CN107434166A - 基板移送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的基板移送装置能够从板构件悬浮基板进行移送。所述基板移送装置可包括移送方向部件及移送引导部件。所述移送方向部件可以沿着所述基板的移送方向设置在与所述基板的边缘部分相对的所述板的周边部上。所述移送引导部件可配置在所述板构件的上部且朝向所述移送方向部件，可以与相邻于所述基板的角部分的所述基板的部分接触，可移送悬浮在所述板构件的上部的所述基板。本发明的基板移送装置能够有效防止所述基板损伤或破损，还能够防止所述移送引导部件损伤。

Description

基板移送装置
本申请以2016年5月26日向韩国专利厅递交的韩国专利申请第10-2016-0065000为优先权。
技术领域
本发明涉及基板移送装置，尤其涉及一种移送基板期间能够悬浮所述基板进行移送的基板移送装置。
背景技术
通常，平板显示(Flat Panel Display：FPD)装置可利用面积相对较大的基板制造而成。制造这种平板显示装置的工序期间频繁移送所述基板。尤其，为制造所述平板显示装置而执行向所述基板上涂布光刻胶溶液的涂布工序时可以在悬浮所述基板的状态下移送所述基板。
图1及图2为用于说明现有的基板移送装置的简要剖面图。
参见图1及图2，现有的基板移送装置100可包括用于悬浮基板11的板13及移送从所述板13悬浮的所述基板11的移送引导部件15。所述移送引导部件15大致位于所述板13的上部，朝向所述板13的表面。其中，所述移送引导部件15可与包括所述基板11的角的两侧部接触。即，现有的基板移送装置100中，通过与从所述板13悬浮的所述基板11的角部分接触的所述移送引导部件15的移动移送所述基板11。
而利用现有的基板移送装置100移送所述基板11期间所述基板11未从所述板13充分悬浮的情况下如图2所示，所述基板11可能会挤入所述移送引导部件15下部。从而可能发生所述基板11破损或所述移送引导部件15破损的问题。
为防止移送所述基板11期间所述基板11挤入所述移送引导部件15下部的现象，可以将所述移送引导部件15配置成邻近所述板13的表面。但该情况下，在通过所述移送引导部件15移送所述基板11的过程中所述移送引导部件15能够与所述板13的表面发生接触，因此可能引发所述板13损坏或所述移送引导部件15损坏的问题。
发明内容
技术问题
本发明的目的在于提供一种在保持基板和板构件充分相隔状态的同时防止所述基板挤入移送引导部件的下部，从而不仅能够有效防止所述基板损伤或破损，还能够防止所述移送引导部件损伤的基板移送装置。
技术方案
为达成本发明的目的，实施例的基板移送装置能够从板构件悬浮基板进行移送。所述基板移送装置可包括至少一个移送方向部件及移送引导部件。所述移送方向部件可以沿着所述基板的移送方向设置于实质上与所述基板的边缘部分相对的所述板的周边部上。所述移送引导部件可配置在所述板构件的上部且朝向所述移送方向部件，可以与相邻于所述基板的角部分的所述基板的部分接触，可移送悬浮在所述板构件的上部的所述基板。
根据实施例，所述基板移送装置的特征在于所述移送方向部件具有凹槽形状、凹口形状或齿形状。
根据实施例，所述板构件可包括用于加热所述基板的加热板。
根据实施例，所述板构件可利用超声波、空气或惰性气体发生的悬浮力将所述基板悬浮在所述板构件的上部。
根据其他实施例，两个移送方向部件可设置在与所述基板的两个边缘部分相对的所述板构件的周边部上，所述移送引导部件可具有用于收容所述基板的两个角部分的两个分支的端部。
技术效果
本发明实施例的基板移送装置中，所述移送引导部件可配置在所述板构件的周边部上，所述基板保持悬浮于所述板构件的上部的状态，因此能够防止移送所述基板期间所述基板挤入所述移送引导部件的下部的问题。并且，所述移送引导部件的底面能够从所述移送方向部件的上面相隔预定的间隔，因此移送所述基板期间所述移送引导部件能够不接触所述移送方向部件。尤其，所述移送引导部分支的端部能够接触相邻于所述基板的角部分的部分，因此可以在将所述基板悬浮在所述板构件上部并稳定地保持移送所述基板。因此，所述基板能够从所述板构件的上面充分相隔，能够防止所述基板挤入所述移送引导部件的下部的现象，因此能够防止制造所述显示装置的工序期间所述基板移送装置的移送引导部件损伤且有效防止所述基板损伤或破损。
附图说明
图1及图2为用于说明现有的基板移送装置的简要剖面图；
图3为用于说明本发明实施例的基板移送装置的剖面图；
图4为放大显示图3所示基板移送装置的‘A’部分的立体图。
具体实施方式
以下说明本发明实施例的基板移送装置。本发明可进行多种变形，可具有多种形态，以下对实施例进行具体说明。但其目的并非使本发明限定于特定的公开形态，因此应理解为包括属于本发明的思想及技术范围的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图方面，对近似的构成要素添加近似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不受所述术语限制。使用所述术语的目的在于使一个构成要素区分于其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例，目的并非对本发明进行限定。若记载内容中无另行定义，则单数的表现形式应理解为还包括复数的表现形式。本申请中的术语“包括”或“具有”等术语用于说明存在说明书中记载的特征、数字、步骤、工作、构成要素、构件或其组合，而并非预先排除一个或一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、构件或其组合的存在或附加可能性。
若无另行定义，本说明书中使用的包括技术术语或科学术语在内的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员的一般理解相同的含义。通常使用的词典定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的含义，本申请中无明确定义的前提下不得解释为理想或过度形式性的含义。
图3为用于说明本发明实施例的基板移送装置的剖面图，图4为放大显示图3所示基板移送装置的‘A’部分的立体图。
参见图3及图4，实施例的基板移送装置200可用于制造大体平板显示(FPD)装置之类的显示装置时移送面积相对较大的基板21。尤其，实施例的基板移送装置200可以在制造所述平板显示装置的过程中执行向所述基板21上涂布光刻胶溶液的涂布工序时，用于悬浮所述基板21进行移送。
根据其他实施例，所述基板移送装置200可在执行制造所述平板显示装置的蚀刻工序、沉积工序等其他制造工序期间用于悬浮所述基板21并移送所述基板21。
如图3及图4所示，实施例的基板移送装置200可包括板构件23、移送方向部件24、移送引导部件25等。
所述板构件23的上部可用于配置所述基板21，为了将所述基板21悬浮在所述板构件23的上部，可以向所述基板21的底面(例如，与被执行所述涂布工序的所述基板21的上面相对的面)提供可由超声波(ultrasonic wave)引起的悬浮力(levitation force)。根据实施例，所述板构件23可具有多个孔(未示出)，可通过这些孔向所述基板21的底面上提供用于将所述基板21悬浮在所述板构件23的上部的所述悬浮力。
根据其他实施例，所述板构件23可连接于通过所述板构件23向所述基板21的底面提供所述超声波引起的所述悬浮力的超声波源等悬浮力提供部件(未示出)。
如上所述，实施例的基板移送装置200的所述板构件23可具有向所述基板21的底面上施加预定的悬浮力使所述基板21从所述板构件23悬浮的构成。设置于所述板构件23的多个孔可连接于能够向所述基板21提供所述预定的悬浮力的所述悬浮力提供部件。其中，可根据对所述基板21执行的制造工序的类型调整设置于所述板构件23的孔的大小及/或形状或调解用于发生所述悬浮力的超声波的强度，以调解所述悬浮力的大小向所述板构件23的上部适当悬浮所述基板21。
根据其他实施例，所述板构件23可以从所述悬浮力提供部件通过所述板构件23的孔向所述基板21的底面上提供由空气或惰性气体引起的悬浮力。即，可利用所述空气或惰性气体发生的悬浮力替代所述超声波从所述板构件23悬浮所述基板21。
根据又一实施例，所述板构件23可包括为固化(即，硬化)所述涂布工序期间涂布到所述基板21上的溶液或所述沉积工序期间沉积到所述基板21上的层而加热所述基板21的加热板。所述加热板可根据向所述基板21执行的制造工序的类型将所述基板21加热到想要的温度。
根据实施例，所述移送方向部件24可配置在实质上与所述基板21的一侧边缘部分相对的所述板构件23的一侧周边部上。并且，所述移送方向部件24可以配置成相邻于所述板构件23的一侧面。可以通过所述移送方向部件24确定所述基板21在板构件23上的移送方向。该情况下，所述移送方向部件24与所述板构件23实质上可以一体形成。例如，所述移送方向部件24可以是能够设置于所述板构件23的一侧周边部上的实质为凹槽(groove)、实质为凹口(recess)或实质为齿(dent)的形状。
如图4所示，所述移送方向部件24为了引导所述基板21的移送方向，可以设置在实质上与所述基板21的一侧边缘部分相对的所述板构件23的一侧周边部上。根据其他实施例，两个移送方向部件24可以以所述基板21的移送方向为基准位于实质上与所述基板21的两侧边缘部分相对的所述板构件23的两侧周边部上。该情况下，移送方向部件24可配置成相邻于所述板构件23的相对的侧面。即，所述移送方向部件24可设置在实质上分别与所述基板21的相对的边缘部分相对的所述板构件23的两侧周边部上。因此，能够在所述板构件23的上部通过所述两个移送方向部件24沿着所述移送方向更加精确地移送所述基板21。其中，各移送方向部件24可以是实质为凹槽、实质为凹口或实质为齿的形状。并且，各移送方向部件24和所述板构件23可一体形成。
再次参见图3及图4，所述移送引导部件25可朝向所述移送方向部件24配置在所述板构件23的一侧周边部的上部。根据实施例，所述移送引导部件25的底面可从所述移送方向部件24的上面相隔预定间隔。即，所述移送引导部件25能够不接触所述移送方向部件24。所述移送引导部件25可以具有为收容所述基板21的角部分而分支的端部。在所述板构件23的上部移送所述基板21期间，所述移送引导部件25的分支的端部可分别接触相邻于所述基板21的角的部分，因此能够在所述板构件23的上部支撑所述基板21，能够沿着所述移送方向移动所述基板21。例如，所述移送引导部件25的分支的端部可以是实质为L字形状或实质为翻转的L字形状。
根据其他实施例，所述移送引导部件25可以具有两个分支的端部以分别支撑所述基板21的四个角部分中的两个角部分。上述两个分支的端部可分别设置于所述移送引导部件25的两侧部。例如，所述移送引导部件25的两个分支的端部可以和相邻于所述基板21的两个角部分的所述基板21的四个部分接触。该情况下，所述移送引导部件25的两个分支的端部可分别接触以所述基板21的移送方向为基准相邻于所述基板21的后面两侧的两个角部分的所述基板21的部分。
如上所述，可通过与所述移送方向部件24相隔预定距离的所述移送引导部件25移送悬浮在所述板构件23的上部的所述基板21。
本发明实施例的基板移送装置200中，所述移送引导部件25可配置在所述板构件23的一侧周边部上，可以保持所述基板21悬浮在所述板构件23的上部的状态，因此能够防止移送所述基板21期间所述基板21挤入所述移送引导部件25的下部的问题。并且，所述移送引导部件25的底面能够从所述移送方向部件24的上面相隔预定的间隔，因此能够确保移送所述基板21期间所述移送引导部件25不接触所述移送方向部件24。尤其，由于所述移送引导部件25的分支的端部能够接触相邻于所述基板21的角部分的部分，因此能够在将所述基板21悬浮在所述板构件23的上部的同时稳定地保持和移送所述基板21。
因此，所述基板21能够从所述板构件23的上面充分相隔，能够防止所述基板21挤入所述移送引导部件25的下部的问题，因此不仅能够防止制造所述显示装置的工序期间所述基板移送装置200的移送引导部件25损坏，还能够有效防止所述基板21损伤或破损。
本发明上述实施例的基板移送装置能够在制造显示装置的工序期间安全地保持所述基板且能够有效地移送所述基板，从而能够提高工序可靠性。
以上参见本发明的实施例进行了说明，本领域的普通技术人员应当理解：在不使相应技术方案的本质脱离本发明技术方案记载的本发明的思想及领域的前提下可以对本发明进行多种修改及变形。

Claims (5)

1.一种基板移送装置，用于从板构件悬浮基板进行移送，其特征在于，包括：
至少一个移送方向部件，其沿着所述基板的移送方向设置在与所述基板的边缘部分相对的所述板的周边部上；以及
移送引导部件，其配置在所述板构件的上部且朝向所述移送方向部件，与相邻于所述基板的角部分的所述基板的部分接触，移送悬浮在所述板构件的上部的所述基板。
2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：
所述移送方向部件具有凹槽形状、凹口形状或齿形状。
3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述板构件包括：
加热板，其用于加热所述基板。
4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：
所述板构件利用超声波、空气或惰性气体发生的悬浮力将所述基板悬浮在所述板构件的上部。
5.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：
两个移送方向部件设置在与所述基板的两个边缘部分相对的所述板构件的周边部上，所述移送引导部件具有用于收容所述基板的两个角部分的两个分支的端部。
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