CN107552522A - 一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种湿法剥离机的水洗装置，包括：常压直水供应管路，具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水，所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；设置在常压直水供应管路上的自动阀，用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元，并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。本发明在湿法剥离机宕机时，通过常压直水对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行均匀喷淋，可减少因湿法剥离机宕机时停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的报废，提高产品良率，具有一定经济效益。

Description

一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法
技术领域
本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法。
背景技术
在TFT-LCD Array段工艺中，需要在湿法剥离机水洗区间对基板玻璃（Glass）进行清洗。如图1所示，水洗区间包括多个水洗喷淋（Shower，SWR）单元1（SWR#1~SWR#5），基板玻璃2在其中传送，在湿法剥离机正常工作状态下，用于清洗的直水从SWR#5依次循环使用至SWR#1后排往有机废水排液管路（OWW Drain），其间通过为每一水洗喷淋单元1配备的循环水水泵3打起循环水，由水洗喷淋单元1内的喷嘴10进行喷淋，以对处于水洗喷淋单元1内的基板玻璃进行清洗。湿法剥离机使用循环水时采用循环水容器4对循环水进行储存。
但是，当湿法剥离机出现宕机时，基板玻璃停留在各水洗喷淋单元1内，由于会有少量剥离液（Stripper）会携入到SWR段，继续采用前述循环水进行喷淋，基板玻璃表面会残留循环水而出现铝膜腐蚀（Al腐），且残留水分布不均还会导致水渍Mura问题，以致后续成膜工艺出现膜层脱落（Peeling），出现产品异常需要报废的情况。非Al膜层也会因高压SWR段喷淋造成后续成膜工艺Peeling问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法，改善湿法剥离机宕机时导致的产品报废问题，提升产品良率。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种湿法剥离机的水洗装置，包括：
常压直水供应管路，具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水，所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；
设置在常压直水供应管路上的自动阀，用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元，并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。
其中，所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
其中，所述水洗装置还包括设置在所述支管与水洗喷淋单元之间的过滤器，用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤。
其中，所述自动阀设置在每一所述支管上。
本发明还提供一种湿法剥离机的水洗方法，包括：
设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管；
在常压直水供应管路上设置自动阀；
在湿法剥离机宕机时开启自动阀，给水洗喷淋单元供应常压直水，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；
在湿法剥离机恢复工作时关闭自动阀以断开常压直水的供应。
其中，所述设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，具体包括：
将所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
其中，所述水洗方法还包括：
在所述支管与水洗喷淋单元之间设置用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤的过滤器。
其中，所述在常压直水供应管路上设置自动阀，具体包括：
将所述自动阀设置在每一所述支管上。
其中，所述水洗方法还包括：
在湿法剥离机宕机时关闭循环水水泵。
其中，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的清洗完成后，处于常压直水供应管路末端的水洗喷淋单元内的常压直水直接排放到厂务废水池中，其余水洗喷淋单元内的常压直水通过循环水容器的溢流口排放到厂务废水池中。
本发明实施例的有益效果在于：在湿法剥离机宕机时，通过常压直水对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行均匀喷淋，可减少因湿法剥离机宕机时停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的报废，提高产品良率，具有一定经济效益。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有的湿法剥离机的水洗装置的结构示意图。
图2是本发明实施例一一种湿法剥离机的水洗装置的结构示意图。
图3是本发明实施例一一种湿法剥离机的水洗装置的另一结构示意图。
图4是本发明实施例二一种湿法剥离机的水洗方法的流程示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本发明可以用以实施的特定实施例。
请参照图2所示，本发明实施例一提供一种湿法剥离机的水洗装置，包括：
常压直水供应管路5，具有连通至少一个水洗喷淋单元1的支管50，用于给所述水洗喷淋单元1供应常压直水，所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元1内的基板玻璃2进行清洗；
设置在常压直水供应管路上的自动阀51，用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元1，并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。
本发明的水洗装置以湿法剥离机宕机作为触发信号，在湿法剥离机宕机时，自动阀51自动开启，常压直水通过支管50进入水洗喷淋单元1，由其喷嘴10对停留在水洗喷淋单元1内的基板玻璃2进行清洗，这样可使基板玻璃2表面得到均匀的直水置换、冲洗，避免在处理宕机、基板玻璃2停留的时间段里，基板玻璃2出现Al腐及高压引起的Al膜异常导致的后续成膜工艺Peeling的问题。
