JP5094692B2 - 真空で使用する防振装置 - Google Patents
真空で使用する防振装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5094692B2 JP5094692B2 JP2008314116A JP2008314116A JP5094692B2 JP 5094692 B2 JP5094692 B2 JP 5094692B2 JP 2008314116 A JP2008314116 A JP 2008314116A JP 2008314116 A JP2008314116 A JP 2008314116A JP 5094692 B2 JP5094692 B2 JP 5094692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pressure
- fluid
- vibration isolator
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/02—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum
- F16F9/04—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using gas only or vacuum in a chamber with a flexible wall
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F2230/00—Purpose; Design features
- F16F2230/30—Sealing arrangements
Description
2 ベース
3 プレート
4 ばね
5 伸縮ベローズ
6 冷却水入口
7 冷却水出口
8 送気部
9 センサの端子
10 アクチュエータの端子
11 モータ
12 センサモジュール
13 シール
14 シール
15 受振器
Claims (15)
- 真空チャンバ内に配置されて使用される防振装置であって、
前記真空チャンバに対して流体密のチャンバを有する空気ばねと、
真空側に配置される真空側のシールと前記流体密のチャンバ側に配置される圧力側シールとの少なくとも2つのシールと、
前記真空側シールと前記圧力側シールとの間の空間に接続される流体ラインと、を有し、
前記流体密のチャンバは、前記真空チャンバの内壁を構成するベースに対して前記真空側シール及び前記圧力側シールと共に取付けられる伸縮ベローズを有し、
前記空間の圧力は前記流体ラインを介して前記流体密のチャンバ内の圧力よりも低圧に設定され、
前記圧力側シールは高差圧用であって低差圧用の前記真空側シールの漏洩量に対して漏洩量が高くなるよう設定されることを特徴とする防振装置。 - 前記空間内の圧力は、前記流体ラインを介して低下させられ、前記真空チャンバの圧力より0.6バール以上高圧に設定されることを特徴とする、請求項1に記載の防振装置。
- 前記空間内の圧力は、前記流体ラインを介して低下させられ、前記流体密のチャンバ内の圧力より1バール以上低い圧力を生じさせることを特徴とする、請求項1又は2に記載の防振装置。
- 真空チャンバ内に配置されて使用される防振装置であって、
前記真空チャンバに対して流体密のチャンバを有する少なくとも1つの空気ばねを備え、
少なくとも1つの電気モジュール、1つの機械ばね若しくは磁気ばね、及び少なくとも1つの流体入口が前記流体密のチャンバ内に配置され、
前記流体密のチャンバは、前記真空チャンバの内壁を構成するベースに対して前記真空側シール及び前記圧力側シールと共に取付けられる伸縮ベローズを有し、
前記圧力側シールは高差圧用であって低差圧用の前記真空側シールの漏洩量に対して漏洩量が高くなるよう設定される、真空で使用する防振装置。 - 前記電気モジュールはセンサを含むことを特徴とする、請求項4に記載の防振装置。
- 前記電気モジュールはアクチュエータを含むことを特徴とする、請求項4に記載の防振装置。
- 前記電気モジュールはモータ又は電磁石を含むことを特徴とする、請求項4〜6のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記ばねは板ばねを含むことを特徴とする、請求項4〜7のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記流体密のチャンバは、前記流体密のチャンバの周囲をシールする前記圧力側シールと、前記圧力側シールの周囲に前記空間を形成する前記真空側シールと、により前記真空チャンバに対してシールされ、前記空間に対して0.3バールを超える過剰圧力が前記流体密のチャンバ内に広がることを特徴とする、請求項4〜8のいずれか一項に記載の防振装置。
- 大気圧に対して0.5バール〜15バールの過剰圧力が前記流体密のチャンバ内に広がることを特徴とする、請求項4〜9のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記防振装置は冷却水又は冷却空気用の流体入口を有し、前記流体密のチャンバ内に配置されている電気モジュールが前記流体によって少なくとも部分的に冷却されることができることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記防振装置はエアマウント(pneumatic mount)として、垂直方向及び水平方向に有効なエアマウントとして構成されることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の防振装置。
- 1つ又は複数の防振装置が前記真空チャンバ内に配置される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の少なくとも1つの防振装置を有する構成。
- 単一の前記真空チャンバ及び前記防振装置は、前記流体密のチャンバへの前記流体を供給するための流体フィードスルーを有することを特徴とする、請求項13に記載の構成。
- 単一の前記真空チャンバ及び前記防振装置は、前記流体密のチャンバへの電流を供給するための電気フィードスルーを有することを特徴とする、請求項13又は14に記載の構成。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007059631.8 | 2007-12-10 | ||
DE102007059631A DE102007059631B4 (de) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | Schwingungsisolator zur Verwendung im Vakuum |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009197998A JP2009197998A (ja) | 2009-09-03 |
JP5094692B2 true JP5094692B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=40380051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008314116A Active JP5094692B2 (ja) | 2007-12-10 | 2008-12-10 | 真空で使用する防振装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8387958B2 (ja) |
EP (1) | EP2071211B1 (ja) |
JP (1) | JP5094692B2 (ja) |
DE (1) | DE102007059631B4 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2730801A1 (de) | 2012-11-07 | 2014-05-14 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Als pneumatische Feder ausgebildeter Schwingungsisolator sowie Verfahren zur Abstimmung eines Schwingungsisolators |
EP2772661B1 (de) | 2013-02-28 | 2020-04-01 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Verfahren zur dimensionierung eines schwingungsisolators |
EP3181944B1 (de) | 2015-12-16 | 2023-04-26 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Schwingungsisolator mit einer vertikal wirksamen pneumatischen feder |
DE102016110667A1 (de) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | Eto Magnetic Gmbh | Dämpfungsvorrichtung und Verfahren mit einer Dämpfungsvorrichtung |
