CN107610993B - 控制晶圆进出大气真空转换腔室方法及大气真空转换腔室 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法及大气真空转换腔室，前者包括：S1：判断第一和第二大气真空转换腔室的第一位置第二位置是否都有晶圆，是则执行S2，否则执行S3至S4；S2：同时对第一和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；S3：同时对第一和第二大气真空转换腔室进行充气操作；S4：判断第一位置是否有晶圆，是则往第二位置放入晶圆，否则往第一位置放入晶圆，操作完成后返回S1。本发明的方法可同时对第一和第二大气真空转换腔室进行抽真空和充气操作，并且在第一位置和第二位置上均有晶圆时进行抽真空操作，即一次抽真空操作可实现至少两片晶圆进入工艺腔室，从而避免了大气真空转换腔室排队抽真空，提高了晶圆的传输效率。

Description

控制晶圆进出大气真空转换腔室方法及大气真空转换腔室

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，更具体地，涉及一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，以及一种大气真空转换腔室。

背景技术

半导体制程一般都需要在高真空环境下进行，大气真空转换腔室(LoadLock腔室)主要用于实现大气和真空的隔离。大气真空转换腔室包括大气隔离阀、真空隔离阀、抽气阀、充气阀以及腔室本体，腔室本体内设有用于升降晶圆的升降机构，大气隔离阀可将腔室本体与大气环境隔离开来，真空隔离阀可将腔室本体与真空环境隔离开来；大气隔离阀打开时晶圆才可在大气真空转换腔室和大气环境之间移动，真空隔离阀打开时晶圆才可在大气真空转换腔室和工艺腔室之间移动；通过例如是干泵的抽真空设备经由抽气阀对腔室本体进行抽真空操作，打开充气阀时腔室本体进行充气操作。

大气真空转换腔室的使用过程如下：晶圆在一个大气压力(通常为760Torr)环境条件下传输至大气真空转换腔室，然后大气真空转换腔室与大气隔离并进行抽真空操作，上述抽真空操作是指对大气真空转换腔室抽真空使得大气真空转换腔室内的压力降至1×10^-3到1×10^-6Torr，接着大气真空转换腔室与真空环境下的工艺腔室连通，晶圆传输到工艺腔室中，执行工艺处理；晶圆工艺处理完成后，由工艺腔室传输回大气真空转换腔室中，然后大气真空转换腔室与工艺腔室隔离并进行充气操作，使得大气真空转换腔室内压力达到一个大气压力(通常为760Torr)，接着大气真空转换腔室与大气环境连通，晶圆传输到大气环境下。

在现有的半导体制备过程中，一个抽真空设备为多个大气真空转换腔室提供抽真空服务，但是同一时间只有一个大气真空转换腔室可进行抽真空操作，即多个大气真空转换腔室彼此独立、抽真空设备共享，这将导致大气真空转换腔室排队抽真空的问题。由于大气真空转换腔室执行一次抽真空操作或充气操作的时间一般在30s左右，每片晶圆进出大气真空转换腔室的过程中至少需要在大气真空转换腔室中耗时1min左右，大气真空转换腔室排队抽真空将导致晶圆在大气真空转换腔室内的耗时过长，晶圆在大气真空转换腔室内的时间占比可能会达到甚至超过半导体制备时长的50％，严重降低了半导体制备产能。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，以避免大气真空转换腔室排队抽真空的问题，提高晶圆的传输效率。

根据本发明的第一方面，提供了一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，包括：

步骤S1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置是否都有晶圆，是则执行步骤S2，否则执行步骤S3至步骤S4，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆；

步骤S2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤S3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S4：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，否则往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆，操作完成后返回步骤S1。

可选地，所述步骤S2包括：

步骤S2-1：打开抽气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，关闭抽气阀；

步骤S2-2：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤S2-3：将第一位置上的晶圆和第二位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤S2-4：判断是否有晶圆要离开工艺腔室，是则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤S2-5：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀。

可选地，所述步骤S3包括：

步骤S3-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降；

步骤S3-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀；

步骤S3-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升。

可选地，所述步骤S4包括：

步骤S4-1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则执行步骤S4-2至步骤S4-5，否则执行步骤S4-6至步骤S4-9；

步骤S4-2：打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-3：往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆；

