CN107407646A - 测量处理装置、x射线检查装置、测量处理方法、测量处理程序及结构物的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种用于X射线检查装置的测量处理装置，具备：区域信息获得部，其获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；存储部，其存储比第一区域大的、与第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息；判断部，其基于第一区域信息和第二区域信息，判断与第一区域对应的区域是否包括在第二区域中。

Description

测量处理装置、X射线检查装置、测量处理方法、测量处理程序 及结构物的制造方法

技术领域

本发明涉及一种测量处理装置、X射线检查装置、测量处理方法、测量处理程序及结构物的制造方法。

背景技术

目前，已知如下技术，使用X射线测定装置用于非破坏用内部检查，对被测量物进行与设计三维数据的比较、被测量物的壁厚及内部缺陷的评价(例如专利文献1)。

先前技术文献

专利文献

专利文献1:美国公开专利2013－0083896号

发明内容

发明要解决的问题

对于在同一条件下制造的多个被测量物，使用X射线测定装置对被测量物的一部分而不是对全部进行测量的情况下，对于多个被测量物的每一个需要测量相同的部位。但是，例如在被测量物是铸件的情况下，由于熔融金属凝固时的收缩及模具的磨耗的影响，有可能在形状上产生不均。另外，加工前的铸件表面上有凹凸。由于这些原因，每个被测量物其高度及倾斜度有可能不同，因此，存在对于多个被测量物的每一个不能对相同的区域进行测量的问题。特别是在以铸件表面的面与搭载部接触的搭载的情况下，这种问题变得显著化。

用于解决问题的方法

(1)根据本发明的第一方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，具备：区域信息获得部，其获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；存储部，其存储比第一区域大的、与第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息；判断部，其基于第一区域信息和第二区域信息，判断与第一区域对应的区域是否包括在第二区域中。

(2)根据本发明的第二方面，优选的是，在第一方面的测量处理装置中，第一区域具有包括有第一被测量物的设定的截面的设定的厚度，第二区域具有比第一区域大的厚度。

(3)根据本发明的第三方面，在第二方面的测量处理装置中，优选的是，第一被测量物和第二被测量物具有相同的结构，第二区域信息是基于表示第二被测量物的结构的设计数据的信息。

(4)根据本发明的第四方面，优选的是，在第二方面的测量处理装置中，第一被测量物和第二被测量物具有相同的结构，第二区域信息是基于透射第二被测量物的第二区域的X射线的信息。

(5)根据本发明的第五方面，优选的是，在第二方面的测量处理装置中，第一被测量物和第二被测量物具有相同的结构，第二区域信息是除X射线检查装置之外的测量检查装置对第二被测量物的第二区域的至少一部分进行测量的测量信息。

(6)根据本发明的第六方面，优选的是，在第二方面的测量处理装置中，还具备判断部，第二区域信息包括与第一被测量物的检查对象的区域有关的检查对象区域信息，判断部基于第一区域信息和第二区域信息，判断第一区域信息是否对应检查对象区域信息。

(7)根据本发明的第七方面，优选的是，在第六方面的测量处理装置中，还具备，评价部，如果通过判断部判断出第一区域信息与检查对象区域信息对应，则基于第一区域信息对该第一区域的状态进行评价；位置差计算部，如果通过判断部判断出第一区域信息与检查对象区域信息不对应，则基于第一区域信息和第二区域信息，计算第一区域和检查对象的区域的位置的差的。

(8)根据本发明的第八方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，具备：存储部，其存储包括被测量物的检查对象区域且与比检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；区域信息获得部，其基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与一部分区域相关的区域信息；判断部，其基于区域信息和设定区域信息，判断一部分区域是否对应检查对象区域。

(9)根据本发明的第九方面，优选的是，在第八方面的测量处理装置中，设定区域信息是基于表示被测量物的结构的设计数据的信息。

(10)根据本发明的第十方面，优选的是，在第八方面的测量处理装置中，设定区域信息是基于透射被测量物的设定区域的X射线的信息。

(11)根据本发明的第十一方面，优选的是，在第八方面的测量处理装置中，设定区域信息是除X射线检查装置之外的测量检查装置对被测量物的设定区域的至少一部分进行测量的测量信息。

(12)根据本发明的第十二方面，优选的是，在第八方面的测量处理装置中，还具备，评价部，如果通过判断部判断出一部分区域与检查对象区域对应，则基于区域信息对该一部分区域的状态进行评价；位置差计算部，如果通过判断部判断出一部分区域不与检查对象区域对应，则基于区域信息和设定区域信息，计算一部分区域和检查对象区域的位置的差。

(13)根据本发明的第十三方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，其具备，区域信息获得部，基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与一部分区域相关的区域信息；标准信息存储部，存储与被测量物的一部分区域有关的标准信息；位置特定部，基于区域信息和标准信息，特定一部分区域的位置。

(14)根据本发明的第十四方面，提供一种X射线检查装置，其具备第一～第十三的任一方面的测量处理装置、对被测量物照射X射线的X射线源、对透射被测量物的X射线的检测部。

(15)根据本发明的第十五方面，X射线检查装置具备第一～第七的任一方面的测量处理装置、对被测量物照射X射线的X射线源、对透射被测量物的X射线进行检测的检测部，第一、第二区域在与X射线源的发光点与检测部的中心包围的区域正交的方向上大小不同。

(16)根据本发明的第十六方面，X射线检查装置具备：第七方面的测量处理装置、对第一被测量物照射X射线的X射线源、对透射第一被测量物的X射线进行检测的检测部、变更X射线源或检测部与第一被测量物的位置关系的位置关系变更部，第一区域信息是基于检测部的检测结果的信息，位置关系变更部按照如下方式变更位置关系，如果通过判断部判断出第一区域信息不与检查对象区域信息对应，则基于通过位置差计算部计算的位置的差，通过检测部对透射检查对象的区域的X射线进行检测。

(17)根据本发明的第十七方面，X射线检查装置具备：第十二方面的测量处理装置、对被测量物照射X射线的X射线源、对透射被测量物的X射线进行检测的检测部、变更X射线源或检测部与被测量物的位置关系的位置关系变更部，区域信息是基于检测部的检测结果的信息，位置关系变更部按照如下方式变更位置关系，如果通过判断部判断出一部分区域不与检查对象区域对应，则基于通过位置差计算部计算的位置的差，通过检测部检测透射检查对象区域的X射线。

(18)根据本发明的第十八方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，具备：存储部，其存储包括被测量物的检查对象区域且与比检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；第一区域信息获得部，获得基于透射被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；特定部，基于第一区域信息和设定区域信息，特定与第一区域中的检查对象区域对应的区域。

(19)根据本发明的第十九方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，其具备：存储部，存储包括被测量物的检查对象区域且与比检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；第一区域信息获得部，获得基于透射被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；第一判断部，根据第一区域信息和设定区域信息，判断第一区域信息是否包括与检查对象区域有关的检查对象区域信息；第二区域信息获得部，在通过第一判断部判断出第一区域信息不包括检查对象区域信息的情况下，获得基于透射包括第一区域且比第一区域大的第二区域的X射线的第二区域信息；提取部，从第二区域信息中提取检查对象区域信息。

(20)根据本发明的第二十方面，X射线检查装置具备：第七方面的测量处理装置、对第一被测量物照射X射线的X射线源、对透射第一被测量物的X射线进行检测的检测部、对通过检测部检测透射第一被测量物的X射线的检测范围进行设定的检测范围设定部，区域信息获得部基于通过检测部检测的透射第一被测量物的X射线获得第一区域信息，检测范围设定部は，如果通过判断部判断出第一区域信息不与检查对象区域信息对应，则基于通过位置差计算部计算的位置的差，设定包括检查对象的区域的新的检测范围。

(21)根据本发明的第二十一方面，测量处理方法获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息，并基于与比第一区域大的第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息和第一区域信息，判断与第一区域对应的区域是否包括在第二区域中。

(22)根据本发明的第二十二方面，测量处理方法获得基于透射被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息，根据包括被测量物的检查对象区域且与比检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息和第一区域信息，判断第一区域是否与检查对象区域对应。

(23)根据本发明的第二十三方面，测量处理方法基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与一部分区域有关的区域信息，基于用于特定被测量物中的一部分区域的位置的标准信息和区域信息，特定被测量物中的一部分区域的位置。

(24)根据本发明的第二十四方面，测量处理程序使计算机执行如下处理，区域信息获得处理，获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；判断处理，基于与比第一区域大的第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息和第一区域信息，判断与第一区域对应的区域是否包括在第二区域中。

(25)根据本发明的第二十五方面，测量处理程序使计算机执行如下处理，第一区域信息获得处理，获得基于透射被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；判断处理，根据包括被测量物的检查对象区域且与比检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息和第一区域信息，判断第一区域是否与检查对象区域对应。

(26)根据本发明的第二十六方面，测量处理程序使计算机执行如下处理，区域信息获得处理，基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与一部分区域相关的区域信息；特定处理，基于用于特定被测量物中的一部分区域的位置的标准信息和区域信息，特定被测量物中的一部分区域的位置。

(27)根据本发明的第二十七方面，结构物的制造方法包括，建立与结构物的形状相关的设计信息，基于设计信息制造结构物，使用第一～十四的任一方面的测量处理装置或者第十六方面的X射线检查装置测量所制造的结构物的形状并获得形状信息，将所获得的形状信息和设计信息进行比较。

(28)根据本发明的第二十八方面，提供一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，具备：区域信息获得部，对透射第一被测量物的一部分区域的X射线进行检测并获得与第一区域有关的第一区域信息；倾斜度检测部，检测获得第一区域信息时的第一被测量物的倾斜度；比较部，将通过倾斜度检测部检测的第一被测量物的倾斜度和作为标准的倾斜度进行比较。

(29)根据本发明的第二十九方面，优选的是，在第二十八方面的测量处理装置中，区域信息获得部检测透射第二被测量物的一部分区域的X射线并获得与第二区域有关的第二区域信息，倾斜度检测部检测获得第二区域信息时的第二被测量物的倾斜度，比较部比较通过倾斜度检测部检测的第一被测量物的倾斜度和第二被测量物的倾斜度。

