CN107615077A - 探针以及具备探针的检查夹具 - Google Patents

Abstract

探针具备弹性部和触点部(41、51)，其中，所述弹性部沿中心线(CL2)进行伸缩，具有沿中心线(CL2)连接起来的多个弹性单元(31)，所述触点部(41、51)分别设置在弹性部的两端。弹性单元(31)具有：一对导通部(32、33)，它们以能够沿中心线(CL2)接触且能够分离的方式对置配置；和一对弹性支承部(34、35)，它们关于中心线(CL2)对称地设置，将一对导通部(32、33)之间连接起来。一对导通部(32、33)分别具有内部接触部(322、332)，所述内部接触部(322、332)被配置成，当使弹性部沿中心线(CL2)收缩时互相接触。

Description

探针以及具备探针的检查夹具

技术领域

本发明涉及探针以及具备该探针的检查夹具。

背景技术

以往，作为探针，存在专利文献1所述的探针。该探针具备形成为锯齿状的位移部以及分别设置于该位移部的两端的接触部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2009-128218号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，由于所述探针的位移部形成为波纹形状，因此，难以使接触部沿中心线平行移位。因此，存在无法准确地确保期望的位移量的情况。

此外，由于波纹形状的位移部电阻较大，因此使得电流难以流过。因此难以确保良好的导通性。

因此，本发明的课题是提供在能够准确地确保期望的位移量的同时能够确保良好的导通性的探针以及具备该探针的检查夹具。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的探针具备：第1触点部和第2触点部，它们沿长度方向分别独立地设置，并且配置成互相隔开间隔；以及多个弹性单元，它们以串联的方式连接所述第1触点部和所述第2触点部，所述弹性单元各自具有：第1导通部和第2导通部，在它们的末端部分别设置有接触部，所述接触部被配置成分别沿所述长度方向延伸且沿所述长度方向互相隔开间隔且对置；以及一对弹性支承部，它们在沿所述长度方向延伸的探针中心线的两侧从所述第1导通部和所述第2导通部各自的基部分别朝向与所述长度方向交叉的方向对称地伸出，并且分别在不跨越所述探针中心线的情况下将所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部彼此连接起来并支承所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部，并且被设置成能够沿所述长度方向伸缩且在收缩时能够使所述第1导通部的所述接触部与所述第2导通部的所述接触部接触，多个所述弹性单元包含第1弹性单元和第2弹性单元，其中，所述第1弹性单元与所述第1触点部相邻且所述第1弹性单元的所述第1导通部与所述第1触点部连接，所述第2弹性单元与所述第2触点部相邻且所述第2弹性单元的所述第2导通部与所述第2触点部连接，并且，在多个所述弹性单元中的相邻的两个弹性单元中，一方的弹性单元的所述第1导通部的所述基部与另一方的弹性单元的所述第2导通部的所述基部彼此连接。

发明效果

根据本发明的探针，以串联的方式连接连接第1触点部和第2触点部的多个弹性单元各自具有：分别沿长度方向延伸的第1导通部和第2导通部；以及连接第1导通部和第2导通部的一对弹性支承部。由此，能够使第1触点部和第2触点部沿探针中心线进行伸缩，因此能够准确地确保期望的位移量。

附图说明

根据针对所附的附图的、与实施方式相关联的接下来的描述可以了解本发明的上述内容、效果以及其它目的和特征。在该附图中，

图1是具备本发明的第1实施方式的探针的检查夹具的立体图，

图2是图1的检查夹具的II向视图，

图3是图1的检查夹具的III向视图，

图4是沿图2的IV-IV线的剖视图，

图5是沿图3的V-V线的剖视图，

图6是本发明的第1实施方式的探针的立体图，

图7是图6的探针的VII向视图，

图8是图6的探针的VIII向视图，

图9是图8的局部放大图，

图10是用于说明图6的探针的动作的局部放大图，

图11是用于接着图10、说明图6的探针的动作的局部放大图，

图12是用于接着图11、说明图6的探针的动作的局部放大图，

图13是本发明的第2实施方式的探针的平面图，

图14是图13的探针的局部放大图，

图15是本发明的第3实施方式的探针的平面图，

图16是图15的探针的局部放大图，

图17是本发明的第4实施方式的探针的平面图，

图18是图17的探针的局部放大图，

图19是本发明的第5实施方式的探针的平面图，

图20是图19的探针的局部放大图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。并且，在以下的说明中，在对附图中所示出的结构进行说明时，使用表示“上”、“下”、“左”、“右”等方向的术语以及包含那些术语在内的另外的术语，但是，使用这些术语的目的是为了通过附图便于理解实施方式。因此，这些术语并不限于表示本发明的实施方式被实际使用时的方向，并且，不应利用这些术语来限定性地解释权利要求中所记载的发明的技术范围。

(第1实施方式)

如图1所示，检查夹具1由大致方筒形状的绝缘性的壳体2和收纳在该壳体2内部的多个探针3构成。在该检查夹具1中，探针3被收纳成在厚度方向(Y方向)上重叠，能够各自独立地伸缩。并且，X方向是与Y方向垂直的方向，Z方向是与X和Y方向垂直的方向，是探针3的长度方向。