步骤S4-4：判断第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则将第四位置上的晶圆拿出；

步骤S4-5：关闭第二大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1；

步骤S4-6：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-7：往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆；

步骤S4-8：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将第三位置上的晶圆拿出；

步骤S4-9：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1。

可选地，所述方法还包括：

步骤S01：判断是否有晶圆待进入工艺腔室，是则执行步骤S1，否则执行步骤S5；

步骤S5：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则执行步骤S6；

步骤S6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S7：将第三位置和/或第四位置上的晶圆拿出。

本发明的另一目的是提供一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，以避免大气真空转换腔室排队抽真空的问题，提高晶圆的传输效率。

根据本发明的第二方面，提供了一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，包括：

步骤P1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置是否都有晶圆，是则执行步骤P2，否则执行步骤P3至步骤P4；

步骤P2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤P3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P4：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置，否则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置，操作完成后返回步骤P1。

可选地，所述步骤P2包括：

步骤P2-1：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降；

步骤P2-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀；

步骤P2-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升；

步骤P2-4：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤P2-5：将第三位置上的晶圆和第四位置上的晶圆拿出；

步骤P2-6：判断是否有晶圆要进入工艺腔室，是则往第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆；

步骤P2-7：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀。

可选地，所述步骤P3包括：

步骤P3-1：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P3-2：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升。

可选地，所述步骤P4包括：

步骤P4-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则执行步骤P4-2至步骤P4-5，否则执行步骤P4-6至步骤P4-9；

步骤P4-2：打开第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-3：将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤P4-4：判断第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则将第二位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤P4-5：关闭第二大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1；

步骤P4-6：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-7：将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置；

步骤P4-8：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则将第一位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤P4-9：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1。

可选地，所述方法还包括：

步骤P01：判断是否有晶圆待离开工艺腔室，是则执行步骤P1，否则执行步骤P5；

步骤P5：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则执行步骤P6；

步骤P6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P7：将第一位置和/或第二位置上的晶圆移入工艺腔室。

本发明还有一个目的是提供一种大气真空转换腔室，该大气真空转换腔室可同时对多个子大气真空转换腔室进行充气和抽气，并在各子大气真空转换腔室中提供了更多的晶圆放置位置，以避免大气真空转换腔室排队抽真空的问题，提高晶圆的传输效率。

根据本发明的第三方面，提供了一种大气真空转换腔室，包括充气阀、抽气阀、第一大气真空转换腔室和至少一个第二大气真空转换腔室，其中，所述充气阀与所述第一大气真空转换腔室的第一腔室本体和所述第二大气真空转换腔室的第二腔室本体相连通，以对所述第一腔室本体和所述第二腔室本体同时充气；所述抽气阀与所述第一腔室本体和所述第二腔室本体相连通，以对所述第一腔室本体和所述第二腔室本体同时抽气；所述第一腔室本体内设有用于放置晶圆的第一固定部，所述第二腔室本体内设有用于放置晶圆的第二固定部。

可选地，所述第一固定部为设在所述第一腔室本体的内壁上的第一凸起，所述第二固定部为设在所述第二腔室本体的内壁上的第二凸起。

可选地，所述第一固定部位于所述第一大气真空转换腔室的第一升降机构的升降行程之外，所述第二固定部位于所述第二大气真空转换腔室的第二升降机构的升降行程之外。

可选地，所述第一升降机构上设有第三固定部，所述第二升降机构上设有第四固定部。

本发明的发明人发现，在现有技术中，的确存在大气真空转换腔室排队抽真空，晶圆的传输效率低的问题。因此，本发明所要实现的技术任务或者所要解决的技术问题是本领域技术人员从未想到的或者没有预期到的，故本发明是一种新的技术方案。

本发明的一个有益效果在于，本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法可同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空和充气操作，并且在第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置上均有晶圆时进行抽真空操作，即一次抽真空操作可实现至少两片晶圆进入工艺腔室，从而避免了大气真空转换腔室排队抽真空，提高了晶圆的传输效率。

本发明的另一个有益效果在于，本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法可同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空和充气操作，并且在第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置上均有晶圆时进行充气操作，即一次充气操作可实现至少两片晶圆离开大气真空转换腔室，从而避免了大气真空转换腔室排队抽真空，提高了晶圆的传输效率。

