向第一方向形成的第一感测图案、向第二方向形成的第二感测图案以及连接所述第二感测图案的隔离的单位图案的桥电极。
(19)根据上述(17)所述的触摸传感器，所述触摸传感器以自电容(self-cap)方式形成。
(20)一种薄膜触摸传感器，其包括：分离层；以及形成于所述分离层上的根据上述(17)所述的触摸传感器。
(21)根据上述(20)所述的薄膜触摸传感器，其在所述触摸传感器和分离层之间还包括保护层。
(22)一种影像显示装置，其包括根据上述(14)所述的触摸传感器。
(23)一种影像显示装置，其包括根据上述(20)所述的薄膜触摸传感器。
发明的效果
首先，本发明的透明电极因具有高透过率和低反射率，具有显著改善的可见性。
其次，本发明的透明电极具有适合适用于柔性显示装置的优秀的弯折特性。
再次，本发明的透明电极的面电阻低，以便适合适用于大面积影像显示装置。
此外，本发明的透明电极的与基材的附着力强。
从而，本发明的透明电极可以有效用于制造触摸传感器和影像显示装置。
附图说明
图1是在本发明一实施例的基材上包括透明电极的结构。
图2示出了本发明的一实施例的网格图案的剖视图。
图3是概略性地示出本发明的弯折特性试验方法的图。
符号说明
100：基材 200：网格图案
210：第一金属氧化物层 220：金属层
230：第二金属氧化物层
具体实施方式
本发明涉及一种透明电极，尤其涉及一种如下透明电极，即：所述透明电极包括网格图案，所述网格图案包括依次层叠的第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层，所述透明电极的550nm波长上的反射率为5％至20％，所述透明电极具有高透过率和低反射率，从而具有改善的可见性，具有低面电阻和优秀的弯折特性，且因与基材的附着性强，适合适用于柔性及大面积影像显示装置。
图1示出了本发明的一实施例的包括具备于基材上的透明电极的结构，图2示出了本发明的一实施例的网格图案的剖视图。
下面，为具体说明本发明，参照附图进行详细说明。
本发明的透明电极包括网格图案200，所述网格图案200包括依次层叠的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230。
本说明书中，“透明电极”所指的透明电极不只是实际上透明的电极，而是意指还包括虽然用非透明材料制造，但由于以窄线宽制造等以致于无法被用户识别，因而对用户而言，实质上看似透明的电极。
本说明书中，网格图案意指网状图案，本发明中，网格图案起电极的作用。
本发明的透明电极因具有网格图案200的结构，其弯折特性优秀，因而折弯性和复原力优秀，且能够用于制造柔性和伸缩性卓越的触摸传感器。例如，当以1mm以上的曲率半径，优选以2mm以上的曲率半径向180°方向折本发明的透明电极时，其线电阻有可能会无变化。经判断，认为这是由于本发明的透明电极既具有网格图案的结构，又具有三层结构，因而既能维持电极的特性，又具有优秀的弯折特性。
本发明中，对网格结构的具体形态不作特殊限定。例如可以是直角四边形网格结构、菱形网格结构、六边形网格结构等，但不限于此。在各种结构中，长边的长度例如可以为2μm至500μm，且可以在所述范围内根据导电性、透过率等适当调整。
本发明中，对网格图案200的线宽不作特殊限定，例如，所述网格图案200的线宽可以为1μm至7μm。现有的网格图案电极在具有哪怕1μm左右的线宽的情况下，其电极也能用肉眼可见，而本发明的网格图案200即使是在线宽为1μm至7μm的情况下也不会被肉眼可见，且还可以具有最优电阻值。
本发明中，所述网格图案200包括依次层叠的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230。
本发明使用包括依次层叠的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230的网格图案200的透明电极代替现有的ITO透明电极，因而既具有高透过率，又具有低反射率，从而其可见性可以得到显著改善。不仅如此，本发明的网格图案因弯折特性优秀，折弯性和复原力优秀，同时，还能够确保低面电阻，故适合用作用于触摸传感器的透明电极。
