CN107459345A - 一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 - Google Patents
一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107459345A CN107459345A CN201710643390.8A CN201710643390A CN107459345A CN 107459345 A CN107459345 A CN 107459345A CN 201710643390 A CN201710643390 A CN 201710643390A CN 107459345 A CN107459345 A CN 107459345A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target material
- sintering
- biscuit
- tin
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013077 target material Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 56
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 235000015895 biscuits Nutrition 0.000 claims abstract description 44
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005056 compaction Methods 0.000 claims description 6
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019994 cava Nutrition 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/453—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
- C04B35/457—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates based on tin oxides or stannates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3286—Gallium oxides, gallates, indium oxides, indates, thallium oxides, thallates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc gallate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3293—Tin oxides, stannates or oxide forming salts thereof, e.g. indium tin oxide [ITO]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，包括以下步骤：㈠成型横截面为椭圆形的管状氧化铟锡靶材素坯；㈡在烧结炉的承烧板上，摆放二排挡块，二排挡块的间距比椭圆形氧化铟锡靶材素坯的外椭圆短轴大20～100mm；㈢将成型好的氧化铟锡靶材素坯平躺放在二排挡块之间，氧化铟锡靶材素坯的椭圆形长轴与承烧板垂直，然后在氧化铟锡靶材素坯两侧与挡块之间填充氧化铝砂，最后开始升温脱脂和烧结，得到氧化铟锡旋转靶材。该方法采用平躺烧结，可使旋转靶材的长度不受限于烧结炉高度，而是受限于烧结炉长度，并且采用椭圆形的素坯结构，能够抵消大部分的烧结变形，烧结变形量小，适合批量生产长尺寸的氧化铟锡旋转靶材。
Description
技术领域
本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法。
背景技术
氧化铟锡靶材是磁控溅射镀制氧化铟锡薄膜溅射源，是氧化铟锡薄膜的原材料。氧化铟锡薄膜是一种透明导电薄膜，主要用于制作透明电极，广泛应用于平面显示器、触摸屏等领域。目前应用较多的是氧化铟锡平面靶材，氧化铟锡平面靶材利用率低，在35%以下。氧化铟锡旋转靶材是管状的，由于利用率高，在50-80%之间，已经开始在中低端的氧化铟锡薄膜产品中广泛应用。
目前公开的旋转靶材制作相关的文献和专利技术中，大多以成型方法和烧结温度制程为主，少有涉及烧结摆放方式的。目前行业内主要的摆放方式是立式摆放，这种摆放方法是将管状的素坯竖直放在烧结炉承烧板上，可烧结靶材的长度取决于烧结炉的高度。而通常用于烧结靶材的烧结炉，炉膛高度是远小于炉膛长度的，故目前制备的旋转靶材长度较短，一般在500mm以下，当客户需要长尺寸靶材时，采用拼接的方式制备。拼接方式制备得到的氧化铟锡旋转靶材，不仅制备工序中需要另外增加拼接的工序，而且与一体成型烧结工艺相比其质量更难保证，故需要研发一种能够烧结长尺寸氧化铟锡旋转靶材的方法。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：提供一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，该方法采用平躺烧结，可使旋转靶材的长度不受限于烧结炉高度，而是受限于烧结炉长度，且采用椭圆形的素坯结构，能够抵消大部分的烧结变形，烧结变形量小，适合批量生产长尺寸的氧化铟锡旋转靶材。
解决上述技术问题的技术方案是：一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，包括以下步骤：
㈠成型横截面为椭圆形的管状氧化铟锡靶材素坯；
㈡在烧结炉的承烧板上，摆放二排挡块，二排挡块的间距比上述椭圆形氧化铟锡靶材素坯的外椭圆短轴大20～100mm；
㈢将步骤㈠成型好的氧化铟锡靶材素坯平躺放在二排挡块之间，氧化铟锡靶材素坯的椭圆形长轴与承烧板垂直，然后在氧化铟锡靶材素坯两侧与挡块之间填充氧化铝砂，最后开始升温脱脂和烧结，烧结完成后即得氧化铟锡旋转靶材。
步骤㈠中椭圆形的氧化铟锡靶材素坯的长轴与短轴的比例为1.1～1.3。
步骤㈢中填充氧化铝砂的高度为氧化铟锡靶材素坯外椭圆长轴的1/4～1/3。
步骤㈢中填充的氧化铝砂的纯度≥99.95%。
步骤㈠中是采用注浆成型或冷等静压成型的成型方式成型氧化铟锡靶材素坯。
由于采用上述技术方案，本发明具有以下有益效果：