如图2和图3所示，壳体2具有同一外形的上部壳体10和下部壳体20，以上部壳体10与下部壳体20以串联的方式连接的状态被一体化。

如图4和图5所示，上部壳体10具有：收纳部11，其在上部壳体10的内部沿Z方向设置；第1开口部15，其与收纳部11连通且设置在Z方向上的下侧的面上；以及第2开口部16，其与收纳部11连通且设置在Z方向上的上侧的面上。第1开口部15和第2开口部25被设置成相同的大小。

具体而言，收纳部11以沿在壳体2的Z方向上延伸的中心线CL1且在X方向上关于中心线CL1对称的方式设置。该收纳部11由与第1开口部15连通的主体侧收纳部12和与第2开口部16连通的触点侧收纳部13构成。如图4所示，主体侧收纳部12与触点侧收纳部13相比，具有较大的X方向上的宽度和较大的Z方向上的长度。此外，在主体侧收纳部12与触点侧收纳部13的连接部分形成有阶梯部14，如后述那样地辅助探针3整体的顺畅的收缩。

下部壳体20具有与上部壳体10相同的结构。即，如图4和图5所示，下部壳体20具有：收纳部21，其在下部壳体20的内部沿Z方向设置；第1开口部25，其与收纳部21连通且设置在Z方向上的上侧的面上；以及第2开口部26，其与收纳部21连通且设置在Z方向上的下侧的面上。

具体而言，收纳部21以沿中心线CL1且在X方向上关于中心线CL1对称的方式设置。该收纳部21由与第1开口部25连通的主体侧收纳部22和与第2开口部26连通的触点侧收纳部23构成。如图4所示，主体侧收纳部22与触点侧收纳部23相比，具有较大的X方向上的宽度和较大的Z方向上的长度。此外，在主体侧收纳部22与触点侧收纳部23的连接部分形成有阶梯部24，如后述那样地辅助探针3整体的顺畅的收缩。

上部壳体10和下部壳体20具有相同的X方向上的宽度L7。此外，以如下方式将上部壳体10与下部壳体20连接起来：使上部壳体10的第1开口部15与下部壳体20的第1开口部25面对，构成上部壳体10的主体侧收纳部12的内壁与构成下部壳体20的主体侧收纳部22的内壁位于同一平面上。

如图6所示，探针3是具有大致相同的厚度(Y方向上的厚度)的长板形状，由弹性部30、第1接触部40和第2接触部50构成，其中，第1接触部40和第2接触部50在所述探针3的长度方向上分别设置在弹性部30的两端。如图7和图8所示，弹性部30、第1接触部40和第2接触部50沿作为在探针3的Z方向上延伸的探针中心线的一例的中心线CL2以串联方式进行配置。此外，第1接触部40和第2接触部50分别具有第1触点部41和第2触点部51。

即，探针3至少具备：第1触点部41和第2触点部51，它们沿长度方向各自独立地设置，并且互相隔开间隔地进行配置；和多个弹性单元31，它们以串联方式连接第1触点部41和第2触点部51。并且，该探针3使用电铸法形成，还具有导电性。

如图7所示，弹性部30由以串联方式连接的多个弹性单元31连接而成。各弹性单元31具有：一对导通部32、33，它们以末端部分的接触部能够沿中心线CL2接触且能够分离的方式对置配置；以及一对弹性支承部34、35，它们具有小于该一对导通部32、33的宽度的宽度，将一对导通部32、33的基部32b、33b彼此连接起来。该多个弹性单元31各自的一对导通部32沿中心线CL2排列，并且以能够得到期望的位移量的方式以一定的间隔连接起来。

如图9所示，一对导通部32、33的各个导通部由沿长度方向(Z方向)延伸的细长三角形状(例如，大致等腰三角形状)的部件构成，具有：顶点部321、331，它们配置在一对导通部32、33的末端部的末端，彼此对置且被进行了倒角；以及配置在顶点部321、331附近的末端部的一个侧缘的作为内部接触部(即，接触部)的一例的斜面部322、332。该导通部32、33被配置成，分别沿中心线CL2延伸，并且，当一对弹性支承部34、35伸长时(外力未作用于探针3时)互相不接触。一对导通部32、33中的Z方向上的上侧的导通部32(以下，称作第1导通部32)的顶点部321配置在稍稍向X方向上的左侧离开中心线CL2的位置处。此外，Z方向上的下侧的导通部33(以下，称作第2导通部33)的顶点部331配置在稍稍向X方向上的右侧离开中心线CL2的位置处。

即，在第1导通部32和第2导通部33的各末端部32a、32b分别设置有斜面部322、332，所述斜面部322、332被配置成沿长度方向互相隔开间隔且对置。各斜面部322、332是接触面，并以如下方式对置配置：当一对弹性支承部34、35压缩时(外力作用于探针3时)互相推压。