本发明中，对第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230的厚度不作特殊限定，从确保高透过率和低反射率的同时，提高弯折特性的角度而言，例如，所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230的厚度可以各自分别为5nm至140nm，所述金属层220的厚度可以为5nm至30nm。更优选所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230的厚度可以各自分别为30nm至50nm，所述金属层220的厚度可以为8nm至15nm。
本发明中，对第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230的材料不作特殊限定，例如，所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230可以各自分别包括选自由铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)、铝锌氧化物(AZO)、镓锌氧化物(GZO)、铟锡锌氧化物(ITZO)、锌锡氧化物(ZTO)、铟镓氧化物(IGO)、氧化锡(SnO2)以及氧化锌(ZnO)组成的组中的至少一个。从进一步改善可见性、进一步改善弯折特性的角度而言，优选所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230可以各自分别包括选自由铟锡氧化物(ITO)和铟锌氧化物(IZO)组成的组中的至少一个，更优选所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230可以包括铟锌氧化物(IZO)。
本发明中，对金属层220的材料不作特殊限定，例如，从既具有优秀的导电性又具有低面电阻的角度而言，可以包括选自由银、金、铜、铝、铂、钯、铬、钛、钨、铌、钽、钒、钙、铁、锰、钴、镍、锌以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个。从既具有前述优点又具有优秀的弯折特性的角度而言，更优选可以包括选自由银、金、铜、钯、铝以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个，且更优选可以为银、铜和钯的合金Ag-Pd-Cu(APC)合金。
对形成本发明的第一金属氧化物层210、金属层220或第二金属氧化物层230的方法不作特殊限定，例如，可以利用物理蒸镀法(Physical Vapor Deposition，PVD)、化学蒸镀法(Chemical VaporDeposition，CVD)等多种薄膜蒸镀技术形成。例如，可以利用作为物理蒸镀法的一例的反应溅射法(reactive sputtering)形成。
对形成本发明的网格图案200的方法不作特殊限定，例如可以利用光刻法形成。
对形成本发明的包括第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230的网格图案200的方法不作特殊限定，例如可以利用依次形成第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230并层叠后，借由光刻法对所述各个层同时进行蚀刻或各个层别地分别进行蚀刻的方法形成。
本发明的透明电极的550nm波长上的反射率为5％至20％。本发明的透明电极具有低反射率，因而可以将对用户可见的程度降到最低。具体而言，对本发明的透明电极的反射率影响较大的因素是金属层220。为具备本发明的透明电极中所要求的最起码的导电性，使用金属层220，而这可能会导致透明电极的反射率上升。因而，本发明的透明电极既具有前述三层结构，又由网格图案200形成，因而可以降低反射率，且可以调整各个层的厚度和折射率值来达到前述反射率值。若本发明的透明电极200的550nm波长上的反射率小于5％，则需要显著减少金属层220的厚度，因而会存在电极的电阻值上升的问题，而若超过20％，则存在电极用肉眼可见的问题。为进一步改善可见性，更优选本发明的透明电极的550nm波长上的反射率可以为5％至13％。
此外，本发明的透明电极包括网格图案200，所述网格图案200包括依次层叠的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230，故不但具有低反射率，又具有高透过率，从而可以大幅改善可见性。具体而言，优选本发明的透明电极的550nm波长上的透过率可以为60％至90％。