本发明还有一个有益效果在于，本发明的大气真空转换腔室的充气阀和抽气阀均与各第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室相连通，使得通过充气阀可对多个大气真空转换腔室同时进行充气操作，通过抽气阀可对多个大气真空转换腔室同时进行抽真空操作，避免了大气真空转换腔室排队抽真空，并且在各腔室本体内设置了用于放置晶圆的固定部，该固定部与升降机构均可放置晶圆，提高了晶圆的传输效率。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1为本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法一的实施例一的流程图；

图2为本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法一的实施例二的流程图；

图3为本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法二的实施例一的流程图；

图4为本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法二的实施例二的流程图；

图5为本发明大气真空转换腔室实施例的结构示意图。

图中标示如下：

充气阀-1，抽气阀-2，第一大气真空转换腔室-3，第一腔室本体-31，第一固定部-32，第一大气隔离阀-33，第一真空隔离阀-34，第一升降机构-35，第三固定部-351，第二大气真空转换腔室-4，第二腔室本体-41，第二固定部-42，第二大气隔离阀-43，第二真空隔离阀-44，第二升降机构-45，第四固定部-451。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为解决大气真空转换腔室排队抽真空，晶圆的传输效率低的问题，本发明提供了一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，如图1和图2所示，包括：

步骤S1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置是否都有晶圆，是则执行步骤S2，否则执行步骤S3至步骤S4，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆，即第一大气真空转换腔室的第一位置是指晶圆自第一大气真空转换腔室移入工艺腔室的过程中，晶圆在第一大气真空转换腔室内所处的位置，该第一位置不与第一大气真空转换腔室内的升降机构的升降行程中的任意位置相重叠，因此第一位置与第一大气真空转换腔室内的升降机构彼此独立，第二大气真空转换腔室的第二位置是指晶圆自第二大气真空转换腔室移入工艺腔室的过程中，晶圆在第二大气真空转换腔室内所处的位置，该第二位置不与第二大气真空转换腔室内的升降机构的升降行程中的任意位置相重叠，因此第二位置与第二大气真空转换腔室内的升降机构彼此独立；此外，本领域技术人员应当清楚，半导体制备过程中的工艺腔室并不是单独一个腔室，而是具有多个可进行相同或不同工艺的、彼此相对独立的子腔室，因此，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆可通过真空机械手分别移入工艺腔室的不同子腔室中；

步骤S2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，抽真空操作完成后第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的压力通常为1×10^-3到1×10^-6Torr，上述抽真空操作可通过例如是干泵的抽真空设备经由抽气阀抽气实现，优选地第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室共用一个抽气阀，并且使用同一个抽真空设备对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；在进行抽真空操作后，本领域技术人员可根据实际需求对第一大气真空转换腔室的第一位置上和第二大气真空转换腔室的第二位置上的晶圆进行操作，例如将晶圆通过真空机械手移入工艺腔室中；

步骤S3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，充气操作完成后第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的压力通常为一个大气压(760Torr)，充气操作过程中优选地第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室共用一个充气阀；

步骤S4：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，否则往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆，操作完成后返回步骤S1，上述往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆的操作是指将晶圆自外界大气环境中传输进入第一大气真空转换腔室，上述往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆的操作是指将晶圆自外界大气环境中传输进入第二大气真空转换腔室，放入晶圆的操作均可通过大气机械手等移动设备实现。

在步骤S4中，如果第一大气真空转换腔室的第一位置上有晶圆，则第二大气真空转换腔室的第二位置也会被放入晶圆，返回步骤S1后，经过步骤S1的判断，将执行步骤S2；如果第一大气真空转换腔室的第一位置上没有晶圆，则往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆，返回步骤S1后，经过步骤S1的判断，执行步骤S3至步骤S4，在步骤S4中第二大气真空转换腔室的第二位置也将被放入晶圆，再次返回步骤S1后，经过步骤S1的判断，将执行步骤S2，这样，本发明的方法总能保证第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置上均有晶圆，并在这种情况下进行抽真空操作。

本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法可同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空和充气操作，并且在第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置上均有晶圆时进行抽真空操作，即一次抽真空操作可实现至少两片晶圆进入工艺腔室，从而避免了大气真空转换腔室排队抽真空，提高了晶圆的传输效率。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述步骤S2包括：