这样构成的结果是，使得顶点部321、331不是配置在中心线CL2上彼此沿中心线CL2对置，而是关于中心线CL2向左右错开地配置，使得当一对弹性支承部34、35收缩时不会沿中心线CL2直接接触，而是在中心线CL2附近使斜面部322、332彼此滑动接触。

并且，多个弹性单元31中的、与第1触点部41(即，第1接触部40)相邻的第1弹性单元31A(图6所示)的第1导通部32与第1触点部41连接，第1弹性单元31A的第2导通部33与和第1弹性单元33A相邻的第3弹性单元33C(图6所示)的第2导通部33连接。此外，与第2触点部51(即第2接触部50)相邻的第2弹性单元31B(图6所示)的第1导通部32与和第2弹性单元31B相邻的第4弹性单元31D(图6所示)的第2导通部32连接，第2弹性单元31B的第2导通部33与第2触点部51连接。

此外，多个弹性单元31中的一个弹性单元31的第2导通部33的基部33b与和一个弹性单元31相邻的另一个弹性单元31的第1导通部32的基部32b借助于沿长度方向(Z方向)延伸的连接部36连接。

并且，如图9所示，弹性单元31的各个弹性单元位于中心线CL2上，并且被配置成关于位于第1导通部32和第2导通部33中间的假想点P点对称。

如图9所示，一对弹性支承部34、35各自被设置成在X方向上关于中心线CL2对称。即，一对弹性支承部34、35各自从第1导通部32和第2导通部33各自的基部32b、33b朝向与长度方向交叉的方向、向在长度方向上延伸的中心线CL2的两侧分别对称地伸出，并且各自在不跨越中心线CL2的情况下例如利用宽度窄的弯曲的臂部连接并支承第1导通部32和第2导通部33的基部32b、33b。此外，一对弹性支承部34、35的各个弹性支承部具有由宽度窄的弯曲的臂部构成的弯曲的框形状(例如圆弧框形状)，被设置成能够沿探针3的长度方向伸缩。通过使一对弹性支承部34、35收缩，由此，使得弯曲的框形状发生弹性变形而挠曲，第1导通部32的接触部322与第2导通部33的接触部332接触。

此外，各弹性支承部34、35在Z方向上相对于穿过各弹性支承部34、35的Z方向上的中间点341、351的直线ML对称地设置。一对弹性支承部34、35中的X方向上的右侧的弹性支承部34由连接部342、343和连接该连接部342、343的圆弧状带部344构成，其中，所述连接部342、343与第1导通部32和第2导通部33的X方向上的右侧连接。此外，X方向上的左侧的弹性支承部35由连接部352、353和连接该连接部352、353的圆弧状带部354构成，其中，所述连接部352、353与第1导通部32和第2导通部33的X方向上的左侧连接。

连接部342、343、352、353各自从第1导通部32和第2导通部33的基部起向相对于直线ML远离的方向弯曲延伸。由此，在确保弹性力的情况下分散了作用于第1导通部32和第2导通部33与一对弹性支承部34、35各自的接合部分的应力。此外，圆弧状带部344、354各自具有大致半圆环形状。

如图7所示，第1接触部40沿中心线CL2延伸，由第1触点部41、一对支承突部42和贯通孔43构成，其中，所述第1触点部41设置在自由端部(Z方向上的上侧端部)，所述一对支承突部42设置在连接弹性部30的基端部(Z方向上的下侧端部)，所述贯通孔43设置在自由端部侧。

第1触点部41具有在X方向上相对于中心线CL2不对称的波纹状。支承突部42被设置成从基端部朝向X方向突出，中心线CL2至末端421的距离L1大于中心线CL2至一对弹性支承部34、35的中间点341、351各自的距离L2。即，当将探针3收纳在壳体2的收纳部11中时，支承突部42能够与上部壳体10的阶梯部14接触。此外，贯通孔43具有大致矩形状，自由端部侧的一边沿触点部41形成为波纹状。

如图7所示，第2接触部50沿中心线CL2延伸，由触点部51和一对支承突部52构成，其中，所述触点部51设置在自由端部(Z方向上的下侧端部)，所述一对支承突部52设置在连接弹性部30的基端部(Z方向上的上侧端部)。

第2触点部51具有半圆形状。此外，支承突部52从基端部朝向X方向突出，具有与第1接触部40的支承突部42相同的形状和大小。即，支承突部52被设置成，中心线CL2至末端521的距离L1大于中心线CL2至一对弹性支承部34、35的中间点341、351各自的距离L2。此外，当将探针3收纳在壳体2的收纳部11中时，支承突部52能够与下部壳体20的阶梯部24接触。

并且，如图4所示，第1接触部40被设置成，除设有一对支承突部42的基端部外的X方向上的宽度L3(图7所示)小于上部壳体10的触点侧收纳部13的X方向上的宽度L6。另一方面，第1接触部40的基端部被设置成，一对支承突部42的末端421间的距离L4(图7所示)大致等于上部壳体10的主体侧收纳部12的X方向上的宽度L7。

