CN105093594A - 一种剥离装置和显示基板生产线 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种剥离装置和显示基板生产线。该剥离装置包括剥离腔室，剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，液刀机构包括供液管道和液刀头，供液管道用于将清洗液供应至液刀头，液刀头用于输出清洗液，供液管道设置在剥离腔室内，剥离液能使供液管道内的清洗液达到设定温度。该剥离装置能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；该剥离装置还能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约能耗。

Description

一种剥离装置和显示基板生产线
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种剥离装置和显示基板生产线。
背景技术
目前，在液晶面板制造领域的湿法剥离过程中，设备的主体结构及工序为前段在剥离腔室内通过使加热的药液与显示基板上的光刻胶进行反应，后段在清洗腔室内用常温或加热的清洗液对显示基板上剥离下来的光刻胶进行清洗。清洗过程中，通过设置在剥离腔室和清洗腔室连通处的液刀机构向显示基板上喷出清洗液对剥离下来的光刻胶进行冲洗。
在此剥离工艺中，用常温清洗液进行清洗会使显示基板上残留的药液在后端相对低温的清洗液环境中析出，造成药液残留不良,同时用于在清洗中向显示基板上喷出清洗液的液刀头的刀口容易出现药液的结晶，导致液刀头刀口堵塞。
另外，用加热清洗液的方法清洗剥离下来的光刻胶通常有两种方式：一种是在液刀头22下端供液管路上直接安装电阻丝5加热，如图1所示，此种方法加热路径有限，且液刀机构中清洗液交换快，且非循环使用，致使清洗液升温不均或来不及充分升温；此外需要额外消耗大量电能。另一种是安装额外的供液槽231，在供液槽231内安装加热管6，如图2所示，由于液刀机构的工作状态是有显示基板3从其下方经过时开启喷液，其余时间关闭，而以上两种加热方法皆是一直保持加热的常开状态，大大的损耗了电能，若清洗液加热与液刀头22喷液保持同步间歇开启，由于加热距离有限，液体流速快，所以加热会不够充分，且无法提供温度均一的清洗液。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种剥离装置和显示基板生产线。该剥离装置能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；还能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约能耗。
本发明提供一种剥离装置，包括剥离腔室，所述剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，所述液刀机构包括供液管道和液刀头，所述供液管道用于将清洗液供应至所述液刀头，所述液刀头用于输出清洗液，所述供液管道设置在所述剥离腔室内，所述剥离液能使所述供液管道内的清洗液达到设定温度。
优选地，所述剥离腔室内设置有喷头，所述喷头用于喷洒所述设定温度的剥离液；所述液刀头位于所述剥离腔室外，且所述液刀头连接在所述供液管道的一端端部。
优选地，所述供液管道呈连续的S形曲线蜿蜒排布。
优选地，所述供液管道包括两条或三条以上的子管道，两条或三条以上的所述子管道相互平行且依次首尾相接。
优选地，所述供液管道呈螺旋曲线排布。
优选地，所述供液管道平铺在所述剥离腔室底部或者悬挂在所述剥离腔室的侧壁。
优选地，所述剥离腔室包括多个，多个所述剥离腔室相互贯通，所述供液管道连续布设在多个所述剥离腔室内。
优选地，所述液刀机构还包括供应源，用于供应清洗液，所述供液管道的另一端端部连接所述供应源，所述供应源包括用于容纳所述清洗液的供液槽和用于将所述供液槽内的清洗液输入到所述供液管道内的压力泵。
优选地，所述压力泵输出的压力与所述供液管道内所述清洗液的流速成正比，所述压力泵输出的压力能调节。
优选地，还包括清洗腔室，所述清洗腔室与所述剥离腔室相互贯通，所述清洗腔室用于对所述显示基板上剥离下来的所述光刻胶进行清洗，所述液刀头设置在所述清洗腔室内。
本发明还提供一种显示基板生产线，包括上述剥离装置。
本发明的有益效果：本发明所提供的剥离装置，通过将供液管道设置在剥离腔室内，使清洗液流经能提供设定温度剥离液的剥离腔室，再从剥离腔室流出来，进入液刀头，经过剥离腔室内剥离液的加热，能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，这使残留在显示基板上的剥离液及光刻胶能更好地溶解在设定温度的清洗液中，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；此外，与传统的在液刀机构供液管路下端单独加热的方法相比，该剥离装置能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约了能耗。