1、本发明所制备的旋转靶材长度不受烧结炉高度所限，而取决于烧结炉的长度，通常烧结炉的长度要远大于高度（如目前常用的烧结炉规格一般为：长度1650mm高度500mm、长度2450mm高度650mm），故采用本发明可以制备较长的旋转靶材，能够满足客户对长尺寸旋转靶材的需求。
2、目前烧结采用的是规则圆形截面的旋转靶材素坯，若采用规则圆形截面的旋转靶材素坯平躺放置进行烧结，烧结后会因重力坍塌形成椭圆截面，该椭圆截面的长短轴差约30mm；而本发明是采用椭圆形截面的旋转靶材素坯平躺放置进行烧结，高温烧结时，靶材会软化，平躺放置的靶材由于重力的作用会下塌变形，椭圆形的素坯结构设计可抵消大部分的变形，即烧结后椭圆截面的长短轴差<2mm，接近形成圆形截面；故本发明使用椭圆截面烧结得到的旋转靶材比使用圆形截面烧结得到的旋转靶材变形量小，能够满足后续工序的加工要求，适合批量生产。
3、目前烧结主要采用立式摆放的方式（即竖直摆放），烧结的旋转靶材素坯外径在200mm左右，如果长度在500mm以上，长径比过大，竖直放置后，由于装炉、开炉过程中都需要移动承烧板所在平台，竖直放置过长的管状靶材容易发生靶材倒下的事故，存在较大的安全隐患。而本发明是采用平躺放置的摆放方式，能够有效避免靶材倒下的事故，安全性更高。
附图说明
图1：本发明烧结变形原理示意图。
图2：本发明椭圆形氧化铟锡靶材素坯俯视图。
图3：图2的A-A剖视图。
图4：本发明椭圆形氧化铟锡靶材素坯放置在挡块之间的剖视图。
图5：本发明椭圆形氧化铟锡靶材素坯放置在挡块之间的俯视图。
图6：本发明烧结过程摆放方式结构示意图。
图中：1-氧化铟锡靶材素坯，2-挡块，3-氧化铝砂。
P1表示烧结前椭圆形的氧化铟锡靶材素坯，P2表示烧结后软化变形接近圆形的氧化铟锡靶材。
具体实施方式
实施例1：
采用冷等静压成型的方式，成型出长度800mm，壁厚14mm，椭圆截面，内椭圆长轴188mm，短轴145mm，长短轴比1.3的椭圆管状氧化铟锡靶材素坯。在烧结炉承烧板上，平行摆放二排挡块，每排挡块长度800mm，二排挡块间隔193mm。然后将椭圆管状素坯平躺放置在二排挡块中间，长轴与承烧板垂直。将纯度99.95%的氧化铝砂，填充在挡块与素坯之间，填充高度为素坯外椭圆长轴的1/3，然后开始升温脱脂并烧结。烧结完成后即得长度644mm，内径φ132.1~132.2mm，外径φ154.8~156.0mm的氧化铟锡旋转靶材。
实施例2：
采用冷等静压成型的方式，成型出长度800mm，壁厚14mm，椭圆截面，内椭圆长轴168mm，短轴140mm，长短轴比1.2的椭圆管状氧化铟锡靶材素坯。在烧结炉承烧板上，平行摆放二排挡块，每排挡块长度800mm，二排挡块间隔228mm。然后将椭圆管状素坯平躺放置在二排挡块中间，长轴与承烧板垂直。将纯度99.95%的氧化铝砂，填充在挡块与素坯之间，填充高度为素坯外椭圆长轴的1/4，然后开始升温脱脂并烧结。烧结完成后即得长度645mm，内径φ122.4~123.6mm，外径φ144.4~145.7mm的氧化铟锡旋转靶材。
实施例3：
采用冷等静压成型的方式成型出长度1500mm，壁厚14mm，椭圆截面，内椭圆长轴168mm，短轴140mm，长短轴比1.2的椭圆管状氧化铟锡靶材素坯。在烧结炉承烧板上，平行摆放二排挡块，每排挡块长度1500mm，二排挡块间隔228mm。然后将椭圆管状素坯平躺放置在二排挡块中间，长轴与承烧板垂直。将纯度99.95%的氧化铝砂，填充在挡块与素坯之间，填充高度为素坯外椭圆长轴的1/4，然后开始升温脱脂并烧结。烧结完成后即得长度1203mm，内径φ122.1~123.3mm，外径φ144.6~146.0mm的氧化铟锡旋转靶材。
本发明各实施例中，除了采用冷等静压成型的方式外，还可以采用注浆成型或是其他的成型方式成型截面椭圆形管状的氧化铟锡靶材素坯。
本发明各实施例中，所述的每排挡块可以采用多个小块的挡块拼接构成，也可以采用一块长度足够的长尺寸挡块。
本发明各实施例中，所述的脱脂和烧结的具体工艺与现有技术相同，此处不再赘述。
Claims (5)
1.一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，其特征在于：包括以下步骤：
㈠成型横截面为椭圆形的管状氧化铟锡靶材素坯（1）；
㈡在烧结炉的承烧板上，摆放二排挡块（2），二排挡块的间距比上述椭圆形氧化铟锡靶材素坯的外椭圆短轴大20～100mm；
㈢将步骤㈠成型好的氧化铟锡靶材素坯平躺放在二排挡块之间，氧化铟锡靶材素坯的椭圆形长轴与承烧板垂直，然后在氧化铟锡靶材素坯两侧与挡块之间填充氧化铝砂（3），最后开始升温脱脂和烧结，烧结完成后即得氧化铟锡旋转靶材。
2.根据权利要求1所述的一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，其特征在于：步骤㈠中椭圆形的氧化铟锡靶材素坯的长轴与短轴的比例为1.1～1.3。
3.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，其特征在于：步骤㈢中填充氧化铝砂的高度为氧化铟锡靶材素坯外椭圆长轴的1/4～1/3。
4.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，其特征在于：步骤㈢中填充的氧化铝砂的纯度≥99.95%。
5.根据权利要求1或2所述的一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，其特征在于：步骤㈠中是采用注浆成型或冷等静压成型的成型方式成型氧化铟锡靶材素坯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710643390.8A CN107459345B (zh) | 2017-07-31 | 2017-07-31 | 一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710643390.8A CN107459345B (zh) | 2017-07-31 | 2017-07-31 | 一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107459345A true CN107459345A (zh) | 2017-12-12 |
| CN107459345B CN107459345B (zh) | 2020-06-09 |
Family
ID=60547092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710643390.8A Active CN107459345B (zh) | 2017-07-31 | 2017-07-31 | 一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107459345B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108242337A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-07-03 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种软磁烧结工艺 |