此外，第2接触部50被设置成，除设有一对支承突部52的基端部外的X方向上的宽度L5(图7所示)小于下部壳体20的触点侧收纳部23的X方向上的宽度L8。另一方面，第2接触部50的基端部被设置成，一对支承突部52的末端521间的距离L4大致等于下部壳体20的主体侧收纳部22的X方向上的宽度L7。

并且，第1接触部40和第2接触部50被设置成，支承突部42的Z方向上的上侧面与支承突部52的Z方向上的下侧面之间的距离L9比上部壳体10的阶梯部14与下部壳体20的阶梯部24之间的距离L10短。

接下来，对检查夹具1的多个探针3的动作进行说明。如图1所示，在该检查夹具1中，以使多个探针3的厚度方向上的两个面交替反转的方式将多个探针3在厚度方向(Y方向)上重叠，以应对较高电流。此外，该检查夹具1中的多个探针3的各个探针能够独立地伸缩。

如图4所示，收纳在壳体2的内部的初始状态的各探针3的第1接触部40的第1触点部41和第2接触部50的第2触点部51从壳体2露出，如图10所示，第1导通部32和第2导通部33可分离，并且，一对弹性支承部34、35能够伸缩。

在该初始状态下，弹性部30在壳体2内沿Z方向被压缩(发生弹性变形)，如图4所示，第1接触部40的支承突部42按压上部壳体10的阶梯部14，第2接触部50的支承突部52按压下部壳体20的阶梯部24。因此，能够将各探针3不晃动地收纳在壳体2的内部，使得各探针3能够顺畅地收缩。

对初始状态的探针3的第1触点部41和第2触点部51直接或间接地施力，将第1触点部41和第2触点部51向壳体2的内部推入时，各弹性单元31的第1、第2导通部32、33沿中心线CL2互相接近，如图11所示，在达到全行程之前，第1导通部32的顶点部321和第2导通部33的顶点部331彼此接触。其结果，形成沿中心线CL2的最短的导通路径。

这时，第1导通部32的顶点部321和第2导通部33的顶点部331不是正对的，而是以在X方向上稍稍错开的状态接触。此外，随着第1接触部40和第2接触部50向壳体2内部的推入，一对弹性支承部34、35各自逐渐在Z方向上被压缩。

例如，通过使第1触点部41和第2触点部51与半导体集成电路和检查设备接触等方式将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，如图12所示，各第1导通部32被对置的第2导通部33从中心线CL2向X方向上的左侧推入。与此同时，各第2导通部33被对置的第1导通部32从中心线CL2向X方向上的右侧推入。即，第1导通部32的X方向上的右侧的斜面部322与第2导通部33的X方向上的左侧的斜面部332在彼此面接触的状态下滑动。因此，能够确保较高的接触可靠性。

当进一步将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，第1导通部32的顶点部321和第2导通部33的顶点部331与一对弹性支承部34、35各自接触，或者，第1触点部41和第2触点部51被完全收纳于壳体2的内部。由此，第1接触部40和第2接触部50的移动停止。

在第1接触部40和第2接触部50的移动停止之后释放施加给第1触点部41和第2触点部51的力时，探针3借助各弹性单元31的一对弹性支承部34、35各自的回复力而恢复至图10所示的初始状态，第1导通部32和第2导通部33再次分离。

这样，上述结构的探针3具备：弹性部30，其沿中心线CL2进行伸缩，具有沿中心线CL2连接起来的多个弹性单元31；以及第1触点部41和第2触点部51，它们在探针3的长度方向上分别设置在弹性部30的两端。

即，以串联方式连接第1触点部41和第2触点部51的多个弹性单元31各自具有：分别沿探针3的长度方向延伸的第1导通部32和第2导通部33；以及连接第1导通部32和第2导通部33的一对弹性支承部34、35。由此能够使第1触点部41和第2触点部51沿中心线CL2接近或分离，因此能够准确地确保期望的位移量。

此外，弹性单元31各自具有：第1导通部32和第2导通部33，它们以沿中心线CL2可接触且可分离的方式对置配置；以及一对弹性支承部34、35，它们关于中心线CL2对称地设置，连接第1导通部32和第2导通部33。并且，第1导通部32和第2导通部33分别具有斜面部322、332，所述斜面部322、332被配置成，当使弹性部30沿中心线CL2收缩时互相接触。

即，弹性单元31各自具有：第1导通部32和第2导通部33，在所述第1导通部32和第2导通部33的末端部32a、33a分别设置有作为接触部的一例的斜面部322、332，所述斜面部322、332被配置成分别沿探针3的长度方向延伸且沿探针3的长度方向互相隔开间隔且对置；以及一对弹性支承部34、35，它们在沿探针3的长度方向延伸的中心线CL2的两侧从第1导通部32和第2导通部33各自的基部32b、33b分别朝向与探针3的长度方向交叉的方向对称地伸出，并且分别在不跨越中心线CL2的情况下将第1导通部32和第2导通部33的基部32b、33b连接起来支承第1导通部32和第2导通部33的基部32b，33b，并且被设置成能够沿长度方向伸缩，并且在压缩时使得第1导通部32的斜面部322能够与第2导通部33的斜面部332接触。并且，多个弹性单元31包含第1弹性单元31A和第2弹性单元31B，其中，所述第1弹性单元31A与第1触点部41相邻且第1导通部32与第1触点部41连接，所述第2弹性单元31B与第2触点部51相邻且第2导通部33与第2触点部51连接，并且，在多个弹性单元31中的相邻的两个弹性单元中，一方的弹性单元的第1导通部32的基部32b与另一方的弹性单元31的第2导通部33的基部33b彼此连接。由此能够沿中心线CL2确保最短的导通路径，因此能够确保良好的导通性。

