CN107364717A - 基板传送装置以及湿式设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板传送装置，其包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向机构，所述传动机构设置在所述承载平台底部上，用于将基板沿第一方向传送；所述导向机构设置于所述传动机构两侧，用于向传送中的基板的两侧施加作用力，对所述基板的传送方向进行限位纠偏；其中，所述导向机构包括第一连接支架和导向轮，所述第一连接支架的一端与所述承载平台连接，另一端通过弹性件与所述导向轮连接，所述弹性件在所述第一连接支架的长度方向上可伸缩。本发明还公开了一种湿式设备，其包括上述的基板传送装置。

Description

基板传送装置以及湿式设备
技术领域
本发明涉及液晶显示器制造过程中的生产设备，具体是一种基板传送装置，还涉及包含所述基板传送装置的湿式设备。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay)工艺可分为三大流程，第一段为阵列基板及彩膜基板的工艺，第二段为配向、液晶填充与封合面板工艺；第三段则为偏光片、背光片与面板组装的液晶显示模块。其中，阵列基板和彩膜基板的工艺中包含多个清洗、曝光显影的步骤，需要使用到清洗机、显影机等湿式设备。清洗机、显影机等湿式设备都会设置有基板传送装置，通常地，基板传送装置包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向轮组，导向轮组设置于基板行进方向的两侧，对基板的传送方向进行限位纠偏。
现有的导向轮组中，每一个导向轮都是通过连接件固定连接到承载平台的侧壁上，导向轮对所传送的基板的侧面施加的作用力是刚性的。因此，在传送某一规格的基板之前，需要先设定基板在传送过程中其侧面与导向轮的间距(该间距通常为1mm)，若当前的导向轮的固定位置不符合所述间距的要求，则需要拆卸移动导向轮，将导向轮移动至符合所述间距的要求的位置在重新固定。这种调整方式比较繁琐，并且一整排的导向轮很难达到完全对齐，所述间距的精度较难控制。若导向轮与所传送的基板的侧面的间距过大，则可能导致基板在传送过程中发生歪斜，无法顺利传送；若所述导向轮与所传送的基板的侧面的间距过小，则可能会导致基板与导向轮的碰撞力量过大而破碎，并且也会导致导向轮磨损过大，降低了设备的寿命。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种基板传送装置，其中的导向机构具有弹性可伸缩的性能，在传送基板的过程中，基板与导向轮的相互作用力可以自动调整，由此避免基板与导向轮的碰撞力量过大而破碎的问题，同时基板与导向轮之间的间距也不需要严格卡控，导向轮的位置调整的自由度更高，操作更加简便，提高了工作效率。
为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向机构，所述传动机构设置在所述承载平台底部上，用于将基板沿第一方向传送；所述导向机构设置于所述传动机构两侧，用于向传送中的基板的两侧施加作用力，对所述基板的传送方向进行限位纠偏；其中，所述导向机构包括第一连接支架和导向轮，所述第一连接支架的一端与所述承载平台连接，另一端通过弹性件与所述导向轮连接，所述弹性件在所述第一连接支架的长度方向上可伸缩。
优选地，所述导向轮包括滚轮、轴承和滑块，所述滚轮套设在所述轴承上，所述轴承固定连接到所述滑块，所述滑块可滑动地连接在所述第一连接支架上，所述弹性件的一端连接所述第一连接支架，另一端连接所述滑块。
优选地，所述滑块呈中空的环状结构，所述滑块从所述第一连接支架的末端套设在所述第一连接支架上。
优选地，所述第一连接支架中设置有沿其长度方向延伸的行走槽，所述轴承通过一柱状连接件固定连接到所述滑块，所述柱状连接件从所述轴承上方贯穿所述轴承、第一连接支架和滑块，所述柱状连接件贯穿所述第一连接支架的部分位于所述行走槽中。
优选地，所述柱状连接件为连接螺丝，所述轴承和所述滑块中分别设置有与所述连接螺丝相适配的螺纹孔。
优选地，所述弹性件设置在所述行走槽中，所述行走槽的内壁上设置有一孔洞，所述弹性件的一端插入到所述孔洞以连接到所述第一连接支架上，所述弹性件的另一端通过一弹力托柄连接到所述滑块。
优选地，所述弹力托柄包括第一横向连接部、第二横向连接部和以及连接所述第一横向连接部和第二横向连接部的竖向连接部；所述第一横向连接部在所述第一连接支架的第一表面上连接到所述滑块，所述第二横向连接部在所述第一连接支架的第二表面上连接到所述滑块，所述竖向连接部在所述行走槽中贯穿所述第一连接支架，所述弹性件的另一端连接到所述竖向连接部上；其中，所述第一表面和所述第二表面是相对的两个表面。
优选地，所述弹性件为弹簧。
优选地，所述导向机构还包括第二连接支架，所述第二连接支架包括相互连接的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部沿第二方向延伸，所述第一连接部连接到所述承载平台的侧壁上；所述第二连接部沿第三方向延伸，所述第一连接支架的一端连接到所述第二连接部，并且所述第一连接支架沿第三方向延伸。
本发明的另一方面是提供一种湿式设备，其包括如上所述的基板传送装置。
与现有技术相比，本发明实施例提供的基板传送装置，取得了如下的有益效果：
(1)、导向轮通过弹性件连接到固定支架，在传送基板的过程中，基板与导向轮的相互作用力可以通过弹性件自动调整，由此避免基板与导向轮的碰撞力量过大而破碎的问题；同时也减小了基板与导向轮之间的摩擦力，减低导向轮的损耗程度，提高寿命。
(2)、由于导向轮通过弹性件连接，其在一定范围内可伸缩，因此在导向轮的装配中不需要严格卡控导向轮与基板侧面的间距，其甚至可以是设置为紧贴基板的侧面固定，依靠弹性力自行调整导向轮与基板侧面的相对位置，将低了导向轮位置精度调节的难度，提高了工作效率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的基板传送装置的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的导向机构图的结构示意图；
图3是本发明实施例中的第一连接支架的俯视结构示意图；
图4是本发明实施例中的导向轮与第一连接支架相互连接的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。这些优选实施方式的示例在附图中进行了例示。附图中所示和根据附图描述的本发明的实施方式仅仅是示例性的，并且本发明并不限于这些实施方式。
在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅示出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大的其他细节。
本实施例提供了一种基板传送装置，用于传送基板，所述基板可以是玻璃基板，或者在玻璃基板设置有一些器件结构的基板，例如薄膜晶体管阵列基板或者是彩色滤光基板。
如图1所示，如图1所示，所述基板传送装置包括承载平台1和连接在所述承载平台1上的传动机构2和导向机构3，所述传动机构2设置在所述承载平台1的底部11上，用于将基板4沿第一方向(如图1中的X方向)传送。所述导向机构3设置于所述传动机构2两侧，用于向传送中的基板4的两侧施加作用力，对所述基板4的传送方向进行限位纠偏。
其中，所述传动机构2包括多个并排在所述承载平台1的底部11上的辊轴21(图1中仅示例性示出了其中的一个)，将基板4放置在所述辊轴21，驱动所述辊轴21即可将基板4朝向行进方向传送。所述导向机构3设置在传动机构2的两侧，连接到所述承载平台1的侧壁12上，在所述传动机构2传送基板4的过程中，若基板4发生倾斜，则导向机构3对基板4的侧面施加作用力，调整基板4的行进方向。需要说明的是，图1中每一侧仅示例性示出了其中的一个导向机构3，易于理解的是，在所述传动机构2左侧和右侧应当是分别设置有多个导向机构3，多个导向机构3沿X方向并行排列。
其中，参阅图1和图2，所述导向机构3包括第一连接支架31、导向轮32和第二连接支架33。所述第一连接支架31的一端通过所述第二连接支架33连接到所述承载平台1的侧壁12，另一端通过弹性件34与所述导向轮32连接，所述弹性件34在所述第一连接支架31的长度方向上可伸缩，由此，基板4与导向轮32之间的相互作用力可以通过弹性件34自动调整。在本实施例中，所述弹性件34为弹簧。
具体地，所述第二连接支架33包括相互连接的第一连接部331和第二连接部332，所述第一连接部331沿第二方向(如图1中的Z方向)延伸，所述第一连接部331连接到所述承载平台1的侧壁12上。所述第二连接部332沿第三方向(如图1中的Y方向)延伸，所述第一连接支架31的一端连接到所述第二连接部332，并且所述第一连接支架31沿第三方向延伸，朝向所传送的基板4的侧面。