(30)根据本发明的第三十方面，优选的是，在第二十八方面的测量处理装置中，倾斜度检测部基于第一区域信息，检测获得第一区域信息时的第一被测量物的倾斜度。

发明效果

本发明的方面的目的在于提供能够抑制检测不良的测量处理装置、X射线检查装置、测量处理方法、测量处理程序及结构物的制造方法。

附图说明

图1是示意性地表示第一实施方式的X射线检查装置的构成的一个例子的图。

图2是检查处理装置的方框图。

图3是对用于说明主数据的被测量物进行示意性地表示的图。

图4是表示主数据的区域的图。

图5是表示主数据的区域的图。

图6(a)是表示切割面和重建图像的关系的概念图，(b)是表示切割面的重建图像的概念图。

图7(a)是表示切割面和重建图像的关系的概念图，(b)是表示切割面的重建图像的概念图。

图8(a)是表示切割面和重建图像的关系的概念图，(b)是表示切割面的重建图像的概念图。

图9(a)是表示切割面和重建图像的关系的概念图，(b)是表示切割面的重建图像的概念图。

图10是表示与不同的切割面对应的重建图像的概念图。

图11(a)是表示在检查作为被测量物的发动机的汽缸体的情况下设定的评价区域的一个例子的图，(b)是说明面标准的图。

图12(a)～(e)是示意性地表示一边稍微变更切面位置一边对多个切割面进行X射线检查获得的重建图像的图。

图13(a)是表示被选择作为应该用于评价区域的检查的切割面的重建图像的重建图像，(b)是表示对与主数据相当的数据计算旋转的情况下的重建图像。

图14是说明第一次从被测量物的测量信息中生成主数据的处理的流程图。

图15是说明第一实施方式的检查处理的流程图。

图16是说明格栅的图。

图17是示意性地表示第二实施方式的X射线检查装置的构成的一个例子的图。

图18是说明第二实施方式的检查处理的流程图。

图19是表示根据实施方式的结构物制造系统的构成的一个例子的方框图。

图20是说明结构物制造系统的处理流程图。

图21(a)是对较薄的区域进行外形测量的概念图，(b)是对较厚的区域进行外形测量的概念图。

图22是说明用于提供程序产品的设备的整体构成的图。

图23是说明根据实施方式的测量条件的设定的流程图。

具体实施方式

－－－第一实施方式－－－

参照图面的同时对根据本发明的第一实施方式的X射线检查装置及用于X射线检查装置的检查处理装置进行说明。X射线检查装置通过对被测量物照射X射线，对透射被测量物的透過X射线进行检测，来非破坏性地获取被测量物的内部信息(例如内部结构)等。在本实施方式中，以X射线检查装置作为获得发动机缸体等铸件的内部信息，并用于进行其质量管理等的内部检查装置的情况为例进行说明。

此外，X射线检查装置100也可以获取树脂成型品、零件之间通过粘接剂或焊接接合的情况下的接合部的内部结构的形状信息，并进行上述的检查，而不仅限定于发动机缸体这样的铸件。

另外，本实施方式是为了理解发明的主旨而具体进行地说明，除非特别指定，并不用于限定本发明。

图1是示意性地表示根据本实施方式的X射线检查装置100的构成的一个例子的图。此外，为了便于说明，按照图示设定由X轴、Y轴、Z轴组成的坐标系。

X射线检查装置100具备检查处理装置1、X射线源2、搭载部3、检测器4、控制装置5、显示器6及输入操作部11。此外，对于检查处理装置1与X射线检查装置100分开构成的结构也包括在本发明的一方面中。X射线源2、搭载部3及检测器4收容在外壳(未图示)的内部，该壳体配置为在工厂等地面上与XZ平面实际上形成水平。外壳的材料包括铅，以使X射线不向外部泄露。

X射线源2根据控制装置5进行的控制，以图1所示的出射点Q为顶点沿与Z轴平行的光轴Zr，朝向Z轴+方向放射扇形的X射线(所谓的扇形光束)。出射点Q相当于X射线源2的焦斑。即，光轴Zr连结X射线源2的焦斑即出射点Q和后述的检测器4的摄像区域的中心。此外，代替扇形放射X射线的方式，X射线源2放射锥形的X射线(所谓的锥形光束)的方式也包括在本发明的一方面中。X射线源2能够放射例如约50eV的超软X射线、约0.1～2keV的软X射线、约2～20keV的X射线及约20～100keV的硬X射线、进而具有100keV以上能量的X射线中的至少一个。

搭载部3具备搭载有被测量物S的载置台30及由旋转驱动部32、Y轴移动部33、X轴移动部34、Z轴移动部35、及倾斜调整部37组成的操纵器部36，设置在比X射线产生部2更靠近Z轴+侧。载置台30通过旋转驱动部32可旋转地设置，在旋转驱动部32带动的旋转轴Yr向X轴、Y轴、Z轴方向移动时，均发生移动。另外，载置台30相对于XZ平面的倾斜度，即载置台30的上面和旋转轴Yr形成的角度可通过倾斜调整部37进行调整。

旋转驱动部32例如由电动机等构成，通过后述的控制装置5控制驱动的电动机产生的旋转力，以与Y轴平行且通过载置台30的中心的轴为旋转轴Yr使载置台30旋转。Y轴移动部33、X轴移动部34、Z轴移动部35及倾斜调整部37由控制装置5控制，使载置台30分别向X轴方向、Y轴方向及Z轴方向移动，同时，变更载置台30相对于XZ平面的倾斜度，以使被测量物S位于由X射线产生部2射出的X射线的照射范围内。进而，Z轴移动部35由控制装置5控制，使载置台30向Z轴方向移动X射线源2至被测量物S的距离即所撮影的图像中的被测量物S形成所需的放大比的距离。

检测器4设置在比X射线源2及载置台30更靠近Z轴方向+侧。即，载置台30在Z轴方向上设置在X射线源2和检测器4之间。检测器4具有在与XY平面平行的面上向X轴方向延伸的入射面41，即所谓的线传感器，从X射线源2放射，包括透射搭载于载置台30上的被测量物S的透射X射线的X射线射入入射面41。检测器4由包括已知的闪烁物质的闪烁器部、光电倍增管、受光部等构成，射入闪烁器部的入射面41的X射线的能量转换成可视光或紫外光等光能并用光电倍增管进行倍增，通过上述的受光部将该倍增的光能转换成电能，作为电信号输入到控制装置5。

此外，检测器4也可以不将射入的X射线的能量转换成光能，而是转换成电能，作为电信号输出。检测器4具有闪烁器部、光电倍增管、受光部分别被分成多个像素的结构。由此，能够获得从X射线源2射出，并透射被测量物S的X射线的强度分布。此外，作为检测器4，也可以不设置光电倍增管，而是形成闪烁器部直接形成在受光部(光电转换部)上的结构。

此外，检测器4不限定于线传感器，也可以是二维平面的检测器。即，在本实施方式中，检测器4的线传感器具有在与XY平面平行的面上向X轴方向延伸的入射面41，但入射面41在Y轴方向上仅配置有一个。另外，在XY平面上，X轴方向上配置有多个入射面41。另外，多个入射面41可分别独立地检测X射线的强度。在本实施方式中，也可以在Y轴方向上排列多个入射面41。例如在图1的XY平面上，也可以是在X轴方向及Y轴方向上配置有多个入射面41的二维平面的检测器。另外，在使用二维平面检测器的情况下，在配置在Y轴方向上的多个入射面41中，仅使用Y轴方向的设定位置上的X轴方向的入射面41，也可以作为线传感器使用。在该情况下，也可以获得Y轴方向的设定位置上的X轴方向的入射面41的X射线的强度分布，通过在Y轴方向的设定位置获得的X射线的强度分布解析被测量物S的形状信息。另外，在该情况下，在获得Y轴方向的多个位置上的X轴方向的入射面41的X射线的强度分布时，也可以获得与Y轴方向互相离间的位置的X轴方向的入射面41的X射线的强度分布。

X射线源2、搭载部3及检测器4通过框架(未图示)支承。该框架制造有充足的刚性。因此，在被测量物S的投影像的获得中，可以稳定地支承X射线源2、搭载部3及检测器4。另外，框架由防振机构(未图示)支承，防止在外部产生的振动直接传递给框架。

输入操作部11由键盘、各种按钮及鼠标等构成，通过操作者，如后述所述在检查被测量物S时输入被检查区域的位置，或者在更新被检查区域时进行操作。输入操作部11如果被操作者操作，则向检查处理装置1输出与操作相应的操作信号。

控制装置5具有微处理器及其外围电路等，通过读入未图示的存储介质(例如快闪存储器等)中预存的控制程序并执行，来控制X射线检查装置100的各部。控制装置5具备X射线控制部51、移动控制部52、图像生成部53及图像重建部54。X射线控制部51控制X射线源2的动作，移动控制部52控制操纵器部36的移动动作。图像生成部53基于从检测器4输出的电信号生成被测量物S的X射线投影图像数据，图像重建部54控制操纵器部36同时基于各个投影方向不同的被测量物S的投影图像数据，实施已知的图像重建处理生成重建图像。在本实施方式中，以在Y轴方向上在不同的位置获得的重建图像为基础，通过设置在图像重建部54内部的表面建模部，生成被测量物S的内部结构即三维的形状信息。该情况下，作为图像重建处理，有反投影法、过滤器校正反投影法、逐次逼近法等。

X射线检查装置100在进行被测量物S的内部结构检查时，使载置台30向XYZ的各方向移动时，调整载置台30的倾斜角度使被测量物S位于检查位置。而且，X射线检查装置100将从X射线源2在Y轴方向具有设定的宽度的狭缝光向伴随载置台30的旋转驱动旋转的被测量物S照射。检测器4接收透射包括被测量物S的X射线的透過X射线，获得与上述的狭缝光的Y轴方向的宽度(例如，大约1mm)相应的被测量物S的截面的被测量物S的形状信息。X射线检查装置100反复进行对旋转驱动中的被测量物S照射狭缝光和向上述的载置台30的Y轴方向的移动即向被测量物S的Y轴方向移动。如果狭缝光在遍及载置于载置台30上被测量物S的Y轴方向的整个长度的范围进行，则能够生成被测量物S整体的形状信息(下面称为全扫描)。如果狭缝光的照射在载置于载置台30上的被测量物S的Y轴方向的一部分长度的范围进行的情况下，获得该部分的透射像，并能够基于该透射像生成被测量物S的一部分的形状信息(下面称为部分扫描)。

此外，在本说明书中，在下面的说明中，将上述的被测量物S和狭缝光重叠的区域称为切割面。在本实施方式中，如果在出射点Q和检测器4的入射面41限定的区域上配置被测量物S，则能够检测透射被测量物S的X射线。在该情况下，将透射被测量物S的X射线的可检测范围称为切割面。切割面是具有设定的宽度的区域。此外，在本实施方式中，以检测器4的入射面41和出射点Q限定的区域和被测量物S重复的区域是切割面。当然，切割面也可以是例如连接出射点Q和检测器4的中心的区域。伴随载置台30向Y轴方向移动，切割面的位置相对于载置台30上的被测量物S相对地向Y轴方向移动。在下面的说明中，将该切割面相对于被测量物S的相对移动称为位移，将此时的移动量称为位移量。此外，在本实施方式中，在检测完在设定位置的设定区域之后使载置台30向Y轴方向移动的情况下，移动前检测的设定区域和移动后检测的设定区域不重复。当然，也可以一部分重复。在本实施方式中，使载置台30相对于X射线源2的出射点Q和检测器4的中心包围的区域向交叉的方向移动。由此，通过载置台30的移动，能够检测在移动前检测不到的区域。例如，在本实施方式中，X射线源2的出射点Q和检测器4的中心包围的区域与XZ平面平行。因此，作为与XZ平面交叉的方向，使载置台30沿与90°交叉的Y方向移动。当然，交叉的方向不限于90°，例如也可以是10°、20°、30°、40°、50°、60°、70°、80°。

在本实施方式的X射线检查装置100中，对例如具有如铸件那样相同形状的多个被测量物S进行全扫描或部分扫描进行检查。全扫描是指为了获得整个被测量物S的内部结构而在Y轴方向上以设定的间隔用于生成重建图像的测量动作。大部分的时间被分配用作用于制造被测量物S的模具的维修后等不进行批量生产制造的相对检查时间。局部扫描是指用于生成仅被测量物S中包括后述的评价区域的一部分的重建图像的测量动作。除了进行上述的全扫描时刻之外，在选择多个被测量物S的产生内部缺陷的可能性较高的部分(下面称为评价区域)作为被检查区域进行检查时进行局部扫描。

如图2的方框图所示，检查处理装置1具有微处理器及其外围电路等，通过读入未图示的存储介质(例如快闪存储器等)中预存的控制程序并执行，执行后述的检查被测量物S的一部分时的各种处理。检查处理装置1具备：控制部110、构成信息获得部111、区域信息获得部112、比较部113、位置差计算部114、检查范围设定部115、评价部116、数据存储部117、检查部118及评价区域设定部119。

控制部110除了控制下面说明的检查处理装置1的各部之外，还经由控制装置5控制X射线检查装置100的各部。构成信息获得部111获得通过与被测量物S有关的CAD等设计信息获得的被测量物S的形状信息。区域信息获得部112获得通过局部扫描获得的设定区域的形状信息。下面将通过区域信息获得部112获得的设定区域的三维形状信息称为区域信息。比较部113比较通过区域信息获得部112获得的区域信息和主数据M。对于主数据M进行后述。位置差计算部114基于比较部113的比较结果，计算相当于所获得的区域信息的被测量物S中的位置和被测量物S中的应该检查的区域的位置的差。检查范围设定部115将后述的包括通过评价区域设定部119设定的评价区域的区域设定为对被测量物S进行局部扫描的区域(下面称为局部扫描区域)。

评价部116基于对被测量物S进行局部扫描获得的区域信息评价被测量物S的良品性。数据存储部117是用于存储通过检查处理装置1的上述各部进行的处理而生成的各种数据的非易失性存储介质。检查部118基于局部扫描数据生成内部信息。评价区域设定部119使用基于通过构成信息获得部111获得的设计信息的信息等，对被测量物S进行设定用于在局部扫描使进行检查的评价区域的评价区域设定处理。主数据生成部120基于构成信息获得部111或区域信息获得部112获得的信息，生成主数据M。主数据M是表示被测量物S的至少一部分的形状的信息，详细内容后面进行说明。

此外，检查处理装置1的上述各部的细节后面进行说明。

－－－关于被测量物S的定位－－－

在依次检查多个被测量物S时，对于任何一个被测量物S，都希望扫描被测量物S的相同区域，因此，需要将被测量物S相对于X射线检查装置100的装置坐标系进行正确地定位。

但是，如上所述，由于被测量物S的形状上产生不均，因此，载置于搭载部30的每个被测量物高度及倾斜度有可能不同。

因此，在本实施方式中，在扫描评价区域时，一旦对载置于载置台30上的被测量物S进行局部扫描，通过将其结果与后述的主数据M进行比较，判断被测量物S相对于装置坐标系是否正确定位。下面进行具体地说明。此外，在下面的说明中，所说的“位置”一词形成也包括“倾斜度”的概念。例如，被测量物的位置是指包括装置坐标系中的被测量物S的XZ平面上的位置及Y轴方向的高度、被测量物S相对于装置坐标系的倾斜度。另外，在下面的说明中，将被测量物S相对于装置坐标系的倾斜度仅称为倾斜度，有时也叫做被测量物S的姿势。

－－－关于主数据M－－－

参照图3～图10，对主数据M进行说明。主数据M是与被测量物S的至少一部分区域的形状有关的信息，用于判断对被测量物S的哪个部分进行局部扫描。主数据M中包括与评价区域的位置有关的信息。主数据M是在Y轴方向的宽度上具有冗长性的数据，因此，载置于载置台30上时的被测量物S在向Y轴方向偏离或者在倾斜的情况下，能够在被测量物S中特定局部扫描的部分。在下面的说明中，主数据M或局部扫描区域等Y轴方向的宽度也被称为厚度。

为了便于说明，被测量物S具有如图3所示的形状。图3所示的被测量物SX假设呈六面体形状。另外，为了便于说明，对于被测量物SX，按照图示方式设定由U轴、V轴、W轴组成的坐标系。被测量物SX其图示右侧的面不与UV平面平行，图示右侧的边60a、60b、60c、及60d中，图示内侧的边60a与V轴平行，图示下侧的边60b与U轴平行。随着图示手边侧的边60c朝向轴V+方向，朝向W轴－方向倾斜，伴随图示上侧的边60d朝向U轴+方向，朝向W轴+方向倾斜。另外，具有从图示左侧的面向W轴+方向延长的圆柱形的孔部61。孔部61不贯通W轴+方向。此外，标注符号62的长方体表示评价区域。另外，标注符号63的圆柱表示浇铸入被测量物S内的部件(下面称为浇铸部件)。浇铸部件一般是与周围的材料不同的材料，因此，X射线的吸收率通常与周围的材料不同。此处，设成铝中浇铸有铸铁的部件。

关于被测量物SX的主数据M例如在图4中粗线表示，是与被测量物SX的一部分区域SXa的形状有关的数据。此外，主数据M也可以是与被测量物SX的整体形状有关的数据。在主数据M中，例如表示区域SXa的外形的信息、表示孔部61的形状的信息、表示区域SXa内的孔部61的位置的信息、与评价区域62的形状有关的信息、区域SXa中的关于评价区域62的位置的信息、被测量物SX中的有关区域SXa的位置的信息、即表示区域SXa的范围的信息等是相当的，但不一定需要包括所有的这些信息。此外，区域SXa不一定包括评价区域62，如果主数据M中包括关于区域SXa和评价区域62的位置关系的信息，则如图5所示，在远离区域SXa的部位也可以存在评价区域62。对该情况下的检查顺序进行后述。为了便于说明，在下面的说明中，如图4所示，区域SXa设为包括评价区域62。另外，孔部61的中心轴CL与W轴平行，其延长线上存在评价区域62。

接着，参照主数据M对特定区域SXa中的切割面的位置的方法的概要进行说明。

一般地，某一切割面的形状根据被测量物SX上的切割面的位置变化。例如，如图6(a)所示，切割面80包括孔部61的中心轴CL，在与UW平面平行的情况下，切割面80的重建图像81a形成图6(b)所示的形状。在图6(b)中标注符号62a的虚线表示重建图像81a中的评价区域62。

接着，图7(a)表示切割面80与图6(a)的情况相比远离V轴+方向的情况。在该情况下，切割面80的重建图像81b形成图7(b)所示的形状。另外，图8(a)表示切割面80与图6(a)的情况相比远离V轴－方向的情况。在该情况下，切割面80的重建图像81c形成图8(b)所示的形状。如图8(a)所示，切割面80与浇铸部件63的一部分即图示上端部重合。因此，在图8(b)所示的重建图像81c上出现亮度不同的部分63a。

进而，图9(a)表示切割面80不与UW平面平行的情况。在该情况下，切割面80的重建图像81d形成图9(b)所示的形状。图10是为了进行比较而一并表示上述的重建图像81a～81d的图。

在重建图像81a中，相当于孔部61的内周面的两根线61a平行。在重建图像81b中，相当于孔部61的内周面的两根线61a平行，但双方的之间的距离比重建图像81a中的两根线61a间的距离小。另外，边60c和切割面80的交点60C的位置与重建图像81a的交点60C相比，向图示左侧移动。

在重建图像81c中，表示孔部61的内周面的两根线61a平行，但双方的之间的距离比重建图像81a中的两根线61a间的距离小。另外，边60c和切割面80的交点60C的位置与重建图像81a的交点60C相比，向图示右侧移动。如上所述，在重建图像81c上显现出相当于浇铸部件63的一部分的亮度不同的部分63a。

在重建图像81d中，表示孔部61的内周面的两根线61a不平行。此外，用直线简略表示图9(b)及图10中的重建图像81d的两根线61a，但实际上是曲线。

这样，重建图像的形状根据被测量物SX中的切割面80的位置进行变化。因此，通过比较切割面80的形状和主数据M，能够特定与主数据M对应的区域SXa中的切割面80的位置。

如果具体地进行说明，则在重建图像81a中，两根线61a平行，通过两者间的距离可知切割面80是包括孔部61的中心轴CL的面(参照图6)。另外，通过外形的信息例如边60a和切割面80的交点60A或交点60C的位置等，可得知切割面80的倾斜度。在该情况下，切割面80与W轴平行。

另外，在重建图像81b及重建图像81c中，通过两根线61a间的距离获知Y轴方向上的切割面80和孔部61的中心轴CL的距离(参照图7，8)。另外，通过外形的信息例如交点60A或交点60C的位置等能够获知切割面80的倾斜度和位置。

另外，在重建图像81d中，两根线61a不平行，但双方的之间的距离朝向W轴+方向增大(参照图9)。由此，得知切割面80倾斜。另外，通过一并判断外形的信息例如交点60A和交点60C的位置关系，能够获知切割面80的倾斜度和位置。

如以上所述的说明，将通过切割面80的信息获得的外形信息与主数据M的信息进行比较，从而能够获知被测量物SX中的切割面80的位置。另外，诸如作为63a所示的那样，由于X射线的吸收率与周围的材料不同，因此，通过将在重建图像中亮度不同的区域的存在或其形状与主数据M的信息进行比较，也能够获知被测量物SX中的切割面80的位置。

为了便于说明，在上述的说明中，对被测量物S的结构进行简单化。但是，实际的被测量物S大多具有复杂的形状。例如，接着，对测量具有如图11(a)所示的复杂的形状的发动机的汽缸体的情况进行说明。图11(a)是汽缸体的立体图。图11(a)中图示有该汽缸体的评价区域600。在评价区域600中包括有各种三维状形状。例如，有曲柄轴颈部附近的评价区域601、芯销附近的评价区域602、及汽缸部的评价区域603等。虽图11(a)中未图示，但关于通过模拟预测产生缩孔的部分作为评价区域。

将图11(a)所示的汽缸体载置于以图11(a)中的右端的面为载置面的X射线检查装置100的载置台30上，图12(a)～(e)示意性地表示稍微改变切面位置同时对多个切割面进行X射线检查获得的重建图像。在图12(a)～(e)所示的各个重建图像82a～82e上例如显示有相当于芯销的凹部的截面83及84、冷却流路的截面85、浇铸入曲柄轴颈部的铸铁部分的截面86、曲轴箱的内侧的截面87、浇铸入气缸套部的铸铁内衬部分88等。此外，在图12中，仅图12(c)中设定有评价区域62a。

如图12(a)～(e)所示那样，可知如果汽缸体中的切面位置发生变化则重建图像发生变化。即，在图11(a)中，将与WU平面平行的面载置于载置台30上，在图11(a)中，将V轴+方向的端面载置于载置台30。例如，在汽缸体中，由于外形结构及内部结构复杂，因此，在汽缸体中，例如，WU平面的外形结构及内部结构会根据在V轴方向上的位置而不同。因凹部的形状产生的截面83在图12(a)、图12(b)、图12(c)中虽然得到确认，而在图12(d)、图12(e)中不能得到确认。进而，如果比较图12(b)和图12(c)，其凹部的截面包围的面积不同。其表示在图12(b)上的WU面内的凹部的面积伴随沿V轴的移动朝向图12(c)减小。这样，沿V轴方向，被测量物的外形结构并不一样。因此，有些被测量物的结构根据所检测位置而不同。因此，例如，通过使用凹部83包围的面积的尺寸能够特定V轴方向的位置。例如，即使以与图12(c)不同的被测量物进行测量，建立的重建图像的图像，也能够通过将该凹部83包围的面积作为指标，推断该不同的被测量物的在V轴方向的测量位置。因此，在测量位置的周边其结构发生变化的情况下，也可以使用其截面结构与主数据M进行比较。在该情况下，能够仅使用该结构进行比较，因此，能够用更短的时间获得相关位置。进而，例如，在被测量物中，根据情况，有时在制造中被测量物的内部结构的一部分会破损。由此，基于被测量物的形状，想要与主数据M进行比较的情况下，由于其内部结构破坏形状数据不一致，而很难从主数据M中找到测量数据的位置。在该情况下，有时通过加权层面图像的一部分形状，来抑制与主数据M的相关不良。另外，进而，已知在制造中在被测量物的内部结构的材料内可形成空洞的情况下，也可以使其材料的外形形状比材料重，求出其相关。由此，能够抑制与主数据M的相关不良。当然，在加权的情况下，不仅使用一处，也可以使用多处。

另外，用于汽缸体的材料不限定一种。例如，在图12中，在86中，其它的部分与使用的材料不同。例如，在本实施方式中，用于86的材料与用于其周围的材料及使用的元素不同。当然，作为用于86的材料，例如也可以在使用合金的情况下用于生成该合金的组成比与其周围的不同。因此，在其周围和86其X射线的吸收率不同，按照在重建获得的图像中其周围和亮度不同的方式表示。因此，在与主数据M比较的情况下，也可以使用图像的亮度信息，估计测量时的位置。

另外，例如，关于向气缸套部浇铸的铸铁内衬部分88，相对于重建图像82a～82d没有得到确认，在重建图像82e中作为亮度高的部分明确地表示。进而，关于除上述之外的汽缸体的外形，根据切面位置的变化发现了各种变化。

如以上说明所述，如果切面位置发生变化，关于重建图像的外形及亮度呈现出变化，因此，通过将这些信息与主数据M的信息进行比较，能够获知被测量物SX中的切割面80的位置。由此，选择应该用于评价区域的检查的切割面的重建图像。

图13(a)表示所选择的重建图像。此处，设成与图12(c)的重建图像82c相同的图像。接着，与主数据M的信息进行比较，计算应该用于评价区域的检查的重建图像是否相对于主数据M的该数据旋转或/及位置偏离。例如，在图13(b)的情况下，相对于获得主数据M的情况，由于载置有被测量物的状态不同，所以所获得的重建图像82f中的结构物的位置发生偏离。在图13(b)中，结构物进行旋转。在该情况下，在获得与主数据M的相关的情况下，产生相关不良，导致很难在主数据M中推断作为对象的结构物。因此，在该情况下，使用图13(a)和图13(b)的62a包围的区域的形状，能够求出图13(b)相对于图13(a)的旋转量及位置偏移量。在该情况下，例如，像图12那样在V轴方向上改变位置，则期待其截面形状在不同的部位。另外，在图13中预先设定有62a，在没有设定62a的情况下，在重建获得的截面图像中，在所获得的图像中提取设定的大小的圆形图像，从该圆形图像中提取相当于85的圆的位置。在该情况下，也可以选择该圆的周围的设定区域的图像，求出该选择区域之间的位置偏移量及旋转偏移量。此外，图13(a)和图13(b)的62a的面积可以相同，也可以不同。此外，与主数据的比较也可以在所获得的重建图像的语音数据之间进行比较，也可以将该语音数据转换成二维图像后，再进行比较。

主数据M例如像三维测量装置那样，也可以是基于通过除X射线检查装置100之外的其它的检查装置获得的被测量物S的外形形状的信息。或者，像被测量物S的CAD数据那样，也可以是被测量物S的设计信息。另外，主数据M也可以是使用X射线检查装置100检查被测量物S的一部分或全部获得的被测量物S的测量信息。接下来，对几个情况进行说明。

(1)在主数据M是通过基于除X射线检查装置100之外的检查装置获得的被测量物S的外形形状的信息的情况

图2所示的构成信息获得部111从另一个检查装置获得被测量物S的至少一部分的外形信息。主数据生成部120基于例如通过构成信息获得部111获得的被测量物S的外形形状信息、表示相当于其外形形状的部分和被测量物S中的位置的相关的信息、表示评价区域的位置和被测量物S中的位置的相关的信息生成主数据M。通过主数据生成部120生成的主数据M存储在数据存储部117。

(2)主数据M是基于被测量物S的设计信息的数据的情况

图2所示的构成信息获得部111基于三维CAD等设计信息获得操作者手动输入的信息。主数据生成部120基于例如在构成信息获得部111获得的被测量物S的至少一部分的设计信息、表示相当于这些设计信息的位置和被测量物S中的位置的相关的信息、及表示评价区域的位置和被测量物S中的位置的相关的信息生成主数据M。在主数据生成部120生成的主数据M存储在数据存储部117。此外，在基于设计信息生成主数据M时，基于铸造工序的模拟及被测量物S的实际测量值等，从不进行去除加工的区域中预先求出凝固收缩较少的区域，期待基于该区域的设计信息生成主数据M。构成信息获得部111也可以通过界面自动获得三维CAD等设计信息。

(3)主数据M是基于X射线检查装置100获得的测量信息的数据的情况

X射线检查装置100按照如下方式生成主数据M。

在本实施方式中，使用X射线检查装置100依次检查多个被测量物S的情况下，通过多个被测量物S中最开始检查的被测量物S的测量信息中生成主数据M。这些多个被测量物S是以相同的设计信息为基础制造的产品。因此，检查例如这些多个被测量物S是否全部按照设计信息进行制造。

首先，将最开始检查的被测量物S载置于载置台30上。在之后的说明中，将最开始检查的被测量物S称为初次被测量物S1。在载置台30上设置有未图示的定位销，通过使该定位销与初次被测量物S1抵接，能够在载置台30上定位初次被测量物S1。此外，载置台30上不一定非要设置定位销

将初次被测量物S1载置于载置台30时，将载置台30的上面设为与XZ平面平行。在该状态下，一边使载置台30进行旋转一边进行局部扫描。如后述所述，调整载置台30的高度及倾斜角度，以对在初次被测量物S1之后依次检查的各被测量物S的与相对于初次被测量物S1的局部扫描实际上相同的位置进行局部扫描。

图2所示的检查范围设定部115在初次被测量物S1上局部扫描区域包括被检查区域，且设定为如上所述在Y轴方向上具有冗长性的厚度。此外，在数据存储部117中存储表示被测量物S的种类及被测量物S的外形尺寸的不均的不均信息，检查范围设定部115也可以基于这些不均信息设定初次被测量物S1的局部扫描区域的厚度。将这样设定的初次被测量物S1的局部扫描区域称为主数据区域。主数据区域例如为相当于图4所示的区域SXa的区域。

移动控制部52控制操纵器部36，一边使载置台30旋转驱动及向Y轴方向移动，一边对主数据区域进行局部扫描，一边能够获得用于在通过检查范围设定部115设定的主数据区域生成重建图像的透射图像。检查部118基于局部扫描数据生成主数据区域的内部信息。

主数据生成部120在主数据区域的内部信息中增加与评价区域有关的信息及表示主数据区域相当于初次被测量物S1的哪部分的信息生成主数据M。

此外，作为与评价区域有关的信息，可以利用与在评价区域设定部119设定并存储在数据存储部117中的评价区域有关的信息。另外，表示主数据区域相当于初次被测量物S1的哪个部分的信息例如按照如下方式获得。首先，通过主数据区域的内部信息生成在任意的切割面的重建图像，通过比较初次被测量物S1的设计信息，特定初次被测量物S1中的该任意的切割面的位置。如果能够特定该任意的切割面的位置相当于初次被测量物S1的哪个部分，则能够特定主数据区域相当于初次被测量物S1的哪个部分。

这样之后，在主数据生成部120生成的主数据M存储在数据存储部117。

参照图14的流程图，对通过初次被测量物S1的测量信息生成主数据M的处理进行说明。用于执行图14的流程图所示的各处理的程序预先存储在存储器(未图示)中，通过检查处理装置1的微处理器读出并执行。此外，在载置台30上载置有初次被测量物S1。

在步骤S1中，控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，并使载置台30在用于获得主数据M的检查开始位置上移动并进入步骤S2的命令。在步骤S2中，控制部110对X射线控制部51发出控制X射线源2的命令。控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36使载置台30旋转及向Y轴方向移动的命令。检查部118在载置台30移动相当于通过检查范围设定部115设定的厚度的距离之间进行检查。由此，获得主数据区域的内部信息。

如果执行步骤S2则进入步骤S3。在步骤S3中，主数据生成部120在步骤S2所获得的主数据区域的内部信息中附加与评价区域有关的信息及表示主数据区域相当于初次被测量物S1的哪个部分的信息并生成主数据M。如果执行了步骤S3则进行步骤S4。在步骤S4中，主数据生成部120将在步骤S3生成的主数据M存储在数据存储部117中，结束本程序。

－－－关于检查处理－－－

使用上述的(1)～(3)的任何一个主数据M，按照如下方式，X射线检查装置100依次检查多个被测量物S。

首先，将被测量物S载置于载置台30上。如上述所述，通过使载置台30的定位销与被测量物S抵接，能够将被测量物S定位在载置台30上。此外，在载置被测量物S时，将载置台30的上面设为与XZ平面平行。

检查范围设定部115在包括被检查区域的区域上设定被测量物S的局部扫描区域。被检查区域是在检查处理时从多处评价区域中被选择作为检查对象的区域的区域。

此外，由于局部扫描区域越厚，检查时间越长，因此，优选的是，局部扫描区域的厚度尽可能薄。因此，在该情况下设定的局部扫描区域的厚度通常比初次被测量物S1的局部扫描区域即主数据区域的厚度小。将检查范围设定部115设定的局部扫描区域称为目标局部扫描区域。

接着，进行针对被测量物S的局部扫描。将在依次检查被测量物S时设定的这种厚度较薄的局部扫描区域的局部扫描此处称为薄片扫描。移动控制部52控制操纵器部36，并使载置台30旋转驱动及向Y轴方向移动。区域信息获得部112获得通过薄片扫描获得的区域信息。

比较部113基于薄片扫描对在区域信息获得部112获得的区域信息和存储在数据存储部117的主数据M进行比较，基于该结果，判断薄片扫描区域是否与在检查范围设定部115设定的被检查区域对应，即判断薄片扫描区域是否包括在检查范围设定部115设定的被检查区域。例如，比较部113计算通过主数据M求得的被检查区域的截面形状和基于薄片扫描的区域信息的相关系数，并通过该相关系数的值进行判断。此外，在计算相关系数时，为了不受被测量物S的内部缺陷即孔的产生、及由于模具的芯销的折断等产生的偶发的图像变化带来的影响，除去这些有产生的可能性的区域，或者，也可以减轻加权。

在比较部113判断出薄片扫描区域包括在检查范围设定部115设定的被检查区域的情况下，评价部116基于通过该薄片扫描获得的区域信息，评价被测量物S的良品性。之后，开始下一个被测量物S的检查。

在比较部113判断出上述的薄片扫描区域不包括被检查区域的情况下，位置差计算部114基于比较部113的比较结果，计算相当于通过该薄片扫描获得的区域信息的被测量物S上的位置和被检查区域的位置的差(偏移)。由此，基于通过薄片扫描获得的重建图像的特征，能够或者进行了薄片扫描的部分相当于主数据区域的哪个部分。此处，重建图像的各部显现出的特征形状是指例如图10所示的重建图像81a～81d中的交点60A及交点60C的位置，线61a方向、与周围相比亮度不同的部分63a的显现方法等。

移动控制部52控制操纵器部36，按照通过位置差计算部114计算的薄片扫描区域和被检查区域的位置的差设为零的方式使载置台30移动。

接着，进行针对被测量物S的再次薄片扫描。被测量物S的位置按照再次进行的薄片扫描(下面称为重新扫描)的位置包括被检查区域的位置的方式进行修正。因此，再次进行的薄片扫描的区域相对于被检查区域进行。区域信息获得部112获得通过重新扫描获得的区域信息。

比较部113比较基于重新扫描的在区域信息获得部112获得的区域信息和数据存储部117存储的主数据M，基于该结果，判断重新扫描时的扫描区域是否包括在检查范围设定部115设定的被检查区域。在比较部113判断出重新扫描区域包括在检查范围设定部115设定的被检查区域的情况下，评价部116基于通过该重新扫描获得的区域信息评价被测量物S的良品性。

在比较部113判断出上述的重新扫描区域不包括被检查区域的情况下，位置差计算部114基于比较部113的比较结果，计算相当于通过该重新扫描获得的区域信息的被测量物S中的位置和被检查区域的位置的差，下面反复相同的工序。但是，如上所述，被测量物S的位置按照重新扫描的位置包括被检查区域的位置的方式进行修正，因此，在修正被测量物S的位置之后，重新扫描的位置包括被检查区域的位置的可能性较高。之后，开始下一个被测量物S的检查。

此外，薄片扫描或重新扫描的扫描区域是否包括被检查区域的判断也可以通过整个被检查区域是否包括在薄片扫描或重新扫描的扫描区域中来判断，或者，通过被检查区域的一部分是否包括在薄片扫描或重新扫描的扫描区域中来判断。薄片扫描或重新扫描的扫描区域中必须包括何种程度的被检查区域也可以通过检查的目的适当设定即可。

另外，薄片扫描或重新扫描的扫描区域是否包括被检查区域的判断例如也可以通过薄片扫描或重新扫描的扫描区域和目标局部扫描区域的位置的差是否严格地成为零来判断，或者，也可以通过两者的差是否在设定的范围内来进行判断。将设定的差设为何种程度，根据检查的目的适当设定即可。

参照图15的流程图，对本实施方式中的被测量物S的测量处理进行说明。用于执行图15的流程图所示的各处理的程序预先存储在存储器(未图示)中，通过检查处理装置1的微处理器读出并执行。此外，在载置台30上载置有被测量物S。

在步骤S11中，检查范围设定部115设定目标局部扫描区域并进入步骤S12。在步骤S12中，控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，使载置台30在薄片扫描移动开始位置上移动的命令并进入步骤S13。在步骤S13中，控制部110对X射线控制部51发出控制X射线源2的命令。控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，并设定各切割面使载置台30旋转及向Y轴方向移动的命令。由此进行薄片扫描。检查部118基于薄片扫描数据生成内部信息，进入步骤14。

在步骤S14中，比较部113比较基于薄片扫描获得的区域信息和数据存储部117存储的主数据M比较，判断薄片扫描区域是否包括被检查区域。

在步骤S14中判断为肯定的情况下，进入步骤S15，评价部116基于通过该薄片扫描获得的区域信息，评价被测量物S的良品性，进入步骤16。在步骤S16中，数据存储部117存储基于薄片扫描的区域信息、与薄片扫描区域和被检查区域的位置关系有关的信息、与被测量物S的良品性的评价结果有关的信息，结束本程序。

在步骤S14中判断为否定的情况下，进入步骤S17，位置差计算部114基于比较部113的比较结果，计算薄片扫描的位置和被检查区域的位置的差，进入步骤S18。

在步骤S18中，控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，并使载置台30按照将薄片扫描区域和被检查区域的位置的差设为零的方式移动的命令，以抵消在步骤S18计算的位置的差，进入步骤S19。

在步骤S19中，控制部110对X射线控制部51发出控制X射线源2的命令。控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，测量各切割面使载置台30旋转及向Y轴方向移动的命令。由此进行重新扫描。检查部118基于重新扫描数据生成内部信息，进入步骤20。

在步骤S20中，比较部113判断重新扫描区域是否包括被检查区域。在步骤S20中判断为肯定的情况下，进入步骤S21，评价部116基于通过重新扫描获得的区域信息对被测量物S的良品性进行评价，进入步骤22。在步骤S22中，数据存储部117存储基于薄片扫描的区域信息、与薄片扫描区域和被检查区域的位置关系有关的信息、与被测量物S的良品性的评价结果有关的信息，结束本程序。在步骤S20中判断为否定的情况下，返回步骤S17。

－－－被测量物S的良品性的评价－－－

评价部116基于通过被测量物S的局部扫描获得的区域信息，评价被测量物S的良品性。作为评价的顺序，例如，将局部扫描区域的一部分即被检查区域，即包括从多处评价区域中选择作为检查对象的区域的区域的区域分成单位三维格子进行格栅化。图16中表示格栅650的一个例子。格栅650沿对被测量物S设定的由U轴、V轴、W轴组成的正交坐标的各个UVW方向设置成三维状。被检查区域被多个格栅650分割，从而在解析被测量物S的检查结果时，能够使用格栅650处理检查结果。例如，计算每单位格栅体积的气孔的体积(体积率)，能够通过该结果计算被测量物S的良品性。

在本实施方式中，如上所述，依次检查的多个被测量物S的姿势得到修正，因此，针对多个被测量物S的每一个，相对于局部扫描区域的被检查区域的位置都相同。因此，在对多个被测量物S的每一个被检查区域进行格栅化时，能够使格栅650的分割位置及分割方向在各个被检查区域之间一致。即，针对依次检查的多个被测量物S，能够在相同的位置设定独立的格栅650，并基于其进行检查。

例如，在检查被测量物S的内部存在的气孔的情况进行说明。评价部116检测每个格栅650有无气孔，在检测到气孔的情况下计算格栅650中的气孔的体积率。另外，评价部116对每个格栅650计算壁厚。评价部116基于计算的气孔的体积率及壁厚，并基于各格栅650所设定的指标，对个别的被测量物S的良品性进行评价。

在上述的第一实施方式中，起到如下的作用效果。

(1)区域信息获得部112获得通过局部扫描获得的区域信息。比较部113基于通过局部扫描获得的区域信息和数据存储部117中存储的主数据M判断局部扫描区域是否与在检查范围设定部115设定的被检查区域对应。由此，即使是局部扫描，即仅被测量物S的一部分的扫描，也能够判断是否能够扫描应扫描的区域，并能够判断局部扫描区域是否适当。由此，能够在短时间内正确地对被测量物S进行检查，有利于生产性的提高。

(2)主数据M中包括与被测量物S的至少一部分的区域的形状有关的信息。通过对主数据M参考局部扫描区域(薄片扫描区域或重新扫描区域)，能够特定局部扫描区域相当于主数据区域的中的哪个位置。由此，由于知道应该扫描的区域和实际进行的局部扫描的区域的偏移，因此，在进行再次局部扫描(重新扫描)时，能够修正被测量物S的位置。因此，即使因被测量物S的形状的不均而向Y轴方向偏移、或者倾斜，实际上也能够对多个被测量物S的相同的区域进行扫描，能够将重新扫描的次数抑制在最小程度。由此，能够缩短被测量物S的检查时间，有利于生产性的提高。

(3)考虑被测量物S的形状的不均，将主数据区域的厚度设为比局部扫描区域的厚度大。由此，即使因被测量物S的形状的不均而向Y轴方向偏移、或者倾斜，容易将进行了局部扫描的区域与主数据区域进行对照。由此，能够缩短被测量物S的检查时间，有利于生产性的提高。

(4)使用通过除X射线检查装置100之外的检查装置(例如三次元测量器)获得的被测量物S的外形信息能够生成主数据M。在该情况下，即使没有被测量物S的设计信息也能够正确地进行被测量物的检查。

(5)使用被测量物S的设计信息(例如CAD信息)能够生成主数据M。在该情况下，不需要通过X射线检查装置100或除此以外的检查装置对被测量物S生成主数据M。

(6)使用通过X射线检查装置100对初次被测量物S1进行检查时获得的扫描数据能够生成主数据M。在该情况下，能够与检查同时生成主数据M，因此，效率高。

(7)构成为如果判断出薄片扫描区域对应被检查区域对应，则基于薄片扫描区域的区域信息评价被测量物S的良品性。另外，构成为如果判断出薄片扫描区域不与被检查区域对应，则计算薄片扫描区域和被检查区域的位置偏移。由此，可容易修正被测量物的姿势，因此，重新扫描区域包括被检查区域的可能性提高，由此，有利于生产性的提高。

(8)构成为检查部118经由移动控制部52控制操纵器部36并使载置台30移动，以便如果计算薄片扫描区域和被检查区域的位置的偏移，则该位置的偏移设为零。由此，被测量物S的位置得到正确修正，能够迅速开始重新扫描，有利于生产性的提高。

－－－第二实施方式－－－

参照图面，对本发明的第二实施方式的X射线检查装置及X射线检查装置用的检查处理装置进行说明。在下面的说明中，对与第一实施方式相同的构成要素标注相同的符号以不同点为主进行说明。对于没有特别说明的点，与第一实施方式相同。

图17是示意性地表示根据第二实施方式的X射线检查装置100A的构成的一个例子。如上所述，在搭载部3的操纵器部36A上没有设置倾斜调整部37。对于除此之外的构成，与图1所示的第一实施方式的X射线检查装置100的构成相同。此外，对于主数据M，与第一实施方式相同的方式生成。

－－－关于检查处理－－－

在本实施方式中，X射线检查装置100A按照如下方式对多个被测量物S依次进行检查。

首先，将被测量物S载置于载置台30上。如上所述，由于使载置台30的定位销与被测量物S抵接，能够将被测量物S定位在载置台30上。此外，在本实施方式中，没有设置倾斜调整部37。因此，载置台30的上面往往与XZ平面平行。

检查范围设定部115在包括被检查区域的区域上设定被测量物S的局部扫描区域。在本实施方式中，假设即使被测量物S是倾斜的状态，以便一次的局部扫描的扫描区域中包括被检查区域，较大地(加厚地)设定扫描区域的Y轴方向的长度(厚度)。即，在本实施方式中所设定的局部扫描区域的厚度比第一实施方式中的薄片扫描区域的厚度大。本实施方式中的局部扫描也被称为厚片扫描。

接下来，进行针对被测量物S的厚片扫描。移动控制部52控制操纵器部36，使载置台30旋转驱动及向Y轴方向移动。区域信息获得部112获得通过厚片扫描获得的区域信息。

比较部113将基于厚片扫描在区域信息获得部112获得的区域信息与数据存储部117中存储的主数据M进行比较，基于该结果，特定厚片扫描区域相当于主数据区域内的哪个区域。即，特定对主数据M的区域内的哪个部分进行了厚片扫描。

接着，位置差计算部114通过主数据M的区域中的被检查区域的位置和厚片扫描区域的位置关系，从通过厚片扫描获得的区域信息中提取(选择)包括被检查区域的提取区域。X射线检查装置100A不具备倾斜调整部37，因此，厚片扫描区域相对于多个被测量物S的倾斜度上有不均，但位置差计算部114实际上选择各被测量物S中的相同的位置。

接着，评价部116基于提取区域，评价被测量物S的良品性。评价结果存储在数据存储部117。

参照图18的流程图，对本实施方式的被测量物S的测量处理进行说明。用于执行图18的流程图所示的各处理的程序预先存储在存储器(未图示)中，通过检查处理装置1的微处理器读出并执行。此外，在载置台30上载置有被测量物S。

在步骤S31中，检查范围设定部115设定厚片扫描区域并进入步骤S32。在步骤S32中，控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，并使载置台30在用于进行厚片扫描的移动开始位置上移动的命令，进入步骤S33。在步骤S33中，控制部110对X射线控制部51发出控制X射线源2的命令。控制部110对移动控制部52发出控制操纵器部36，并设定各切割面使载置台30旋转及向Y轴方向移动的命令。由此，进行厚片扫描，进入步骤34。

在步骤S34中，比较部113比较通过厚片扫描获得的区域信息和数据存储部117中存储的主数据M，特定厚片扫描区域相当于主数据区域内的哪个位置，进入步骤S35。在步骤S35中，位置差计算部114通过主数据M的区域中的被检查区域的位置和厚片扫描区域的位置关系，从通过厚片扫描获得的区域信息中选择包含被检查区域的提取区域，进入步骤S36。

在步骤S36中，评价部116基于提取区域中的区域信息评价被测量物S的良品性，进入步骤37。在步骤S37中，数据存储部117存储基于厚片扫描的区域信息、与厚片扫描区域和提取区域的位置关系有关的信息、与被测量物S的良品性的评价结果有关的信息，结束本程序。

－－－被测量物S的良品性的评价－－－

评价部116基于通过被测量物S的厚片扫描获得的区域信息，评价被测量物S的良品性。作为评价的顺序，例如将提取区域分割成单位三维格子进行格栅化。在本实施方式中，X射线检查装置100A不具备倾斜调整部37，因此，厚片扫描区域相对于多个被测量物S的倾斜度存在不均。因此，评价部116对提取区域进行格栅化。在多个被测量物S中，提取区域相同，其结果，格子的分割位置及分割方向相同。即，对于依次检查的多个被测量物S，实际上能够在相同的位置设定格栅650，能够对相同的位置进行评价。

在上述的第二实施方式中，除了第一实施方式的作用效果之外，还起到如下的作用效果。

(1)构成为比较部113从厚片扫描区域中选择提取区域。由此，基于厚片扫描区域中的评价区域的倾斜度能够进行格栅化，因此，能够对多个被测量物S在相同的条件下评价良品性，提高评价的可靠性。

(2)增加了厚片扫描区域的厚度。由此，扫描区域中包括有被检查区域，因此，通过一次厚片扫描能够可靠地评价被检查区域，有利于生产性的提高。

－－－结构物制造系统的实施方式－－－

对上述的根据第一实施方式的X射线检查装置100或根据第二实施方式的包括X射线检查装置100A的结构物制造系统的实施方式进行说明。结构物制造系统制造例如具备汽车车门部分、发动机部分、齿轮部分及电路板的电子零件等成型品。在下面的说明中，将结构物制造系统设为具备在第一实施方式中说明的X射线检查装置100的系统进行说明，具备在第二实施方式中说明的X射线检查装置100A的情况也相同，因此，其说明省略。

图19是表示根据本实施方式的结构物制造系统400的构成的一个例子的方框图。结构物制造系统400包括在第一实施方式中说明的X射线检查装置100、设计装置410、成型装置420、控制系统430及修理装置440。

设计装置410是一种用户在建立与结构物的形状相关的设计信息时使用的装置，进行建立设计信息并存储的设计处理。设计信息是表示结构物的各位置的坐标的信息。设计信息被输出至成型装置420及后述的控制系统430。成型装置420使用通过设计装置410建立的设计信息进行制作并成型结构物的成型处理。在该情况下，成型装置420对于以3D打印机技术为代表的层压加工、铸造加工、锻造加工及切割加工中的至少一个的方式也包含在本发明的一方面中。

X射线检查装置100进行对通过成型装置420成型的结构物的形状进行检查的检查处理。X射线检查装置100将表示检查完结构物的检查结果即结构物的坐标的信息(下面称为形状信息)输出至控制系统430。控制系统430具备坐标存储部431、检查部432。坐标存储部431存储通过上述的设计装置410建立的设计信息。

检查部432判断通过成型装置420成型的结构物是否根据通过设计装置410建立的设计信息成型。换言之，检查部432判断成型的结构物是否是良品。在该情况下，检查部432读出存储在坐标存储部431中的设计信息，进行将设计信息和从X射线检查装置100输入的形状信息进行比较的检查处理。检查部432作为检查处理例如比较设计信息表示的坐标和对应的形状信息表示的坐标，检查处理的结果，在设计信息的坐标和形状信息的坐标一致的情况下，判断是根据设计信息成型的良品。在设计信息的坐标和对应的形状信息的坐标不一致的情况下，检查部432判断坐标的差分是否在设定范围内，如果在设定范围内，则判断是可修复的不良品。

在判断出是可修复的不良品的情况下，检查部432向修理装置440输出表示不良部位和修复量的修理信息。不良部位是与设计信息的坐标不一致的形状信息的坐标，修复量是不良部位中的设计信息的坐标和形状信息的坐标的差分。修理装置440基于输入的修理信息，进行对结构物的不良部位进行再加工的修理处理。修理装置440通过修理处理再次进行与成型装置420进行的成型处理相同的处理。

参照图20所示的流程图，对结构物制造系统400进行的处理进行说明。

在步骤S81中，设计装置410由用户在进行结构物的设计时使用，通过设计处理建立与结构物的形状有关的设计信息并存储，进入步骤S82。此外，不仅限于设计装置410建立的设计信息，在已经有设计信息的情况下，通过输入该设计信息，获得设计信息的方式也包括在本发明的一方面中。在步骤S82中，成型装置420通过成型处理，基于设计信息建立结构物并成型，进入步骤S83。在步骤S83中，X射线检查装置100进行检查处理，测量结构物的形状，输出形状信息，进入步骤S84。

在步骤S84中，检查部432进行将通过设计装置410建立的设计信息和通过X射线检查装置100检查并输出的形状信息进行比较的检查处理，进入步骤S85。在步骤S85中，基于检查处理结果，检查部432判断通过成型装置420成型的结构物是否是良品。在结构物是良品的情况下，即在设计信息的坐标和形状信息的坐标一致的情况下，步骤S85做出肯定判断结束处理。在结构物不是良品的情况下，即在设计信息的坐标和形状信息的坐标不一致的情况或检测到设计信息中没有坐标的情况下，步骤S85做出否定判断进入步骤S86。

在步骤S86中，检查部432判断结构物的不良部位是否可以修复。在不良部位不可修复的情况下，即在不良部位中的设计信息的坐标和形状信息的坐标的差分超过设定范围的情况下，步骤S86做出否定判断结束处理。在不良部位可修复的情况下，即在不良部位中的设计信息的坐标和形状信息的坐标的差分在设定范围内的情况下，步骤S86做出肯定判断进入步骤S87。在该情况下，检查部432向修理装置440输出修理信息。在步骤S87中，修理装置440基于输入的修理信息，对结构物进行修理处理返回步骤S83。此外，如上所述，修理装置440通过修理处理再次进行与成型装置420进行的成型处理相同的处理。

在上述的结构物制造系统中，起到如下的作用效果。

(1)结构物制造系统400的X射线检查装置100基于设计装置410的设计处理进行获得通过成型装置420建立的结构物的形状信息的检查处理，控制系统430的检查部432进行比较通过检查处理获得的形状信息和通过设计处理建立的设计信息的检查处理。因此，通过非破坏性检查获得结构物的缺陷的检查或结构物的内部的信息，能够判断结构物是否是按照设计信息建立的良品，有利于结构物的质量管理。

(2)修理装置440基于检查处理的比较结果，对结构物进行再次进行成型处理的修理处理。因此，在结构物的不良部分可修复的情况下，对结构物再次实施与成型处理相同的处理，有利于制造接近于设计信息的高质量的结构物。

如下的变形也在本发明的范围内，可以将一个或多个变形例与上述的实施方式组合。

(1)在上述的说明中，比较部113构成为基于通过第一次的局部扫描获得的重建图像和数据存储部117中存储的主数据M，判断薄片扫描区域是否与检查范围设定部115中设定的被检查区域对应。即，在上述的说明中，以薄片扫描区域包含在主数据区域中为前提。但是，被测量物S的形状的误差在假定以上，或者主数据区域的厚度不适合，则薄片扫描区域有可能偏离主数据区域。因此，也可以在判断薄片扫描区域是否与通过检查范围设定部115设定的被检查区域对应之前，比较部113判断薄片扫描区域是否包含在主数据区域中。由此，即使被测量物S的形状的误差在假定以上，或者主数据区域的厚度较小不合适，例如如果增加扫描区域的厚度再次进行局部扫描，增厚的局部扫描区域和主数据区域重叠，则能够特定增厚的局部扫描区域的位置，也能够掌握与评价区域的位置关系。

(2)在上述的第二实施方式中，构成为通过一次厚片扫描获得用于被测量物S的良品性的评价的信息，也可以如下方式构成。即，即使在搭载部3的操纵器部36A上没有设置倾斜调整部37的情况下，也可以与第一实施方式相同地进行薄片扫描，作为第一次局部扫描。

具体地，第一次进行与第一实施方式相同的薄片扫描(局部扫描)，计算第一次局部扫描区域和通过检查范围设定部115设定的被检查区域的位置的差。而且，基于计算的位置的差，将包含评价区域的这种区域重新设定为目标局部扫描区域，进行第二次的局部扫描。

由于没有设置倾斜调整部37无法修正被测量物S的倾斜度，因此，在第二次进行局部扫描时的目标局部扫描区域的厚度按照即使被测量物S倾斜也包含被检查区域的方式设定。

对于进行第一次局部扫描时的目标局部扫描区域的设定、针对被测量物S的第一次局部扫描、判断出第一次局部扫描区域与被检查区域对应的情况的各部的动作，与上述的第一实施方式的薄片扫描的情况相同。在判断出第一次局部扫描区域不与被检查区域对应的情况下，直到算出与通过第一次局部扫描获得的区域信息相当的被测量物S的位置和被检查区域的位置的差的各部的动作，也与上述的第一实施方式相同。

如果算出与通过第一次局部扫描获得的区域信息相当的被测量物S的位置和被检查区域的位置的差，则基于该位置的差，检查范围设定部115在包含被检查区域的区域上设定被测量物S的第二次局部扫描区域。在进行第二次に局部扫描时的目标局部扫描区域的厚度，如上所述，按照即使被测量物S倾斜也包含被检查区域的方式设定。

接着，对被测量物S进行第二次局部扫描。如上所述，按照被检查区域包含在第二次局部扫描中的局部扫描区域中的方式设定目标局部扫描区域的厚度，因此，在第二次局部扫描区域中包含被检查区域。

进行了第二次局部扫描后的各部的动作与上述的第二实施方式的进行厚片扫描后的各部的动作相同。

在这样构成的情况下，产生进行两次局部扫描的情况，例如，在因被测量物S的外形的不均而向Y轴方向的偏移或倾斜度较大的情况下，如第二实施方式那样，与进行一次厚片扫描的情况相比，能够缩短一个被测量物S的检查时间。即，在被测量物S的外形不均增大，向Y轴方向的偏移或倾斜度较大的情况下，必须增加厚片扫描区域的厚度，如上所述，与进行两次局部扫描的情况相比，即使一次局部扫描，检查时间也有可能增长。

因此，在被测量物S的外形的不均较大的情况下，与第二实施方式相比能够缩短一个被测量物S的检查时间，非常利于生产性的提高。

(3)在上述的说明中，如图4所示，针对主数据M的区域SXa包含评价区域62的情况进行说明。但是，如果在评价区域62的附近被测量物SX结构简单，则评价区域62的附近的重建图像上很难表现出如上述的特征性的形状，因此，切割面位置的特定比较困难。

在这种情况下，如图5所示，在远离评价区域62的部位设定针对主数据M的区域SXa。

如图5所示，在主数据区域和应该检查的评价区域即被检查区域离间的情况下，按照如下方式获得用于被测量物S的良品性的评价的信息。

首先，检查范围设定部115在主数据区域的一部分区域上设定目标局部扫描区域。接着，控制部110按照针对被测量物S进行第一次局部扫描的方式控制各部。比较部113基于第一次局部扫描，比较通过区域信息获得部112获得的区域信息和数据存储部117中存储的主数据M，基于该结果，特定第一次局部扫描区域相当于主数据区域内的哪个区域。

如果获知第一次局部扫描区域的位置相当于主数据区域的哪个位置，则也获知第一次局部扫描区域的位置和被检查区域的位置的差。因此，位置差计算部114计算第一次局部扫描区域和被检查区域的位置的差。

如果算出第一次局部扫描区域和被检查区域的位置的差，则按照将该位置的差设为零的方式，移动控制部52控制操纵器部36，使载置台30移动。由此，第二次局部扫描的扫描区域包含被检查区域。

(4)在上述的说明中，通过载置台30的移动，改变X射线源2及/或检测器4和被测量物S的位置关系，不仅可以通过载置台30的移动，也可以使X射线源2及/或检测器4移动，来改变与被测量物S的位置关系。

(5)X射线检查装置100也可以具有射出锥形光束的X射线源和不是线传感器而是具有呈二维状排列像素的结构的检测器4。在该情况下，通过检测器4根据切割面700从线状排列的像素输出信号即可。通过设为这种构成，使切割面700也能够向除Y方向之外位移。

(6)在上述的说明中，从通过X射线检查装置100最开始检查的被测量物S中生成主数据M的情况下，预先将载置台30的上面与XZ平面平行，将被测量物S以进行X射线检查的姿势载置在载置面上，在该状态下，构成为通过一边使载置台30旋转一边进行局部扫描获得初次被测量物S1的形状信息。但是，在主数据M的生成之前，也可以采取如下的顺序。

图11(a)所示，在铸件即被测量物S上通常设置有面标准604。面标准604是指用于设定标准面的区域，例如，通过三处的面标准设定标准面。标准面是指设定用于作为测量被测量物的尺寸的标准。在如发动机的汽缸体这种铸件中，如图11(b)所示，面标准604设定在比周围的铸件表面面605靠里的位置，从而即使铸件的表面被加工，面标准的表面也不会被加工。例如，如图11(b)所示，即使加工至铸器的铸件表面605用2点划线605a表示的面，面标准604的表面也不会被加工地设定高度。

在获得初次被测量物S1的测量信息时，首先，预先使载置台30的上面与XZ平面平行，将初次被测量物S1载置于载置台30上，使初次被测量物S1与未图示的定位销抵接，将初次被测量物S1定位在载置台30上。在该状态下，使用三维测量器对初次被测量物S1的三处面标准604进行测量。由此，能够算出标准面相对于载置面的倾斜度。

在X射线检查装置100具有载置台30的倾斜调整机构的情况下，按照将标准面相对于载置面30的倾斜度设为零的方式使倾斜调整机构动作。即，使倾斜调整机构动作，让X射线检查装置100的装置坐标系和初次被测量物S的坐标系吻合。之后，一边使载置台30旋转一边进行局部扫描，从而根据初次被测量物S生成主数据M。

在X射线检查装置100不具有载置台30的倾斜调整机构的情况下，基于算出的标准面相对于载置面的倾斜度，在设定生成主数据M时的扫描厚度之后，通过已经说明的顺序从初次被测量物S中生成主数据M。

三维测量器可以是接触式的三维测量器，也可以是非接触式的三维测量器。另外，可以是设置在X射线检查装置100的内部的三维测量器，也可以是可移动式的三维测量器。

此外，在本实施方式中，在进行测量的情况下，在设置包含面标准等标准部位的测量对象的情况下，不管是面标准和除此之外的薄片区域连续还是离间，都能够算出位置。然而，在本实施方式中，在作为测量的范围中不包含标准部分的情况下，不知道实际测量的区域是否是作为目的的区域。有些情况下，存在对偏离作为目的的区域的区域进行测量的问题。因此，存在不能针对多个被测量物的每一个测量作为目的的同一区域的问题。在本实施方式中，由于生成主数据M，因此，即使在不包含标准部位的情况下，也能够得知测量区域是否是作为目的的区域。进而，通过将测量区域的位置与主数据M进行比较能够求出该位置。

被测量物S有时在铸造后用测量用夹具夹持面标准604的状态下通过三维测量器等测量外形。在这种情况下，在生成主数据M之前也可以采取如下的顺序。即，在测量用夹具夹持铸件的面标准604的状态下通过三维测量器等测量外形的情况下，对将初次被测量物S1载置于X射线检查装置100的载置台30上的面进行测量。由此，能够算出X射线检查时的载置面相对于基于面标准604的标准面的倾斜度。

在算出载置面相对于标准面的倾斜度之后，生成主数据M的顺序与上述说明的顺序相同。

(7)在上述的第一实施方式中，记载有如下的主旨，也可以基于通过除X射线检查装置100之外的其它检查装置获得的被测量物S的外形形状生成主数据M。具体地能够按照如下方式生成主数据M。

预先使载置台30的上面与XZ平面平行，通过可移动式的三维测量器200等非接触式的三维测量器(下面简称为三维测量器200)，对载置于载置台30的初次被测量物S1的Y轴方向的一部分，一边使载置台30旋转一边测量外周的多个部位。这种方式如图21(a)所示。Y轴方向上的测量范围S1a也可以较小。即，对Y轴方向上较薄的区域的多个部位的位置进行测量，获得外形信息。测量结果通过图2所示的构成信息获得部111获得。位置差计算部114基于第一次测量结果和例如初次被测量物S1的设计信息，获得装置坐标系上的与初次被测量物S1的倾斜度有关的信息。

在载置台30上具有倾斜调整机构的情况下，按照将标准面相对于载置面的倾斜度设为零的方式使倾斜调整机构动作。即，使倾斜调整机构动作，让载置台30的坐标系和初次被测量物S的坐标系吻合。之后，如图21(b)所示，一边使载置台30旋转，一边通过三维测量器200对Y轴方向上设定的厚度的区域中的多处位置进行测量。基于所获得的测量信息从初次被测量物S中生成主数据。

在载置台30上不具有倾斜调整机构的情况下，基于所获得的上述倾斜度信息，设定通过三维测量器200进行测量时的Y轴方向上的厚度，并对多个位置进行测量。基于所获得的测量信息从初次被测量物S中生成主数据M。在载置台30上不具有倾斜调整机构的情况下，通常Y轴方向的厚度增大。此外，在通过三维测量器200测量初次被测量物S1时，也可以将初次被测量物S1载置于其他载置台上而不是X射线检查装置100的载置台30。

这样，在主数据M是根据基于通过除X射线检查装置100之外的其它检查装置获得的被测量物S的外形形状的信息生成的数据的情况下，也可以使用三维测量器200对被测量物S的Y轴方向的一部分的外形形状进行测量，来代替上述的第一实施方式的薄片扫描。而且，参照三维测量器200的测量结果，也可以进行相当于第一实施方式的重新扫描的局部扫描。

(8)也可以使用计算机实现上述的各实施方式的检查处理装置1或变形例的检查处理装置1的一部分功能。在该情况下，将用于实现该控制功能的程序记录在计算机可读记录介质上，也可以通过将记录在该记录介质上的与上述的控制有关的程序读入计算机系统并执行来实现。此外，此处所说的“计算机系统”是指包含OS(Operating System)及外围设备的硬件的系统。另外，“计算机可读记录介质”是指，软盘、磁光盘、光盘、存储卡等携带式记录介质、内置于计算机系统的硬盘等存储装置。进而，“计算机可读记录介质”可以包括如经由因特网等网络或电话线等通信线路发送程序时的通信线那样短时间动态保持程序的介质、及如作为此时的服务器或客户端的计算机系统内部的易失性存储器那样，将程序保持一段时间的介质。另外，上述的程序可以是用于实现前述的功能的一部分的程序，进而，也可以是通过与计算机系统中已经记录有的程序的组合实现前述的功能的程序。

另外，在应用于个人计算机等的情况下，与上述的控制有关的程序能够通过CD－ROM等的记录介质或因特网等的数据信号提供。图22是表示其方式的图。个人计算机950经由CD－ROM953接受程序的提供。另外，个人计算机950具有与通信线路951的连接功能。计算机952是提供上述程序的服务计算机，在硬盘等记录介质中存储程序。通信线路951是因特网、个人电脑通信等的通信线路、或者专用的通信线路等。计算机952使用硬盘读出程序，并经由通信线路951将程序发送至个人计算机950。即，将程序作为数据信号载波传输，并经由通信线路951发送。这样，程序能够提供作为记录介质或载波等各种形式的计算机可读计算机程序产品。

(9)对上述的実施例的X射线检查装置100的测量条件的设定进行说明。此外，对在上述的实施方式中的选择并检查被检查区域时的测量条件进行说明。例如，对X射线检查装置100进行说明。以选择被检查区域进行局部扫描的情况为例进行说明。最开始，设定被检查区域(S41)。例如，在选择了被检查区域的情况下，算出X射线检查装置100对被测量物照射的X射线通过的距离。在算出距离的情况下，例如，如PCT/JP2014/073096及/或PCT/JP2014/073097的记载，在设定作为被检查区域的评价区域的情况下，通过相对于被测量物S的切割面数的总和和被测量物S的移动量的总和决定被测量物的最适合的载置方向，以缩短检查时间。由此算出X射线通过被测量物的距离。X射线检查装置例如通过X射线通过的距离和被测量物的材质估计事先需要的X射线的强度。估计用于实现所估计的X射线地强度的照射X射线的X射线源的加速电压及电流。除了所估计的X射线源的加速电压及电流，也可以使用检测透射被测量物的X射线的检测器的曝光时间。进而，在作为对象的检查中，也可以根据缺陷的大小，决定X射线的测量条件。

这样，使用所估计的测量条件，进行薄片扫描(S44)。在进行薄片扫描前，通过使载置台30移动而使被测量物移动至设定的位置。此外，X射线的测量条件的设定可以在移动载置台30前也可以在移动后。接着，建立在进行薄片扫描之后的投影图像或重建图像。估计该建立的投影图像或者重建图像是否最适合进行检查(S45)。例如，在检查内部结构的缺陷(微小空间)的情况下，外形结构或内部结构的仅外形部分可识别的程度明显，但在不能充分识别内部结构的缺陷的大小的情况下，再次进行测量条件的重新设定(S46)。例如，延长曝光时间，以能够识别内部结构的缺陷的大小。另外，例如，通过调整投影图像及重建图像的对比度，在能够识别内部结构的缺陷的情况下，进行图像的对比度调整，也可以不需要再次使用X射线的测量。

此外，用于被测量物的全扫描或设计信息，无论被测量物的载置方向，也可以算出用于透射被测量物的充分的被测量条件，使用该算出的测量条件，测量被测量物。

另外，也可以引用PCT/JP2014/073096及/或PCT/JP2014/073097的一部分使用。

在不损害本发明的特征的前提下，本发明不限定于上述实施方式，在本发明的技术思想的范围内想到的其它的方式都包含在本发明的范围内。

符号说明

1…检查处理装置，2…X射线源，3…搭载部，4…检测器，5…控制装置，36，36A…操纵器部，100，100A…X射线检查装置。

Claims (30)

1.一种测量处理装置，其用于X射线检查装置，具备：

区域信息获得部，其获得基于透射第一被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；

存储部，其所述存储比第一区域大的、与第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息；

判断部，其基于所述第一区域信息和所述第二区域信息，判断与所述第一区域对应的区域是否包括在所述第二区域中。

2.如权利要求1所述的测量处理装置，

所述第一区域具有包含所述第一被测量物的设定的截面的设定的厚度，

所述第二区域具有大于所述第一区域的厚度。

3.如权利要求2所述的测量处理装置，

所述第一被测量物和所述第二被测量物具有相同的结构，

所述第二区域信息是基于表示所述第二被测量物的结构的设计数据的信息。

4.如权利要求2所述的测量处理装置，

所述第一被测量物和所述第二被测量物具有相同的结构，

所述第二区域信息是基于透射所述第二被测量物的所述第二区域的X射线的信息。

5.如权利要求2所述的测量处理装置，

所述第一被测量物和所述第二被测量物具有相同的结构，

所述第二区域信息是除所述X射线检查装置之外的测量检查装置测量所述第二被测量物的所述第二区域的至少一部分的测量信息。

6.如权利要求2所述的测量处理装置，

还具备判断部，

所述第二区域信息包含与所述第一被测量物的检查对象的区域有关的检查对象区域信息，

所述判断部基于所述第一区域信息和所述第二区域信息，判断所述第一区域信息是否与所述检查对象区域信息对应。

7.如权利要求6所述的测量处理装置，还具备：

评价部，所述判断部判断所述第一区域信息与所述检查对象区域信息对应，则基于所述第一区域信息评价该第一区域的状态；

位置差计算部，所述判断部判断所述第一区域信息不与所述检查对象区域信息对应，则基于所述第一区域信息和所述第二区域信息，计算所述第一区域和所述检查对象的区域的位置的差。

8.一种测量处理装置，用于X射线检查装置，具备：

存储部，其存储与包含被测量物的检查对象区域且比所述检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；

区域信息获得部，其基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与所述一部分区域有关的区域信息；

判断部，其根据所述区域信息和所述设定区域信息，判断所述一部分区域是否与所述检查对象区域对应。

9.如权利要求8所述的测量处理装置，

所述设定区域信息是基于表示被测量物的结构的设计数据的信息。

10.如权利要求8所述的测量处理装置，

所述设定区域信息是基于透射被测量物的所述设定区域的X射线的信息。

11.如权利要求8所述的测量处理装置，

所述设定区域信息是除所述X射线检查装置之外的测量检查装置测量被测量物的所述设定区域的至少一部分的测量信息。

12.如权利要求8所述的测量处理装置，

评价部，所述判断部判断所述一部分区域与所述检查对象区域对应，则基于所述区域信息对该一部分区域的状态进行评价；

位置差计算部，所述判断部判断所述一部分区域不与所述检查对象区域对应，则基于所述区域信息和所述设定区域信息，计算所述一部分区域和所述检查对象区域的位置的差。

13.一种测量处理装置，用于X射线检查装置，具备：

区域信息获得部，其基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与所述一部分区域有关的区域信息；

标准信息存储部，其存储与被测量物的一部分区域有关的标准信息；

位置特定部，其基于所述区域信息和所述标准信息，特定所述一部分区域的位置。

14.如权利要求1～13的任一项所述的测量处理装置，

一种X射线检查装置，具备：

对被测量物照射X射线的X射线源，及

对透射所述被测量物的X射线进行检测的检测部。

15.如权利要求1～7的任一项所述的测量处理装置、

一种X射线检查装置，具备：

对被测量物照射X射线的X射线源、及

对透射所述被测量物的X射线进行检测的检测部，

所述第一、第二区域在所述X射线源的发光点和所述检测部的中心包围的区域正交的方向上大小不同。

16.如权利要求7所述的测量处理装置、

一种X射线检查装置，具备：

对所述第一被测量物照射X射线的X射线源、

对透射所述第一被测量物的X射线进行检测的检测部、及

变更所述X射线源或所述检测部和所述第一被测量物的位置关系的位置关系变更部，所述第一区域信息是基于所述检测部的检测结果的信息，

如果在所述判断部判断所述第一区域信息不与所述检查对象区域信息对应，则所述位置关系变更部基于所述位置差计算部算出的所述位置的差，改变所述位置关系，以便通过所述检测部检测透射所述检查对象的区域的X射线。

17.如权利要求12所述的测量处理装置、

一种X射线检查装置，具备：

对被测量物照射X射线的X射线源、

对透射被测量物的X射线进行检测的检测部、及

变更所述X射线源或所述检测部和被测量物的位置关系的位置关系变更部，

所述区域信息是基于所述检测部的检测结果的信息，

如果所述判断部判断所述一部分区域不与所述检查对象区域对应，则所述位置关系变更部基于所述位置差计算部算出的所述位置的差，变更所述位置关系，以便通过所述检测部检测透射所述检查对象区域的X射线。

18.一种测量处理装置，用于X射线检查装置，

存储部，其存储与包含被测量物的检查对象区域且比所述检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；

第一区域信息获得部，其获得透射基于所述被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；

特定部，其根据所述第一区域信息和所述设定区域信息，特定与所述第一区域的所述检查对象区域对应的区域。

19.一种测量处理装置，用于X射线检查装置，

存储部，其存储与包含被测量物的检查对象区域且比所述检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息；

第一区域信息获得部，其获得透射基于所述被测量物的一部分即第一区域的X射线的第一区域信息；

第一判断部，其根据所述第一区域信息和所述设定区域信息，判断所述第一区域信息是否包含与所述检查对象区域有关的检查对象区域信息；

第二区域信息获得部，其在通过所述第一判断部判断出所述第一区域信息不包含所述检查对象区域信息的情况下，获得透射包含所述第一区域且比所述第一区域大的第二区域的X射线的第二区域信息；

提取部，其从所述第二区域信息中提取所述检查对象区域信息。

20.如权利要求7所述的测量处理装置、

一种X射线检查装置，具备：

对所述第一被测量物照射X射线的X射线源、

对透射所述第一被测量物的X射线进行检测的检测部、及

设定通过所述检测部检测透射所述第一被测量物的X射线的检测范围的检测范围设定部，

所述区域信息获得部基于透射所述检测部检测的所述第一被测量物的X射线获得所述第一区域信息，

如果所述判断部判断所述第一区域信息不与所述检查对象区域信息对应，则所述检测范围设定部基于所述位置差计算部算出的所述位置的差，设定包含所述检查对象的区域的新的检测范围。

21.一种测量处理方法，其包括：

获得基于透射第一被测量物的一部分的第一区域的X射线的第一区域信息，

基于与比所述第一区域大的、第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息和所述第一区域信息，判断与所述第一区域对应的区域是否包含在所述第二区域中。

22.一种测量处理方法，其包括，

获得基于透射被测量物的一部分的第一区域的X射线的第一区域信息，

根据与包含被测量物的检查对象区域且比所述检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息和所述第一区域信息，判断所述第一区域是否与所述检查对象区域对应。

23.一种测量处理方法，其包括，

基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与所述一部分区域有关的区域信息，

其基于用于特定所述被测量物的所述一部分区域的位置的标准信息和所述区域信息，特定所述被测量物的所述一部分区域的位置。

24.一种测量处理程序，其使计算机执行如下处理，

区域信息获得处理，获得基于透射第一被测量物的一部分的第一区域的X射线的第一区域信息；

判断处理，基于比所述第一区域大的第二被测量物的第二区域有关的第二区域信息和所述第一区域信息，判断与所述第一区域对应的区域是否包含在所述第二区域中。

25.一种测量处理程序，其使计算机执行如下处理，

第一区域信息获得处理，获得基于透射被测量物的一部分的第一区域的X射线的第一区域信息；

判断处理，根据与包含被测量物的检查对象区域且比所述检查对象区域大的设定区域对应的设定区域信息和所述第一区域信息，判断所述第一区域是否与所述检查对象区域对应。

26.一种测量处理程序，其使计算机执行如下处理，

区域信息获得处理，基于透射被测量物的一部分区域的X射线获得与所述一部分区域有关的区域信息；

特定处理，基于用于特定所述被测量物的所述一部分区域的位置的标准信息和所述区域信息，特定所述被测量物的所述一部分区域的位置。

27.一种结构物的制造方法，其包括，

建立与结构物的形状有关的设计信息，

基于所述设计信息制造所述结构物，

使用如权利要求1～14的任一项所述的测量处理装置或者如权利要求16所述的X射线检查装置测量所制造的所述结构物的形状，获得形状信息，

比较所述获得的所述形状信息和所述设计信息。

28.一种测量处理装置，用于X射线检查装置，具备：

区域信息获得部，其检测透射第一被测量物的一部分区域的X射线并获得与第一区域有关的第一区域信息；

倾斜度检测部，其检测获得所述第一区域信息时的所述第一被测量物的倾斜度；

倾斜度检测部，其比较所述倾斜度检测部检测的所述第一被测量物的倾斜度和作为标准的倾斜度。

29.如权利要求28所述的测量处理装置，

所述区域信息获得部检测透射第二被测量物的一部分区域的X射线并获得与第二区域有关的第二区域信息，

所述倾斜度检测部检测获得所述第二区域信息时的所述第二被测量物的倾斜度，

所述比较部比较所述倾斜度检测部检测到的所述第一被测量物的倾斜度和所述第二被测量物的倾斜度。

30.如权利要求28所述的测量处理装置，

所述倾斜度检测部基于所述第一区域信息，检测获得所述第一区域信息时的所述第一被测量物的倾斜度。