CN107665839A - 处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置，能够提高所生成的处理液的浓度的可靠性。该处理液生成装置生成进行了浓度调整的处理液，具有：处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液路，其使处理液流入处理液调整部；第二处理液路，其使处理液流入处理液调整部；第一浓度计，其对作为流过第一处理液路的所述处理液的浓度的、处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由第一浓度计进行浓度测定的所述浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第一阀机构，其进行第一处理液路的开闭；以及第二阀机构，其进行第二处理液路的开闭。

Description

处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置
技术领域
本发明涉及生成用于半导体晶片的处理工序等的处理液的处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置。
背景技术
以往公知有专利文献1所记载的有机物的剥离装置(基板处理装置的一例)。该有机物的剥离装置中，向半导体晶片(基板的一例)的表面供给药液(剥离处理液)，将在该半导体晶片的制造工序中所形成的光致抗蚀剂、聚合物等有机物去除。在该有机物的剥离装置中，一边利用浓度计(有机成分浓度计、水分浓度计)对构成药液的各成分和纯水的浓度进行测定一边利用循环槽(药液槽)使这些各成分混合并进行循环，向循环槽中追加各成分和纯水，以使得各成分和纯水的测定浓度值保持在规定的范围。由此，在循环槽内生成由保持在规定的浓度范围的各成分和水分构成的药液(剥离处理液)(作为处理液生成装置的功能)。并且，在循环槽中生成的药液通过剥离液供给管而供给至被旋转台支承的半导体晶片的表面。
根据这样的有机物的剥离装置，由于对循环槽(药液槽)中所储存的药液的各成分的浓度进行测定而仅向循环槽中追加浓度降低了的成分，因此能够使循环槽中所储存的药液的各成分的浓度分别保持在规定的范围。因此，能够较高地维持药液的剥离性能，能够将循环槽中所储存的药液反复用于形成在半导体晶片上的有机物的剥离处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-347384号公报
发明内容
在上述那样的应用于有机物的剥离装置的处理液(药液)生成装置中，由于利用单一的浓度计对药液(处理液)的各成分的浓度进行测定，因此浓度测定的可靠性取决于单一的浓度计。因此，所生成的处理液的浓度的可靠性未必充分。本发明是鉴于这样的情况而完成的，提供能够提高所生成的处理液的浓度的可靠性的处理液生成装置。
另外，本发明提供利用上述处理液生成装置所生成的处理液对基板进行处理的基板处理装置。
本发明的处理液生成装置生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液，该处理液生成装置为如下的结构，具有：处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第二处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第一浓度计，其对作为流过所述第一处理液路的所述处理液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过所述第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭。
根据这样的结构，当通过第一阀机构和第二阀机构使第一处理液路和第二处理液路处于打开状态时，处理液流过第一处理液路而流入到处理液调整部，并且处理液流过第二处理液路而流入到处理液调整部。在该状态下，所述处理液调整部能够根据所述第一浓度计和所述第二浓度计中的至少一方的测定浓度来进行处理液的浓度调整、即进行处理液中的所述成分的浓度调整，其中，所述第一浓度计对作为流过所述第一处理液路的处理液的浓度的、该浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；所述第二浓度计对作为流过所述第二处理液路的处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述浓度调整所涉及的成分的浓度进行测量。
当通过第一阀机构使第一处理液路处于打开状态并且通过第二阀机构使第二处理液路处于关闭状态时，处理液不流过第二处理液路，处理液流过第一处理液路而流入到处理液调整部。在该状态下，所述处理液调整部能够根据所述第一浓度计的测定浓度进行处理液的浓度调整、即进行处理液中的所述成分的浓度调整，其中，所述第一浓度计对作为流过所述第一处理液路的处理液的浓度的、该浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定。
当通过第一阀机构使第一处理液路处于关闭状态并且通过第二阀机构使第二处理液路处于打开状态时，处理液不流过第一处理液路且不通过第一浓度计，处理液流过第二处理液路并通过第二浓度计而流入到处理液调整部。在该状态下，所述处理液调整部能够根据所述第二浓度计的测定浓度来进行处理液的浓度调整、即进行处理液中的应进行浓度调整的成分的浓度调整。
另外，本发明的基板处理装置为如下的结构，具有：处理液生成装置，其生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液；工作台，其对基板进行保持；驱动机构，其使所述工作台旋转；以及处理液供给机构，其向与所述工作台一起旋转的所述基板的表面供给由所述处理液生成装置生成的处理液，所述处理液生成装置具有：处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第二处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第一浓度计，其对作为流过所述第一处理液路的所述处理液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过所述第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭。
发明效果
根据本发明的处理液生成装置，能够提高所生成的处理液的浓度的可靠性。
另外，根据本发明的基板处理装置，能够利用由上述处理液生成装置生成的处理液对基板进行处理。
附图说明
图1是示出包含本发明的实施方式的处理液生成装置的基板处理装置的图。
图2A是示出图1所示的处理液生成装置中的上游侧第一阀组、上游侧第二阀组、下游侧第一阀组和下游侧第二阀组的结构例的图。
图2B是示出图2A所示的第一浓度测量部的结构例的图。
图2C是示出图2A所示的第二浓度测量部的结构例的图。
图3是示出对图1、图2A至图2C所示的处理液生成装置中的各阀进行控制的控制系统的结构例的框图。
图4A是示出图3所示的控制系统中的控制单元的处理步骤的一例的流程图(其1)。
图4B是示出图3所示的控制系统中的控制单元的处理步骤的一例的流程图(其2)。
图5是示出浓度计的校正处理的步骤的一例的流程图。
标号说明
10：回收罐；11a：第一供给罐；11b：第二供给罐；12a：上游侧第一阀组；12b：上游侧第二阀组；13a：下游侧第一阀组；13b：下游侧第二阀组；14a、14b、15a、15b：累积流量计；16a、16b、17a、17b：调整阀；18a：第一泵；18b：第二泵；19a、19b：开闭阀；20a：第一浓度测量部；20b：第二浓度测量部；21、22、23、24：三通阀；30：控制单元；31a、31b、32a、32b、33a、33b、34a、34b、35a、35b：驱动电路；100：旋转装置；120a、130a：第一阀机构；120b、130b：第二阀机构；122a、132a：第三阀机构；122b、132b：第四阀机构；201a：第一浓度计；201b：第二浓度计；P1：第一处理液路(第一循环液路)；P2：第二处理液路(第二循环液路)；Pc1：第一校正液路；Pc2：第二校正液路。
具体实施方式
以下，使用附图对本发明的实施方式进行说明。
包含本发明的一个实施方式的处理液生成装置的基板处理装置如图1所示那样构成。
在图1中，该基板处理装置具有两个处理液生成装置、两个系统的处理液供给(处理液供给机构)和回收系统以及旋转装置100。一个处理液生成装置为如下的结构，具有：第一供给罐11a、两个累积流量计14a、15a、两个调整阀16a、17a、第一泵18a、开闭阀19a、生成循环系统的两个三通阀21、22、上游侧第一阀组12a、上游侧第二阀组12b、第一浓度测量部20a、第二浓度测量部20b、下游侧第一阀组13a和下游侧第二阀组13b。另一个处理液生成装置为如下的结构，与所述一个处理液生成装置共用生成循环系统的两个三通阀21、22、上游侧第一阀组12a、上游侧第二阀组12b、第一浓度测量部20a、第二浓度测量部20b、下游侧第一阀组13a和下游侧第二阀组13b，除此之外，具有第二供给罐11b、两个累积流量计14b、15b、两个调整阀16b、17b、第二泵18b和开闭阀19b。一个系统的处理液供给和回收系统为如下的结构，与上述的一个处理液生成装置共用第一供给罐11a和第一泵18a，并且具有三通阀23、24和回收罐10。另外，另一个系统的处理液供给和回收系统为如下的结构，与上述的另一个处理液生成装置共用第二供给罐11b和第二泵18b，并且与上述的一个系统的处理液供给和回收系统共用回收罐10和两个三通阀23、24。
如后所述，通过将三通阀23切换至第一供给罐11a侧并使第一泵18a动作，在第一供给罐11a内进行浓度调整而生成的处理液从第一供给罐11a通过三通阀23而供给至旋转装置100内的喷嘴111，从该喷嘴111喷出处理液(处理液供给机构)。在旋转装置100上设置有通过电动机等驱动机构112进行旋转的支承台110(工作台)，以与其周缘部被支承台110支承的半导体晶片W相对的方式配置有喷嘴111。设置有从支承台110的侧方起覆盖下方的罩115。从喷嘴111喷出的处理液(例如，蚀刻液)施加给与支承台110一起旋转的半导体晶片W的表面，利用该处理液对半导体晶片W的正面进行处理(蚀刻处理)。从进行旋转的半导体晶片W的正面飞散的使用完的处理液被收纳到罩115内，进而通过排出路径(省略图示)而回收到回收罐10。然后，回收罐10内的使用完的处理液通过被切换至第一供给罐11a侧的三通阀24而返回到第一供给罐11a。
另一方面，当两个三通阀23、24切换至第二供给罐11b侧时，在第二供给罐11b内进行浓度调整而生成的处理液通过第二泵18b的动作从第二供给罐11b通过三通阀23而供给至旋转装置100的喷嘴111(处理液供给机构)。然后，与上述的同样，从喷嘴111喷出而施加给在旋转装置100内进行旋转的半导体晶片W的正面从而成为使用完的处理液被回收到回收罐10，进而从回收罐10通过三通阀24而返回到第二供给罐11b。
通过上述的第一供给罐11a和第二供给罐11b所分成的两个系统的处理液供给(处理液供给机构)和回收系统分别根据各供给罐11a、11b内的处理液的状态(量、浓度、杂质的量等)，通过三通阀23、24进行适当切换。其结果是，在旋转装置100中，能够持续利用适当状态(浓度等)的处理液进行半导体晶片W的正面的处理。
接着，对处理液生成装置的具体的结构进行说明。另外，两个处理液生成装置共用上游侧第一阀组12a、上游侧第二阀组12b、下游侧第一阀组13a、下游侧第二阀组13b、第一浓度测量部20a、第二浓度测量部20b和两个三通阀21、22，除此之外还具有多个同种的结构部件，进行相同的动作，因此对包含第一供给罐11a的一个处理液生成装置进行说明。
设置有累积流量计14a和调整阀16a的液路与第一供给罐11a连接，处理液(例如，作为蚀刻液的磷酸水溶液)的原液通过该液路而供给至第一供给罐11a。设置有累积流量计15a和调整阀17a的液路与第一供给罐11a连接，稀释液(例如，纯水)通过该液路而供给至第一供给罐11a。
形成有如下的循环液路：从第一供给罐11a出来，经由第一泵18a和开闭阀19a而返回到第一供给罐11a。另外，形成有如下的液路P1：从第一供给罐11a出来，经由第一泵18a、三通阀21、上游侧第一阀组12a、第一浓度测量部20a、下游侧第一阀组13a和三通阀22而返回到第一供给罐11a。以下将该液路P1称为第一循环液路P1(第一处理液路)。另外，形成有如下的液路P2：从第一供给罐11a出来，经由第一泵18a、三通阀21、上游侧第二阀组12b、第二浓度测量部20b、下游侧第二阀组13b和三通阀22而返回到第一供给罐11a。以下将该液路P2称为第二循环液路P2(第二处理液路)。
上游侧第一阀组12a、上游侧第二阀组12b、下游侧第一阀组13a和下游侧第二阀组13b如图2A所示那样构成。
上游侧第一阀组12a包含设置在从三通阀21延续的第一循环液路P1的开闭阀120a，上游侧第二阀组12b包含设置在从三通阀21延续的第二循环液路P2的开闭阀120b。下游侧第一阀组13a包含设置在通过第一浓度测量部20a而朝向三通阀22延伸的第一循环液路P1的开闭阀130a，下游侧第二阀组13b包含设置在通过第二浓度测量部20b而朝向三通阀22延伸的第二循环液路P2的开闭阀130b。
上游侧第一阀组12a中所含的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a中所含的开闭阀130a的组构成为进行第一循环液路P1(第一处理液路)的开闭的第一阀机构。另外，上游侧第二阀组12b中所含的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b中所含的开闭阀130b的组构成为进行第二循环液路P2(第二处理液路)的开闭的第二阀机构。
虽图1中未示出，但上游侧第一阀组12a、上游侧第二阀组12b、下游侧第一阀组13a和下游侧第二阀组13b包含进行其他液路的开闭的多个开闭阀。具体而言，如图2A所示，除了第一循环液路P1之外，还形成有通过第一浓度测量部20a的两个液路Pc1、Pp1，除了第二循环液路P2之外，还形成有通过第二浓度测量部20b的两个液路Pc2、Pp2。液路Pc1是从第一浓度测量部20a中的浓度计的校正中所用的校正液的液源通过第一浓度测量部20a而朝向排出部延伸的液路，构成第一校正液路Pc1。另外，可以使用与处理液同成分的液体作为上述校正液。向第一校正液路Pc1中供给浓度已知的校正液。另外，至少通过浓度计时的校正液的浓度已知即可，可以从校正液的液源直接供给校正液，也可以将来自液源的校正液调整为规定浓度后进行供给。液路Pc2是从同样的校正液的液源通过第二浓度测量部20b而朝向排出部延伸的液路，流过该液路Pc2的校正液也用于第二浓度测量部20b中的浓度计的校正，构成第二校正液路Pc2。液路Pp1是从纯水的液源通过第一浓度测量部20a而朝向排出部延伸的液路，构成第一清洗液路Pp1。液路Pp2是从同样的纯水的液源通过第二浓度测量部20b而朝向排出部延伸的液路，构成第二清洗液路Pp2。
上游侧第一阀组12a包含设置在第一清洗液路Pp1的开闭阀121a和设置在第一校正液路Pc1的开闭阀122a。下游侧第一阀组13a也包含设置在第一清洗液路Pp1的开闭阀131a和设置在第一校正液路Pc1的开闭阀132a。另外，上游侧第二阀组12b包含设置在第二清洗液路Pp2的开闭阀121b和设置在第二校正液路Pc2的开闭阀122b。下游侧第二阀组13b也包含设置在第二清洗液路Pp2的开闭阀131b和设置在第二校正液路Pc2的开闭阀132b。
上游侧第一阀组12a的开闭阀122a和下游侧第一阀组13a的开闭阀132a的组构成为对第一校正液路Pc1进行开闭的第三阀机构。上游侧第二阀组12b的开闭阀122b和下游侧第二阀组13b的开闭阀132b的组构成为对第二校正液路Pc2进行开闭的第四阀机构。另外，上游侧第一阀组12a的开闭阀121a和下游侧阀组13a的开闭阀131a的组构成为对第一清洗液路Pp1进行开闭的第五阀机构，上游侧第二阀组12b的开闭阀121b和下游侧第二阀组13b的开闭阀组131b的组构成为对第二清洗液路Pp2进行开闭的第六阀机构。
第一浓度测量部20a例如如图2B所示那样构成，另外，第二浓度测量部20b例如如图2C所示那样构成。
如图2B所示，第一浓度测量部20a具有第一浓度计201a、上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a。如上所述，设置有上游侧第一阀组12a和下游侧第一阀组13a的第一循环液路P1、第一校正液路Pc1和第一清洗液路Pp1这三个液路在第一浓度测量部20a内在上游侧并列地与上流侧第一切换阀202a连接，并且在下游侧并列地与下游侧第一切换阀203a连接，从而合并为将这些上游侧第一切换阀202a与下游侧第一切换阀203a结合的一个液路Pm1。并且，在液路Pm1的部分设置有第一浓度计201a。
在这样的第一浓度测量部20a中，当通过上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a的切换动作而使液路Pm1与第一循环液路P1连通时，流过第一循环液路P1的处理液会流过液路Pm1。由此，能够通过第一浓度计201a对流过液路Pm1的处理液的浓度、即流过第一循环液路P1的处理液的浓度进行测量。另外，当通过上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a的切换动作而使液路Pm1与第一校正液路Pc1连通时，流过第一校正液路Pc1的校正液会流过液路Pm1，从而能够进行第一浓度计201a的校正。另外，当通过上游侧第一切换阀201a和下游侧第一切换阀203a的切换动作而使液路Pm1与第一清洗液路Pp1连通时，流过第一清洗液路Pp1的清洗液会流过液路Pm1，从而能够利用该清洗液对液路Pm1和第一浓度计201a进行清洗。
另外，如图2C所示，第二浓度测量部20b具有第二浓度计201b、上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b。如上所述，设置有上游侧第二阀组12b和下游侧第二阀组13b的第二循环液路P2、第二校正液路Pc2和第二清洗液路Pp2这三个液路在第二浓度测量部20b内在上游侧并列地与上游侧第二切换阀202b连接，并且在下游侧并列地与下游侧第二切换阀203b连接，从而合并成将这些上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b结合的液路Pm2。并且，在液路Pm2的部分设置有第二浓度计201b。
在这样的第二浓度测量部20b中，当通过上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b的切换动作而使液路Pm2与第二循环液路P2连通时，流过第二循环液路P2的处理液会流过液路Pm2，从而能够通过第二浓度计201b对流过液路Pm2的处理液的浓度、即流过第二循环液路P2的处理液的浓度进行测量。另外，当通过上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b的切换动作而使液路Pm2与第二校正液路Pc2连通时，流过第二校正液路Pc2的校正液会流过液路Pm2，从而能够进行第二浓度计201a的校正。另外，当通过上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b的切换动作而使液路Pm2与第二清洗液路Pp2连通时，流过第二清洗液路Pp2的清洗液会流过液路Pm2，从而能够利用该清洗液对液路Pm2和第二浓度计201b进行清洗。
设置在第一浓度测量部20a的第一浓度计201a和设置在第二浓度测量部20b的第二浓度计201b利用不同的测定原理对流过这些浓度测量部20a、20b的处理液(校正液)的浓度进行测定，并输出与该测定浓度对应的测定信号。即，第一浓度计201a和第二浓度计201b利用不同的测定原理对分别流过第一循环液路P1和第二循环液路P2的处理液(更详细而言，分别流过液路Pm1和Pm2的处理液)的浓度进行测定。作为第一浓度计201a(参照图2B)，例如可以使用根据作为对象的液体的电导率来对浓度进行测定的浓度计。作为第二浓度计201b，例如如图2C所示，可以使用由夹着液路Pm2的透明部TP而设置的激光光源和受光部构成、对作为对象的液体的浓度进行光学测定的浓度计。除此之外，作为第一浓度计201a和第二浓度计201b，例如可以使用利用超声波对浓度进行测定的浓度计、利用红外线对浓度进行测定的浓度计等。
另外，第一浓度计201a和第二浓度计201b对处理液中的在第一供给罐11a或第二供给罐11b(包含在处理液调整部)的浓度调整所涉及的相同成分的浓度进行测定来作为该处理液的浓度。例如在处理液是为磷酸水溶液的蚀刻处理液，进行该蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整来作为该处理液的浓度调整的情况下，第一浓度计201a和第二浓度计201b对蚀刻处理液中的磷酸的浓度进行测定来作为该处理液的浓度。另外，通常即使在处理液含有多种成分的情况下，第一浓度计201a和第二浓度计201b也对第一供给罐11a或第二供给罐11b(包含在处理液调整部)的浓度调整所涉及的相同成分的浓度进行测定来作为处理液的浓度。
