CN107662008A - 钛防着板的加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种钛防着板的加工方法，包括：提供钛工件；对所述钛工件进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。其中，所述钛防着板的加工方法中，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。所述粗加工的吃刀量较小，则所述钛工件承受的背向力较小，从而不容易引起钛工件的变形。

Description

钛防着板的加工方法

技术领域

本发明涉及防着板制备领域，尤其涉及一种钛防着板的加工方法。

背景技术

溅射工艺是通过磁控溅射、多弧离子镀或其它类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的技术。然而，在溅射过程中，溅射出的靶材原子或大尺寸颗粒，容易飞向溅镀机的内壁，影响溅镀室机内壁的清洁。

为了避免溅射出的靶材原子或大尺寸颗粒影响溅镀机内壁的清洁，通常在溅镀机中加入防着板。所述防着板为面积较大，厚度较小的薄板结构。所述防着板中具有连接孔和凹槽，防着板通过所述连接孔和凹槽安装于溅镀机内壁上。所述防着板能够吸附飞向溅镀机内壁的溅射原子和大尺寸颗粒，从而减少溅射原子和大尺寸颗粒对溅镀机内壁的污染。

防着板的材料包括银、铜、铝和钛等。其中，钛防着板是一种常用的防着板。

然而，目前钛防着板的加工技术容易使形成的钛防着板发生变形，导致钛防着板的性能降低。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种钛防着板的加工方法，减小钛防着板的变形，提高钛防着板性能。

为解决上述问题，本发明提供一种钛防着板的加工方法，包括：提供钛工件；对所述钛工件进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。

可选的，所述粗加工的吃刀量在0.05mm～0.1mm的范围内。

可选的，所述粗加工的进给量在2250mm/min～2750mm/min的范围内。

可选的，通过第一铣刀对所述钛工件进行粗加工。

可选的，所述第一铣刀的刃径为9mm～12mm

可选的，所述第一铣刀的主轴转速为1800转/分钟～2500转/分钟。

可选的，对所述钛工件进行粗加工，形成初始钛防着板，所述初始钛防着板包括相对的第一面和第二面，所述初始钛防着板内具有初始凹槽和初始连接孔，所述初始凹槽顶部位于所述第一面内，所述初始连接孔贯穿所述初始钛防着板。

可选的，所述粗加工的步骤包括：对所述钛工件进行第一粗加工，形成钛板；通过第二粗加工在所述钛板中形成初始连接孔和初始凹槽。

可选的，粗加工之后，所述铣削加工的步骤还包括：对所述初始钛防着板进行精加工。

可选的，所述精加工的步骤包括：通过第一铣刀对所述初始钛防着板第一面、第二面以及所述初始接触孔的侧壁表面进行第一精加工；通过第二铣刀对所述初始凹槽的侧壁进行第二精加工；通过第三铣刀对所述初始凹槽的底部进行第三精加工。

可选的，所述第一精加工的工艺参数包括：第一铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第一精加工的进给量为450mm/min～550mm/min；吃刀量为0.045mm～0.055mm。

可选的，所述第二精加工的工艺参数包括：第二铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第二精加工的进给量为500mm/min～1500mm/min；吃刀量为0.1mm～0.2mm。

可选的，所述第三精加工的工艺参数包括：所述第三铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第三精加工的进给量为450mm/min～550mm/min；吃刀量为0.045mm～0.055mm。

可选的，所述第一铣刀的刃径为9mm～11mm。

可选的，所述第二铣刀的刃径为5.4mm～6.6mm，R角半径为0.45mm～055mm。

可选的，所述第三铣刀的刃径为2.7mm～3.3mm，R角半径为0.45mm～055mm。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

所述钛防着板的加工方法中，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。所述粗加工的吃刀量较小，则所述钛工件承受的背向力较小，从而不容易引起钛工件的变形。