需要说明的是，湿法剥离机出现宕机时，不同时间点可能出现所有水洗喷淋单元1均出现基板玻璃停留或者部分水洗喷淋单元1出现基板玻璃停留。产线满产时以所有水洗喷淋单元均停留基板玻璃的情况较多，产线产品不足时不同时间点宕机基板玻璃可能停留在不同的水洗喷淋单元。为确保不管出现何种情况，均能无死角、无遗漏地进行常压直水清洗，本实施例中常压直水供应管路5的支管50会连通各个水洗喷淋单元1。支管50具体是连接在水洗喷淋单元1与其循环水水泵3之间的管路上。在湿法剥离机出现宕机时，会关闭循环水水泵3，不再进行高压喷淋。
在支管50与水洗喷淋单元1之间还设有过滤器7，用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤。由于本实施例的常压直水并非一直在使用，而是只有湿法剥离机出现宕机时才会使用，因此常压直水在常压直水管路5内会存在较长时间，因此超过一定时间才开启自动阀51使用常压直水时，就需要通过过滤器7进行过滤，以避免异物污染湿法剥离机及其内的基板玻璃2。
需要说明的是，本实施例的常压直水来自于设在厂务端的直水储水容器，通过同样设在厂务端的动力泵将常压直水供应到常压直水供应管路5中。因此，直水储水容器和动力泵并不包含在本实施例湿法剥离机的水洗装置中。
再请参照图3所示，为本发明实施例一一种湿法剥离机的水洗装置的另一结构示意图。与图2所示结构相比，区别在于，自动阀51设置在每一支管50上，这样更有利于后期设备异常时的维护。
在湿法剥离机恢复工作时自动阀51会自动关闭以断开常压直水的供应。由于本实施例的水洗装置是针对湿法剥离机宕机状况下挽救产品，因此，与湿法剥离机的自动生产状态是互锁的。
对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的清洗完成后，处于常压直水供应管路末端的水洗喷淋单元（SWR#1）内的常压直水直接排放到厂务废水池中，其余水洗喷淋单元（SWR#2~ SWR#5）内的常压直水通过循环水容器4的溢流口排放到厂务废水池中，排放路径如图2、图3中的虚线箭头所示。
相应于本发明实施例一，本发明实施例二提供一种湿法剥离机的水洗方法，请参照图4所示，该水洗方法包括：
设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管；
在常压直水供应管路上设置自动阀；
在湿法剥离机宕机时开启自动阀，给水洗喷淋单元供应常压直水，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；
在湿法剥离机恢复工作时关闭自动阀以断开常压直水的供应。
其中，所述设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，具体包括：
将所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
其中，本实施例的水洗方法还包括：
在所述支管与水洗喷淋单元之间设置用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤的过滤器。
其中，所述在常压直水供应管路上设置自动阀，具体包括：
将所述自动阀设置在每一所述支管上。
其中，在湿法剥离机宕机时关闭循环水水泵。
其中，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的清洗完成后，处于常压直水供应管路末端的水洗喷淋单元（SWR#1）内的常压直水直接排放到厂务废水池中，其余水洗喷淋单元（SWR#2~ SWR#5）内的常压直水通过循环水容器4的溢流口排放到厂务废水池中，排放路径如图2、图3中的虚线箭头所示。
通过上述说明可知，本发明实施例的有益效果在于：在湿法剥离机宕机时，通过常压直水对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行均匀喷淋，可减少因湿法剥离机宕机时停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的报废，提高产品良率，具有一定经济效益。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种湿法剥离机的水洗装置，其特征在于，包括：
常压直水供应管路，具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水，所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；
设置在常压直水供应管路上的自动阀，用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元，并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。
2.根据权利要求1所述的水洗装置，其特征在于，所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
3.根据权利要求1所述的水洗装置，其特征在于，还包括设置在所述支管与水洗喷淋单元之间的过滤器，用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤。
4.根据权利要求2所述的水洗装置，其特征在于，所述自动阀设置在每一所述支管上。
5.一种湿法剥离机的水洗方法，包括：
设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管；
在常压直水供应管路上设置自动阀；
在湿法剥离机宕机时开启自动阀，给水洗喷淋单元供应常压直水，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗；
在湿法剥离机恢复工作时关闭自动阀以断开常压直水的供应。
6.根据权利要求5所述的水洗方法，其特征在于，所述设置常压直水供应管路，其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管，具体包括：
将所述支管连通各个水洗喷淋单元，并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。
7.根据权利要求5所述的水洗方法，其特征在于，还包括：
在所述支管与水洗喷淋单元之间设置用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤的过滤器。
8.根据权利要求6所述的水洗装置，其特征在于，所述在常压直水供应管路上设置自动阀，具体包括：
将所述自动阀设置在每一所述支管上。
9.根据权利要求5所述的水洗方法，其特征在于，还包括：
在湿法剥离机宕机时关闭循环水水泵。
10.根据权利要求6所述的水洗方法，其特征在于，对停留在水洗喷淋单元内的基板玻璃的清洗完成后，处于常压直水供应管路末端的水洗喷淋单元内的常压直水直接排放到厂务废水池中，其余水洗喷淋单元内的常压直水通过循环水容器的溢流口排放到厂务废水池中。
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