另外，可能存在下述情况：第一浓度计201a和第二浓度计201b的至少任一方能够进行多种成分(例如，磷酸的浓度和水分浓度)的浓度测定。在一个浓度计进行包含浓度调整所涉及的成分在内的多种成分的浓度测定的情况下，另一个浓度计至少进行所述浓度调整所涉及的成分的浓度测定即可。由此，在第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方中，至少能够进行所述浓度调整所涉及的成分的浓度测定，能够根据第一浓度计201a和第二浓度计201b中的至少一方的测定浓度来进行处理液中的成分浓度的调整。
如上述那样构成的处理液生成装置的控制系统例如如图3所示那样构成。
在图3中，该处理液供给装置具有控制单元30。控制单元30对第一浓度测量部20a的上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a进行驱动控制，对第二浓度测量部20b的上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b进行驱动控制，以使得在第一浓度测量部20a(参照图2B)中液路Pm1与第一循环液路P1连通，在第二浓度测量部20b(参照图2C)中液路Pm2与第二循环液路P2连通。在该状态下，控制单元30一边对来自累积流量计14a的处理液(例如，为磷酸水溶液的蚀刻处理液)的流量信息和来自累积流量计15a的稀释液(例如，纯水)的流量信息进行监视，一边根据第一浓度测量部20a(第一浓度计201a：参照图2B)和第二浓度测量部20b(第二浓度计201b：参照图2C)的测定浓度(例如，磷酸的测定浓度)对驱动电路31a进行控制，其中，该驱动电路31a对设置在将处理液和稀释液供给至第一供给罐11a的两个液路上的调整阀16a、17a进行驱动。由此，对在第一供给罐11a内生成的处理液的浓度(例如，磷酸的浓度)进行调整。另外，控制单元30一边对来自累积流量计14b的处理液的流量信息和来自累积流量计15b的稀释液的流量信息进行监视，一边根据第一浓度测量部20a和第二浓度测量部20b中的测定值来对驱动电路31b进行控制，其中，该驱动电路31b对设置在将处理液和稀释液供给至第二供给罐11b的两个液路上的调整阀16b、17b进行驱动。由此，对在第二供给罐11b内生成的处理液的浓度进行调整。另外，对于该浓度调整的详细内容在后文进行叙述。
控制单元30为了将对旋转装置100(喷嘴111)的处理液的供给源切换至第一供给罐11a和第二供给罐11b中的任意一个，而对驱动电路34a进行控制，该驱动电路34a对处理液供给和回收系统的三通阀23进行切换驱动。另外，控制单元30为了将从旋转装置100返回到回收罐10的使用完的处理液的输送目的地切换至第一供给罐11a和第二供给罐11b中的任意一个，而对驱动电路34a进行控制，该驱动电路34a对处理液供给和回收系统的三通阀24进行切换驱动。
控制单元30为了将通过第一浓度测量部20a和第二浓度测量部20b进行循环并要进行浓度调整的处理液的贮存源切换至第一供给罐11a和第二供给罐11b中的任意一个，而对驱动电路34b进行控制，该驱动电路34b对生成循环系统的三通阀21、22进行切换控制。在进行该浓度调整时，控制单元30对驱动电路33a进行控制，该驱动电路33a进行设置在第一循环液路P1(参照图2A)的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a的开闭驱动。另外，此时控制单元30对驱动电路33b进行控制，该驱动电路33b进行设置在第二循环液路P2(参照图2A)的上游侧第二阀组12b的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b的开闭阀130b的开闭驱动。
另外，控制单元30在第一浓度测量部20a的第一浓度计201a的校正时对驱动电路33a进行控制，该驱动电路33a进行设置在第一校正液路Pc1(参照图2)的上游侧第一阀组12a的开闭阀122a和下游侧第一阀组13a的开闭阀132a的开闭驱动以及设置在第一清洗液路Pp1(参照图2)的上游侧第一阀组12a的开闭阀121a和下游侧第一阀组13a的开闭阀131a的开闭驱动。此时，控制单元30进行上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203b的切换控制，以在第一浓度测量部20a(参照图2B)中对液路Pm1与第一校正液路Pc1连通的状态和液路Pm1与第一清洗液路Pp1连通的状态进行切换。另外，控制单元30在第二浓度测量部20b的第二浓度计201b的校正时对驱动电路33b进行控制，该驱动电路33b进行设置在第二校正液路Pc2(参照图2)的上游侧第二阀组12b的开闭阀122b和下游侧第二阀组13b的开闭阀132b的开闭驱动以及设置在第二清洗液路Pp2(参照图2A)的上游侧第二阀组12b的开闭阀121b和下游侧第二阀组13b的开闭阀131b的开闭驱动。此时，控制单元30进行上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b的切换控制，以在第二浓度测量部20b(参照图2C)中对液路Pm2与第二校正液路Pc2连通的状态和液路Pm2与第二清洗液路Pp2连通的状态进行切换。另外，控制单元30对使第一泵18a驱动的驱动电路35a和使第二泵18b驱动的驱动电路35b进行控制。另外，控制单元30对进行开闭阀19a的开闭驱动的驱动电路32a和进行开闭阀19b的开闭驱动的驱动电路32b进行控制。
控制单元30按照图4A和图4B所示的步骤对在第一供给罐11a和第二供给罐11b中生成的处理液(例如，作为蚀刻处理液的磷酸水溶液)进行浓度调整所涉及的处理。另外，以下对在第一供给罐11a中生成的处理液的浓度调整所涉及的处理进行说明，对于在第二供给罐11b中生成的处理液的浓度调整所涉及的处理也采用同样的步骤进行。
控制单元30对来自累积流量计14a、15a的流量信息进行监视，并使调整阀16a、17a处于打开状态，当规定量的处理液(原液)和稀释液贮存在第一供给罐11a时，使调整阀16a、17a处于关闭状态。然后，控制单元30在使开闭阀19a处于打开状态并将三通阀21、23的第一供给罐11a侧关闭的状态下使第一泵18a驱动。由此，从第一供给罐11a出来的处理液和稀释液通过设置有开闭阀19a的循环液路而返回到第一供给罐11a进行循环。在该过程中，在第一供给罐11a内生成处理液与稀释液混合而进行了稀释化的处理液。在第一供给罐11a内，使处理液与稀释液混合而对处理液的浓度(例如，蚀刻液中的磷酸浓度)进行调整的整个结构、即在第一供给罐11a内生成处理液时相关的结构作为处理液调整部发挥功能。
然后，控制单元30将开闭阀19a切换至关闭状态，并且将循环系统的三通阀21、22切换至第一供给罐11a侧。另外，此时控制单元30使设置在第一循环液路P1的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a(第一阀机构：参照图2A)处于打开状态并且使设置在第二循环液路P2的上游侧第二阀组12b的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b的开闭阀130b(第二阀机构：参照图2A)处于打开状态。在该状态下，从第一供给罐11a出来的处理液并列地通过第一循环液路P1和第二循环液路P2而返回到第一供给罐11a中进行循环。