进一步，钛工件变形小，在粗加工过程中钛工件的回弹量较小，第一铣刀与钛工件之间的摩擦力和粘附性小，从而不容易损坏所述第一铣刀。

进一步，所述第二精加工的吃刀量和进给量较大，有利于提高所述精加工的加工效率。

附图说明

图1是本发明一实施例中钛防着板的形成方法的流程图；

图2至图10是本发明一实施例中钛防着板的形成方法各步骤的结构示意图。

具体实施方式

正如背景技术所述，目前钛防着板的形成方法存在诸多问题，例如，形成的钛防着板的变形量较大，使得所形成的钛防着板的性能较低。

现结合一种钛防着板的形成方法，分析所述形成方法形成的钛防着板变形量较大，性能较低的原因：

为了增加防着板对溅射原子的吸附作用，防着板的面积一般较大，同时为了减小防着板在溅镀机内所占的空间，防着板的厚度较小。此外，钛材料硬度较小、刚度差，因此，在对钛防着板进行加工的过程中，容易导致钛防着板发生变形。

所述钛防着板的加工方法包括：提供钛工件；通过刀具对所述钛工件进行粗加工，将钛工件加工为初始钛防着板；对所述初始钛防着板进行精加工。

在粗加工的过程中，钛工件材料的去除量较大，为了提高生产效率，粗加工的吃刀量往往较大。然而，由于初始钛防着板为厚度较小的薄板结构，且钛工件材料的刚性差、硬度小，在对钛工件进行粗加工的过程中，吃刀量大就容易使钛工件承受较大的背向力，从而导致钛防着板发生较大变形。钛防着板变形大，容易影响钛防着板的拼接和安装，从而导致钛防着板在使用过程中容易出现脱落现象。

其次，钛工件材料的塑性较大，钛工件的变形量大，容易引起较大的回弹，从而容易引起钛工件与刀具的剧烈摩擦、粘附以及磨损，从而容易损坏刀具。

为了解决所述技术问题，本发明提供一种钛防着板的加工方法，包括：供钛工件；对所述钛工件进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。

其中，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。所述粗加工的吃刀量较小，则所述钛工件承受的背向力较小，从而不容易引起钛工件的变形。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1是本发明的钛防着板形成方法的流程图，包括：

S1：提供钛工件；

S2：对所述钛工件进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。

图2至图10是本发明的钛防着板的形成方法一实施例各步骤的结构示意图。

下面结合附图对上述各个步骤进行详细的说明。

请参考图2，提供钛工件100。

本实施例中，所述钛工件100的形状为长方体。在其它实施例中，钛工件可以选择其它形状。

本实施例中，所述钛工件100包括相对的第一工件面101和第二工件面102，以及连接所述第一工件面101和第二工件面102的工件侧面。

请参考图3至图10，对所述钛工件100(如图2所示)进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。

后续对所述钛工件100进行粗加工，形成初始钛防着板120，所述初始钛防着板120包括相对的第一面121和第二面122。本实施例中，对所述钛工件100进行粗加工的步骤包括：对所述钛工件100表面进行第一粗加工，形成钛板110，所述钛板110包括相对的第一钛板面111和第二钛板面112；对所述钛板110进行第二粗加工，在所述钛板110中形成初始连接孔113和初始凹槽114，所述初始连接孔113贯穿所述初始钛防着板120，所述初始凹槽114顶部位于所述第一面121内。具体如图3至图6所示，图4是在图3俯视图基础上的后续步骤示意图，图5是图4沿虚线1-2的剖视图，图6是图4沿3-2线的剖视图。

此外，在本实施例中，所述铣削工艺还包括在粗加工之后，对所述初始钛防着板120进行精加工，具体如图7至图10所示。

所述粗加工的吃刀量较小，则所述钛工件100承受的背向力较小，从而不容易引起钛工件100的弯曲变形。

所述粗加工用于将钛工件100加工为尺寸与设计要求较接近的初始钛防着板120。在所述粗加工的过程中，对所述钛工件100坯料的去除量较大。

请参考图3，对所述钛工件100(如图2所示)表面进行第一粗加工，形成钛板110，所述钛板110包括相对的第一钛板面111和第二钛板面112。

所述第一粗加工用于使所述钛工件100的形状和尺寸比较接近设计要求。本实施例中，通过第一铣刀131对所述第一工件面101、第二工件面102以及工件侧面进行第一粗加工。

所述第一铣刀131包括：第一刀头131a和第一刀柄131b。

本实施例中，通过第一铣刀131对所述第一工件面101进行第一粗加工的过程中，所述第一铣刀131中心轴垂直于所述第一工件面101，所述第一铣刀131沿自身轴线旋转，并在所述第一工件面101上平移。