步骤S2-1：打开抽气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，关闭抽气阀；

步骤S2-2：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀，这样，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室可与工艺腔室之间传输晶圆；

步骤S2-3：将第一位置上的晶圆和第二位置上的晶圆移入工艺腔室，上述“移入”的操作可通过真空机械手实现；

步骤S2-4：判断是否有晶圆要离开工艺腔室，是则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置，否则直接执行步骤S2-5，这样，晶圆自第一大气真空转换腔室移入工艺腔室以及晶圆自工艺腔室移入第一大气真空转换腔室可在一次打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀的条件下进行操作，晶圆自第二大气真空转换腔室移入工艺腔室以及晶圆自工艺腔室移入第二大气真空转换腔室可在一次打开第二大气真空转换腔室的真空隔离阀的条件下进行操作；在步骤S2-2中第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀已经打开，也即是大气真空转换腔室和工艺腔室之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆要离开工艺腔室时可通过例如是真空机械手的设备将晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置；上述第一大气真空转换腔室的第三位置是指晶圆自工艺腔室移入第一大气真空转换腔室的过程中，晶圆在第一大气真空转换腔室内所处的位置，该第三位置通常为第一大气真空转换腔室内的升降机构在升降行程中的任意位置，优选地为第一大气真空转换腔室的升降机构升起的终点位置，当然，第三位置与第一位置不重叠；上述第二大气真空转换腔室的第四位置是指晶圆自工艺腔室移入第二大气真空转换腔室的过程上，晶圆在第二大气真空转换腔室内所处的位置，该第四位置通常为第二大气真空转换腔室内升降机构在升降行程中的任意位置，优选地为第二大气真空转换腔室的升降机构升起的终点位置，当然，第四位置与第二位置不重叠；

步骤S2-5：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀，这样，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间便彼此隔离，当然，本领域技术人员可容易想到，在该步骤结束后，可返回执行步骤S1，以连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆。

为了在对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作的过程中，充分地冷却第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆，所述步骤S3包括：

步骤S3-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降，这时第三位置或第四位置上的晶圆与各大气真空转换腔室的底部接触，以对第三位置或第四位置上的晶圆进行冷却；

步骤S3-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀，本领域技术人员应当清楚，充气操作的过程也可对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆进行冷却；

步骤S3-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升，冷却完成后，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构便上升，以在后续步骤中方便例如是大气机械手等设备移动晶圆。

在上述步骤S3-1和步骤S3-3中，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室中的升降机构同升同降，这种设置有利于防止各大气真空转换腔室的升降机构上的晶圆移动不便；此外，由于在对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作的过程中各大气真空转换腔室的大气隔离阀和真空隔离阀均处于关闭状态，此时例如大气机械手或真空机械手等移动设备无法进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室中移动晶圆，因此有利于防止移动设备与升降机构相干涉。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述步骤S4包括：

步骤S4-1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则执行步骤S4-2至步骤S4-5，否则执行步骤S4-6至步骤S4-9；

步骤S4-2：打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-3：往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆；

步骤S4-4：判断第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则将第四位置上的晶圆拿出，否则直接执行步骤S4-5；在步骤S4-2中第二大气真空转换腔室的大气隔离阀已经打开，也即是第二大气真空转换腔室和外界大气环境之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆要离开第二大气真空转换腔室时可通过例如是大气机械手的设备将晶圆自第二大气真空转换腔室的第四位置上取出，这样，晶圆自第二大气真空转换腔室拿出至外界大气环境中，以及晶圆自外界大气环境传输进入第二大气真空转换腔室可在一次打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀的条件下进行操作；

步骤S4-5：关闭第二大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1，这样，第二大气真空转换腔室和外界大气环境便彼此隔离，返回步骤S1后，继续连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆；

步骤S4-6：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-7：往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆；

步骤S4-8：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将第三位置上的晶圆拿出，否则直接执行步骤S4-9；在步骤S4-6中第一大气真空转换腔室的大气隔离阀已经打开，也即是第一大气真空转换腔室和外界大气环境之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆要离开第一大气真空转换腔室时可通过例如是大气机械手的设备将晶圆自第一大气真空转换腔室的第三位置上取出，这样，晶圆自第一大气真空转换腔室拿出至外界大气环境中，以及晶圆自外界大气环境传输进入第一大气真空转换腔室可在一次打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀的条件下进行操作；