此外，第1导通部32的斜面部322与第2导通部33的斜面部332面接触。由此能够抑制第1导通部32和第2导通部33的接触阻力，能够确保良好的导通性。

此外，第1接触部40的触点部41具有关于中心线CL2不对称的形状。这样，能够根据探针3的设计等而适当变更触点部41的形状，因此能够扩大探针3的设计自由度。

此外，一对弹性支承部34、35各自具有弯曲的框形状。由此提高了各弹性支承部34、35的弹性力。

此外，多个弹性单元31中的一个弹性单元31的第2导通部33的基部33b与和一个弹性单元31相邻的另一个弹性单元31的第1导通部32的基部32b借助于沿长度方向(Z方向)延伸的连接部36连接。由此能够更可靠地使第1触点部41和第2触点部51沿中心线CL2移位。

此外，如图9所示，弹性单元31各自被配置成，位于中心线CL2上并且关于位于第1导通部32和第2导通部33中间的假想点P点对称。由此，能够使第1触点部41和第2触点部51可靠且平衡性良好地沿中心线CL2接近或分离。

此外，第1导通部32的斜面部322和第2导通部33的斜面部332以在一对弹性支承部34、35收缩时互相按压的方式对置配置。由此能够确保较高的接触可靠性。

并且，在所述结构的检查夹具1中，多个探针3能够分别独立地伸缩。因此，例如，即使被检查器件倾斜，也能够灵活地应对该倾斜，使得多个探针3的第1触点部41和第2触点部51各自与被检查器件接触。由此，能够得到具有较高的接触稳定性的检查夹具1。

(第2实施方式)

图13和图14是示出第2实施方式的探针103的图。在该第2实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标记相同的参照编号并省略说明，对与第1实施方式不同的方面进行说明。

如图13和图14所示，第2实施方式的探针103在设置有具有大致正三角形状的第1导通部62和第2导通部63这方面与第1实施方式不同。

第1导通部62和第2导通部63除了形状不同的方面之外，具有与第1实施方式的探针3的第1导通部62和第2导通部63相同的结构，与第1实施方式的探针3同样地进行动作。

即，在第1导通部62和第2导通部63的各末端部62a、62b分别设置有斜面部322、332，所述斜面部322，332被配置成沿长度方向互相隔开间隔且对置。此外，一对弹性支承部34、35各自在不跨越中心线CL2的情况下将第1导通部62的基部62b和第2导通部63的基部63b彼此连接起来支承第1导通部62的基部62b和第2导通部63的基部63b。

(第3实施方式)

图15和图16是示出第3实施方式的探针203的图。在该第3实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标记相同的参照编号并省略说明，对与第1实施方式不同的内容进行说明。

第3实施方式的探针203在如下方面与第1实施方式不同：如图15和图16所示，设置有第1导通部72和第2导通部73，其中，所述第1导通部72具有沿中心线CL2延伸的旗杆形状，所述第2导通部73具有沿中心线CL2延伸的大致矩形状，第1导通部72和第2导通部73被配置成关于假想点P非点对称。

如图16所示，第1导通部72由矩形状的基部74和相比于该基部74在X方向上的宽度更宽的末端部75构成。在该末端部75设置有斜面部76，该斜面部76被配置成与第2导通部72对置。第2导通部73具有斜面部77，该斜面部77被配置成与第1导通部72的斜面部76对置。

此外，如图16所示，第1导通部72的末端部75从中心线CL2向X方向上的右侧突出，第2导通部72的一方的侧面位于中心线CL2上。

即，第1导通部72的斜面部76和第2导通部的斜面部77以相互对应的方式进行配置，并且被配置成，当将探针203收纳于壳体2的内部并对触点部41、51施力时，第1导通部72的斜面部76和第2导通部的斜面部77互相面接触。

并且，一对弹性支承部34、35各自在不跨越中心线CL2的情况下将第1导通部72的基部74和第2导通部73的基部73b彼此连接起来并支承第1导通部72的基部74和第2导通部73的基部73b。

将第3实施方式的探针203收纳于壳体2的内部，直接或间接地对第1触点部41和第2触点部51施力，以将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入。于是，各弹性单元31的第1导通部72和第2导通部73沿中心线CL2互相接近，在达到全行程之前，第1导通部72的斜面部76和第2导通部的斜面部77彼此接触而导通。其结果，形成沿中心线CL2的导通路径。