本实施例中，通过第一铣刀131对所述第二工件面102进行第一粗加工的过程中，所述第一铣刀131中心轴垂直于所述第二工件面102，所述第一铣刀131沿自身轴线旋转，并在所述第二工件面102上平移。

本实施例中，如果所述第一铣刀131的直径过小，容易降低加工效率；如果所述第一铣刀131的直径过大，容易降低粗加工的加工精度，给后续的精加工带来困难。具体的，所述第一铣刀131的直径为9mm～11mm。

本实施例中，如果所述第一粗加工的吃刀量过大，容易使所述钛工件100承受较大的背向力，从而导致钛板110发生变形，因此，所述第一粗加工的吃刀量不能过大，具体的，所述第一粗加工的吃刀量小于0.1mm；如果所述第一粗加工的吃刀量过小，容易降低第一粗加工的加工效率，因此，所述第一粗加工的吃刀量在0.05mm～0.1mm的范围内。

如果所述第一粗加工的进给量过大，容易使切屑发生卷曲，从而增加所述切屑和钛工件100之间的摩擦，进而容易损坏第一铣刀131；如果第一粗加工的进给量过小，容易降低第一粗加工的加工效率。具体的，所述第一粗加工的进给量在2250mm/min～2750mm/min的范围内。

如果在第一粗加工过程中，所述第一铣刀131的转速过快，容易增加第一铣刀131与钛工件100之间的摩擦，从而容易损坏第一铣刀131；如果在第一粗加工过程中，所述第一铣刀131的转速过慢，容易降低第一粗加工的加工效率。具体的，所述第一铣刀131的转速在1800转/分钟～2500转/分钟的范围内。

本实施例中，通过所述第一粗加工将所述钛工件100第一工件面101加工为第一钛板面111，将所述第二工件面102加工为第二钛板面112，将所述工件侧面加工为钛板110侧面。

具体的，本实施例中，所述钛板110包括相对的第一钛板面111和第二钛板面112，以及位于所述第一钛板面111和第二钛板面112之间的侧面。

请参考图4至图6，图4是图3的俯视图基础上的后续步骤示意图，图5是图4沿虚线1-2的剖视图，图6是图4沿虚线3-4的剖视图，对所述钛板110(如图3所示)进行第二粗加工，在所述钛板110中形成初始连接孔113和初始凹槽114。

所述初始连接孔113用于形成连接孔，所述初始凹槽114用于形成凹槽，连接孔和凹槽用于实现钛防着板的安装。

通过所述第二粗加工将所述钛板110加工为初始钛防着板120。

为了减少刀具的使用，本实施例中，通过所述第一铣刀131对所述钛板110进行第二粗加工。

所述钛板110进行第二粗加工的过程中，所述第一铣刀131轴线垂直于所述第一钛板面111(如图3所示)，所述第一铣刀131沿自身转轴旋转，并沿垂直于所述第一钛板面111和平行于所述第一钛板面111的方向平移。如果所述第二粗加工的吃刀量过大，容易导致第一铣刀131对所述钛板110产生较大的背向力，从而导致初始钛防着板120发生变形，因此，所述第二粗加工的吃刀量不能过大，具体的，所述第二粗加工的吃刀量小于0.1mm；如果所述第二粗加工的吃刀量过小，容易降低第二粗加工的加工效率，因此，所述第二粗加工的吃刀量在0.05mm～0.1mm的范围内。

如果所述第二粗加工的进给量过大，容易使切屑发生卷曲，从而增加所述切屑和钛板110之间的摩擦，进而容易损坏第一铣刀131；如果第二粗加工的进给量过小，容易降低第二粗加工的加工效率。具体的，所述第二粗加工的进给量在2250mm/min～2750mm/min的范围内。

如果在第二粗加工过程中，所述第一铣刀131的转速过快，容易增加第一铣刀131与钛板110之间的摩擦，从而容易损坏第一铣刀131；如果在第二粗加工中，所述第一铣刀131的转速过慢，容易降低第二粗加工的加工效率。具体的，所述第一铣刀131的转速在1800转/分钟～2500转/分钟的范围内。

本实施例中，经过所述第二粗加工，将所述第一钛板面111加工为初始钛防着板120的第一面121，将所述第二钛板面111加工为初始钛防着板120的第二面121。

具体的，所述初始钛防着板120包括相对的第一面121和第二面122，以及连接所述第一面121和第二面122的侧面。

本实施例中，所述初始凹槽114为圆台型。所述初始凹槽114包括：初始凹槽侧壁141和初始凹槽底部142。

本实施例中，所述凹槽114顶部位于所述第一面121内。所述初始凹槽侧壁141表面为倾斜的曲面。

本实施例中，所述初始接触孔113为圆台孔。所述初始接触孔113包括接触孔侧壁151。

需要说明的是，由于所述第一粗加工和第二粗加工的进给量较大，第一铣刀131的直径较大、转速较快，所述粗加工形成的初始钛防着板120的表面粗糙度较大，且初始钛防着板120尺寸不符合精度要求，因此，需要后续对所述初始钛防着板120进行精加工。

本实施例中，所述初始连接孔113在所述第一面121上的投影图形为长条形。所述初始连接孔113的侧壁与所述第一面121垂直。

具体的，本实施例中，所述初始连接孔113在所述第一面121上的投影图形的长度为90mm～110mm；所述初始连接孔113在所述第一面121上的投影图形的宽度为11mm～14mm。

本实施例中，所述初始凹槽114为圆台型，所述初始凹槽114顶部直径为11mm～14mm；经过所述粗加工之后，所述初始凹槽底部142直径为9mm～11mmm。

后续对所述初始钛防着板120进行精加工。

所述精加工的步骤包括：通过第一铣刀131对所述初始钛防着板120第一面121、第二面122以及所述初始连接孔113侧壁进行第一精加工；通过第二铣刀132对所述初始凹槽侧壁141进行第二精加工；通过第三铣刀133对所述初始凹槽底部142进行第三精加工。

本实施例中，所述精加工还包括：对所述初始凹槽114底部进行所述第二精加工。具体如图7至图10所示

请参考图7和图8，图7是图5基础上的后续步骤示意图，图8是图6基础上的后续步骤示意图，通过第一铣刀131对所述初始钛防着板120进行第一精加工。

本实施例中，所述第一精加工的步骤包括：请参考图7，对所述初始钛防着板120第一面121、第二面122以及侧面进行第一精加工；请参考图8，对所述初始连接孔113(如图6所示)侧壁进行第一精加工，形成连接孔115。

所述第一精加工用于降低所述初始钛防着板120第一面121、第二面122、侧面以及所述初始连接孔113侧壁表面的粗糙度，从而抑制所形成钛防着板在使用时发生尖端放电。

如果所述第一精加工的吃刀量过大，容易导致第一铣刀131对所述初始钛防着板120产生较大的背向力，从而导致后续形成的钛防着板变形增加；如果所述第一精加工的吃刀量过小，容易降低第一精加工的加工效率，因此，所述第一精加工的吃刀量在0.045mm～0.055mm的范围内。

如果所述第一精加工的进给量过大，容易增加所形成钛防着板表面的粗糙度；如果所述第一精加工的进给量过小，容易降低第一精加工的加工效率。具体的，所述第一精加工的进给量在450mm/min～550mm/min的范围内。

如果在第一精加工过程中，所述第一铣刀131的转速过快，容易增加第一铣刀131与初始钛防着板120之间的摩擦，从而容易损坏刀具；如果在第一精加工中，所述第一铣刀131的转速过慢，容易降低第一精加工的加工效率。具体的，所述第一铣刀131的转速在2500转/分钟～3500转/分钟的范围内。

本实施例中，所述第一精加工的去除量为0.05mm～0.1mm。

请参考图9，图9为图7基础上的后续步骤示意图，通过第二铣刀132对所述初始凹槽侧壁141进行第二精加工。

所述第二精加工用于增加所形成的凹槽尺寸的精度，并降低所述初始凹槽侧壁141表面的粗糙度。

由于所述第一铣刀131(如图7所示)的刃径较大，所述初始凹槽114的直径较小，所述第一铣刀131不容易对所述初始凹槽侧壁141进行加工。因此，本实施例中，通过刃径小于所述第一铣刀131的第二铣刀132进行所述第二精加工。