这样，当处理液通过第一循环液路P1和第二循环液路P2的循环开始时，控制单元30按照图4A和图4B所示的步骤开始进行处理。
在图4A中，控制单元30对第一浓度测量部20a(第一浓度计201a：参照图2B)和第二浓度测量部20b(第二浓度计201b：参照图2C)是否在校正中进行确认(S11、S12)，若第一浓度测量部20a和第二浓度测量部20b这双方不在校正中(S11中为“否”、S12中为“否”)，则获取基于来自第一浓度计201a(第一浓度测量部20a)的测定信号的浓度C1以及基于来自第二浓度计201b(第二浓度测量部20b)的测定信号的浓度C2(S13、S14)。然后，控制单元30根据这两个测定浓度C1、C2来对第二浓度计201b是否正常(S15：第二判定部(处理液用阀控制部))以及第一浓度计201a是否正常(S16：第一判定部(处理液用阀控制部))进行判定。
第一浓度计201a和第二浓度计201b对相同的处理液的浓度(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度)进行测定，因此测定浓度原本相同。因此，若第一浓度计201a的测定浓度C1与第二浓度计201b的测定浓度C2之差在预先设定的规定范围内，则能够判定为第一浓度计201a和第二浓度计201b正常。另一方面，进行循环的处理液的浓度急剧变动的可能性低。并且，第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方同时发生故障的可能性也低。特别是由于第一浓度计201a的浓度测定原理和第二浓度计201b的浓度测定原理不同，因此在同样的环境下使用的第一浓度计201a和第二浓度计201b同时发生故障的可能性更低。因此，在一个浓度计的测定浓度的推移稳定的状态下，另一个浓度计的测定浓度急剧变动的情况下(例如，从一个浓度计和另一个浓度计分别获得的测定浓度之差超过预先设定的规定范围、而且利用另一个浓度计所测定的浓度的每单位时间的变动幅度超过预先设定的允许值的情况，或者另一个浓度计的测定浓度的每单位时间的变动幅度超过预先设定的允许值的情况)，能够判定为该另一个浓度计不正常。即，在本实施方式中，关于浓度计，具有自诊断功能。另外，在第一浓度计201a的测定浓度C1和第二浓度计201b的测定浓度C2都急剧变动的情况下，若测定浓度C1与C2之差在预先设定的允许范围内，则能够判定为：第一浓度计201a、第二浓度计201b都正常，且第一供给罐11a中的处理液的浓度调整存在不良情况。
当判定为第二浓度计201b和第一浓度计201a这双方正常时(S15中为“是”、S16中为“是”)，控制单元30根据来自第一浓度计201a的测定浓度C1进行处理液的浓度调整处理(S17)。具体而言，控制单元30一边对累积流量计14a、15b中的流量信息进行监视一边对调整阀16a、17a的开关闭状态进行调整，以使得测定浓度C1达到目标浓度。然后，控制单元30对是否满足用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件，例如下述条件进行判定：经过了规定时间、或者测定浓度C1达到以目标浓度为中心的规定浓度范围等条件(S18)。当判定为不满足用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件时(S18中为“否”)，控制单元30按照与上述的步骤同样的步骤(S11～S18)执行处理。而且，控制单元30在第一浓度计201a和第二浓度计201b正常的状况下，按照同样的步骤(S11～S18)反复执行该处理。其结果是，根据第一浓度计201a的测定浓度C1，在第一供给罐11a(处理液调整部)内进行处理液的浓度调整(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整)，从而生成被调整为预先设定的目标浓度的处理液(具体而言，磷酸的浓度被调整为目标浓度的蚀刻处理液)。而且，当满足处理液的浓度调整用的循环开始后经过了规定时间、或测定目标C1达到了以目标浓度为中心的规定浓度范围等的用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件时(S18中为“是”)，控制单元30使第一泵18a停止，将设置在第一循环液路P1的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a(第一阀机构：参照图2A)切换至关闭状态，并且将设置在第二循环液路P2的上游侧第二阀组12b的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b的开闭阀130b(第二阀机构：参照图2A)切换至关闭状态。由此，第一供给罐11a内的处理液的浓度调整用的循环停止。
在上述的处理过程中，当控制单元30在第二浓度计201b的测定浓度C2稳定的状态下根据第一浓度计201a的测定浓度C1急剧变动的状况(例如，从第一浓度计201a和第二浓度计201b分别获得的测定浓度之差超过预先设定的规定范围，并且利用第一浓度计201a所检测的浓度C1的每单位时间的变动幅度超过预先设定的允许值的状况)等，判定为第一浓度计201a不正常(S16中为“否”)时，将设置在第一循环液路P1的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a(第一阀机构：参照图2A)切换至关闭状态(作为第一阀控制部(处理液用阀控制部)的功能)后，并行地开始第一浓度计201a的校正处理(S20)。在该状态下，通过上述的第一浓度测量部20a(参照图2B)中的上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a的切换动作来进行第一浓度计201a的校正处理，而不将处理液供给至第一浓度计201a(液路Pm1)。另外，对于校正处理在后文进行叙述。然后，当控制单元30判定为不满足用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件时(S18中为“否”)，进一步对第一浓度计201a是否在校正中进行判定(S11)。
由于开始了第一浓度计201a的校正处理，因此当控制单元30判定为第一浓度计201a在校正中时(S11中为“是”)，转移至图4B所示的步骤，对第二浓度计201b(第二浓度测量部20b：参照图2C)是否在校正中进行判定(S21)。若第二浓度计201b不在校正中(S21中为“否”)，则控制单元30根据是否维持第二浓度计201b的测定浓度C2稳定的状态(例如，利用第二浓度计201b所检测的浓度C2的每单位时间的变动幅度是否超过预先设定的允许值)来对第二浓度计201b是否正常进行判定(S22)。当判定为第二浓度计201b正常时(S22中为“是”)，控制单元30从第二浓度计201b获取基于测定信号的浓度C2(S23)，根据该测定浓度C2，进行处理液的浓度调整处理(S24)。具体而言，控制单元30一边对累积流量计14a、15a中的流量信息进行监视一边对调整阀16a、17a的开关闭状态进行调整，以使得测定浓度C2达到目标浓度。然后，控制单元30返回到图4A的步骤，对是否满足用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件进行判定(S18)，当不满足用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件时(S18中为“否”)，控制单元30按照与上述的步骤同样的步骤执行处理。在该情况下，由于第一浓度计201a在校正中，因此根据第二浓度计201b的测定浓度C2，在第一供给罐11a(处理液调整部)内进行处理液的浓度调整，从而生成该调整后的浓度的处理液(具体而言，含有调整后的浓度的磷酸的蚀刻处理液)。然后，当满足测定浓度C2达到以目标浓度为中心的规定浓度范围等的用于使处理液的浓度调整用的循环结束的条件时(S18中为“是”)，控制单元30同样地使第一泵18a停止等，从而使处理液的浓度调整用的循环结束(S19)
