SU1502889A1 - Устройство дл демпфировани колебаний в вакуумных системах - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к машиностроению, а именно к устройствам дл  демпфировани  колебаний в вакуумных системах, и может быть использовано дл  виброизол ции высокочувствительных к вибраци м приборов, в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности или электронных микроскопов. Цель изобретени  - повышение эффективности демпфировани  за счет исключени  вли ни  атмосферного давлени  на эффект демпфировани . При работе вакуум-насоса 1 виброизол ци  вместилища 7 обеспечиваетс  основным 5 и дополнительным 8 компенсаторами. Жестка  св зь обоих компенсаторов 5 и 8 посредством дистанционных стержней 12 исключает вли ние атмосферного давлени  на эффект демпфировани . 3 ил.

Description

Ю f

ел

о

00 00

//// У/ ///У/// // /-/////

Фиг.1

31502

Изобретение относитс  к машиностроению , а именно к устройствам ;uut демпфировани  колебаний в вакуумных системах, и может быть исиользо- вано дл  виброизол нии высокочувствительных к вибраци м приборов, в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности iL ui электронных микросконов.

Известно устройство дл  демпфировани  колебаний в вакуумных системах в котором между вакуум-насосом и вместилищем устанавливаетс  компенсатор . Дл  того, чтобы в высоковаку- умных услови х исключить возможность см ти  компенсатора под действием атмосферного давлени , между вакуум-насосом и вместилищем предусмотрены дистанционные стержни, последовательно по отношению к которым установлены резиновые демпфирующие элементы, нат жение которых регулируетс  в зависимости от ч астоты возбу/кдени  (проспект Turbomolekularpumpen und Zubehor - NTM 5.1,1-HV200 - часть 5 фирмы Leybold-Heraeus, Koln, 1977).

Недостатком данного устройства  вл етс  то, что в результате воздействи  атмосферного давлени  сущест- венно ограничиваетс  эффективность демпфировани .

Цель изобретени  - повышение эффективности демпфировани  за счет компенсации вли ни  атмосферного дав- Ленин на эффект демпфировани .

Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство снабжено установленным соосно с основным компенсатором до- . полнительным компенсатором с одина- ковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко св занным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или через шланговые соединени  с форвакуум-насосом , ши1 жестко св занным посредством дистанционных стержней с вмест - лищем и через шланговые соединени  вакуумно с форвакуум-насосом.

На фиг. 1 изображена схема устройства дл  демпфировани  колебаний в вакуумных системах; на фиг. 2 - св зь дополнительного компенсатора с форвакуум-насосом вакуумно через шланговые соединени ; на фиг. 3 - ,/кестка  св зь ;до1юлнительного компенсатора с вместилищем и через шланговые соединени  накуумно с форвакуум-насосом .

Устройство дл  демпфировани  колебаний в вакуумных системах состоит из вакуум-насоса 1, который через фланцевые соединени  2 и 3 вакуумно св зан с форвакуум-насосом 4 и с основным компенсатором 5. Через другое фланцевое соединение 6 компенсатора 5 подсоединено вместилище 7, дополнительный компенсатор 8 фланцевым соединением 9 так же непосредственно соединен с вместилищем 7. Компенсатор 8 через пластину 10 посредством .дистанционных стержней 12 жестко св зан с вакуум-насосом 1. Вместилище 7 через механические элементы 13 св зи и через дег-П1фирукл-1;ие элементы, например пружины 14 раст жени , св зано с основанием 15 устройства.

Вакуум-насос 1 через подпорки 24 опираетс  на основание 15 устройства

В отличие от фиг. 1 компенсатор 8 на фиг. 2 не находитс  в непосредственной вакуумной св зи с вместилищем 7. Фланец 17 компенсатора 8 (фиг. 2) пластиной 18 вакуумплотно - изолирован от вместилища 7, и через фланцевое соединение 19 вакуумпровод 20 и фланцевое соединение 21 дополнительный компенсатор 8 вакуумно св зан с форвакуум-насосом 4.

: В устройстве (фиг. 3) дополнительный компенсатор В закреплен на фланце всасывани  (фланцевого соединени  3) вакуум-насоса 1. Пластина 22, прикрепленна  к вакуум-насосу 1 посредством подпорок 24, опираетс  на основание 15 устройства и через фланцевое соединение 23 св зана с компенсатором 8. Вакуумное соединение компенсатора 8 с форвакуум-насосом 4 аналогично фиг. 2 осуществл етс  через фланцевое соединение 11, пластину 10, фланцевое соединение 19 вакуумпровод 20 и фланцевое соединение 21 . I

Устройство дл  демпфировани  колебаний работает следующим образом.

Вибрации, возникающие при работе вакуум-насоса 1, воспринимаютс  основным компенсатором 5 и дополнитель- ны1-1 компенсатором 8, что обеспечивает виброизол цию вместилища 7. При этом силы атмосферного давлени  Pj и. PJ , действующие вдоль оси симметрии устройства и имеющие одинаковую величину и противоположное направление , замыкаютс  через дистанционные стержни 12 и взаимно уничтожаютс , в результате чего устран етс  вли ние атмосферного давлени  на эффект демпфировани .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  демпфировани  колебаний в вакуумных системах, содержащее компенсатор, устанавливаемый между вакуум-насосом и вместилищем, отличающеес  тем, что.

   с целью повышени  эффективности демп- 15 i экспертизы, осуществленной Вёдом- фировани , оно снабжено установлен- ством по изобретательству Германской ным соосно с основным компенсатором Демократической Республики,

   /Т ///////////////////

   фиг. 2

   до11олнител1зным компенсатором с одинаковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко св занным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или через шланговые соединени  с форвакуум-насосом , или жестко св занным посредством дистанционных стержней с внес- тилищем и через шланговое соединение вакуумно с форвакуум-насосом.

   Признано изобретением по результа // //////////////// ,

   IS 19 фие.З

   го

   Y