本实施例中，通过第二铣刀132对所述初始凹槽侧壁141进行第二精加工的过程中，所述第二铣刀132轴线垂直于所述初始凹槽侧壁141表面，所述第二铣刀132沿自身转轴旋转，并在所述初始凹槽侧壁141表面平移。

所述第二铣刀132包括：第二刀头132a和第二刀柄133b。

具体的，如果所述第二铣刀132的刃径过大，不容易进入所述初始凹槽114中，从而不容易进行加工；如果所述第二铣刀132的刃径过小，容易降低所述第二精加工的加工效率。具体的，本实施例中，本实施例中，所述第二铣刀132的刃径为5.4mm～6.6mm。

本实施例中，所述第二铣刀132具有R角即所述第二铣刀132刀头具有圆角。具有R角的第二铣刀132能够减少第二铣刀132对所述初始凹槽侧壁141表面的划痕，从而能够降低所述初始凹槽侧壁141表面的粗糙度。具体的，所述第二铣刀132的R角半径为0.45mm～055mm。

本实施例中，如果所述第二精加工的吃刀量过大，容易导致第二铣刀132对所述初始钛防着板120产生较大的背向力，从而导致后续形成的钛防着板变形增加；如果所述第二精加工的吃刀量过小，容易降低第二精加工的加工效率，因此，所述第二精加工的吃刀量在0.1mm～0.2mm的范围内。

如果所述第二精加工的进给量过大，容易增加所形成钛防着板表面的粗糙度；如果斜面粗加工的进给量过小，容易降低第二精加工的加工效率。具体的，所述第二精加工的进给量在500mm/min～1500mm/min的范围内。

如果在所述第二精加工过程中，所述第二铣刀132的转速过快，容易增加第二铣刀132与初始钛防着板120之间的摩擦，从而容易损坏刀具；如果在所述第二精加工过程中，所述第二铣刀132的转速过慢，容易降低所述第二精加工的加工效率。具体的，所述第二铣刀132的转速在2500转/分钟～3500转/分钟的范围内。

本实施例中，对所述初始凹槽侧壁141进行所述第二精加工之前，所述第二精加工的步骤还包括：通过所述第二铣刀132对所述初始凹槽114底部进行第二精加工，增加所述初始凹槽114的深度，并使所述初始凹槽114底部直径减小。

本实施例中，对所述初始凹槽114底部进行第二精加工之后，所述初始凹槽底部142直径为5.4mm～6.6mm。

请参考图10，通过第三铣刀133对所述初始凹槽底部142(如图9所示)进行第三精加工，形成钛防着板160。

由于所述第一铣刀131(如图7所示)和第二铣刀132(如图8所示)的刃径较大，不容易对所述初始凹槽底部142进行加工，很难使所述初始凹槽底部142直径达到设计要求。因此，本实施例中，通过刃径较小的第三铣刀133对所述初始凹槽底部142进行加工。

所述第三铣刀133包括：第三刀头133a和第三刀柄133b。

本实施例中，所述初始凹槽114(如图9所示)经过所述第三精加工形成凹槽116。

具体的，如果所述第三铣刀133的刃径过大，不容易对所述初始凹槽底部142进行加工；如果所述第三铣刀133的刃径过小，容易降低所述第三精加工的加工效率。具体的，本实施例中，所述第三铣刀133的刃径为2.7mm～3.3mm。

本实施例中，所述第三铣刀133具有R角，即所述第三铣刀133刀头具有圆角。具有R角的第三铣刀133能够减少第三铣刀133对所述初始凹槽底部142表面的划痕，从而能够降低所述初始凹槽底部142表面的粗糙度。具体的，所述第三铣刀133的R角半径为0.45mm～055mm。

本实施例中，通过第三铣刀133对所述初始凹槽底部142进行第三精加工的过程中，所述第三铣刀133轴线垂直于所述初始凹槽底部142表面，所述第三铣刀133沿自身转轴转动，并在所述初始凹槽底部142表面上平移。

