CN107304760B

CN107304760B - 低温泵、真空处理装置

Info

Publication number: CN107304760B
Application number: CN201710257499.8A
Authority: CN
Inventors: 铃木直人; 村山吉信; 降矢新治
Original assignee: Ulvac Cryogenics Inc
Current assignee: Ulvac Cryogenics Inc
Priority date: 2016-04-19
Filing date: 2017-04-19
Publication date: 2020-06-16
Anticipated expiration: 2037-04-19
Also published as: JP2017193993A; KR102264967B1; KR20170119629A; CN107304760A; JP6672054B2

Abstract

本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。

Description

低温泵、真空处理装置

技术领域

本发明涉及低温泵和使用低温泵的真空处理装置，特别涉及被要求低振动的低温泵和使用低温泵的真空处理装置。

背景技术

低温泵是在真空容器内设置极低温面、使容器内的气体分子冷凝或吸附在其上而捕捉、进行排气的泵。

作为低温泵的特征，相对于水的排气速度较大，能以简单的操作得到清洁的真空，所以广泛地用在真空蒸镀或溅镀装置等需要高品质的薄膜的真空装置中。

为了得到低温泵的极低温面，使用以He气为冷媒的小型氦冷冻机，主要使用GM冷冻机、索尔韦（ソルベイ）式冷冻机，在冷冻机中安装有马达和使其旋转运动成为直线运动的机械零件，在其末端安装有置换器（displacer），以1Hz或1.2Hz进行活塞运动。在冷冻机上，用挠性软管连接着将He气压缩并供给的压缩机。由于配置在与设置在真空装置上的低温泵分开的位置，所以压缩机的振动不直接传递给真空装置，但由于低温泵直接设置在真空装置上，所以如果冷冻机的机械振动传递给真空装置，则给装置内部的精密作业带来影响。

作为低振动的低温泵，提供一种采用低振动型的马达、或防振型的波纹管等的低温泵。

但是，在真空环境中形成的薄膜图案日益微细化，因此，在进行对准的真空处理装置等中，需要更低的振动，要求不会产生起因于振动的问题的低温泵。

专利文献1：日本特开昭58－183878号公报。

专利文献2：日本特开平5－141348号公报。

专利文献3：日本特开2007－51850号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的不良状况而做出的发明，其目的是提供一种更低振动的低温泵和使用该低温泵的真空处理装置。

本发明是为了解决上述现有技术的不良状况而做出的发明，本发明是一种低温泵，具有：真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；冷冻机，其以He气为冷媒；极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；前述防振装置具有：第一、第二底板；筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；插入体，其固定在前述第二底板上；弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；前述插入体与前述插入体分离而插入到前述外筒体的内侧，前述插入体与前述外筒体之间配置有前述弹性部件；前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

此外，本发明是一种低温泵，具有：马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。

此外，本发明是一种真空处理装置，低温泵；真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；真空室，其安装着前述真空排气槽；前述低温泵是以下这样的低温泵：具有：冷冻机，其以He气为冷媒；极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；该低温泵将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；前述防振装置具有：第一、第二底板；筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；插入体，其固定在前述第二底板上；弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；前述插入体与前述插入体分离而插入到前述外筒体的内侧，前述插入体与前述外筒体之间配置有前述弹性部件；前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

此外，本发明是一种真空处理装置，具有：马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。

此外，本发明是一种真空处理装置，在前述真空室上，具有使处理对象物与荫罩对位的对位装置。

此外，本发明是一种真空处理装置，在前述真空室的内部，设有释放成膜材料的蒸气的蒸发源。

此外，本发明是一种真空处理装置，前述成膜材料是有机物，前述成膜材料的蒸气是前述有机物的蒸气。

<冷冻机的动作原理>

取一级式冷冻机为例，说明冷冻机的冷冻循环。

图5（a）～图5（d）是用来说明冷冻机的内部构造的图，图6是用来说明该冷冻机的G－M循环的作动原理的图表。

参照图5（a）～图5（d），冷冻机具有压力缸101，在压力缸101的内部配置有置换器102。

这里，如果使压力缸101的一端为低温部侧113，使另一端为室温部侧114，则在一循环的开始时，排出阀109和吸入阀118被关闭，置换器102位于压力缸101的低温部侧113。一循环的开始时的体积与压力的关系在图6的图表上位于A点。

接着，在排出阀109被关闭的状态下，如图5（a）所示，如果在置换器102位于压力缸101的低温部侧113的状态下将吸入阀118打开，从压缩机106的高压部侧116释放高压的He气，则高压的He气不经过蓄冷器104而被向压力缸101内的室温部侧114导入，压力缸101内的压力的上升开始。

图6的点A是压力上升前的图6的图表上的位置，在压力上升中的状态下，由体积和压力决定的图6的图表上的点在直线a上移动。

并且，如果压力缸101被高压的He气填充，则压力缸101的内部成为高压。表示该状态的点位于图6的图表的点B。

接着，如图5（b）所示，如果使位于低温部侧113的置换器102向室温部侧114的移动开始，则填充在室温部侧114的He气随着置换器102的移动被从压力缸101推出，穿过蓄冷器104，在被蓄冷器104冷却的同时向低温部侧113与置换器102之间的膨胀室107填充。表示填充中的状态的点在图6的图表的直线b上移动。

如图5（c）所示，当置换器102到达室温部侧114时，低温部侧113成为最大容积。此时，位于图6的图表的点C。

接着，将吸入阀118关闭，将排出阀109打开，使位于膨胀室107中的高压的He气从压力缸101释放。图5（d）是释放中，释放中在图6的图表的直线c上移动。

释放出的He气因西蒙膨胀而温度下降，温度下降后的He气在穿过蓄冷器104时将蓄冷器104冷却，同时向压缩机106返回，膨胀室107内成为最低压力。在此状态下，位于图6的图表的点D。

接着，如果使置换器102从室温部侧114朝向低温部侧113移动，则借助置换器102的移动，位于膨胀室107内的He气从压力缸101释放，释放出的He气在将蓄冷器104冷却的同时穿过室温部侧114及排出阀109而向压缩机106的低压部侧117移动。借助置换器102的移动进行的释放中，在图6的图表的直线d上移动。

然后，如果置换器102到达低温部侧113，则一循环结束，如果将排出阀109关闭，则回到最初的状态的点A。

GM冷冻机通过重复这样的冷冻循环，得到了极低温。

在实际的低温泵中使用的冷冻机为了得到15K以下的极低温，为2级式构造的压力缸101和置换器102，为了使构造更简洁化，将蓄冷器104装入在置换器102的内部。

第1级冷冻能力较大，能够冷却到80K以下，第2级冷冻能力较小，但能够冷却到12K。在第1级中，将80K遮蔽板和80K挡板冷却而主要将H₂O冷凝，由此对H₂O进行真空排气。第2级将15K低温面板冷却，将N₂、O₂、Ar及其他气体冷凝，将H₂吸附，由此对N₂、O₂、Ar、H₂和其他气体进行真空排气。

由冷冻机的马达或置换器等工作零件产生的振动通过使用防振构造的低温泵而使振动衰减，能够在真空装置内进行高精度的处理。

附图说明

图1是用来说明本发明的真空处理装置的图。

图2（a）、图2（b）是用来说明防振装置的图。

图3是表示用来对本发明的低温泵进行说明的一部分的截面的侧视图。

图4是用来说明本发明的低温泵的概略剖视图。

图5（a）～图5（d）是用来说明冷冻循环的图。

图6是表示冷冻循环的体积－压力的关系的图表。

具体实施方式

<真空处理装置>

图1的附图标记10表示使用本发明的低温泵11的真空处理装置。

该真空处理装置10具有真空室16，若设真空室16是蒸镀装置，则在真空室16的内部配置有蒸发源18，在蒸发源18的上方配置有基板配置装置13。

在基板配置装置13的上方配置有摄像机14。在基板配置装置13上配置有荫罩（shadow mask）15。

在真空室16上，连接有粗抽用的真空泵19和低温泵11，当将真空室16的内部真空排气时，首先对真空室16的内部用粗抽用的真空泵19进行真空排气，在真空槽16的内部下降到既定压力后，开始本发明的低温泵11的动作而开始真空室16的内部的真空排气，使真空槽16的压力下降到高真空环境的压力。

真空室16经由真空阀60连接在输送室47上，在输送室47上，经由真空阀61连接着另外一台或多台真空处理装置40。

在前工序的真空处理装置40内经处理的输送对象物被送入到输送室47的内部，在维持真空室16的内部的真空环境的同时将输送室47与真空室16之间的真空阀60打开，向真空室16的内部送入。图1的附图标记12表示被送入的处理对象物。

在该真空处理装置10中，由摄像机14、使基板配置装置13移动的移动装置63、和控制由移动装置63进行的基板配置装置13的移动及摄像机14的动作的控制装置64，构成使处理对象物12和荫罩15对位的对位装置，借助对位装置，使处理对象物12和荫罩15在用摄像机14摄影的同时相对移动，进行处理对象物12与荫罩15之间的对位。在对位后，将处理对象物12配置到荫罩15上。

在蒸发源18上，配置有有机材料等的蒸镀材料。

在基板配置装置13的中央设有贯通孔17，使荫罩15经由贯通孔17面对蒸发源18。此外，荫罩15配置在处理对象物12与蒸发源18之间，如果借助加热等使蒸镀材料成为气体，使成为气体的蒸镀材料从蒸发源18向真空室16的内部释放，则释放出的蒸镀材料的气体穿过贯通孔17而到达荫罩15。到达的蒸气中的穿过了荫罩15的开口的蒸气到达处理对象物12，在处理对象物12上形成与荫罩15的开口的平面形状对应的平面形状的薄膜。

<低温泵>

接着，说明低温泵11的构造，参照图3、图4，低温泵11具有泵主体部21和冷冻机22，冷冻机22具有马达部23和冷冻部24。

泵主体部21具有能够保持真空气密的泵壳33（泵壳也被称作真空排气槽），在泵壳33上设有吸气口39。

在真空室16的底面上设有排气口37，吸气口39和排气口37在它们之间配置有阀46，如果阀46被打开，则泵主体部21的内部与真空室16的内部被连接，如果阀46被关闭，则泵主体部21的内部与真空室16的内部分离。设为气密，使得真空室16的外部的气体不侵入到泵主体部21的内部和真空室16的内部。

真空室16例如被载置在地板面上，重量被地面支承，泵壳33的重量直接或经由阀46向真空室16施加，泵壳33固定在真空室16上，泵壳33的重量和向泵壳33施加的部件的重量被真空室16支承。

在泵壳33的内部，配置有80K挡板27、80K遮蔽板32和15K低温面板26（极低温板）。

80K挡板27配置在面对吸气口39的位置，80K遮蔽板32分别配置在泵壳33的内部的底面附近和壁面附近，借助80K挡板27和80K遮蔽板32，能够将从真空室16穿过吸气口39向泵主体部21流入的辐射热的大部分吸收。进而，在被80K遮蔽板32包围的空间中的比80K挡板27距吸气口39更远的位置处，配置有作为极低温面的15K低温面板26（极低温板）。

在阀46被关闭的状态下，借助粗抽用的真空泵19等真空泵对真空室16及泵壳33的内部进行真空排气，并且将80K挡板27、80K遮蔽板32和15K低温面板26冷却到既定温度，将泵壳33的内部设为高真空环境，在80K挡板27、80K遮蔽板32和15K低温面板26达到既定温度后，如果将阀46打开，则真空室16的内部被80K挡板27、80K遮蔽板32和15K低温面板26从吸气口39高真空排气。

马达部23配置在低温泵11的真空环境之外，在马达部23中内置有由交流电源驱动的马达。

图4是用来说明马达部23、冷冻部24和低温泵内部零件35的位置关系的低温泵11的概要的局部剖视图。

冷冻部24配置在隔热真空环境中，以便不受到由辐射带来的热输入、由热传导带来的热输入的影响。具体而言，与泵壳33焊接，具有泵壳侧筒体41、泵壳侧凸缘42、波纹管43、马达部侧凸缘44和马达部侧筒体45，所有的零件能够借助焊接或弹性体来保持气密。

泵壳侧筒体41、在中央具有贯通孔的泵壳侧凸缘42、能够伸缩的筒状的波纹管43、在中央具有贯通孔的马达部侧凸缘44和马达部侧筒体45以将冷冻部24包围的方式配置，在泵壳侧筒体41与冷冻部24之间、泵壳侧凸缘42与冷冻部24之间、波纹管43与冷冻部24之间、马达部侧凸缘44与冷冻部24之间、和马达部侧筒体45与冷冻部24之间，存在空间62。

泵壳侧凸缘42和马达部侧凸缘44借助一个或多个防振装置5相互固定。在该例中借助三个防振装置相互固定。

在泵壳侧凸缘42与马达部侧凸缘44之间，配置有能够伸缩的波纹管43。

将冷冻部24包围的空间和泵壳33与80K遮蔽板32之间的间隙31连通，为与低温泵内部零件35同样的真空状态。

在冷冻部24中，配置有上述压力缸101、和配置在压力缸101的内部、借助马达而移动的第一、第二置换器。

压力缸101以非接触的状态被插入到配置在泵壳33的内部的筒状壳49中、泵壳侧筒体41中、泵壳侧凸缘42的贯通孔中、波纹管43中、马达部侧凸缘44的贯通孔中、和马达部侧筒体45中，压力缸101的一端与马达部23接触而固定，另一端与15K低温面板26接触而固定。

此外，压力缸101也与80K遮蔽板32接触而固定，80K挡板27与80K遮蔽板32接触而固定，使得15K低温面板26的重量、80K挡板27的重量和80K遮蔽板32的重量向压力缸101施加。

如后述那样，马达部23的重量和向马达部23施加的重量被真空室16支承，80K挡板27的重量、80K遮蔽板32的重量、15K低温面板26的重量和压力缸101的重量施加在马达部23上，所以80K挡板27的重量、80K遮蔽板32的重量、15K低温面板26的重量和压力缸101的重量被真空室16支承。

在本例中，80K挡板27的重量和80K遮蔽板32的重量被压力缸101的第1级承受。

该低温泵11在压力缸101的内部设有生成80K以下的低温的第一级、和生成10K～12K的极低温的第二级，80K挡板27和80K遮蔽板32被从冷冻部24的压力缸101的第一级供给低温，分别被冷却到80K左右的温度，从真空室16的内部穿过排气口37和阀46入射到吸气口39中的气体与80K挡板27碰撞。碰撞的气体中的蒸气压较低的气体、主要是H₂O被80K挡板27冷凝，其他的蒸气压较高的N₂、O₂、Ar、H₂等穿过80K挡板27而与15K低温面板26碰撞。

15K低温面板26被从压力缸101的第二级供给极低温，被冷却到15K以下，碰撞到15K低温面板26上的气体被15K低温面板26冷凝、或被15K低温面板26吸附而真空排气。

在压力缸101的末端配置有第二级，15K低温面板26经由安装部件38被压力缸101的末端部连接，由压力缸101的第二级支承着15K低温面板26的重量。

因而，低温泵内部零件35全部由压力缸101承受载荷，被作为该压力缸101的根部的马达部23支承。

马达部23固定在马达部侧筒体45的一端上，马达部侧筒体45的另一端固定在马达部侧凸缘44上。因而，马达部23借助马达部侧筒体45固定在马达部侧凸缘44上。

马达部侧凸缘44固定在各防振装置5的一端上，各防振装置5的另一端固定在泵壳侧凸缘42上。

因而，马达部侧凸缘44借助防振装置5固定在泵壳侧凸缘42上。

泵壳侧凸缘42固定在泵壳侧筒体41的一端上，泵壳侧筒体41的另一端固定在泵壳33上。

因而，泵壳侧凸缘42借助泵壳侧筒体41固定在泵壳33上，80K挡板27、80K遮蔽板32、15K低温面板26、冷冻部24及配置在其内部的压力缸101、和马达部23经由防振装置5被泵壳33支承。泵壳33被真空室16支承。

对防振装置5的构造进行说明。

图2（a）是防振装置5的侧视图，图2（b）是剖视图。

防振装置5具有第一底板50，在第一底板50上配置有弹性部件52，在弹性部件52上，与第一底板50平行地配置有第二底板53。第一底板50和第二底板53接触在弹性部件52上，相对于此，第一底板50与第二底板53不相互接触，在第一底板50与第二底板53之间配置有弹性部件52。

弹性部件52具有柔性，是如果被施加力则变形、如果将施加的力除去则恢复为原来的形状的材料，例如可以举出合成橡胶或天然橡胶等。

在第一底板50上，筒形状的外筒体51以其下端固定在第一底板50上的方式配置，外筒体51的上端朝向第二底板53所处的方向。

在第一底板50与第二底板53之间，垂直于第一底板50和第二底板53地配置有棒状或筒状的插入体55。

插入体55的上端固定在第二底板53上，下端位于比外筒体51的上端距第一底板50更近的位置，弹性部件52位于第一底板50与第二底板53之间，所以插入体55被插入在外筒体51的内部。

图2（b）中的附图标记t是插入体55的下端与外筒体51的上端之间的距离，是比零大的数值。

外筒体51与插入体55之间、外筒体51与第二底板53之间和第一底板50与插入体55之间分别分离而形成有间隙，在外筒体51与插入体55之间的间隙、外筒体51与第二底板53之间的间隙、和第一底板50与插入体55之间的间隙中，配置有弹性部件52。因而，插入体55的外周面与弹性部件52接触。

此外，弹性部件52将外筒体51的周围环状地覆盖，外筒体51的外周面与弹性部件52接触。此外，外筒体51的内周面和上端也分别接触在弹性部件52上，因而，外筒体51和插入体55埋没在弹性部件52中，使得即使从防振装置5的外观能观察到弹性部件52，也观察不到外筒体51和插入体55。

弹性部件52是一体的构造，此外，弹性部件52至少固定在第一底板50和第二底板53上，因而，只要不将弹性部件52破坏，就不能将弹性部件52的一部分分离。

在第二底板53的与固定着弹性部件52的表面相反侧的表面上，与第二底板53垂直地设有棒状的螺纹部54。

在螺纹部54的侧面上，设有螺纹山及螺纹槽，如果在泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44上形成有将螺纹部54插入的贯通孔，则若在将螺纹部54插入到该贯通孔中之后，将比贯通孔直径大的螺母安装到螺纹部54上，使螺母旋转，使螺母与被插入了螺纹部54的泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44密接，并使泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44密接在第2的底板53上，则防振装置5固定到被插入了螺纹部54的泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44上。

在第一底板50的从弹性部件52露出的部分上，设有螺纹紧固孔59，如果使第一底板50密接在泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44上，在第一底板50的螺纹紧固孔59和设在泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44上的贯通孔中插通头部比螺纹紧固孔59或贯通孔直径大的螺纹件的末端侧，使头部密接在第一底板50上，将螺母安装到插通的螺纹件的末端上并使其旋转，使螺母密接在泵壳侧凸缘42或马达部侧凸缘44上，则能够将防振装置5固定到泵壳侧凸缘42上。

外筒体51的中心轴线56、插入体55的中心轴线57和螺纹部54的中心轴线58以相对于第一底板50和第二底板53分别垂直的方式配置。在该例中，插入体55和螺纹部54以插入体55的中心轴线57与螺纹部54的中心轴线58一致的方式配置。此外，外筒体51的中心轴线56配置为与插入体55的中心轴线57和螺纹部54的中心轴线58一致。

泵壳侧凸缘42和马达部侧凸缘44铅直地配置，防振装置5将外筒体51、插入体55和螺纹部54的中心轴线58设为水平，将第一底板50和第二底板53设为铅直，配置在泵壳侧凸缘42与马达部侧凸缘44之间，第一底板50和第二底板53中的某一方与泵壳侧凸缘42接触而被固定，另一方与马达部侧凸缘44接触，借助上述螺母固定在马达部侧凸缘44上。

基于15K低温面板26的重量、压力缸101及压力缸101内部的置换器等部件的重量和马达部23的重量产生的力，成为作为朝下的力矩的重量力矩，施加在马达部侧凸缘44上，所以由该重量力矩带来的力经由弹性部件52施加在泵壳侧凸缘42上。

重量力矩的方向相对于外筒体51的中心轴线56垂直，此外相对于插入体55的中心轴线57也垂直。如果在外筒体51与插入体55之间施加由重量力矩带来的力，则外筒体51和插入体55中的固定在马达部侧凸缘44上的一方要相对于固定在泵壳侧凸缘42上的一方旋转移动，位于外筒体51与插入体55之间的弹性部件52、和位于第二底板53与第一底板50之间的弹性部件52变形。变形的弹性部件52被外筒体51和插入体55支承，不易从第一底板50或第二底板53脱落，此外不易破坏。

泵壳侧凸缘42经由泵壳侧筒体41固定在泵壳33上，泵壳33固定在不移动的真空室16上，所以真空室借助支承腿48设置在地板面上，马达部侧凸缘44支承的重量经由防振装置5被泵壳33支承。

马达在马达部23的内部动作时产生的振动、及因置换器的往复移动而产生的振动从马达部侧凸缘44经由防振装置5传递给泵壳侧凸缘42，而此时，振动在弹性部件52的内部进行而在第一底板50与第二底板53之间传递，所以振动在弹性部件52的内部传递的期间被弹性部件52衰减，与马达部侧凸缘44的振动相比，泵壳侧凸缘42的振动变小。

泵壳33固定在真空室16上，传递给泵壳33的振动向真空室16传递，但由于该振动被衰减，所以传递给对位装置的振动变小，能够准确地进行处理对象物12与荫罩15之间的对位。

这样，关于本发明的低温泵11，由于衰减的振动被传递给泵壳33，所以能够在真空室16内进行精密的作业。

防振装置5相对于力的力矩具有抵抗力，所以适于如上述实施例那样将防振装置5的外筒体51和插入体55的中心轴线设为水平而将马达部23等固定在泵壳33上的横型的低温泵。

附图标记说明

5 防振装置

10 真空处理装置

11 低温泵

22 冷冻机

33 泵壳

50 第一底板

51 外筒体

52 弹性部件

53 第二底板

55 插入体

Claims

1.一种低温泵，具有：

真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；

冷冻机，其以He气为冷媒；

极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；

将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；

其特征在于，

前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；

前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；

前述防振装置具有：

第一底板、第二底板；

筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；

插入体，其固定在前述第二底板上；

弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；

前述外筒体与前述插入体之间、前述外筒体与前述第二底板之间和前述第一底板与前述插入体之间分别分离而形成有间隙，在前述外筒体与前述插入体之间的间隙、前述外筒体与前述第二底板之间的间隙、和前述第一底板与前述插入体之间的间隙中，配置有弹性部件，

前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；

在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

具有：

马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；

泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；

多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。

3.一种真空处理装置，具有：

低温泵；

真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；

真空室，其安装着前述真空排气槽；

前述低温泵是以下这样的低温泵：

具有：

冷冻机，其以He气为冷媒；

该低温泵将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；

前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；

前述防振装置具有：

第一底板、第二底板；

筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；

插入体，其固定在前述第二底板上；

4.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

具有：

马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；

泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；

5.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

在前述真空室上，具有使处理对象物与荫罩对位的对位装置。

6.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

在前述真空室的内部，设有释放成膜材料的蒸气的蒸发源。

7.如权利要求6所述的真空处理装置，其特征在于，

前述成膜材料是有机物，前述成膜材料的蒸气是前述有机物的蒸气。