JP3051498B2 - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JP3051498B2 JP3051498B2 JP3143904A JP14390491A JP3051498B2 JP 3051498 B2 JP3051498 B2 JP 3051498B2 JP 3143904 A JP3143904 A JP 3143904A JP 14390491 A JP14390491 A JP 14390491A JP 3051498 B2 JP3051498 B2 JP 3051498B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- mechanical device
- isolation table
- floor plate
- allowable value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Buildings Adapted To Withstand Abnormal External Influences (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は除振装置に係り、特に半
導体製造装置や電子顕微鏡等、設置床からの振動または
装置自身からの加振力により製品の歩留まりや測定観測
精度上に悪影響を与える設備の設置床からの振動を遮断
し、また装置自身の加振力を制振する高精度の除振装置
に関するものである。
導体製造装置や電子顕微鏡等、設置床からの振動または
装置自身からの加振力により製品の歩留まりや測定観測
精度上に悪影響を与える設備の設置床からの振動を遮断
し、また装置自身の加振力を制振する高精度の除振装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置や電子顕微鏡等
の機械装置は、設置床からの振動により製品の歩留まり
や測定観測精度上に悪影響を与えるので、設置床の振動
を遮断するために防振装置を用いている。この防振装置
としては除振台床板を防振ゴムや空気バネで支持し、設
置床の振動が除振台床板に伝わらないようにしたものが
あった。
の機械装置は、設置床からの振動により製品の歩留まり
や測定観測精度上に悪影響を与えるので、設置床の振動
を遮断するために防振装置を用いている。この防振装置
としては除振台床板を防振ゴムや空気バネで支持し、設
置床の振動が除振台床板に伝わらないようにしたものが
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のごとく、防振ゴ
ムや空気ばねを用いた除振装置においては、搭載した半
導体製造装置や電子顕微鏡等の機械装置に対し、設置床
の振動からの振動をある程度遮断することができるが、
常に除振した結果、振動レベル（絶対値）が装置の許容
値以内に抑えられているのか、いないのか観測していな
いため、もし許容値を越えている時に装置を動作させれ
ば、製品の歩留まりや測定観測精度上に悪影響を与える
ことになる。
ムや空気ばねを用いた除振装置においては、搭載した半
導体製造装置や電子顕微鏡等の機械装置に対し、設置床
の振動からの振動をある程度遮断することができるが、
常に除振した結果、振動レベル（絶対値）が装置の許容
値以内に抑えられているのか、いないのか観測していな
いため、もし許容値を越えている時に装置を動作させれ
ば、製品の歩留まりや測定観測精度上に悪影響を与える
ことになる。
【０００４】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、除振台床板に取り付けた振動検出器で床板上の振動
を常に監視して、その振動が搭載した機械装置の許容値
以内であるか否かを判断し、許容値以内である場合には
機械装置動作可能信号を出力することによって製品の歩
留まりや測定観測精度上に悪影響を与える状態を回避で
きる除振装置を提供することを目的としている。
で、除振台床板に取り付けた振動検出器で床板上の振動
を常に監視して、その振動が搭載した機械装置の許容値
以内であるか否かを判断し、許容値以内である場合には
機械装置動作可能信号を出力することによって製品の歩
留まりや測定観測精度上に悪影響を与える状態を回避で
きる除振装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の除振装置は除振台床板を懸架して、除振台
設置床からの微振動または除振台床板上の機械装置自身
からの加振力を除振するバネ作用を有する除振装置にお
いて、前記除振台に該除振台床板上の振動を検出するた
めの振動検出器を設け、該振動検出器によって検出され
た振動を常に監視して該振動が前記除振台床板上に搭載
された機械装置の許容値以内であるか否かを判断し、許
容値以内である場合のみ機械装置動作可能信号を出力す
る振動監視装置を設けたことを特徴とする除振装置を特
徴とするものである。
め、本発明の除振装置は除振台床板を懸架して、除振台
設置床からの微振動または除振台床板上の機械装置自身
からの加振力を除振するバネ作用を有する除振装置にお
いて、前記除振台に該除振台床板上の振動を検出するた
めの振動検出器を設け、該振動検出器によって検出され
た振動を常に監視して該振動が前記除振台床板上に搭載
された機械装置の許容値以内であるか否かを判断し、許
容値以内である場合のみ機械装置動作可能信号を出力す
る振動監視装置を設けたことを特徴とする除振装置を特
徴とするものである。
【０００６】
【作用】前述した構造からなる本発明によれば、除振台
に取付けられた振動検出器から台上の振動を検出し、振
動が機械装置の振動許容値以内に収まっていれば動作可
能信号を出力し、この動作可能信号が出力された時だけ
機械装置を動作させる。もし、許容値を越えていれば信
号は出力されないので、機械装置は停止する。従って、
機械装置はこの動作可能信号の有無によって動作するこ
とになり、常に台上の振動が許容値内に収まった環境で
動作することになる。
に取付けられた振動検出器から台上の振動を検出し、振
動が機械装置の振動許容値以内に収まっていれば動作可
能信号を出力し、この動作可能信号が出力された時だけ
機械装置を動作させる。もし、許容値を越えていれば信
号は出力されないので、機械装置は停止する。従って、
機械装置はこの動作可能信号の有無によって動作するこ
とになり、常に台上の振動が許容値内に収まった環境で
動作することになる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る除振装置の一実施例を添
付図面を参照して説明する。
付図面を参照して説明する。
【０００８】図１は本発明による除振装置システムを表
した図である。
した図である。
【０００９】半導体製造装置や電子顕微鏡等の機械装置
２は除振台１に搭載され、この機械装置２は機械装置コ
ントローラ３に接続されていて、この機械装置コントロ
ーラ３によって制御されるようになっている。除振台１
は振動検出器Ｓを備えている。
２は除振台１に搭載され、この機械装置２は機械装置コ
ントローラ３に接続されていて、この機械装置コントロ
ーラ３によって制御されるようになっている。除振台１
は振動検出器Ｓを備えている。
【００１０】また、機械装置２及び除振台１に隣接して
振動監視装置４が設けられており、前記振動検出器Ｓに
よって検出された除振台上の振動は常に振動監視装置４
（能動形の除振台はコントローラ内）で観測するように
なっている。また、振動監視装置４は機械装置コントロ
ーラ３に接続されている。
振動監視装置４が設けられており、前記振動検出器Ｓに
よって検出された除振台上の振動は常に振動監視装置４
（能動形の除振台はコントローラ内）で観測するように
なっている。また、振動監視装置４は機械装置コントロ
ーラ３に接続されている。
【００１１】次に、前述にように構成された除振装置の
動作を振動監視フローチャートを示す図２を参照して説
明する。
動作を振動監視フローチャートを示す図２を参照して説
明する。
【００１２】除振台１に取付けられた振動検出器Ｓによ
って除振台１の振動を検出し検出信号を振動監視装置４
に送る（ステップ１）。振動Ｘが機械装置２の振動許容
値内か否かを判断する（ステップ２）。振動が機械装置
２の振動許容値内に収まっていれば動作可能信号を機械
装置コントローラ３に送る（ステップ３）。そして、こ
の動作可能信号が送られてきた時だけ機械装置２を動作
させる。もし、許容値を越えていれば動作可能信号は送
られてこないので、機械装置２は停止する。従って、機
械装置２はこの動作可能信号の有無によって動作するこ
とになり、常に除振台１上の振動が許容値内に収まった
環境で動作することになる。
って除振台１の振動を検出し検出信号を振動監視装置４
に送る（ステップ１）。振動Ｘが機械装置２の振動許容
値内か否かを判断する（ステップ２）。振動が機械装置
２の振動許容値内に収まっていれば動作可能信号を機械
装置コントローラ３に送る（ステップ３）。そして、こ
の動作可能信号が送られてきた時だけ機械装置２を動作
させる。もし、許容値を越えていれば動作可能信号は送
られてこないので、機械装置２は停止する。従って、機
械装置２はこの動作可能信号の有無によって動作するこ
とになり、常に除振台１上の振動が許容値内に収まった
環境で動作することになる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の除振装置
によれば、除振台上に搭載した機械装置は振動監視装置
からの機械装置動作可能信号の有無によって動作し、常
に台上の振動が許容値内に収まった環境で機械装置が動
作することになる。よって製品の歩留まりや測定観測精
度上に悪影響を与える状態を回避することができる。
によれば、除振台上に搭載した機械装置は振動監視装置
からの機械装置動作可能信号の有無によって動作し、常
に台上の振動が許容値内に収まった環境で機械装置が動
作することになる。よって製品の歩留まりや測定観測精
度上に悪影響を与える状態を回避することができる。
【図１】本発明に係る除振装置の一実施例を示す基本構
成図。
成図。
【図２】本発明に係る除振装置における振動監視フロー
チャート。
チャート。
１ 除振台 ２ 機械装置 ３ 機械装置コントローラ ４ 振動監視装置（除振台コントローラ） Ｓ 振動検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−48038（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−30943（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−59036（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16F 15/00 - 15/32 B23Q 11/00 G01H 1/00 G01H 17/00
Claims (1)
- 【請求項１】 除振台床板を懸架して、除振台設置床か
らの微振動または除振台床板上の機械装置自身からの加
振力を除振するバネ作用を有する除振装置において、前
記除振台に該除振台床板上の振動を検出するための振動
検出器を設け、該振動検出器によって検出された振動を
常に監視して該振動が前記除振台床板上に搭載された機
械装置の許容値以内であるか否かを判断し、許容値以内
である場合のみ機械装置動作可能信号を出力する振動監
視装置を設けたことを特徴とする除振装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3143904A JP3051498B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 除振装置 |
| US07/885,451 US5385217A (en) | 1991-05-20 | 1992-05-19 | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor |
| EP92108535A EP0514877B1 (en) | 1991-05-20 | 1992-05-20 | Vibration eliminating apparatus for eliminating vibration of installation floor |
| DE69207950T DE69207950T2 (de) | 1991-05-20 | 1992-05-20 | Apparat zur Unterdrückung von Schwingungen an einem Befestigungsuntergrund |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3143904A JP3051498B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 除振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126205A JPH05126205A (ja) | 1993-05-21 |
| JP3051498B2 true JP3051498B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=15349781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3143904A Expired - Fee Related JP3051498B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051498B2 (ja) |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP3143904A patent/JP3051498B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05126205A (ja) | 1993-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100331 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110331 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |