JP2009197998A - 真空で使用する防振装置 - Google Patents
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- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
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Abstract
【解決手段】真空で使用する防振装置1であって、本質的に流体密のチャンバを有するばねを備え、流体密のチャンバは、順次に配置される少なくとも2つのシールによってシールされ、少なくとも1つの流体ラインがシール間にもたらされ、流体ラインによって流体密のチャンバに対して低い圧力を生じさせることができる、真空で使用する防振装置1。
【選択図】図3
Description
2 ベース
3 プレート
4 ばね
5 伸縮ベローズ
6 冷却水入口
7 冷却水出口
8 送気部
9 センサの端子
10 アクチュエータの端子
11 モータ
12 センサモジュール
13 シール
14 シール
15 受振器
Claims (15)
- 真空で使用する防振装置であって、
本質的に流体密のチャンバを有するばねを備え、
前記本質的に流体密のチャンバは、順次に配置される少なくとも2つのシールによってシールされ、少なくとも1つの流体ラインが前記シール間にもたらされ、該流体ラインによって前記流体密のチャンバに対して低い圧力を生じさせることができる、真空で使用する防振装置。 - 周囲の体積、特に周囲の真空の圧力よりも最大0.6バール、有利には0.4バール、特に好ましくは最大0.1バールだけ高い低圧を、1つ又は複数の前記流体ラインを介して生じさせることができることを特徴とする、請求項1に記載の防振装置。
- 前記流体密のチャンバ内の圧力よりも少なくとも1バール、有利には少なくとも3バール、特に好ましくは少なくとも5バールだけ低い低圧を、1つ又は複数の前記流体ラインを介して生じさせることができることを特徴とする、請求項1又は2に記載の防振装置。
- 真空で使用する防振装置であって、
本質的に流体密のチャンバを有する少なくとも1つのばねを備え、
少なくとも1つの電気モジュール、1つの電子モジュール、1つの機械ばね若しくは磁気ばね、及び/又は少なくとも1つの流体入口が前記流体密のチャンバ内に配置される、真空で使用する防振装置。 - 前記電子モジュールはセンサを含むことを特徴とする、請求項1に記載の防振装置。
- 前記電子モジュールはアクチュエータを含むことを特徴とする、請求項1に記載の防振装置。
- 前記電気モジュールはモータ又は電磁石を含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記機械ばねは板ばねを含むことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の防振装置。
- 周囲に対して0.3バールを超える、有利には0.8バールを超える、特に好ましくは1バールを超える過剰圧力が前記流体密のチャンバ内に広がることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の防振装置。
- 気圧に対して0.5バール〜15バール、好ましくは1バール〜10バール、特に好ましくは5バール〜8バールの過剰圧力が前記流体密のチャンバ内に広がることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記防振装置は特に冷却水又は冷却空気用の流体入口を有し、前記流体密のチャンバ内に配置されている電気モジュール又は電子モジュールが前記流体によって少なくとも部分的に冷却されることができることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の防振装置。
- 前記防振装置はエアマウント(pneumatic mount)として、特に、垂直方向及び水平方向に有効なエアマウントとして構成されることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の防振装置。
- 1つ又は複数の防振装置が真空チャンバ内に配置される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の少なくとも1つの防振装置を有する構成。
- 前記真空チャンバ及び/又は前記防振装置は、前記流体密のチャンバへの流体フィードスルーを有することを特徴とする、請求項13に記載の構成。
- 前記真空チャンバ及び/又は前記防振装置は、前記流体密のチャンバへの電気フィードスルーを有することを特徴とする、請求項13又は14に記載の構成。
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