此外，第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230相对而言具有高折射率，金属层220相对而言具有低折射率，故能够形成依次具有高-低-高折射率的网格图案200层，因而可以确保高透过率和低反射率来大幅改善可见性。例如，可以通过使所述第一金属氧化物层210和第二金属氧化物层230的550nm波长上的折射率各自分别为1.7至2.2，使所述金属层220的550nm波长上的折射率为0.1至1.0，使消光系数为2.0至7.0的方式达成上述效果，但不限于此。所述消光系数可以利用由下面的数学式1、2表示的公式求出。
[数学式1]
I＝I0e(-αT)
(公式中，α为吸收系数，T为厚度，I0为透过前的光强度，I为透过后的光强度)
[数学式2]
α＝4πk/λ0
(公式中，α为吸收系数，k为消光系数，λ0为波长)
本发明的透明电极包括前述网格图案200和网格图案200中包括的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230的层叠结构，故不但具有高透过率和低反射率，还能达到透明的色差值。具体而言，本发明的透明电极的色差值b*为-4至+4，从而可以降低图案的可见性，且防止所表现的颜色的歪曲。
此外，本发明的透明电极包括前述网格图案200和网格图案200中包括的第一金属氧化物层210、金属层220以及第二金属氧化物层230的层叠结构，故可以具有低雾度值。更具体而言，本发明的透明电极的雾度为-1％至+1％，从而可以具有优秀的光学特性。
此外，本发明提供一种包括前述透明电极的触摸传感器。
作为触摸感测，本发明的触摸传感器电极使用具有前述的显著改善的可见性、具有优秀的弯折特性和低面电阻的前述透明电极，从而能够制造高性能触摸传感器，尤其极其适合适用于柔性显示装置。本发明的透明电极可以无特殊限定地适用于本领域周知的触摸传感器的感测电极。
本发明的触摸传感器中，前述的透明电极可以具备于基材100上，对所述基材100的材料不作特殊限定，例如，本发明的触摸传感器中，前述的透明电极可以具备于包括选自由环烯烃聚合物(COP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚苯硫醚(PPS)、聚芳酯(Polyarylate)、聚酰亚胺(PI)、醋酸丙酸纤维素(CAP)、聚醚砜(PES)、三乙酸纤维素(TAC)、聚碳酸酯(PC)、环烯烃共聚物(COC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)组成的组中的至少一个的基材100上。本发明的触摸传感器中，优选前述的透明电极具备于包括环烯烃聚合物(COP)的基材100上。
根据本发明的一实现例，本发明的触摸传感器可以包括多个隔离的感测图案。各感测图案提供触摸位置的坐标信息信息，具体而言，若人的手或物体接触覆盖窗基板，则通过该位置的图案和与图案连接的位置检测线路传递接触位置的静电容量的变化，且通过该静电容量的变化转换为电信号，掌握接触位置。
作为所述实现例的一方面，所述各个感测图案可以通过自电容(self-cap，selfcapacitance)方式形成。
作为所述实现例的另一方面，本发明的触摸传感器可以包括向第一方向形成的第一感测图案、向第二方向形成的第二感测图案和连接所述第二感测图案的隔离的单位图案的桥电极。
第一感测图案和第二感测图案以互相不同的方向配置。例如，所述第一方向可以为X轴方向，第二方向可以为与其垂直交叉的Y轴方向，但不限于此。
第一感测图案和第二感测图案将提供对被触摸位置的X坐标和Y坐标的信息。具体而言，若人的手或物体接触覆盖窗基板，则经由第一感测图案、第二感测图案和位置检测线路向驱动电路侧传递接触位置的静电容量的变化。此外，通过由X、Y输入处理电路(未图示)等使静电容量的变化转换为电信号来掌握接触位置。
第一感测图案、第二感测图案可以为包括前述网格图案的透明电极。
第一感测图案和第二感测图案可以配置于同一面上。
桥电极连接第二网格图案的隔离的单位图案。此时，桥电极需与感测图案中的第一感测图案绝缘，为此，形成绝缘层。
绝缘层介于感测图案和桥电极之间来起使第一感测图案与第二感测图案绝缘的作用。
此外，本发明提供一种包括所述触摸传感器的薄膜触摸传感器。
本发明的薄膜触摸传感器可以包括分离层和形成于所述分离层上的触摸传感器。
本发明的分离层是薄膜触摸传感器的制造工程时为了从载体基板剥离而形成的层，对本发明的分离层的材料不作特殊限定，例如，可以由聚酰亚胺(polyimide)系高分子、聚乙烯醇(poly vinyl alcohol)系高分子、聚酰胺酸(polyamic acid)系高分子、聚酰胺(polyamide)系高分子、聚乙烯(polyethylene)系高分子、聚苯乙烯(polystylene)系高分子、聚降冰片烯(polynorbornene)系高分子、苯基马来酰亚胺共聚物(phenylmaleimidecopolymer)系高分子、聚偶氮苯(polyazobenzene)系高分子、聚亚苯基酞酰胺(polyphenylenephthalamide)系高分子、聚酯(polyester)系高分子、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate)系高分子、聚芳酯(polyarylate)系高分子、肉桂酸酯(cinnamate)系高分子、香豆素(coumarin)系高分子、邻苯二甲酰亚胺(phthalimidine)系高分子、查耳酮(chalcone)系高分子、芳香族乙炔系高分子等高分子制造，且这些高分子可以单独使用或混合两种以上使用。
对本发明的分离层的剥离强度不作特殊限定，例如可以为0.01至1N/25mm，优选可以为0.01至0.2N/25mm。若满足上述范围，形成薄膜触摸传感器时，可以无残留地容易从载体基板剥离，从减少剥离时所发生的张力导致的卷曲(curl)和裂缝的角度而言较佳。
对本发明的分离层的厚度不作特殊限定，例如可以为10nm至1000nm，优选可以为50nm至500nm。若满足上述范围，从剥离强度稳定、且能够形成均匀的图案的角度而言较佳。
此外，本发明的薄膜触摸传感器可以在所述触摸传感器和分离层之间还包括保护层。
与所述分离层相同，保护层包覆透明电极来保护透明电极，在本发明的薄膜触摸传感器的制造工程中，分离层起防止暴露于用于形成透明电极的蚀刻剂的作用。
作为保护层，可以不限定地使用本领域公知的高分子，例如可以由有机绝缘膜制造，其中，尤其可以由包括多元醇以及三聚氰胺硬化剂的硬化性组合物形成，但不限于此。
作为所述多元醇的具体种类，例如可以是聚醚多元醇衍生物，聚酯二醇衍生物，聚已内酯乙二醇衍生物等，但不限于此。
作为所述三聚氰胺硬化剂的具体种类，例如可以是甲氧甲基三聚氰胺衍生物，甲基三聚氰胺衍生物，丁基三聚氰胺衍生物，异丁氧基三聚氰胺衍生物以及丁氧基三聚氰胺衍生物等，但不限于此。
根据本发明的另一实现例，所述保护层可以由有机无机混合硬化性组合物形成，若同时使用有机化合物和无机化合物，在减少剥离时所发生的裂缝的角度而言较佳。
作为有机化合物，可以使用前述成分。作为无机物，例如可以是二氧化硅系纳米颗粒、硅系纳米颗粒、玻璃纳米纤维等，但不限于此。
为确保柔性，本发明的薄膜触摸传感器可以通过在载体基板上涂布分离层形成用组合物来形成分离层，并在所述分离层上形成具备前述透明电极的触摸传感器后，除去载体基板的工程制造。
下面具体说明上述各步骤。
首先，在载体基板上涂布前述成分和满足硬化后物性的分离层形成用组合物来形成分离层。
对所述分离层形成用组合物的涂布方法不作特殊限定，只要是本领域中适用的通常的方法即可，例如有利用喷涂法、辊式涂布法、排出喷嘴式涂布法等缝隙式喷嘴的涂布法、中央荷载旋转法等旋转涂布法、挤压涂布法、刮棒涂布法等，可以组合其中两种以上的涂布方法涂布，且涂布后还可以执行干燥工程，加热干燥(预烘干)，或减压干燥后加热来挥发溶媒等。加热温度通常可以为80℃至250℃。
所述载体基板起用于在上面形成分离层的基材的作用，可以使其上面平坦以使分离层均匀地形成，只要具有足以稳定地执行形成于分离层上部的各层的层叠工程的强度，则可以无特殊限定地使用，例如可以使用玻璃基板、塑料基板等。
之后，可以将具备前述透明电极的触摸传感器形成于所述分离层上。对形成本发明的第一金属氧化物层、金属层或第二金属氧化物层的方法不作特殊限定，例如可以利用物理蒸镀法(Physical Vapor Deposition，PVD)，化学蒸镀法(ChemicalVaporDeposition，CVD)等多种薄膜蒸镀技术形成。例如，可以利用作为物理蒸镀法的一例的反应溅射法(reactive sputtering)形成。
对本发明的形成透明电极中包括的网格图案的方法不作特殊限定，例如可以利用光刻法形成。
对本发明的形成包括第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层的网格图案的方法不作特殊限定，例如可以利用依次形成第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层并层叠后，借由光刻法对所述各层同时进行蚀刻或各个层别地分别进行蚀刻的方法形成。