如果在所述第三精加工过程中，所述第三铣刀133的转速过快，容易增加第三铣刀133与初始钛防着板120之间的摩擦，从而容易损坏第三铣刀133；如果在第三精加工中，所述第三铣刀133的转速过慢，容易降低第三精加工的加工效率。具体的，所述第三铣刀133的转速在2500转/分钟～3500转/分钟的范围内。

本实施例中，如果所述第三精加工的吃刀量过大，容易导致第三铣刀133对所述初始钛防着板120产生较大的背向力，从而导致后续形成的钛防着板变形增加；如果所述第三精加工的吃刀量过小，容易降低所述第三精加工的加工效率，因此，所述第三精加工的吃刀量在0.045mm～0.055mm的范围内。

如果所述第三精加工的进给量过大，容易增加所形成钛防着板表面的粗糙度；如果所述第三精加工的进给量过小，容易降低第二精加工的加工效率。具体的，所述第三精加工的进给量在450mm/min～550mm/min的范围内。

本实施例中，通过所述第三精加工对所述初始凹槽底部142进行加工之后，所述初始凹槽底部142直径为3.6mm～4.4mm。

需要说明的是，所述精加工还包括：通过所述第三铣刀133对所述初始凹槽底部142与所述初始凹槽侧壁141接触的拐角进行加工，增加所述拐角表面的加工精度。

综上，本实施例的钛防着板的加工方法中，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。所述粗加工的吃刀量较小，则所述钛工件承受的背向力较小，从而不容易引起钛工件的变形。

进一步，钛工件变形小，在粗加工过程中钛工件的回弹量较小，第一铣刀与钛工件之间的摩擦力和粘附性小，从而不容易损坏所述第一铣刀。

进一步，所述第二精加工的吃刀量和进给量较大，有利于提高所述精加工的加工效率。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (16)

1.一种钛防着板的加工方法，其特征在于，包括：

提供钛工件；

对所述钛工件进行铣削加工，所述铣削加工包括粗加工，所述粗加工的吃刀量小于等于0.1mm。

2.根据权利要求1所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述粗加工的吃刀量在0.05mm～0.1mm的范围内。

3.根据权利要求1所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述粗加工的进给量在2250mm/min～2750mm/min的范围内。

4.根据权利要求1所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，通过第一铣刀对所述钛工件进行粗加工。

5.根据权利要求4所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第一铣刀的刃径为9mm～12mm。

6.根据权利要求4所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第一铣刀的主轴转速为1800转/分钟～2500转/分钟。

7.根据权利要求1所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，对所述钛工件进行粗加工，形成初始钛防着板，所述初始钛防着板包括相对的第一面和第二面，所述初始钛防着板内具有初始凹槽和初始连接孔，所述初始凹槽顶部位于所述第一面内，所述初始连接孔贯穿所述初始钛防着板。

8.根据权利要求7所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述粗加工的步骤包括：对所述钛工件进行第一粗加工，形成钛板；通过第二粗加工在所述钛板中形成初始连接孔和初始凹槽。

9.根据权利要求7所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，粗加工之后，所述铣削加工的步骤还包括：对所述初始钛防着板进行精加工。

10.根据权利要求9所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述精加工的步骤包括：通过第一铣刀对所述初始钛防着板第一面、第二面以及所述初始接触孔的侧壁表面进行第一精加工；通过第二铣刀对所述初始凹槽的侧壁进行第二精加工；通过第三铣刀对所述初始凹槽的底部进行第三精加工。

11.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第一精加工的工艺参数包括：第一铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第一精加工的进给量为450mm/min～550mm/min；吃刀量为0.045mm～0.055mm。

12.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第二精加工的工艺参数包括：第二铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第二精加工的进给量为500mm/min～1500mm/min；吃刀量为0.1mm～0.2mm。

13.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第三精加工的工艺参数包括：所述第三铣刀的主轴转速为2500转/分钟～3500转/分钟；所述第三精加工的进给量为450mm/min～550mm/min；吃刀量为0.045mm～0.055mm。

14.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第一铣刀的刃径为9mm～11mm。

15.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第二铣刀的刃径为5.4mm～6.6mm，R角半径为0.45mm～055mm。

16.根据权利要求10所述的钛防着板的加工方法，其特征在于，所述第三铣刀的刃径为2.7mm～3.3mm，R角半径为0.45mm～055mm。