当将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，第1导通部72的末端部75被第2导通部73从中心线CL2向X方向上的左侧推入。同时，第2导通部73被第1导通部72的末端部75从中心线CL2向X方向上的右侧推入。即，第1导通部72的斜面部76与第2导通部73的斜面部77在互相面接触的状态下滑动。此外，当将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，第1导通部72的末端部75的X方向上的右侧的端部78与第2导通部73的X方向上的左侧的侧面79在互相面接触的状态下滑动。因此，能够确保较高的接触可靠性。

并且，第1导通部72的斜面部76和端部78以及第2导通部73的斜面部77和侧面79为内部接触部(即，接触部)的一例。

(第4实施方式)

图17和图18是示出第4实施方式的探针303的图。在该第4实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标记相同的参照编号并省略说明，对与第1实施方式不同的内容进行说明。

第4实施方式的探针303在如下方面与第1实施方式不同：如图17和图18所示，设置有第1导通部82和第2导通部83，其中，所述第1导通部82具有沿中心线CL2延伸的大致矩形状，所述第2导通部2具有沿中心线CL2平行地延伸的一对弹性臂部84，第1导通部82和第2导通部83被配置成在X方向上关于中心线CL2对称。

如图18所示，在第2导通部83的弹性臂部84的末端部具有朝向中心线CL2突出的突起部85。该突起部85与对置的突起部85之间的距离被配置成比第1导通部82在X方向上的宽度窄。

并且，一对弹性支承部34、35各自在不跨越中心线CL2的情况下将第1导通部82的基部82a和第2导通部83的弹性臂部84彼此连接起来并支承第1导通部82的基部82a和第2导通部83的弹性臂部84。

将第4实施方式的探针303收纳于壳体2的内部，直接或间接地对第1触点部41和第2触点部51施力，以将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入。于是，各弹性单元31的第1导通部82和第2导通部83沿中心线CL2互相接近，在达到全行程之前，第1导通部82的末端部的角部86与第2导通部的突起部85接触。其结果，形成沿中心线CL2的导通路径。

当将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，第1导通部82被推入到第2导通部83的弹性臂部84之间。由此，由于第1导通部82的X方向上的侧面87，使得一对弹性臂部84的突起部85分别向远离中心线CL2的方向被撑开。即，第1导通部82在被第2导通部83的弹性臂部84夹持的状态下滑动。因此，能够确保较高的接触可靠性。

并且，第1导通部82的角部86和侧面87以及第2导通部83的突起部85为内部接触部(即，接触部)的一例。

(第5实施方式)

图19和图20是示出第5实施方式的探针403的图。在该第5实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标记相同的参照编号并省略说明，对与第1实施方式不同的内容进行说明。

如图19和图20所示，第5实施方式的探针403在设置有大致半圆环状的第1、第2导通部92、93这方面与第1实施方式不同。

如图20所示，第1导通部92和第2导通部93被配置成在X方向上关于中心线CL2对称且在Z方向上关于直线ML对称。

并且，一对弹性支承部34、35各自在不跨越中心线CL2的情况下将第1导通部92的基部92a和第2导通部93的基部93b之间连接起来并支承第1导通部92的基部92a和第2导通部93的基部93b。

将第5实施方式的探针403收纳于壳体2的内部，直接或间接地对第1触点部41和第2触点部51施力，以将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入。于是，各弹性单元31的第1导通部92和第2导通部93沿中心线CL2互相接近，在达到全行程之前，第1导通部32的末端部的顶点94和第2导通部的末端部的顶点95彼此接触。其结果，形成沿中心线CL2的导通路径。

当将第1接触部40和第2接触部50向壳体2的内部推入时，第1导通部92和第2导通部93逐渐发生弹性变形而借助该弹性力互相按压。由此，能够确保较高的接触可靠性。

并且，第1导通部32的末端部的顶点94和第2导通部33的末端部的顶点95为内部接触部(即，接触部)的一例。

如第1～第5实施方式所示，一对导通部只要以沿探针的中心线CL2可接触且可分离的方式对置配置即可，还可以根据探针的设计等而适当变更其形状。即，能够提供设计自由度较高的探针。

(其它实施方式)

第1触点部41和第2触点部51可以均具有关于中心线CL2对称的形状，也可以均具有关于中心线CL2不对称的形状。关于触点部的形状，可以根据探针的设计等而适当变更。

上述实施方式的探针不限于电铸法，如果可能的话，可以利用其它任意的方法来制造。

壳体2的形状不限于大致方筒形状，可以根据检查夹具的设计等而适当变更。

收纳在检查夹具1中的探针3不限于多个的情况，也可以是一个。

上述实施方式中叙述的构成要素当然可以适当进行组合，此外，还可以适当进行选择、替换或删除。

本发明的探针具备：弹性部，其沿中心线进行伸缩，具有沿所述中心线连接起来的多个弹性单元；以及触点部，其分别设置在所述弹性部的两端，所述弹性单元具有一对导通部和一对弹性支承部，其中，所述一对导通部以能够沿所述中心线接触且能够分离的方式对置配置，所述一对弹性支承部关于所述中心线对称地设置，且连接所述一对导通部，所述一对导通部分别具有内部接触部，所述内部接触部被配置成，当使所述弹性部沿所述中心线收缩时互相接触。