| CN108516820A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-09-11 | 郑州大学 | 一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 |
| CN108623298A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-10-09 | 郑州大学 | 一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法 |
| CN111072379A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-28 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板及烧结方法 |
| CN115007866A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-09-06 | 中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司 | 一种低成本磁控溅射用钼管靶的制备方法 |
| CN115894009A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 先导薄膜材料（广东）有限公司 | 一种ito平面靶快速烧结脱脂方法及其使用的承托板 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1118772A (zh) * | 1994-09-05 | 1996-03-20 | 山东省科学院新材料研究所 | 陶瓷曲面板的制造方法及多层耐火支具 |
| CN1218843A (zh) * | 1997-11-27 | 1999-06-09 | 中南工业大学 | 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法 |
| CN201857355U (zh) * | 2010-11-06 | 2011-06-08 | 西安超码科技有限公司 | 大直径椭圆变形炭/炭隔热屏加工校正装置 |
| CN102538451A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-07-04 | 上海泛联科技股份有限公司 | 连续式制备长管状结构陶瓷的烧结装置及方法 |
| CN102915985A (zh) * | 2012-10-09 | 2013-02-06 | 天津大学 | 一种功率电子器件双面粘接结构及制备方法 |
| CN103274699A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-09-04 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 |
| CN106631049A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-05-10 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种常压烧结用于触摸屏和太阳能电池领域的ito旋转靶材的方法 |
| CN106966700A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-07-21 | 郑州大学 | 一种氧化铟锡烧结体的短流程制备工艺 |
-
2017
- 2017-07-31 CN CN201710643390.8A patent/CN107459345B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1118772A (zh) * | 1994-09-05 | 1996-03-20 | 山东省科学院新材料研究所 | 陶瓷曲面板的制造方法及多层耐火支具 |
| CN1218843A (zh) * | 1997-11-27 | 1999-06-09 | 中南工业大学 | 氧化铟/氧化锡溅射靶材及其制造方法 |
| CN201857355U (zh) * | 2010-11-06 | 2011-06-08 | 西安超码科技有限公司 | 大直径椭圆变形炭/炭隔热屏加工校正装置 |
| CN102538451A (zh) * | 2011-12-22 | 2012-07-04 | 上海泛联科技股份有限公司 | 连续式制备长管状结构陶瓷的烧结装置及方法 |
| CN102915985A (zh) * | 2012-10-09 | 2013-02-06 | 天津大学 | 一种功率电子器件双面粘接结构及制备方法 |
| CN103274699A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-09-04 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 |
| CN106631049A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-05-10 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种常压烧结用于触摸屏和太阳能电池领域的ito旋转靶材的方法 |
| CN106966700A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-07-21 | 郑州大学 | 一种氧化铟锡烧结体的短流程制备工艺 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108242337A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-07-03 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种软磁烧结工艺 |
| CN108242337B (zh) * | 2018-01-17 | 2020-07-17 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种软磁烧结工艺 |