步骤S4-9：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1，这样，第一大气真空转换腔室和外界大气环境便彼此隔离，返回步骤S1后，继续连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述方法还包括：

步骤S01：判断是否有晶圆待进入工艺腔室，是则执行步骤S1，否则执行步骤S5，当然，本领域技术人员也容易想到，当有晶圆待进入工艺腔室时，步骤S4中的操作完成后可返回步骤S01，以连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆；

步骤S5：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则执行步骤S6，否则结束，当第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置上有晶圆时，可将第三位置和/或第四位置上的晶圆自各大气真空转换腔室中拿出，以空出第三位置和/或第四位置，方便工艺腔室中完成工艺的晶圆移入第三位置和/或第四位置；

步骤S6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，对于该步骤的具体操作，可参考步骤S3-1至步骤S3-3，本发明在此不作赘述；

步骤S7：将第三位置和/或第四位置上的晶圆拿出，本领域技术人员可应当清楚，将第三位置和/或第四位置上的晶圆拿出前需要打开大气隔离阀，拿出后需要关闭大气隔离阀，这样，第三位置和/或第四位置便空置出来，工艺腔室中完成工艺的晶圆可根据需要移入第三位置和/或第四位置。

为解决大气真空转换腔室排队抽真空，晶圆的传输效率低的问题，本发明提供了另一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，如图3和图4所示，包括：

步骤P1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置是否都有晶圆，是则执行步骤P2，否则执行步骤P3至步骤P4；上述第一大气真空转换腔室的第三位置是指晶圆自工艺腔室移入第一大气真空转换腔室的过程中，晶圆在第一大气真空转换腔室内所处的位置，该第三位置通常为第一大气真空转换腔室内的升降机构在升降行程中的任意位置，优选地为第一大气真空转换腔室的升降机构升起的终点位置；上述第二大气真空转换腔室的第四位置是指晶圆自工艺腔室移入第二大气真空转换腔室的过程上，晶圆在第二大气真空转换腔室内所处的位置，该第四位置通常为第二大气真空转换腔室内升降机构在升降行程中的任意位置，优选地为第二大气真空转换腔室的升降机构升起的终点位置；此外，本领域技术人员应当清楚，半导体制备过程中的工艺腔室并不是单独一个腔室，而是具有多个可进行相同或不同工艺的、彼此相对独立的子腔室，因此，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆可通过真空机械手分别移入工艺腔室的不同子腔室中；

步骤P2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，充气操作完成后第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的压力通常为一个大气压(760Torr)，充气操作过程中优选地第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室共用一个充气阀；在进行充气操作后，本领域技术人员可根据实际需求对第一大气真空转换腔室的第三位置上和第二大气真空转换腔室的第四位置上的晶圆进行操作，例如将晶圆通过大气机械手自各大气真空转换腔室拿出至外界大气环境中；

步骤P3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；抽真空操作完成后第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的压力通常为1×10^-3到1×10^-6Torr，上述抽真空操作可通过例如是干泵的抽真空设备经由抽气阀抽气实现，优选地第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室共用一个抽气阀，并且使用同一个抽真空设备对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P4：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置，否则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置，操作完成后返回步骤P1，上述移动晶圆的操作均可通过真空机械手等移动设备实现。

在步骤P4中，如果第一大气真空转换腔室的第三位置上有晶圆，则第二大气真空转换腔室的第二位置也会移入晶圆，返回步骤P1后，经过步骤P1的判断，将执行步骤P2；如果第一大气真空转换腔室的第三位置上没有晶圆，则往第一大气真空转换腔室的第三位置移入晶圆，返回步骤P1后，经过步骤P1的判断，执行步骤P3至步骤P4，在步骤P4中第二大气真空转换腔室的第四位置也将移入晶圆，再次返回步骤P1后，经过步骤P1的判断，将执行步骤P2，这样，本发明的方法总能保证第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置上均有晶圆，并在这种情况下进行充气操作。