接着，执行从所述载体基板剥离包括分离层和所述透明电极的上部层叠物的步骤。
本发明的薄膜触摸传感器中，其所包括的透明电极可以具有显著改善的可见性、优秀的弯折特性和低面电阻。
此外，本发明提供一种包括所述触摸传感器或薄膜触摸传感器的影像显示装置。
除了通常的液晶显示装置外，本发明的触摸传感器或薄膜触摸传感器还可以适用于场致发光显示装置、等离子显示装置、场致发射显示装置等各种影像显示装置。
前述的透明电极具有显著改善的可见性，且具有优秀的弯折特性和低面电阻，故优选可以适用于柔性影像显示装置。
为便于理解本发明，下面将提示优选实施例，而这些实施例仅用于例示本发明，并不用于限定所附权利要求范围，本领域的一般的技术人员可以明白在本发明的范畴和技术思想范围内可以对实施例实施多种变更和修改，显然，这些变形和修改也落入所附权利要求范围内。
实施例及比较例
实施例1.制造透明电极
为评价本发明的透明电极的光学特性，电气特性和弯折特性，制造了透明电极。第一金属氧化物层和第二金属氧化物层使用了铟锌氧化物(IZO)，金属层使用了银-钯-铜(APC)合金，并利用溅射法将第一金属氧化物层、金属层、第二金属氧化物层依次层叠于环烯烃聚合物(COP)上后，同时利用光刻法进行蚀刻来形成了线宽为3μm的网格图案。各层的厚度分别如下，即：第一金属氧化物层为30nm，金属层为10nm，第二金属氧化物层为30nm。
实施例2至12及比较例1至5
使各层的材料相同，且按照下表1仅使材料、线宽、厚度不同来按照实施例1的方法制造了实施例2至12及比较例1至5的透明电极。
【表1】
实验例1
1.测量反射率
利用分光测色计(CM-3600A，Konica Minolta)，在550nm波长条件下测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的反射率。
2.测量透过率
利用分光测色计(CM-3600A，Konica Minolta)，在550nm波长条件下测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的透过率。
3.测量面电阻
利用面电阻测量仪(RG-80，Napson)测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的面电阻。
4.测量色差值
利用分光测色计(CM-3600A，Konica Minolta)，在550nm波长条件下测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的色差值。
5.测量雾度
利用雾度测量仪(hazemeter)(HM-150，Murasaki)测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的雾度。
6.测量附着力
利用ASTM D3359测量了通过实施例及比较例制造的透明电极的附着力，其评价基准如下。
5B：无剥离
4B：剥离小于5％
3B：剥离5％以上至15％之下
2B：剥离15％以上至35％之下
1B：剥离35％以上至65％之下
0B：剥离65％以上
【表2】
参照实验例可知，比较例的反射率和附着力下降，而实施例的反射率、透过率、b*、面电阻、雾度和附着性均优秀。
比较例1、2中，虽然透明电极未可见，但附着力相对于实施例显著下降，比较例3不但其附着力显著下降，透明电极也用肉眼可见。
比较例4虽然其透明电极未可见，但面电阻很高，因而无法用作电极，比较例5的透明电极用肉眼容易可见。
实验例2：测量弯折特性
对通过实施例及比较例制造的透明电极，如图3所示，以曲率半径(R)＝2mm向180°方向执行折下表3所记载的次数的弯折试验(folding test)，测量折后线电阻(kΩ)，并将其结果记载于表3。
【表3】
参照表3，可以确认到本发明的透明电极即使曲率半径达到2mm，弯折时线电阻依然无变化。
然而，比较例1至3及比较例5中确认到在弯折次数分别为10万次和5万次时线电阻急剧上升，虽然比较例4的线电阻无变化，但其线电阻本身很高，故无法用作电极。
从而，本发明的透明电极因柔性优秀，可以有效利用于柔性显示装置。

Claims (23)

1.一种透明电极，其特征在于，
所述透明电极包括网格图案，
所述网格图案包括依次层叠的第一金属氧化物层、金属层以及第二金属氧化物层，
所述透明电极的550nm波长上的反射率为5％至20％。
2.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述透明电极的所述550nm波长上的反射率为5％至13％。