| CN108516820A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-09-11 | 郑州大学 | 一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 |
| CN108623298A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-10-09 | 郑州大学 | 一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法 |
| CN111072379A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-28 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板及烧结方法 |
| CN115007866A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-09-06 | 中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司 | 一种低成本磁控溅射用钼管靶的制备方法 |
| CN115894009A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 先导薄膜材料（广东）有限公司 | 一种ito平面靶快速烧结脱脂方法及其使用的承托板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107459345B (zh) | 2020-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107459345A (zh) | 一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 | |
| CN107445609B (zh) | 一种高致密度ito旋转靶的烧结方法 | |
| CN103071791B (zh) | 一种大长径比TiAl管靶材成形方法 | |
| JP5679315B2 (ja) | 円筒型Ｍｏ合金ターゲットの製造方法 | |
| US10913111B2 (en) | Method for vacuum smelting and variable pressure solidification forming aluminum alloy piece with ultra-thin wall and high gas tightness | |
| CN106116595B (zh) | 一种隔粘粉及利用该隔粘粉批量烧结片状陶瓷的方法 | |
| EP2632873B1 (en) | Dry process for making a large xenotime ceramic block | |
| US9321188B2 (en) | Method for manufacturing of ceramic electro-insulating pipes | |
| CN100579750C (zh) | 一种细长陶瓷管的定型方法 | |
| CN110158042A (zh) | 一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法 | |
| CN106631049A (zh) | 一种常压烧结用于触摸屏和太阳能电池领域的ito旋转靶材的方法 | |
| CN110883935B (zh) | 一种陶瓷旋转靶材的等静压成型模具及方法 | |
| JP2012139842A (ja) | セラミックス円筒形成形体およびその製造方法 | |
| CN102862217A (zh) | 一种滚压成型装置和用该滚压成型装置成型的陶瓷 | |
| JP4562318B2 (ja) | 成形型およびその成形型を用いたスパッタリングターゲットの製造方法 | |
| CN108004514B (zh) | 一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法 | |
| CN211030467U (zh) | 一种电熔砖真空铸造保温箱用振实平台 | |
| JP2013204051A (ja) | 円筒型スパッタリングターゲット材の製造方法 | |
| CN111571773A (zh) | 一种非等厚砖坯压制成型设备、方法及非等厚砖坯 | |
| CN1092155C (zh) | 玻璃排出孔的旋转式柱塞 | |
| CN110041056A (zh) | 一种氧化铝陶瓷发热管及其制备方法 | |
| CN211261798U (zh) | 一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板 | |
| CN209295668U (zh) | 一种烧结过程中陶瓷管的烧结装置 | |
| CN205870831U (zh) | 一种用于热压炉的分层烧结模具 | |
| CN111152333A (zh) | 一种基于刚性模具的冷等静压成型方法及其应用 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240719 Address after: 471000 No. 66, Longhua Avenue, Luoyang Airport Industrial agglomeration zone, Luoyang City, Henan Province (Matun Town, Mengjin County, Luoyang City) Patentee after: LUOYANG JINGLIAN PHOTOELECTRIC MATERIAL CO.,LTD. Country or region after: China Patentee after: Fenglianke Optoelectronics (Luoyang) Co.,Ltd. Address before: 471100 No. 66 Longhua Avenue, Luoyang Airport Industrial Cluster Area, Luoyang City, Henan Province (Matun Town, Mengjin County, Luoyang City) Patentee before: LUOYANG JINGLIAN PHOTOELECTRIC MATERIAL CO.,LTD. Country or region before: China |
|
| TR01 | Transfer of patent right |