JPS58183878A - クライオポンプの防振機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はクライオポンプの防振機構に関するものである
。

従来、たとえば牛導体製品の麹造過娠において牛導体基
板七に薄膜を形成する場合、真空雰囲気中で作業が行わ
れる。その場合、真空雰咄気を得るためにクライオポン
プを用いて真空装置の真空槽を真空状１１Ｋしている。

ところが、従来の真空装置では、クライオポンプが真空
ＩＩＫｔ１綾取り付けられているので、クライオポンプ
の振動が真空装置全渾に伝達され、振動に起因する電気
的あるいは機械的なトラブルや異物の侵入等による弊害
が生じるという重大な問題があった。

本発明の目的は、前記従来技術の間一点を解消し、クラ
イオポンプの振動が真空装置に伝達されることな防止で
きるクライオポンプの防振機構を提供することにある。

以下、本発明な図面に示す一実施例にしたがって評ｉｉ
ｔに説明する。

図は本発明によるクライオポンプの防振機構の一実施例
を一部断面図で示す概略訳明図である。

本実施例において、真空装置の真空槽１を真空ＩＩ−気
にするためのクライオポンプ２は該真空槽ｌの儒Ｗ面に
対して伸縮性の防振ベローズ３を介して取り付けられて
いる。すなわち、真空槽１の１ｌＩＷ面には、防振ベロ
ーズ３の一端（図の左端）のフランジ４が図示しない０
１Ｊングを挾んでボルト等でメカニカルシール式に！Ｉ
ｉ定されている。また、防振ベローズ３の他端（図の右
端）の７ランジ５はクライオポンプ２のアラ／シロに対
して同じくメカニカルシール式に固定されている。

さらに、本実施例では、クライオポンプ２の周囲は防振
ゴム７（より包囲され、該防振ゴム７は支持台８の上に
支持されている。

次に、本実施例の作用について説明する。

本実施Ｎにおいては、クライオポンプ３は防振ベローズ
３を介して真空槽１０個壁ＦＩＥＫ取り付けられている
ので、クライオポンプ２の作動に伴なう振動は伸縮性の
防振ベローズ３のばね作用により吸収され、真空槽１に
は伝達されない。したがって、真空装置をクライオポン
プ２の振動に起因するトラブル、すなわちねじのゆるみ
や−物の侵入等から保睡することができる。

特に、防振ベローズ３を濱１１型の金属ベローズＱ構成
し、そのｆｇ接部分九重ね板ばねのような摩擦効果を持
たせると、クライオポンプ２の振動ヲ減衰させることが
可能である。

また、本実施例では、クライオポンプ２の外周ｍｔｐｍ
ゴム７で包囲したので、この防振ゴム７により、クライ
オポンプ２の外表面を伝搬する振動を吸収、減衰させる
こともでき、クライオポンプ２の振動な減少できる。

なお、防振ゴム７は必ずしもクライオポンプ２の全周を
包囲する必要はなく、クライオポンプ２の下牛分の外鳩
面な包囲するｗｆｉ等（することも可能である。

さらＫ、防振ベローズ３０代りｆｌばね等の他の防振手
段な用いてもよい。

以上説明したように、本発明によれば、クライオポンプ
の振動を吸収、ｔｃ食し、振動が真空装置に伝達される
ことを防止し、振動に起因するトラブルを排除すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明によるクライオボア〕の防振機構を一部断面
図で示す概略説明図である。 １・・・真空槽、２・・・クライオポンプ、３・・・防
振ベローズ％４・・・フランジ、５・フランジ、６・・
フランジ、７・・・防振ゴム、８・・・支持台。 ；、＋　・４ ′苺５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽とクライオポンプとの関に防振手段を介在さ
   せたことを特徴とするクライオポンプの防振機構。 ２、防振手段が伸縮可能なベローズよりなることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のクライオポンプの防
   振機構。 ３、クライオポンプが防振ゴムを介して支持されている
   ことを特徴とする特ｒｆｎ求の範囲第１項または１１１
   ２項記載のクライオポンプの防振機構。