本发明所提供的显示基板生产线，通过采用上述剥离装置，不仅改进了显示基板上光刻胶的剥离效果，而且节省了该显示基板生产线的能耗。
附图说明
图1为现有技术剥离装置中一种液刀机构加热清洗液的结构示意图；
图2为现有技术剥离装置中另一种液刀机构加热清洗液的结构示意图；
图3为本发明实施例1中剥离装置的结构示意图；
图4为本发明实施例2中液刀机构的结构示意图。
其中的附图标记说明：
1.剥离腔室；11.喷头；2.液刀机构；21.供液管道；211.子管道；22.液刀头；23.供应源；231.供液槽；232.压力泵；3.显示基板；4.清洗腔室；5.电阻丝；6.加热管。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明所提供的一种剥离装置和显示基板生产线作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种剥离装置，如图3所示，包括剥离腔室1，剥离腔室1内用于提供设定温度的剥离液，剥离液对显示基板3上的光刻胶进行剥离；还包括液刀机构2，用于对剥离下来的光刻胶进行清洗，液刀机构2包括供液管道21和液刀头22，供液管道21用于将清洗液供应至液刀头22，液刀头22用于输出清洗液，供液管道21设置在剥离腔室1内，剥离液能使供液管道21内的清洗液达到设定温度。
该剥离装置通过将供液管道21设置在剥离腔室1内，使清洗液流经能提供设定温度剥离液的剥离腔室1，再从剥离腔室1流出来，进入液刀头22，经过剥离腔室1内剥离液的加热，能使液刀头22输出的清洗液达到设定温度，这使残留在显示基板3上的剥离液及光刻胶能更好地溶解在设定温度的清洗液中，从而能有效地去除残留在显示基板3上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板3上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头22的输出口堵塞；此外，与传统的在液刀机构供液管路下端单独加热的方法相比，该剥离装置能有效的利用剥离腔室1内原有的热能，从而节约了能耗。
其中，剥离腔室1内设置有喷头11，喷头11用于喷洒设定温度的剥离液；液刀头22位于剥离腔室1外，且液刀头22连接在供液管道21的一端端部，液刀头22输出的清洗液用于喷洒到显示基板3上，以对显示基板3上剥离下来的光刻胶进行冲洗。喷头11喷洒出的剥离液具有一定温度，剥离液能使剥离腔室1内的温度升高，从而使设置在剥离腔室1内的供液管道21内的清洗液的温度升高；经过加热的清洗液流出液刀头22对显示基板3进行清洗时，能够避免残留在显示基板3上的剥离液在显示基板3上析出，从而避免剥离液析出形成的结晶对液刀头22的输出口造成堵塞。
本实施例中，供液管道21呈连续的S形曲线蜿蜒排布。供液管道21包括两条子管道211，两条子管道211相互平行且首尾相接，即两条子管道211相互连接为一整条供液管道21，供液管道21的长度为两条连续S形子管道211的总长度。如此设置，能使流过供液管道21在剥离腔室1内的排布长度足够长，从而使供液管道21内的清洗液在剥离液的作用下充分加热，从而使最终从液刀头22流出的清洗液具有设定温度。
需要说明的是，供液管道21也可以包括三条以上子管道211，三条以上的子管道211相互平行且依次首尾相接。即为了使供液管道21在剥离腔室1内的排布长度进一步加长，从而使供液管道21内的清洗液被更加充分的加热，供应管道21的总长度也可以进一步加长，如将供液管道21还可以包括平行布设的三条或更多条子管道211，多条子管道211相互连接为一整条，如此能使清洗液在剥离腔室1内流过相对较长的路径，即在剥离腔室1内的滞留时间加长，从而使清洗液能够被充分加热。
本实施例中，供液管道21悬挂在剥离腔室1的侧壁。当然，供液管道21也可以平铺在剥离腔室1底部。如此设置，都能使供液管道21内的清洗液在剥离液的作用下充分被加热。
本实施例中，剥离腔室1包括多个，多个剥离腔室1相互贯通，供液管道21连续布设在多个剥离腔室1内。多个剥离腔室1的设置，不仅使显示基板3上的光刻胶在剥离液的作用下能被彻底剥离下来，而且能使供液管道21的长度进一步加长，从而有利于供液管道21内的清洗液的充分加热。
本实施例中，液刀机构2还包括供应源23，用于供应清洗液，供液管道21的另一端端部连接供应源23，供应源23包括用于容纳清洗液的供液槽231和用于将供液槽231内的清洗液输入到供液管道21内的压力泵232。
其中，压力泵232输出的压力与供液管道21内清洗液的流速成正比，压力泵232输出的压力能调节。即通过调节压力泵232输出的压力，能相应调节供液管道21内清洗液的流速，从而能控制清洗液在剥离腔室1内的滞留时间，进而能控制清洗液在剥离腔室1内被加热的程度，以控制从液刀头22输出口输出的清洗液的温度。