本发明控制晶圆进出大气真空转换腔室方法可同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空和充气操作，并且在第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置上均有晶圆时进行充气操作，即一次充气操作可实现至少两片晶圆离开大气真空转换腔室，从而避免了大气真空转换腔室排队抽真空，提高了晶圆的传输效率。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述步骤P2包括：

步骤P2-1：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降，这时第三位置或第四位置上的晶圆与各大气真空转换腔室的底部接触，以对第三位置或第四位置上的晶圆进行冷却；

步骤P2-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀，本领域技术人员应当清楚，充气操作的过程也可对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆进行冷却；

步骤P2-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升，冷却完成后，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构便上升，以在后续步骤中方便例如是大气机械手等设备移动晶圆，各大气真空转换腔室内的升降机构的升降动作有利于在对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作的过程中，充分地冷却第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室内的晶圆；

步骤P2-4：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤P2-5：将第三位置上的晶圆和第四位置上的晶圆拿出，上述将第三位置上的晶圆和第四位置上的晶圆拿出的操作是指将晶圆自第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置拿出至外界大气环境中，拿出晶圆的操作均可通过大气机械手等移动设备实现；

步骤P2-6：判断是否有晶圆要进入工艺腔室，是则往第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆，否则直接执行步骤P2-7，这样，晶圆自第一真腔室拿出至外界大气环境中以及晶圆自外界大气环境中传输进入第一大气真空转换腔室可在一次打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀的条件下进行操作，晶圆自第二真腔室拿出至外界大气环境中以及晶圆自外界大气环境中传输进入第二大气真空转换腔室可在一次打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀的条件下进行操作；在步骤P2-4中第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀已经打开，也即是第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与外界大气环境之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆要进入工艺腔室时可通过例如是大气机械手的设备将晶圆自外界大气环境中放入第一位置和/或第二位置；上述第一大气真空转换腔室的第一位置是指晶圆自第一大气真空转换腔室移入工艺腔室的过程中，晶圆在第一大气真空转换腔室内所处的位置，该第一位置不与第一大气真空转换腔室内的升降机构的升降行程中的任意位置相重叠，因此第一位置与第一大气真空转换腔室内的升降机构彼此独立，当然，第一位置与第三位置不重叠；上述第二大气真空转换腔室的第二位置是指晶圆自第二大气真空转换腔室移入工艺腔室的过程中，晶圆在第二大气真空转换腔室内所处的位置，该第二位置不与第二大气真空转换腔室内的升降机构的升降行程中的任意位置相重叠，因此第二位置与第二大气真空转换腔室内的升降机构彼此独立，当然，第二位置与第四位置不重叠；

步骤P2-7：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀，这样，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与外界大气环境之间便彼此隔离，当然，本领域技术人员可容易想到，在该步骤结束后，可返回执行步骤P1，以连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆。

在上述步骤P2-1和步骤P2-3中，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室中的升降机构同升同降，这种设置有利于防止各大气真空转换腔室的升降机构上的晶圆移动不便；此外，由于在对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作的过程中各大气真空转换腔室的大气隔离阀和真空隔离阀均处于关闭状态，此时例如大气机械手或真空机械手等移动设备无法进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室中移动晶圆，因此有利于防止移动设备与升降机构相干涉。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述步骤P3包括：

步骤P3-1：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P3-2：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升，这样，第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构始终处于可接收来自工艺腔室的晶圆的状态。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述步骤P4包括：

步骤P4-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则执行步骤P4-2至步骤P4-5，否则执行步骤P4-6至步骤P4-9；

步骤P4-2：打开第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-3：将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤P4-4：判断第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则将第二位置上的晶圆移入工艺腔室，否则直接执行步骤P4-5；在步骤P4-2中第二大气真空转换腔室的真空隔离阀已经打开，也即是第二大气真空转换腔室和工艺腔室之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆自第二大气真空转换腔室移入工艺腔室时可通过例如是真空机械手的设备将第二位置上的晶圆移入工艺腔室，这样，晶圆自第二大气真空转换腔室移入工艺腔室以及晶圆自工艺腔室移入第二大气真空转换腔室可在一次打开第二大气真空转换腔室的真空隔离阀的条件下进行操作；

步骤P4-5：关闭第二大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1，这样，第二大气真空转换腔室和工艺腔室便彼此隔离，返回步骤P1后，继续连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆；