另外，当在如上所述根据第二浓度计201b的测定浓度C2在第一供给罐11a内进行处理液的浓度调整(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整)的状况下第一浓度计201a的校正处理结束时，控制单元30判定为第一浓度计201a(第一浓度测量部20a)和第二浓度计201b(第二浓度测量部20b)双方不在校正中(S11中为“否”，S12中为“否”)，因此将处于关闭状态的设置在第一循环液路P1的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a(第一阀机构：参照图2A)切换至打开状态后，反复执行与上述的处理的步骤同样的步骤(S11～S18)。其结果是，再次根据第一浓度计201a的测定浓度C1，在第一供给罐11内进行处理液的浓度调整。
另外，在第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方正常且根据第一浓度计201a的测定浓度C1来进行浓度调整处理的过程(S11～S18)中，例如当在维持了该测定浓度C1的稳定的状态下，根据测定浓度C2急剧变动(这是例如从第一浓度计201a和第二浓度计201b分别获得的浓度之差超过预先设定的规定范围，而且利用第二浓度计201b所检测的浓度C2的每单位时间的变动幅度超过预先设定的允许值)判定为第二浓度计201b不正常时(S15中为“否”)，控制单元30将设置在第二循环液路P2的上游侧第二阀组12b的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b的开闭阀130b(第二阀机构：参照图2A)切换至关闭状态(作为第二阀控制部(处理液用阀控制部)的功能)后，进行上述的第二浓度测量部20b(参照图2C)中的上游侧第二切换阀202b和下游侧第二切换阀203b的切换动作，并行地开始第二浓度计201b的校正处理(S25)。然后，控制单元30对第一浓度计201a不在校正中且第二浓度计201b在校正中进行确认(S11中为“否”，S12中为“是”)，并获取基于来自第一浓度计201a的测定信号的浓度C1(S26)，对维持了该测定浓度C1稳定的状态(该情况是例如利用第一浓度计201a所检测的浓度C1的每单位时间的变动幅度未超过预先设定的允许值)、即第一浓度计201a正常的情况进行确认(S16中为“是”)，并根据测定浓度C1进行第一供给罐11a中的处理液的浓度调整处理(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整处理)(S17)。
另外，当第一浓度计201a在校正中，且测定浓度C2稳定的第二浓度计201b的该测定浓度C2急剧变动(例如利用第二浓度计201b所检测的浓度C2的每单位时间的变动幅度超过预先设定的允许值等)，从而被判定为第二浓度计201b不正常时(图4B的S22中为“否”)，控制单元30进一步将设置在第二循环液路P2的上游侧第二阀组12b的开闭阀120b和下游侧第二阀组13b的开闭阀130b(第二阀机构：参照图2A)切换至关闭状态后，并行地开始第二浓度计201b的校正处理(S27)。在该状况下，第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方在校正中，因此控制单元30使第一泵18a停止等，从而使处理液的浓度调整用的循环结束(S19)。另外，当判定为第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方在校正中时(图4A的S11中为“是”，图4B的S21中为“是”)，该情况下控制单元30也使第一泵18a停止等，从而使处理液的浓度调整用的循环结束(S19)
在按照上述那样的步骤对浓度进行调整而生成处理液的装置(处理液生成装置)中，即使判定为第一浓度计201a不正常，也能根据判定为正常的第二浓度计201b的测定浓度C2来持续进行处理液的浓度调整(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整)的处理，因此能够防止持续进行基于不正常的浓度计的测定浓度的处理液的浓度调整，从而能够提高该生成的处理液的浓度的可靠性。
另外，即使一个浓度计在校正中时，也能够使用另一个浓度计测量准确的浓度，因此能够持续进行而不会使处理液的浓度调整中断。
另外，即使一个浓度计发生故障，也能根据另一个浓度计的测定浓度来持续进行浓度调整的处理，因此能够提高处理液的浓度调整所涉及的处理的效率。
另外，在上述的处理中，在第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方正常的情况下，根据第一浓度计201a的测定浓度C1进行了浓度调整的处理(参照S17)，但也可以根据第一浓度计201a和第二浓度计201b这双方的测定浓度C1、C2、例如根据它们的平均值来进行浓度调整的处理。
上述的校正处理按照图5所示的步骤进行。另外，利用第一浓度测量部20a(参照图2B)的第一浓度计201a和第二浓度测量部20b(参照图2C)的第二浓度计201b这双方进行校正处理，但由于它们的校正处理相同，因此以下以第一浓度测量部20a(参照图2B)的第一浓度计201a的校正处理为例进行说明。
控制单元30将设置在第一循环液路P1的上游侧第一阀组12a的开闭阀120a和下游侧第一阀组13a的开闭阀130a(第一阀机构：参照图2)切换至关闭状态后，按照图5所示的步骤执行处理。在图5中，控制单元30使设置在第一清洗液路Pp1的上游侧第一阀组12a的开闭阀121a和下游侧第一阀组13a的开闭阀131a(第五阀机构：参照图2)处于打开状态，并且使上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a动作，以使第一浓度测量部20a中的液路Pm1与第一清洗液路Pp1连通。而且，在使清洗液(例如，纯水)流入该第一清洗液路Pp1规定时间之后，将开闭阀121a、131a(第五阀机构)切换至关闭状态(S31(1))。由此，通过第一清洗液路Pp1的清洗液流过第一浓度测量部20a的设置有第一浓度计201a的液路Pm1，从而对第一浓度计20a(浓度检测部)与该液路Pm1一起进行清洗。
然后，控制单元30将设置在第一清洗液路Pp1的所述开闭阀121a和131a切换至关闭状态，然后使设置在第一校正液路Pc1的上游侧第一阀组12a的开闭阀122a和下游侧第一阀组13a的开闭阀132a(第三阀机构：参照图2A)处于打开状态(作为第一校正液用阀控制部(相当于第二校正液用阀控制部)的功能)，并且使上游侧第一切换阀202a和下游侧第一切换阀203a动作，以使设置有第一浓度计201a的液路Pm1与第一校正液路Pc1连通。而且，使浓度已知的第一校正液Lc1流入该第一校正液路Pc1(S32(1))。由此，通过第一校正液路Pc1的第一校正液Lc1流过第一浓度测量部20a的设置有第一浓度计20a(浓度检测部)的液路Pm1。在该状态下，控制单元30获取从第一浓度计201a输出的测定信号的值(例如，等级值)(S33(1))。然后，控制单元30停止第一校正液Lc1的供给(S34(1))。
然后，一边依次切换浓度不同的校正液一边反复执行同样的处理(S31(n)～S34(n))直至第n次的校正液Lcn为止。而且，控制单元30根据各校正液Lc1～Lcn的浓度与所对应的测定信号的值之间的关系(相关关系)，生成测定信号值与浓度的对应信息(S35：第一校正处理部(相当于第二校正处理部))。而且，控制单元30根据该对应信息来对针对第一浓度计201a进行存储的测定信号值与浓度的对应表进行更新。这样，在本实施方式中，关于判定为不正常的浓度计，具有自校正功能。结束了这样的校正处理的控制单元30参照该对应表而获取基于来自第一浓度计201a的测定信号的浓度C1。
另外，在本实施方式中，对于浓度计的自校正功能，对依次使用浓度不同的校正液来对各测定信号值与浓度的对应表进行更新的例子进行了说明。但是，校正功能例如可以仅使用浓度已知的特定浓度的校正液来实现。例如，在第一清洗液路Pp1与液路Pm1连通的状态下流入预先设定的规定时间的清洗液后，使第一校正液路Pc1与液路Pm1连通，使特定浓度的校正液流入液路Pm1。在该状态下控制单元30获取从第一浓度计201a输出的测定信号的值。而且，若第一浓度计201a所测定的浓度C1与流入液路Pm1的特定浓度一致，则能够判断为：对附着在浓度计的电极或设置有浓度计的流路内表面的垃圾等进行了去除，校正成了正常的。可以将这样的处理功能作为校正功能。另外，也可以是，在第一浓度计201a所测定的浓度C1与流入液路Pm1的特定浓度不一致的情况下，以预先设定的次数为上限而反复向液路Pm1供给清洗液和供给校正液。
当上述那样的校正处理结束时，控制单元30将设置在第一校正液路Pc1的开闭阀122a和132a切换至关闭状态，然后将设置在第一循环液路P1的开闭阀120a、130a切换至打开状态(第一阀恢复控制构件(相当于第二阀恢复控制构件))。由此，能够使第一浓度测量部20a的第一浓度计201a恢复处理液的浓度调整。
在图1所示的基板处理装置中，如上述那样当第一供给罐11a中的处理液的浓度调整(具体而言，蚀刻处理液中的磷酸的浓度调整)结束时，三通阀21、22被切换至第二供给罐11b(处理液调整部)侧，并且三通阀23、24被切换至第一供给罐11a侧。在该状态下，通过第一泵18a的动作，将在第一供给罐11a内进行浓度调整而生成的处理液(具体而言，蚀刻处理液)从该第一供给罐11a供给至旋转装置100(喷嘴111)，在旋转装置100内利用从第一供给罐11a供给的处理液进行半导体晶片W的表面的处理(蚀刻处理)。而且，从旋转装置100回收的使用完的处理液经由回收罐10而返回到第一供给罐11a。
这样，在从第一供给罐11a向旋转装置100供给处理液的状态下，在第二供给罐11b中，按照上述的步骤(参照图4A、图4B等)进行处理液的浓度调整所涉及的处理，从而生成达到规定的浓度的处理液。然后，使第一供给罐11a和第二供给罐11b中的处理液的浓度调整和处理液向旋转装置100的供给相互切换着持续进行。
在按照上述那样的步骤进行校正处理的装置(处理液生成装置)中，即使是判定为不正常的浓度计，也能够有效利用自校正功能而自恢复，从而能够提高处理液的浓度的可靠性。并且，还具有之前所说的自诊断功能，因此能够始终提高处理液的可靠性。
另外，由于单独地具有在对浓度计自身或设置有浓度计的液路内表面进行清洗时所使用的清洗液路，因此在浓度计的校正中能够防止在对该浓度计进行清洗时附着到该浓度计的传导板(电极)和液路内表面的垃圾混入到处理液流动的循环液路或校正液流动的校正液路。
另外，在上述实施方式中，第一浓度计201a和第二浓度计201b使用通过不同的测定原理对处理液的浓度进行测定的浓度计。但是，若考虑到两个浓度计同时不正常的概率较低，则也可以是相同原理的浓度计。
另外，在图2A中，单独地设置有第一循环液路P1、第一校正液路Pc1、第一清洗液路Pp1，但也可以是，采用具有三通阀的单一配管来对第一浓度测量部20a交替流入处理液、校正液、纯水。对于针对第二浓度计20b单独设置的第二循环液路P2、第二校正液路Pc2、第二清洗液路Pp2也是同样的。
另外，在上述实施方式中，作为第一浓度计201a(参照图2B)的例子，对基于电导率的浓度计的例子进行了说明，作为第二浓度计201b(参照图2C)的例子，对使用了激光的例子进行了说明。在该情况下，当利用清洗液进行浓度计的清洗时，关于第一浓度计201a，例如进行第一浓度计201a具有的传导板(电极)的清洗等，关于第二浓度计201b，利用清洗液对液路内表面进行清洗。
另外，在上述实施方式中，作为处理液，以蚀刻液(例如，磷酸水溶液)为例，但若是检测浓度并进行处理的处理液，则也可以应用抗蚀剂剥离液等其他处理液。另外，处理液可以包含纯水以外的多种成分。在该情况下，各浓度计可以对所有的成分的浓度进行测定，也可以对一个或多个部分成分各自的浓度进行测定。
在上述的装置中，使用了第一浓度计201a和第二浓度计201b这两个浓度计，但也可以使用三个以上浓度计。在该情况下，可以将这三个以上浓度计中的任意一个作为第一浓度计，将另一个作为第二浓度计，另外，也可以将任意一个作为第一浓度计或第二浓度计，将剩下的浓度计的组作为第二浓度计或第一浓度计。
在上述的装置中，各开闭阀、三通阀、调整阀通过利用控制单元30进行控制的驱动电路进行切换，但这些阀也可以利用手动进行切换。在该情况下，操作者一边对第一浓度计201a和第二浓度计201b的测定浓度进行观察一边按照与上述的步骤同样的步骤对各阀进行切换。
另外，在上述的装置中，为如下的结构：当结束了浓度调整的处理液从供给罐11a(11b)供给至旋转装置100时，使用完的处理液作为回收液返回到供给罐11a(11b)。在这样的结构中，优选在从供给罐11a(11b)向旋转装置100供给处理液时，也进行供给罐11a(11b)内的处理液的浓度调整。在该情况下，例如在将三通阀23、24切换至第一供给罐11a侧而将第一供给罐11a内的处理液供给至旋转装置100时，三通阀21、22也切换至第一供给罐11a侧。将三通阀21、22切换至第一供给罐11a侧后的第一供给罐11a内的处理液的浓度调整、浓度计的自校正功能与使用图4A、图4B、图5进行说明的动作同样。另外，从第二供给罐11b向旋转装置100供给处理液时也是同样的。若这样构成，则不仅在开始向旋转装置100供给处理液时，而且在供给中也进行浓度管理，从而能够利用持续进行浓度管理的处理液适当地对基板处理进行处理。另外，若两个浓度计201a、201b中的至少一方正常，则能够持续向旋转装置100供给处理液，并且在该期间还能够实施被判断为不正常的浓度计的校正，也有助于成品率提高。
以上，对本发明的几个实施方式和各部分的变形例进行了说明，但该实施方式或各部分的变形例作为一例进行提示，并未打算对发明的范围进行限定。上述的这些新颖的实施方式可以利用其他各种方式实施，可以在不脱离发明的主旨的范围内进行各种省略、置换、变更。这些实施方式或其变形也包含在发明的范围或主旨中，并且也包含在权利要求书所记载的发明中。

Claims (12)

1.一种处理液生成装置，其生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液，其中，
该处理液生成装置具有：
处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；
第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；
第二处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；
第一浓度计，其对作为流过所述第一处理液路的所述处理液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；
第二浓度计，其对作为流过所述第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；
第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及
第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭。
2.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
所述第一处理液路包含第一循环液路，该第一循环液路使所述处理液从所述处理液调整部通过所述第一浓度计而返回到该处理液调整部，
所述第二处理液路包含第二循环液路，该第二循环液路使所述处理液从所述处理液调整部通过所述第二浓度计而返回到该处理液调整部。
3.根据权利要求1或2所述的处理液生成装置，其中，
所述第一浓度计和所述第二浓度计利用不同的测定原理对所述处理液的浓度进行测定。
4.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第一校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第一浓度计；
第二校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第二浓度计；
第三阀机构，其对所述第一校正液路进行开闭；以及
第四阀机构，其对所述第二校正液路进行开闭。
5.根据权利要求1所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有处理液用阀控制部，该处理液用阀控制部根据从所述第一浓度计获得的第一测定浓度和从所述第二浓度计获得的第二测定浓度对所述第一阀机构和所述第二阀机构的动作进行控制。
6.根据权利要求5所述的处理液生成装置，其中，
所述处理液用阀控制部具有：
第一判定部，其根据所述第一测定浓度和所述第二测定浓度中的至少第一测定浓度对所述第一浓度计是否正常进行判定；以及
第一阀控制部，当由该第一判定部判定为所述第一浓度计不正常时，所述第一阀控制部对所述第一阀机构进行控制，以使得所述第一处理液路处于关闭状态。
7.根据权利要求5或6所述的处理液生成装置，其中，
所述处理液用阀控制部具有：
第二判定部，其根据所述第一测定浓度和所述第二测定浓度中的至少第二测定浓度对所述第二浓度计是否正常进行判定；以及
第二阀控制部，当由该第二判定部判定为所述第二浓度计不正常时，所述第二阀控制部对所述第二阀机构进行控制，以使得所述第二处理液路处于关闭状态。
8.根据权利要求6所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第一校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第一浓度计；
第三阀机构，其对所述第一校正液路进行开闭；
第一校正液用阀控制部，当由所述第一判定部判定为所述第一浓度计不正常时，所述第一校正液用阀控制部对所述第三阀机构进行控制，以使得所述第一校正液路处于打开状态；以及
第一校正处理部，在流过所述第一校正液路的校正液通过所述第一浓度计时，所述第一校正处理部根据该第一浓度计的输出值进行该第一浓度计的校正。
9.根据权利要求7所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第二校正液路，其使浓度已知的校正液流入所述第二浓度计；
第四阀机构，其对所述第二校正液路进行开闭；
第二校正液用阀控制部，当由所述第二判定部判定为所述第二浓度计不正常时，所述第二校正液用阀控制部对所述第四阀机构进行控制，以使得所述第二校正液路处于打开状态；以及
第二校正处理部，在流过所述第二校正液路的校正液通过所述第二浓度计时，所述第二校正处理部根据该第二浓度计的输出值进行所述第二浓度计的校正。
10.根据权利要求8所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第一阀恢复控制构件，在所述第一校正处理部对所述第一浓度计的校正结束后，所述第一阀恢复控制构件使所述第一处理液路恢复到打开状态。
11.根据权利要求9所述的处理液生成装置，其中，
该处理液生成装置具有：
第二阀恢复控制构件，在所述第二校正处理部对所述第二浓度计的校正结束后，所述第二阀恢复控制构件使所述第二处理液路恢复到打开状态。
12.一种基板处理装置，
该基板处理装置具有：
处理液生成装置，其生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液；
工作台，其对基板进行保持；
驱动机构，其使所述工作台旋转；以及
处理液供给机构，其向与所述工作台一起旋转的所述基板的表面供给由所述处理液生成装置生成的处理液，
所述处理液生成装置具有：
处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；
第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；
第二处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；
第一浓度计，其对作为流过所述第一处理液路的所述处理液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；
第二浓度计，其对作为流过所述第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；
第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及
第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭。
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