需要说明的是，在另外的一些实施例中，也可以不需要设置第二连接支架33，而是将所述第一连接支架31直接连接到所述承载平台1的侧壁12上。在本实施例中，通过设置第二连接支架33，可以初步调整第一连接支架31的高度位置(Z方向)和水平位置(Y方向)，从而达到调整所述导向轮32的目的。具体地，如图1和图2所示，所述第二连接支架33的第一连接部331通过第一螺丝5连接到所述承载平台1的侧壁12上，所述侧壁12上设置有与所述第一螺丝5相适配的螺纹孔，所述第一连接部331设置有沿其长度方向延伸的第一调节孔333，在第一螺丝5松开时，可以沿着Z方向调整第二连接支架33的位置，以调整第一连接支架31的高度位置，当高度位置确定之后再锁紧所述第一螺丝5；其中，所述高度位置的调整范围由第一调节孔333的长度限定。如图2和图3所示，所述第一连接支架31的一端通过第二螺丝6连接到所述第二连接部332，所述第二连接部332设置有与所述第二螺丝6相适配的螺纹孔，所述第一连接支架31上设置有沿其长度方向延伸的第二调节孔311，在第二螺丝6松开时，可以沿着Y方向调整第一连接支架31的位置，以调整第一连接支架31的水平位置，当水平位置确定之后再锁紧所述第二螺丝6；其中，所述水平位置的调整范围由第二调节孔311的长度限定。
具体地，所述导向轮32包括滚轮321、轴承322和滑块323。所述滚轮321套设在所述轴承322上，所述滚轮321在所述轴承322上可相对旋转。所述轴承322固定连接到所述滑块323，所述滑块323可滑动地连接在所述第一连接支架31上，所述弹性件34的一端连接所述第一连接支架31，另一端连接所述滑块323。所述弹性件34向所述滑块323提供弹性力，将所述滚轮321朝向所述基板4的侧面顶压，而所述滚轮321受到基板4的反向作用力时，又通过所述滑块323的传递，压缩所述弹性件34，因此，基板4与导向轮32之间的相互作用力可以通过弹性件34自动调整，保持平衡状态。
进一步地，本实施例中，参阅图2至图4，所述滑块323呈中空的环状结构，所述滑块323从所述第一连接支架31的末端套设在所述第一连接支架31上。所述第一连接支架31中设置有沿其长度方向延伸的行走槽312，所述轴承322通过一柱状连接件7固定连接到所述滑块323。具体地，所述柱状连接件7从所述轴承322上方贯穿所述轴承322、第一连接支架31和滑块323，所述柱状连接件7贯穿所述第一连接支架31的部分位于所述行走槽312中。通过设置贯穿在所述行走槽312中的柱状连接件7，其可以对所述滑块323的滑动行程起到限位的作用，防止所述滑块323从所述第一连接支架31的末端脱落。在本实施例中，所述柱状连接件7为连接螺丝，所述轴承322和所述滑块323中分别设置有与所述连接螺丝相适配的螺纹孔。
进一步地，本实施例中，参阅图2至图4，所述弹性件34设置在所述行走槽312中，所述行走槽312的内壁上设置有一孔洞313，所述弹性件34的一端插入到所述孔洞313以连接到所述第一连接支架31上，所述弹性件34的另一端通过一弹力托柄8连接到所述滑块323。其中，所述弹性件34的约2/3的长度插入到所述孔洞313，约1/3的长度保留在所述孔洞313之外，其可伸缩的长度为5mm左右。在另外的一些实施例中，所述弹性件34也可以设置在所述行走槽312之外，例如连接在所述第一连接支架31的表面上，并且设置多个弹性件34，例如在左右两侧面分别设置一个连接所述滑块323的弹簧，或者在上下两面上分别设置一个连接所述滑块323的弹簧。并且，可以通过更换不同弹性系数的弹簧，以适应导向轮和基板相互作用时不同的弹力要求。
具体地，本实施例中，如图4所示，所述弹力托柄8包括第一横向连接部81、第二横向连接部82和以及连接所述第一横向连接部81和第二横向连接部82的竖向连接部83。所述第一横向连接部81在所述第一连接支架31的第一表面上连接到所述滑块323，所述第二横向连接部82在所述第一连接支架31的第二表面上连接到所述滑块323，所述竖向连接部83在所述行走槽312中贯穿所述第一连接支架31，所述弹性件34的另一端连接到所述竖向连接部83上；其中，所述第一表面和所述第二表面是相对的两个表面。所述弹力托柄8卡在所述行走槽312可前后滑动，用于提供传导弹力作用于所述滑块323的支撑点，同时还可以均衡弹性件34的弹力。
如上实施例提供的基板传送装置，其中的导向轮通过弹性件连接到固定支架，在传送基板的过程中，基板与导向轮的相互作用力可以通过弹性件自动调整，由此避免基板与导向轮的碰撞力量过大而破碎的问题；同时也减小了基板与导向轮之间的摩擦力，减低导向轮的损耗程度，提高寿命。另外，由于导向轮通过弹性件连接，其在一定范围内可伸缩，因此在导向轮的装配中不需要严格卡控导向轮与基板侧面的间距，其甚至可以是设置为紧贴基板的侧面固定，依靠弹性力自行调整导向轮与基板侧面的相对位置，将低了导向轮位置精度调节的难度，提高了工作效率。
本发明实施例还提供了一种湿式设备，其包括如上实施例所提供的基板传送装置，所述湿式设备例如是清洗机、显影机等。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括承载平台和连接在所述承载平台上的传动机构和导向机构，所述传动机构设置在所述承载平台底部上，用于将基板沿第一方向传送；所述导向机构设置于所述传动机构两侧，用于向传送中的基板的两侧施加作用力，对所述基板的传送方向进行限位纠偏；其中，所述导向机构包括第一连接支架和导向轮，所述第一连接支架的一端与所述承载平台连接，另一端通过弹性件与所述导向轮连接，所述弹性件在所述第一连接支架的长度方向上可伸缩。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述导向轮包括滚轮、轴承和滑块，所述滚轮套设在所述轴承上，所述轴承固定连接到所述滑块，所述滑块可滑动地连接在所述第一连接支架上，所述弹性件的一端连接所述第一连接支架，另一端连接所述滑块。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述滑块呈中空的环状结构，所述滑块从所述第一连接支架的末端套设在所述第一连接支架上。
4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一连接支架中设置有沿其长度方向延伸的行走槽，所述轴承通过一柱状连接件固定连接到所述滑块，所述柱状连接件从所述轴承上方贯穿所述轴承、第一连接支架和滑块，所述柱状连接件贯穿所述第一连接支架的部分位于所述行走槽中。
5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述柱状连接件为连接螺丝，所述轴承和所述滑块中分别设置有与所述连接螺丝相适配的螺纹孔。
6.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹性件设置在所述行走槽中，所述行走槽的内壁上设置有一孔洞，所述弹性件的一端插入到所述孔洞以连接到所述第一连接支架上，所述弹性件的另一端通过一弹力托柄连接到所述滑块。
7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹力托柄包括第一横向连接部和第二横向连接部和以及连接所述第一横向连接部、第二横向连接部的竖向连接部；所述第一横向连接部在所述第一连接支架的第一表面上连接到所述滑块，所述第二横向连接部在所述第一连接支架的第二表面上连接到所述滑块，所述竖向连接部在所述行走槽中贯穿所述第一连接支架，所述弹性件的另一端连接到所述竖向连接部上；其中，所述第一表面和所述第二表面是相对的两个表面。
8.根据权利要求1-7任一所述的基板传送装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。
9.根据权利要求1-7任一所述的基板传送装置，其特征在于，所述导向机构还包括第二连接支架，所述第二连接支架包括相互连接的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部沿第二方向延伸，所述第一连接部连接到所述承载平台的侧壁上；所述第二连接部沿第三方向延伸，所述第一连接支架的一端连接到所述第二连接部，并且所述第一连接支架沿第三方向延伸。
10.一种湿式设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的基板传送装置。
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