步骤P4-6：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-7：将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置；

步骤P4-8：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则将第一位置上的晶圆移入工艺腔室，否则直接执行步骤P4-9；在步骤P4-6中第一大气真空转换腔室的真空隔离阀已经打开，也即是第一大气真空转换腔室和工艺腔室之间可以传输晶圆，根据实际需求，有晶圆自第一大气真空转换腔室移入工艺腔室时可通过例如是真空机械手的设备将第一位置上的晶圆移入工艺腔室，这样，晶圆自第一大气真空转换腔室移入工艺腔室以及晶圆自工艺腔室移入第一大气真空转换腔室可在一次打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀的条件下进行操作；

步骤P4-9：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1，这样，第一大气真空转换腔室和工艺腔室便彼此隔离，返回步骤P1后，继续连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆。

为了进一步地提高晶圆的传输效率，所述方法还包括：

步骤P01：判断是否有晶圆待离开工艺腔室，是则执行步骤P1，否则执行步骤P5，当然，本领域技术人员也容易想到，当有晶圆待离开工艺腔室时，步骤P4中的操作完成后可返回步骤P01，以连续地在第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室与工艺腔室之间传输晶圆；

步骤P5：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则执行步骤P6，否则结束，当第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置上有晶圆时，可将第一位置和/或第二位置上的晶圆移入工艺腔室中，以空出第一位置和/或第二位置，方便外界大气环境中的晶圆放入第一位置和/或第二位置；

步骤P6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，本领域技术人员应当清楚，抽真空操作前需要关闭第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P7：将第一位置和/或第二位置上的晶圆移入工艺腔室，本领域技术人员可应当清楚，将第一位置和/或第二位置上的晶圆移入工艺腔室前需要打开真空隔离阀，移入后需要关闭真空隔离阀，这样，第一位置和/或第二位置便空置出来，需要进行工艺操作的晶圆可按需移入第一位置和/或第二位置。

为避免大气真空转换腔室排队抽真空的问题，提高晶圆的传输效率，本发明提供了一种大气真空转换腔室，如图5所示，包括充气阀1、抽气阀2、第一大气真空转换腔室3和至少一个第二大气真空转换腔室4，其中，所述充气阀1与所述第一大气真空转换腔室3的第一腔室本体31和所述第二大气真空转换腔室4的第二腔室本体41相连通，以对所述第一腔室本体31和所述第二腔室本体41同时充气；所述抽气阀2与所述第一腔室本体31和所述第二腔室本体41相连通，以对所述第一腔室本体31和所述第二腔室本体41同时抽气，上述抽气的操作也即是对第一大气真空转换腔室3和第二大气真空转换腔室4抽真空，该抽真空操作可通过例如是干泵的抽真空设备经由抽气阀抽气实现；所述第一腔室本体31内设有用于放置晶圆的第一固定部32，所述第二腔室本体41内设有用于放置晶圆的第二固定部42，上述第一固定部32可为设置在第一腔室本体31内的支架或在第一腔室本体31的内壁上的凸台等，上述第二固定部42可为设置在第二腔室本体41内的支架或在第二腔室本体41的内壁上的凸台等，只要是能实现放置晶圆的结构即可。当然，本领域技术人员应当清楚，第一大气真空转换腔室3还包括第一大气隔离阀33、第一真空隔离阀34和第一升降机构35，第二大气真空转换腔室4还包括第二大气隔离阀43、第二真空隔离阀44和第二升降机构45，第一固定部32和第一升降机构35彼此独立，第二固定部42和第二升降机构45彼此独立。

本发明的大气真空转换腔室的充气阀和抽气阀均与各第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室相连通，使得通过充气阀可对多个大气真空转换腔室同时进行充气操作，通过抽气阀可对多个大气真空转换腔室同时进行抽真空操作，避免了大气真空转换腔室排队抽真空，并且在各腔室本体内设置了用于放置晶圆的固定部，固定部与升降机构均可放置晶圆，提高了晶圆的传输效率。