EP3260732B1 (de) * | 2016-06-23 | 2019-03-27 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Pneumatischer aktor sowie verfahren zum betrieb eines aktiven schwingungsisolationssystem |
EP3260733B1 (de) | 2016-06-23 | 2019-08-07 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Aktives stationäres schwingungsisolationssystem |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5060959A (en) * | 1988-10-05 | 1991-10-29 | Ford Motor Company | Electrically powered active suspension for a vehicle |
US5285699A (en) * | 1988-12-07 | 1994-02-15 | Board Of Regents, University Of Texas System | Reinforced composite flywheels and shafts |
JP3042763B2 (ja) * | 1995-10-04 | 2000-05-22 | 株式会社荏原製作所 | 除振装置 |
KR100522886B1 (ko) | 1997-07-22 | 2005-10-19 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 가스베어링을 구비한 지지장치 |
US7095482B2 (en) * | 2001-03-27 | 2006-08-22 | Nikon Corporation | Multiple system vibration isolator |
US6731372B2 (en) * | 2001-03-27 | 2004-05-04 | Nikon Corporation | Multiple chamber fluid mount |
TWI230844B (en) | 2002-06-07 | 2005-04-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2004071818A (ja) | 2002-08-06 | 2004-03-04 | Nikon Corp | 支持装置およびステージ装置並びに露光装置 |
US20040032064A1 (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | Jackson James Joshua | Tunable pneumatic mount |
JP2004124745A (ja) | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Mazda Motor Corp | ターボ過給機付エンジン |
JP2005106166A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Nikon Corp | アクティブ除振装置及び露光装置 |
JP2005282696A (ja) | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Canon Inc | 除振マウント装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
IL161900A (en) * | 2004-05-09 | 2011-01-31 | Rami Ben Maimon | Vibration reliever for vacuum pump |
EP1751621A2 (en) * | 2004-05-14 | 2007-02-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A vibration damper or isolator |
JP2006283966A (ja) | 2005-03-10 | 2006-10-19 | Kurashiki Kako Co Ltd | アクティブ除振装置 |
EP1744215B1 (en) | 2005-07-16 | 2012-09-12 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Supporting device for supporting vibration sensitive components |
EP1803963B1 (de) | 2005-12-30 | 2009-08-26 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Hybrides Steifigkeitsmodul zur Schwingungsisolation |
-
2007
- 2007-12-10 DE DE102007059631A patent/DE102007059631B4/de active Active
-
2008
- 2008-12-04 EP EP08021035.4A patent/EP2071211B1/de active Active
- 2008-12-08 US US12/330,192 patent/US8387958B2/en active Active
- 2008-12-10 JP JP2008314116A patent/JP5094692B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102007059631A1 (de) | 2009-06-25 |
EP2071211B1 (de) | 2018-01-24 |
US8387958B2 (en) | 2013-03-05 |
DE102007059631B4 (de) | 2009-09-17 |
JP2009197998A (ja) | 2009-09-03 |
US20090146352A1 (en) | 2009-06-11 |
EP2071211A2 (de) | 2009-06-17 |
EP2071211A3 (de) | 2013-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5094692B2 (ja) | 真空で使用する防振装置 | |
JP5230938B2 (ja) | ターボ分子真空ポンプ | |
KR19980024198A (ko) | 진동 절연 장치 | |
KR101848528B1 (ko) | 진공 펌프 | |
US20130189090A1 (en) | Vacuum pump | |
US10634210B2 (en) | Isolator for a stationary vibration isolation system | |
JP2014011120A (ja) | 電気フィードスルー、真空ポンプおよびプリント基板 | |
JP2010050114A (ja) | 精密微動位置決めユニット及びそれを備えたステージ装置 | |
JP2009074469A (ja) | インバータ一体型電動圧縮機 | |
JP2009052837A (ja) | 空気調和機の室外機防振装置 | |
JP5084544B2 (ja) | 除振装置 | |
CN115165275A (zh) | 一种四综合试验系统 | |
JP2003130128A (ja) | 能動除振装置 | |
JP7244328B2 (ja) | 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置 | |
CN211930961U (zh) | 电路板及电路板装置 | |
CN216215323U (zh) | 控制电箱 | |
JP2005036838A (ja) | 複合アクチュエータ | |
JP2018132146A (ja) | ブリーザ装置およびブリーザホース | |
JP2009174561A (ja) | 除振装置 | |
JP2018156995A (ja) | 制御装置、該制御装置に搭載された基板、及び該制御装置が適用された真空ポンプ | |
JP2005016537A (ja) | マウント装置および露光装置 | |
JP2005123256A (ja) | ステージ装置 | |
JPH10205578A (ja) | 除振台装置 | |
JPS6041519A (ja) | 測定室及びその他の敏感な構造要素を汚染及び腐食から保護するための方法及び装置 | |
JP2010008129A (ja) | サーマルチャンバ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101122 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110221 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110629 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110929 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120706 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5094692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |