JP3218889B2 - 立体物の形状検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、立体物の形状検査装置
に係り、特に、標準形状に対する欠落部分を検査する立
体物の形状検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】見かけ上全体が黒く、コントラストがほ
とんどない３次元的に複雑な形状を有する砂型の欠陥を
検出するには、従来は目視により行っていた。また、砂
形表面の欠けによる欠陥部を画像処理により検出する事
例は知られていない。そのため、砂型表面に製造過程で
生起する欠陥部を画像より自動的に検出する装置をすで
に開発し、一部を既に出願している（特願平６−１９７
９２３号、以下、先の出願という）。

【０００３】なお、比較的共通する課題についての先の
出願の出願時における技術水準及び本発明の課題から見
た不都合な点については、先の出願の明細書に詳細に記
載した。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】目視による場合、その
為の人員が必要となるのは当然だが、砂型表面にはコン
トラストがほとんどないため目視により発見するには困
難が伴い、必ずしも良好に作用していない、という不都
合があった。

【０００５】そのため、例えば、砂型鋳造で鋳物を制作
している工程で、金型を抜く際に砂型がうまく離れず一
部が欠けて砂型に欠陥を生ずることがあるが、この砂型
により制作した鋳物は不良品になるため、注湯の前に形
の不良を識別する必要がある。しかしながら従来例で
は、生産工程で高速に欠落部分を認識する画像処理を行
うことができない、という不都合があった。また、先の
出願では、被検体の位置ズレについては、一次元的な位
置ズレのみ対応していて、二次元的な位置ズレについて
は対応していなかった、という不都合が生じた。従っ
て、生産工程の種類によってこの二次元的な位置ズレが
発生すると、位置ズレに基づく検査の誤差が生じる、と
いう不都合があった。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、係る従来例の有する不都合を
改善し、特に、二次元的な位置ズレが生じても複雑な形
状の立体物についての標準物体からの欠落部分を高速に
認識することのできる立体物の形状検査装置を提供する
ことを、その目的とする。

【０００７】

【課題を解決する手段】そこで、本発明では、検査対象
の立体物に光切断線を照射して撮像することで検査対象
画像を生成する検査画像入力部と、当該検査対象の撮像
位置を検出する位置計測部と、この位置計測部からの位
置情報及び角度情報に基づいて検査対象の立体物のＣＡ
Ｄデータから光切断線の照射状況を算出する数値シミュ
レータと、検査画像入力部からの検査対象画像と数値シ
ミュレータからのシミュレート画像との不一致部分を抽
出することで検査画像データを生成する検査画像データ
生成部と、この検査画像データ生成部が出力した検査画
像データ中の閉曲線を抽出して当該閉曲線部分を立体物
の欠落部分として出力する閉曲線抽出部とを備えた、と
いう構成を採っている。これによって前述した目的を達
成しようとするものである。

【０００８】

【作用】立体物の形状検査装置の動作中、検査画像入力
部は、検査対象の立体物に光切断線を照射して撮像する
ことで検査対象画像を生成する。一方、位置計測部は、
当該検査対象の撮像位置を検出する。すると、数値シミ
ュレータは、この位置計測部からの位置情報及び角度情
報に基づいて検査対象の立体物のＣＡＤデータから光切
断線の照射状況を算出する。これを受けて検査画像デー
タ生成部は、検査画像入力部からの検査対象画像と数値
シミュレータからのシミュレート画像との不一致部分を
抽出することで検査画像データを生成する。次いで、閉
曲線抽出部は、この検査画像データ生成部が出力した検
査画像データ中の閉曲線を抽出して当該閉曲線部分を立
体物の欠落部分として出力する。

【０００９】

【実施例】次に本発明の一実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１０】図１は、本発明による立体物の形状検査装
置の構成を示すブロック図である。立体物の形状検査装
置は、検査対象の立体物６に光切断線１ａを照射して撮
像することで検査対象画像を生成する検査画像入力部２
と、当該検査対象６の撮像位置を検出する位置計測部９
と、この位置計測部９からの位置情報９ｍ及び角度情報
９ｎに基づいて検査対象の立体物６のＣＡＤデータ１１
ａから光切断線１ａの照射状況を算出する数値シミュレ
ータ１１と、検査画像入力部２からの検査対象画像３ｄ
と数値シミュレータ１０からのシミュレート画像１１ｂ
との不一致部分を抽出することで検査画像データ４ｆを
生成する検査画像データ生成部４と、この検査画像デー
タ生成部４が出力した検査画像データ４ｆ中の閉曲線５
ｇを抽出して当該閉曲線部分５ｇを立体物の欠落部分５
ｈとして出力する閉曲線抽出部５とを備えている。

【００１１】この構成による欠落部分の認識処理の原理
を図２を参照して説明する。なお、この手法そのものは
先の出願において既に開示している。本実施例は、生産
技術における外観検査の自動化に関するものであり、標
準モデルとの比較において欠落部分の有無及びその場所
等を自動的に検査するものである。図２（ａ）に示した
形状を正常な形状であるとすると、図２（ｂ）では前面
に欠落部分５ｈを生じている。図２（ｃ）を正常な形状
のスリット光の標準モデルのデジタル画像データ３ｅと
する。このデジタル画像データ３ｅは、図２（ａ）に示
したアナログ画像データ２ｃから予め作成しておく。

【００１２】生産工程で、欠落部分のある立体物を図２
（ｂ）のように撮像した後、このアナログ画像データ２
ｃを二値化することで図２（ｄ）のデジタル画像データ
３ｄを得る。次いで、標準モデルのデジタル画像データ
３ｅと検査対象ののデジタル画像データ３ｄとの不一致
部分を抽出することで、図２（ｅ）に示すような検査画
像データ４ｆを生成する。図２（ｅ）から明らかなよう
に、欠落部分５ｈに対応したスリット光１ａは画像の論
理差を取ることで閉曲線５ｇとして現れる。また、画像
処理中にノイズ５ｉが発生したとしても、ノイズ５ｉは
閉曲線とはなりがたいため、閉曲線５ｇが生じた部分を
欠落部分５ｈとすることでノイズを除去した処理を行う
ことができる。

【００１３】図３は本実施例の検査対象である砂型６の
一例を示している。図３（ａ）に示すように、形状検査
装置の検査対象である砂型は、なめらかに曲率の変化す
る曲面と、急峻に変化する突起、穴等が接近している複
雑な形状である。図３（ｂ）は砂型の一部拡大図であ
る。図３（ｂ）では、左下の円形部分の右上部分が欠落
している。

【００１４】図４は先の出願における実施例の詳細な構
成を示し、図５はこの構成のブロック図である。ここで
は、位置ズレが一次元方向のみにあると仮定して位置決
め穴の位置を検出し、ズレを１軸の数値制御テーブル１
２により機械的に補正している。しかし実際には被検体
の位置ズレは三次元的であり、各軸まわりの回転を含
め、合計６自由度が考えられる。コンベア上を流れてく
る被検体ではその中でもｘ，ｙ，θの３方向の位置ズレ
が支配的である（図７）。これを機械的に補正するには
３個の並進軸と１個の回転軸を有する精密な数値制御シ
ステムが必要になる。このような機械的な位置補正シス
テムは、図５に示すように、必要となるステップ数が多
く、数値制御テーブルの移動速度も有限のため応答に遅
れが生じ、振動などに対しても非常に弱いものである。
従って、このような精密な数値制御テーブル１２を採用
すると、コスト、安全性、信頼性、耐久性などに問題が
生じる。

【００１５】本実施例では、欠陥の無い砂型６のＣＡＤ
データ１１ａ及び光学系のモデルを数値シミュレータ１
１上に格納し、位置ズレ発生時においては数値シミュレ
ータ１１上で位置ズレ時の格子パターン像を計算により
求め測定データ（検査対象データ）３ｄと直接比較する
ことにより欠陥を抽出するものである。

【００１６】欠陥には、砂の欠けた凹部分と、欠けた塊
の付着した凸部分の２種類があるが、後者は前者によっ
て発生するため、前者のみをうまく抽出する欠陥検出ア
ルゴリズムを利用する。また、説明を容易にするため
に、砂型６の形状を単純化して記載している。実際に
は、図３に示したような形状の砂型６を検査対象とし、
良好に動作している。

【００１７】本実施例では、図６に示すように、光源部
１としての格子投影部１と、ＣＣＤカメラ２Ａを備えた
検査画像入力部２とを備えている。ＣＣＤカメラ２Ａは
画像処理装置７に接続されていて、この画像処理装置７
は、上述した検査画像データ生成部４，閉曲線抽出部５
及び位置計測部９とを備えている。画像処理装置７での
検査結果は、本実施例ではホストコンピュータ８に出力
するようになっている。ホストコンピュータ８は、上述
した数値シミュレータ１１を備えている。また、コンベ
ア上を流れてくる砂型６の位置ズレを検出するため、位
置計測用カメラ（９ａ），（９ｂ）が画像処理装置
７に併設されていて、これら位置計測用カメラ９ａ，９
ｂからの画像は位置計測部９に入力されるようになって
いる。

【００１８】図７は位置ズレが発生した被検体の例を示
す説明図である。位置計測部９は、コンベア上を流れて
きたラフな位置決めで停止した砂型６の枠についた位置
決めの穴１０ａ，１０ｂの座標を計測する。これは、位
置決め穴１０ａ，１０ｂの位置をそれぞれ中心位置とし
て撮像するように設置された位置計測用カメラ９ａ，９
ｂからの画像を処理することによって、当該撮像しよう
とする砂型６が基準位置からどの程度位置ズレを起こし
ているかを計測する。２カ所の位置決め穴１０ａの位置
情報９ｍを計測するため、この２カ所の座標から砂型６
の回転角（角度情報）９ｎを算出することができる。従
って、基準位置からのｘ，ｙ方向のズレ量である位置情
報（Δｘ，Δｙ）と、この基準位置からの回転の角度の
大きさである角度情報Δθとを出力する。

【００１９】数値シミュレータ１１では、この位置情報
９ｍ及び角度情報９ｎとから先の出願における標準モデ
ルのデジタル画像データ３ｅに相当するシミュレート画
像１１ｂを生成する。数値シミュレータ１１は、ホスト
コンピュータ８で動作するソフトウエアであり、欠陥の
無い砂型６のＣＡＤデータ１１ａと、スリットプロジェ
クタと、ＣＣＤカメラ等の光学系の数値モデルを備えて
いる。数値シミュレータ１１は、位置情報９ｍ及び角度
情報９ｎを受信すると、これらのズレ量に基づいて砂型
のＣＡＤデータ１１ａの座標変換を行い、検査画像入力
用カメラ２Ａに対する位置、姿勢を補正する。

【００２０】次いで、数値シミュレータ１１は、スリッ
トプロジェクタより投影されるスリット光（光切断線）
１ａの特性及び砂型表面の反射特性等をモデル化し、検
査画像入力用カメラ２Ａから見えるはずの砂型表面への
スリット光１ａの投影画像をシュミレーションにより生
成する。このとき、本実施例の画像処理のアルゴリズム
では、光切断線１ａの太さに誤差が生じたとしても閉曲
線抽出の過程でノイズとして除去されるため、なだらか
な形状がもたらす光切断線１ａの太さの変化の影響は大
きくない。しかし、線の方向につき誤差が生じると欠落
部分の検出での誤差に直結するため、これについては正
確に行うことが必要となる。そのため、ＣＡＤデータ１
１ａの座標変換に伴い、ＣＣＤカメラ２Ａまでの距離に
基づく遠近感の付与の処理を行うようすると良い。

【００２１】図８は数値シミュレータ１１の処理工程に
伴う画像の例を示す説明図である。図８（ａ）は検査対
象である砂型６のＣＡＤデータ１１ａの一部を示す図で
ある。数値シミュレータ１１は、位置情報９ｍ及び角度
情報９ｎに基づいて当該ＣＡＤデータ１１ａの座標変換
を行う。図８（ｂ）はこの座標変換後のＣＡＤデータ１
１ａの一部を示す図である。このように座標変換したＣ
ＡＤデータ１１ａに対して、スリット光投影画像を計算
する。図８（ｃ）はこのスリット光投影画像である。こ
れは、座標変換したＣＡＤデータ１１ａに対して予め三
次元の座標を与えられている格子投影部を光源とする表
面効果を算出する処理であり、ここでは、対象物の質感
（砂型）及び光の種類（平行線）等を考慮したレンダリ
ング処理で行っている。

【００２２】図８（ｄ）はスリット光投影画像から抽出
した光切断線１ａを示す図である。スリット光投影画像
をベクトルで生成したのであれば、これを所定の解像度
で二値化する。また、ドットで生成したのであれば光切
断線部分を所定のしきい値で抽出すると共に解像度を検
査対象のデジタル画像データ３ｄに合わせる。これらに
よって、シミュレート画像１１ｂを生成する。

【００２３】図９は実際の砂型６の撮像及びその後の処
理工程に伴う画像の例を示す説明図である。図９（ａ）
は位置計測用カメラ９ａ又は９ｂが撮像した位置決め穴
１０ａ又は１０ｂを示す図である。位置計測部９は、こ
の画像に基づいて上述した位置情報９ｍ及び角度情報９
ｎの算出を行っている。

【００２４】検査対象である砂型６がラフな位置決めで
検査位置に達すると、格子投影部１は、複数のスリット
を切った格子をプロジェクターにより検査する砂型表面
に垂直に投影する。次に、この光切断線１ａを投影した
砂型６の画像をプロジェクタに対して斜めに構えたＣＣ
Ｄカメラ２Ａにより観察する。すると、投影された光の
線は砂型６の奥行きによって曲がり、表面の３次元形状
を反映する。図９（ｂ）はこのように砂型６へスリット
光１ａを投影してＣＣＤカメラ２Ａで撮像したスリット
光投影画像を示す図である。図中ハッチング部分は欠落
部分６ａである。図９（ｃ）はこのスリット光投影画像
から光切断線１ａを抽出して検査対象のデジタル画像デ
ータ３ｄとしたものである。

【００２５】本実施例では、図８（ｄ）に示したシミュ
レート画像１１ｂと、図９（ｄ）に示したデジタル画像
データ３ｄとを用いて、砂型６の欠落部分６ａを検出し
ている。

【００２６】図１０及び図１１はシミュレート画像１１
ｂとデジタル画像データ３ｄとを用いて砂型の欠落部分
６ａを検出する処理に伴う画像を示す説明図である。図
１０（ａ）は砂型６のＣＡＤデータ１１ａの一部を示し
ており、図１０（ｂ）はＣＣＤカメラ２Ａが撮像したこ
のアナログ画像データ２ｃを簡略化して表現した図であ
り、ここでは、太い黒線は光切断線１ａが当たっていて
明るい部分を表現している。細い線はこのような光切断
線１ａを形成した砂型６の形状を示すための線であり、
実際のアナログ画像データ２ｃまたは階調のあるデジタ
ル画像データ３ｄにおいて、砂型６の形状は濃度の差に
よって現れる。

【００２７】光切断線１ａの幅は、検査対象物の大きさ
と、それを見込むＣＣＤカメラ２Ａの撮像範囲によって
変わるため長さでは表現できないが、画素数に対する比
率で表現することができる。本実施例では、一般的な分
解能を持つＣＣＤカメラ２Ａとフレームメモリ（５１２
画素ｘ５１２画素）を用いていて、この場合、１０画素
程度の光切断線１ａの幅では形状検査が可能であること
を確認している。これは、３０ｃｍ四角の検査面に、幅
約６ｍｍのラインを投影した場合に相当する。

【００２８】先の出願では、欠落部分５ｈのない標準モ
デルのデジタル画像データ３ｅを予め作成しておいた
が、本実施例では、数値シミュレータ１１上で欠落のな
い基準となる光切断画像（シミュレート画像）１１ｂを
生成し、この画像を先の出願の標準モデルのデジタル画
像データ３ｅと同一のものとして利用する。即ち、数値
シミュレータ１１は、図１０（ａ）に示したＣＡＤデー
タから図１０（ｃ）に示すシュミレーション画像１１ｂ
を生成する。

【００２９】次に、アナログ画像データ２ｃは画像処理
装置７に取り込まる。画像処理装置７では、前処理部３
が、このアナログ画像データ２ｃを所定のしきい値に基
づいて二値化する。ここでは、砂型６の形状の濃度と、
光切断線１ａの濃度とは際だって異なるため、前処理部
３は、光切断線１ａのみを抽出する二値化を容易に行う
ことができる。実際には、スリットの明暗を反転できる
液晶プロジェクタ等を用いて２枚の反転画像の差を取る
ことによって、外乱光及び局所的な反射率の違い等に影
響されることなく精密な二値化を行うようにしている。
二値化したデジタル画像データ３ｄの例を図１０（ｄ）
に示した。

【００３０】検査画像データ生成部４は、シミュレート
画像１１ｂと検査対象のデジタル画像データ３ｄの単純
な差を取ることにより、理想的には、欠けた部分の輝線
だけがループ状に残る検査画像データ４ｆを得ることが
できる。

【００３１】図１１（ａ）にこの理想的な状態の検査画
像データ４ｆの例を示す。これは、図１０に示した欠落
のある砂型６のアナログ画像データ２ｃに対応する検査
画像データである。しかしながら、実際には微妙な位置
ズレや二値化のばらつきにより図１１（ｂ）のようにノ
イズ５ｉを含んだ画像が得られることになる。

【００３２】欠落以外のノイズ５ｉの例を図１１（ｃ）
に示した。砂型６の欠落以外のノイズ５ｉは、数値シミ
ュレータ１１のスリット光投影画像の計算上の微妙なな
位置ズレの為に残るものであり、図１１（ｂ）のように
数画素以内の孤立点、あるいは細長い線状のノイズ５ｉ
となって現れる。孤立点は、ノイズ除去により簡単に除
去できる。また、細い線状のノイズ５ｉはそれらをラベ
リングし、形状特徴を利用することでループ状の欠陥と
簡単に区分することができる。

【００３３】このループ状の形状を持つ部分を欠陥の候
補として認識し、欠陥の大きさ、個数に基づき、所定の
しきい値を越えたものを欠陥のある型と判断してＮＧ信
号を出力する。これら一連の画像処理は、入力，二値
化，ノイズ除去，ラベリング，形状判別という極めて単
純な二値画像処理のため、画像処理プロセッサによりト
ータルでも数十ミリ秒以内に終わらせることができる。

【００３４】また、本実施例で対象としている検査物で
は、一方向からの撮像及び標準モデルの画像との比較で
充分に形状検査を行うことができたが、検査対象の形状
によっては、一方向からの撮像では死角が生じるの場合
があるので、その場合には、同一の立体物を複数方向か
ら撮像して、数方向からシミュレート画像１１ｂと比較
するようにするとよい。

【００３５】上述したように本実施例によると、検査の
基準となるデータをコンピュータ上でシュミレーション
により作成するため、被検体を位置補正する必要が無く
なる。その為、検査を高速かつ高精度に行うことができ
る。また、被検体を動かす為の高価な数値制御システム
が省略できるので、低コスト、装置の簡略化、及び軽量
化につながり、従って、信頼性及び耐久性が格段に向上
する。しかも、位置計測用カメラと検査画像入力カメラ
からの画像をほぼ同時に取り込むことができる（ビデオ
レートでも１／３０秒程度）ため、機械的に補正を行う
場合に比べ応答の遅れがほとんどなく、被検体が低周波
で振動していても検査が可能となる。

【００３６】

【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、位置計測部が、当該検査対象の撮
像位置を検出し、数値シミュレータが、この位置計測部
からの位置情報及び角度情報に基づいて検査対象の立体
物のＣＡＤデータから光切断線の照射状況を算出するた
め、検査対象の撮像に際して位置ズレを起こしても、こ
の位置ズレに対応したシミュレート画像を生成すること
ができる。従って、先の出願のように機械的に位置補正
を行う必要が無くなり、このため、検査を高速に行うこ
とができる。しかも、シミュレート画像の生成を位置情
報及び角度情報に基づいて行うため、２次元的な位置ズ
レであってもこれを吸収して検出処理を行うことができ
る。このように、二次元的な位置ズレが生じても、複雑
な形状の立体物についての標準物体からの欠落部分を高
速に認識することができる従来にない優れた立体物の形
状検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。

【図２】図１に示した実施例による欠落部分検査の画像
処理の原理を示す説明図で、図２（ａ）は標準モデルと
なる立体物を示す図で、図２（ｂ）は欠落部分の生じた
立体物を示す図で、図２（ｃ）は標準モデルのデジタル
画像データを示す図で、図２（ｄ）は欠落部分の生じた
立体物を撮像して生じたデジタル画像データを示す図
で、図２（ｅ）はこれらのデジタル画像データの検査画
像データを示す図である。

【図３】本実施例の検査対象である砂型を示す説明図で
あり、図３（ａ）は全体図であり、図３（ｂ）は欠けた
部分を表示した一部拡大図である

【図４】先の出願における実施例の構成を示す説明図で
ある。

【図５】図４に示した構成における位置補正処理を示す
ブロック図である。

【図６】図３に示した砂型を検査対象とする図１に示し
た実施例のハードウエア資源の構成を示す説明図であ
る。

【図７】図６に示した実施例における検査対象の位置ズ
レの例を示す説明図である。

【図８】図１に示した数値シミュレータの処理工程に伴
う画像の例を示す図で、図８（ａ）はＣＡＤデータを示
す図で、図８（ｂ）は座標変換したＣＡＤデータを示す
図で、図８（ｃ）は算出したスリット光投影画像を示す
図で、図８（ｄ）はシミュレート画像を示す図である。

【図９】図９は画像処理部の処理工程に伴う画像の例を
示す図で、図９（ａ）は位置計測用カメラが撮像した位
置決め穴を示す図で、図９（ｂ）はＣＣＤカメラが撮像
したスリット光が投影された砂型を示す図で、図９
（ｃ）は検査対象のデジタル画像データを示す図であ
る。

【図１０】図６に示した実施例における画像処理上の各
種画像データを示す説明図であり、図１０（ａ）はＣＡ
Ｄデータを示す図で、図１０（ｂ）は欠落部分の生じた
立体物のアナログ画像データを示す図で、図１０（ｃ）
はシミュレート画像を示す図で、図１０（ｄ）は検査対
象のデジタル画像データを示す図である。

【図１１】図６に示した画像処理による検査データの例
を示す説明図であり、図１１（ａ）は理想的な場合を示
す図で、図１１（ｂ）はノイズを含んだ場合を示す図
で、図１１（ｃ）は種々の検査データ上の画像の例を示
す図である。

【符号の説明】

１ 光源部（格子投影部） １ａ 光切断線（スリット光） ２ 検査画像入力部 ２ｃ アナログ画像データ ３ 前処理部 ３ｄ デジタル画像データ ３ｅ 標準モデルのデジタル画像データ ３ｄ 検査対象のデジタル画像データ ４ 検査画像データ生成部 ４ｆ 検査画像データ ５ 閉曲線抽出部 ５ｇ 検査画像データ中の閉曲線 ５ｈ 立体物の欠落部分 ５ｉ ノイズ ６ 検査対象の立体物（砂型） ６ａ 砂型上の欠落部分 ９ 位置計測部 ９ｍ 位置情報（Δｘ，Δｙ） ９ｎ 角度情報（Δθ） １１ 数値シミュレータ １１ａ 検査対象のＣＡＤデータ １１ｂ シミュレート画像

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−59604（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−88908（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−81770（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−250706（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−347232（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 G06T 7/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象の立体物に光切断線を照射して
   撮像することで検査対象画像を生成する検査画像入力部
   と、当該検査対象の撮像位置を検出する位置計測部と、
   この位置計測部からの位置情報及び角度情報に基づいて
   前記検査対象の立体物のＣＡＤデータから前記光切断線
   の照射状況を算出する数値シミュレータと、前記検査画
   像入力部からの検査対象画像と前記数値シミュレータか
   らのシミュレート画像との不一致部分を抽出することで
   検査画像データを生成する検査画像データ生成部と、こ
   の検査画像データ生成部が出力した検査画像データ中の
   閉曲線を抽出して当該閉曲線部分を前記立体物の欠落部
   分として出力する閉曲線抽出部とを備えたことを特徴と
   する立体物の形状検査装置。