本领域技术人员可容易想到，在有多个第二大气真空转换腔室4时，各第二大气真空转换腔室4和第一大气真空转换腔室1共享同一个充气阀1和同一个抽气阀2。

在本发明的一个优选实施例中，所述第一固定部32为设在所述第一腔室本体31的内壁上的第一凸起，所述第二固定部42为设在所述第二腔室本体41的内壁上的第二凸起，这种设置可在不改变现有的大气真空转换腔室结构的前提下，在现有的大气真空转换腔室中增加放置晶圆的结构，上述第一凸起和第二凸起可通过各种固定连接方式，例如一体成型或胶粘等方式固定在各腔室本体中。

为了防止第一固定部32与第一升降机构35相干涉，第二固定部42与第二升降机构45相干涉，所述第一固定部32位于所述第一大气真空转换腔室3的第一升降机构35的升降行程之外，所述第二固定部42位于所述第二大气真空转换腔室4的第二升降机构45的升降行程之外。进一步地，第一固定部32与第一腔室本体31的底部的距离大于第一升降机构35升起的最高位置与第一腔室本体31的底部的距离，第二固定部42与第二腔室本体41的底部的距离大于第二升降机构45升起的最高位置与第二腔室本体41的底部的距离。

进一步地，所述第一升降机构35上设有第三固定部351，所述第二升降机构45上设有第四固定部451，上述第三固定部351和第四固定部451均用于放置晶圆，在具体实施的过程中，第三固定部351可为第一升降机构35的上表面或是设在第一升降机构35的上表面的与晶圆的形状相匹配的凹槽结构等，第四固定部451可为第二升降机构45的上表面或是设在第二升降机构45的上表面的与晶圆的形状相匹配的凹槽结构等。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (10)

1.一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，其特征在于，包括：

步骤S1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置是否都有晶圆，是则执行步骤S2，否则执行步骤S3至步骤S4，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆；

步骤S2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤S3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S4：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，否则往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆，操作完成后返回步骤S1。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2包括：

步骤S2-1：打开抽气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，关闭抽气阀；

步骤S2-2：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤S2-3：将第一位置上的晶圆和第二位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤S2-4：判断是否有晶圆要离开工艺腔室，是则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤S2-5：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述步骤S3包括：

步骤S3-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降；

步骤S3-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀；

步骤S3-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述步骤S4包括：

步骤S4-1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则执行步骤S4-2至步骤S4-5，否则执行步骤S4-6至步骤S4-9；

步骤S4-2：打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-3：往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆；

步骤S4-4：判断第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则将第四位置上的晶圆拿出；

步骤S4-5：关闭第二大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1；

步骤S4-6：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-7：往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆；

步骤S4-8：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将第三位置上的晶圆拿出；

步骤S4-9：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

步骤S01：判断是否有晶圆待进入工艺腔室，是则执行步骤S1，否则执行步骤S5；

步骤S5：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则执行步骤S6；

步骤S6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S7：将第三位置和/或第四位置上的晶圆拿出。

6.一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，其特征在于，包括：

步骤P1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和第二大气真空转换腔室的第四位置是否都有晶圆，是则执行步骤P2，否则执行步骤P3至步骤P4；

步骤P2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤P3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P4：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置，否则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置，操作完成后返回步骤P1。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤P2包括：

步骤P2-1：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降；

步骤P2-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀；

步骤P2-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升；

步骤P2-4：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤P2-5：将第三位置上的晶圆和第四位置上的晶圆拿出；

步骤P2-6：判断是否有晶圆要进入工艺腔室，是则往第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆；

步骤P2-7：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀和第二大气真空转换腔室的大气隔离阀。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述步骤P3包括：

步骤P3-1：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P3-2：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升。

9.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述步骤P4包括：

步骤P4-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则执行步骤P4-2至步骤P4-5，否则执行步骤P4-6至步骤P4-9；

步骤P4-2：打开第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-3：将工艺腔室内的晶圆移入第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤P4-4：判断第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则将第二位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤P4-5：关闭第二大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1；

步骤P4-6：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤P4-7：将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置；

步骤P4-8：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则将第一位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤P4-9：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀，返回步骤P1。

10.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

步骤P01：判断是否有晶圆待离开工艺腔室，是则执行步骤P1，否则执行步骤P5；

步骤P5：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和/或第二大气真空转换腔室的第二位置是否有晶圆，是则执行步骤P6；

步骤P6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤P7：将第一位置和/或第二位置上的晶圆移入工艺腔室。

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