本实施例中，剥离装置还包括清洗腔室4，清洗腔室4与剥离腔室1相互贯通，清洗腔室4用于对显示基板3上剥离下来的光刻胶进行清洗，液刀头22设置在清洗腔室4内。通常，清洗腔室4内还设置有多个用于喷洒清洗液的喷头，清洗腔室4的设置，能使显示基板3上被剥离下来的光刻胶和残留在显示基板3上的剥离液能够被彻底清洗掉。
该剥离装置在运行过程中，显示基板3先进入剥离腔室1，在剥离腔室1内喷头11向显示基板3上喷洒剥离液，剥离液能与显示基板3上的光刻胶反应，使光刻胶被剥离下来，同时具有设定温度(如40-70℃)的剥离液对设置在剥离腔室1内的供液管道21进行加热，使供液管道21内供应的清洗液温度升高至设定温度；接着，显示基板3被载入清洗腔室4，在清洗腔室4内，液刀头22向显示基板3上输出达到设定温度的清洗液，同时清洗腔室4内的喷头也向显示基板3上喷洒清洗液，清洗液能将显示基板3上剥离下来的光刻胶和残留的剥离液冲洗掉。
实施例2：
本实施例提供一种剥离装置，与实施例1不同的是，如图4所示，供液管道21呈螺旋曲线排布。
其中，螺旋曲线排布的供液管道21的长度能够根据具体要求设定，只要能使供液管道21内供应的清洗液的温度在剥离腔室内经过一定长度的路径后达到设定温度即可。
需要说明的是，供液管道21的排布形状也可以是其他的形状(如矩形环状，圆环状等)，只要能使供液管道21内供应的清洗液的温度在剥离腔室内经过一定长度的路径后达到设定温度即可。
本实施例中剥离装置的其他结构与实施例1中相同，此处不再赘述。
实施例1-2的有益效果：实施例1-2所提供的剥离装置，通过将供液管道设置在剥离腔室内，使清洗液流经能提供设定温度剥离液的剥离腔室，再从剥离腔室流出来，进入液刀头，经过剥离腔室内剥离液的加热，能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，这使残留在显示基板上的剥离液及光刻胶能更好地溶解在设定温度的清洗液中，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；此外，与传统的在液刀机构供液管路下端单独加热的方法相比，该剥离装置能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约了能耗。
实施例3：
本实施例提供一种显示基板生产线，包括实施例1-2任意一个中的剥离装置。
通过采用实施例1-2任意一个中的剥离装置，不仅改进了显示基板上光刻胶的剥离效果，而且节省了该显示基板生产线的能耗。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种剥离装置，包括剥离腔室，所述剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，所述液刀机构包括供液管道和液刀头，所述供液管道用于将清洗液供应至所述液刀头，所述液刀头用于输出清洗液，其特征在于，所述供液管道设置在所述剥离腔室内，所述剥离液能使所述供液管道内的清洗液达到设定温度。
2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述剥离腔室内设置有喷头，所述喷头用于喷洒所述设定温度的剥离液；所述液刀头位于所述剥离腔室外，且所述液刀头连接在所述供液管道的一端端部。
3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述供液管道呈连续的S形曲线蜿蜒排布。
4.根据权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，所述供液管道包括两条或三条以上的子管道，两条或三条以上的所述子管道相互平行且依次首尾相接。
5.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述供液管道呈螺旋曲线排布。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的剥离装置，其特征在于，所述供液管道平铺在所述剥离腔室底部或者悬挂在所述剥离腔室的侧壁。
7.根据权利要求6所述的剥离装置，其特征在于，所述剥离腔室包括多个，多个所述剥离腔室相互贯通，所述供液管道连续布设在多个所述剥离腔室内。
8.根据权利要求2-5任意一项所述的剥离装置，其特征在于，所述液刀机构还包括供应源，用于供应清洗液，所述供液管道的另一端端部连接所述供应源，所述供应源包括用于容纳所述清洗液的供液槽和用于将所述供液槽内的清洗液输入到所述供液管道内的压力泵。
9.根据权利要求8所述的剥离装置，其特征在于，所述压力泵输出的压力与所述供液管道内所述清洗液的流速成正比，所述压力泵输出的压力能调节。
10.根据权利要求1或2所述的剥离装置，其特征在于，还包括清洗腔室，所述清洗腔室与所述剥离腔室相互贯通，所述清洗腔室用于对所述显示基板上剥离下来的所述光刻胶进行清洗，所述液刀头设置在所述清洗腔室内。
11.一种显示基板生产线，其特征在于，包括权利要求1-10任意一项所述的剥离装置。
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