3.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的550nm波长上的折射率各自分别为1.7至2.2，所述金属层的550nm波长上的折射率为0.1至1.0，所述金属层的消光系数为2.0至7.0。
4.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的厚度各自分别为5至140nm，所述金属层的厚度为5nm至30nm。
5.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层的厚度各自分别为30nm至50nm，所述金属层的厚度为8nm至15nm。
6.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述网格图案的线宽为1μm至7μm。
7.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层各自分别包括选自由铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物、镓锌氧化物、铟锡锌氧化物、锌锡氧化物、铟镓氧化物、氧化锡以及氧化锌组成的组中的至少一个。
8.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述第一金属氧化物层和第二金属氧化物层各自分别包括选自由铟锡氧化物和铟锌氧化物组成的组中的至少一个。
9.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述金属层包括选自由银、金、铜、铝、铂、钯、铬、钛、钨、铌、钽、钒、钙、铁、锰、钴、镍、锌以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个。
10.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述金属层包括选自由银、金、铜、钯、铝以及其中两种以上的合金组成的组中的至少一个。
11.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述透明电极的雾度为-1％至+1％。
12.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
所述透明电极的色差值b*为-4至+4。
13.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，
当以1mm以上的曲率半径向180°方向折所述透明电极时，线电阻无变化。
14.一种触摸传感器，其特征在于，
所述触摸传感器包括根据权利要求1至13中任一项所述的透明电极。
15.根据权利要求14所述的触摸传感器，其特征在于，
所述透明电极具备于包括选自由环烯烃聚合物、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚芳酯、聚酰亚胺、醋酸丙酸纤维素、聚醚砜、三乙酸纤维素、聚碳酸酯、环烯烃共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯组成的组中的至少一个的基材上。
16.根据权利要求14所述的触摸传感器，其特征在于，
所述透明电极具备于包括环烯烃聚合物的基材上。
17.根据权利要求14所述的触摸传感器，其特征在于，
所述触摸传感器包括多个隔离的感测图案，所述感测图案配置于同一面上，且由所述透明电极形成。
18.根据权利要求17所述的触摸传感器，其特征在于，
所述触摸传感器包括向第一方向形成的第一感测图案、向第二方向形成的第二感测图案、以及连接所述第二感测图案的隔离的单位图案的桥电极。
19.根据权利要求17所述的触摸传感器，其特征在于，
所述触摸传感器以自电容方式形成。
20.一种薄膜触摸传感器，其特征在于，包括：
分离层；以及
形成于所述分离层上的根据权利要求17所述的触摸传感器。
21.根据权利要求20所述的薄膜触摸传感器，其特征在于，
在所述触摸传感器和分离层之间还包括保护层。
22.一种影像显示装置，其特征在于，
包括根据权利要求14所述的触摸传感器。
23.一种影像显示装置，其特征在于，
包括根据权利要求20所述的薄膜触摸传感器。
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