根据本发明的探针，具备弹性部和触点部，其中，所述弹性部沿中心线进行伸缩，具有沿中心线连接起来的多个弹性单元，所述触点部分别设置在弹性部的两端。由此，能够使触点部沿中心线接近或分离，因此能够准确地确保期望的位移量。

此外，弹性单元还具有一对导通部和一对弹性支承部，其中，所述一对导通部以能够沿中心线接触且能够分离的方式对置配置，所述一对弹性支承部关于中心线对称地设置，连接一对导通部，一对导通部分别具有接触部，所述接触部被配置成，当使弹性部沿中心线收缩时互相接触。由此，能够沿中心线确保导通路径，因此能够确保良好的导通性。

即，本发明的探针具备：第1触点部和第2触点部，它们沿长度方向各自独立地设置，并且相互隔开间隔地配置；以及多个弹性单元，它们以串联的方式连接所述第1触点部和所述第2触点部，所述弹性单元各自具有：第1导通部和第2导通部，在所述第1导通部和第2导通部的末端部分别设置有接触部，所述接触部被配置成，分别沿所述长度方向延伸且沿所述长度方向相互隔开间隔且对置；以及一对弹性支承部，它们在沿所述长度方向延伸的探针中心线的两侧从所述第1导通部和所述第2导通部各自的基部分别朝向与所述长度方向交叉的方向对称地伸出，并且分别在不跨越所述探针中心线的情况下将所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部彼此连接起来并支承所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部，并且被设置成能够沿所述长度方向伸缩，并且在收缩时能够使所述第1导通部的所述接触部与所述第2导通部的所述接触部接触，多个所述弹性单元包含第1弹性单元和第2弹性单元，其中，所述第1弹性单元与所述第1触点部相邻且所述第1弹性单元的所述第1导通部与所述第1触点部连接，所述第2弹性单元与所述第2触点部相邻且所述第2弹性单元的所述第2导通部与所述第2触点部连接，并且，在多个所述弹性单元中的相邻的两个弹性单元中，一方的弹性单元的所述第1导通部的基部与另一方的弹性单元的所述第2导通部的所述基部彼此连接。

根据本发明的探针，以串联方式连接第1触点部和第2触点部的多个弹性单元31各自具有：分别沿长度方向延伸的第1导通部和第2导通部；以及连接第1导通部和第2导通部的一对弹性支承部。由此，能够使第1触点部和第2触点部沿探针中心线接近或分离，因此能够准确地确保期望的位移量。

此外，弹性单元各自具有：一对弹性支承部，它们在沿长度方向延伸的探针中心线的两侧从第1导通部和第2导通部各自的基部分别朝向与长度方向交叉的方向对称地伸出，并且分别在不跨越探针中心线的情况下将第1导通部和第2导通部的基部彼此连接起来并支承第1导通部和第2导通部的基部，并且被设置成能够沿长度方向伸缩，并且在收缩时，使得第1导通部的接触部能够与第2导通部的接触部接触。并且，多个弹性单元包含第1弹性单元和第2弹性单元，其中，所述第1弹性单元与第1触点部相邻且第1导通部与第1触点部连接，所述第2弹性单元与第2触点部相邻且第2导通部与第2触点部连接，并且，在多个弹性单元中的相邻的两个弹性单元中，一方的弹性单元的第1导通部的基部与另一方的弹性单元的第2导通部的基部彼此连接。由此，能够沿探针中心线确保最短的导通路径，因此能够确保良好的导通性。

作为本发明实施方式，也可以构成为，所述一对弹性支承部各自具有弯曲的框形状。

根据本实施方式，能够提高各弹性支承部的弹性力。

作为本发明的实施方式，也可以构成为，所述弹性单元各自位于所述探针中心线上，并且被配置成关于位于所述第1导通部和所述第2导通部中间的假想点点对称。

根据本实施方式，能够使第1触点部和第2触点部可靠且平衡性良好地沿探针中心线伸缩。

作为本发明的实施方式，所述接触部也可以是接触面。

根据本实施方式，能够抑制一对导通部的接触阻力，能够确保良好的导通性。

作为本发明的实施方式，也可以是，多个所述弹性单元中的一个所述弹性单元的所述第2导通部的基部与和一个所述弹性单元相邻的另一个所述弹性单元的所述第1导通部的基部借助于沿所述长度方向延伸的连接部连接。

根据本实施方式，能够使第1导通部和第2导通部沿探针中心线可靠地移位。

作为本发明的实施方式，也可以构成为，所述第1导通部的所述接触部和所述第2导通部的所述接触部以使得在所述一对弹性支承部收缩时互相按压的方式对置配置。

根据本实施方式，能够确保较高的接触可靠性。

作为本发明的实施方式，也可以构成为，所述触点部中的至少任意一方具有关于所述探针中心线不对称的形状。

根据本实施方式，能够根据探针的设计等而适当变更触点部的形状。因此能够扩大探针的设计自由度。

根据本发明的检查夹具，其具备：壳体以及所述探针，所述探针的所述触点部从所述壳体露出，并且所述探针以所述一对导通部分离且所述一对弹性支承部能够进行伸缩的状态收纳于所述壳体内。

根据本发明，能够提供具备在能够确保期望的位移量的同时能够确保良好的导通性的探针的检查夹具。

并且，通过将上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例适当进行组合，能够起到各自所具有的效果。此外，还能够进行实施方式之间的组合或实施例之间的组合或实施方式与实施例的组合，并且还能够进行不同的实施方式或实施例中的特征彼此的组合。

参照附图，与优选实施方式相关联地充分地对本发明进行了记述，但是，对于本领域技术人员而言可以明了能够进行各种变形及修改。这样的变形及修改只要没有超出基于所附的权利要求的本发明的范围，就应被理解为包含在其中。

产业上的可利用性

本发明的探针和检查夹具例如可以用于半导体集成电路或半导体器件的导通检查或动作特性检查。

标号说明

1：检查夹具；2：壳体；3、103、203、303、403：探针；10：上部壳体；11：收纳部；12：主体侧收纳部；13：触点侧收纳部；14：阶梯部；15：第1开口部；16：第2开口部；20：下部壳体；21：收纳部；22：主体侧收纳部；23：触点侧收纳部；24：阶梯部；25：第1开口部；26：第2开口部；30：弹性部；31：弹性单元；31A：第1弹性单元；31B：第2弹性单元；31C：第3弹性单元；31D：第4弹性单元；32、62、72、82、92：第1导通部；32a、62a：末端部；32b、62b、82b、92b：基部；321：顶点部；322：斜面部(接触部的一例)；33、63、73、83、93：第2导通部；33a、63a：末端部；33b、63b、73b、93b：基部；331：顶点部；332：斜面部(接触部的一例)；34、35：弹性支承部；341、351：中间点；342、343、352、353：连接部；344、354：圆弧状带部；36：连接部；40：第1接触部；41：触点部；42：支承突部；421：末端；43：贯通孔；50：第2接触部；51：触点部；52：支承突部；521：末端；74：基部；75：末端部；76、77：斜面部(接触部的一例)；78：端部；79：侧面；84：弹性臂部；84b：基部；85：突起部；86：角部(接触部的一例)；87：侧面(接触部的一例)；94、95：顶点(接触部的一例)；CL1：(收纳部)中心线；CL2：(探针)中心线；P：假想点。

Claims (8)

1.一种探针，其中，所述探针具备：

第1触点部和第2触点部，它们沿长度方向分别独立地设置，并且配置成互相隔开间隔；以及

多个弹性单元，它们以串联的方式连接所述第1触点部和所述第2触点部，

所述弹性单元各自具有：

第1导通部和第2导通部，在它们的末端部分别设置有接触部，所述接触部被配置成分别沿所述长度方向延伸且沿所述长度方向互相隔开间隔且对置；以及

一对弹性支承部，它们在沿所述长度方向延伸的探针中心线的两侧从所述第1导通部和所述第2导通部各自的基部分别朝向与所述长度方向交叉的方向对称地伸出，并且分别在不跨越所述探针中心线的情况下将所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部彼此连接起来并支承所述第1导通部和所述第2导通部的所述基部，并且被设置成能够沿所述长度方向伸缩且在收缩时能够使所述第1导通部的所述接触部与所述第2导通部的所述接触部接触，

多个所述弹性单元包含第1弹性单元和第2弹性单元，其中，所述第1弹性单元与所述第1触点部相邻且所述第1弹性单元的所述第1导通部与所述第1触点部连接，所述第2弹性单元与所述第2触点部相邻且所述第2弹性单元的所述第2导通部与所述第2触点部连接，并且，在多个所述弹性单元中的相邻的两个弹性单元中，一方的弹性单元的所述第1导通部的所述基部与另一方的弹性单元的所述第2导通部的所述基部彼此连接。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

所述一对弹性支承部各自具有弯曲的框形状。

3.根据权利要求1或2所述的探针，其中，

所述弹性单元各自位于所述探针中心线上，并且被配置成关于位于所述第1导通部和所述第2导通部的中间的假想点点对称。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的探针，其中，

多个所述弹性单元中的一个所述弹性单元的所述第2导通部的基部与和一个所述弹性单元相邻的另一个所述弹性单元的所述第1导通部的基部借助于沿所述长度方向延伸的连接部连接。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的探针，其中，

所述接触部是接触面。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的探针，其中，

所述第1导通部的所述接触部和所述第2导通部的所述接触部以在所述一对弹性支承部收缩时互相按压的方式对置配置。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的探针，其中，

所述第1触点部和所述第2触点部中的至少任意一方具有关于所述探针中心线不对称的形状。

8.一种检查夹具，其中，所述检查夹具具备：

壳体；以及

权利要求1～7中的任一项所述的探针，所述探针的所述第1触点部和所述第2触点部从所述壳体露出，并且，所述探针以所述第1导通部和第2导通部分离且所述一对弹性支承部能够伸缩的状态收纳于所述壳体内。