JP7428702B2 - クライオポンプおよび極低温冷凍機防振構造 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- クライオポンプ真空容器と、
極低温冷凍機と、
前記クライオポンプ真空容器に固定された第1フランジと、
前記極低温冷凍機に固定され、前記第1フランジと気密に接続された第2フランジと、
前記第1フランジから前記第2フランジに向かって、第1環状防振材料、第1環状支持部材、中間環状防振材料、第2環状支持部材、第2環状防振材料がこの記載の順に配置された環状積層防振体と、を備え、
前記第1フランジおよび前記第2環状支持部材が前記第2フランジおよび前記第1環状支持部材から振動絶縁されるように、前記第2環状支持部材が前記第1フランジに固定されるとともに前記第1環状支持部材が前記第2フランジに固定されていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記第1フランジと前記第2環状支持部材との間に前記第1環状防振材料、前記第1環状支持部材、前記中間環状防振材料を挟み込んで保持するように前記第2環状支持部材を前記第1フランジに固定する第1締結部材と、
前記第2フランジと前記第1環状支持部材との間に前記中間環状防振材料、前記第2環状支持部材、前記第2環状防振材料を挟み込んで保持するように前記第1環状支持部材を前記第2フランジに固定する第2締結部材と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 前記第1締結部材は、前記第1環状支持部材および前記第2フランジとは非接触に配置され、
前記第2締結部材は、前記第2環状支持部材および前記第1フランジとは非接触に配置されることを特徴とする請求項2に記載のクライオポンプ。 - 前記第1環状支持部材は、前記第1締結部材よりも大径の第1挿通孔を有し、
前記第2環状支持部材は、前記第2締結部材よりも大径の第2挿通孔を有することを特徴とする請求項2または3に記載のクライオポンプ。 - 前記中間環状防振材料は、前記環状積層防振体の中心軸方向において前記第1環状防振材料に比べて厚いことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記第1フランジと前記第2フランジの間には真空シール部が形成され、前記環状積層防振体は、前記真空シール部の径方向外側に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記第1フランジは、第1フランジ筒部を有し、前記第2フランジは、第2フランジ筒部を有し、前記第1フランジ筒部と前記第2フランジ筒部のうち一方が他方に挿入され、
前記真空シール部は、前記第1フランジ筒部と前記第2フランジ筒部の間に配置されたシール部材を備えることを特徴とする請求項6に記載のクライオポンプ。 - 前記真空シール部としてのベローズをさらに備え、前記第1フランジと前記第2フランジが前記ベローズで接続されていることを特徴とする請求項6に記載のクライオポンプ。
- 前記環状積層防振体は、互いに環状に結合され、または環状に並べられて、前記環状積層防振体を形成する複数の部分からなることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 真空容器と極低温冷凍機との間に装着される極低温冷凍機防振構造であって、
前記真空容器に固定される第1フランジと、
前記極低温冷凍機に固定され、前記第1フランジと気密に接続された第2フランジと、
前記第1フランジから前記第2フランジに向かって、第1環状防振材料、第1環状支持部材、中間環状防振材料、第2環状支持部材、第2環状防振材料がこの記載の順に配置された環状積層防振体と、を備え、
前記第1フランジおよび前記第2環状支持部材が前記第2フランジおよび前記第1環状支持部材から振動絶縁されるように、前記第2環状支持部材が前記第1フランジに固定されるとともに前記第1環状支持部材が前記第2フランジに固定されていることを特徴とする極低温冷凍機防振構造。 - 前記第1フランジと前記第2環状支持部材との間に前記第1環状防振材料、前記第1環状支持部材、前記中間環状防振材料を挟み込んで保持するように前記第2環状支持部材を前記第1フランジに固定する第1締結部材と、
前記第2フランジと前記第1環状支持部材との間に前記中間環状防振材料、前記第2環状支持部材、前記第2環状防振材料を挟み込んで保持するように前記第1環状支持部材を前記第2フランジに固定する第2締結部材と、をさらに備えることを特徴とする請求項10に記載の極低温冷凍機防振構造。 - 前記第1締結部材は、前記第1環状支持部材および前記第2フランジとは非接触に配置され、
前記第2締結部材は、前記第2環状支持部材および前記第1フランジとは非接触に配置されることを特徴とする請求項11に記載の極低温冷凍機防振構造。 - 真空容器と極低温冷凍機との間に装着される極低温冷凍機防振構造であって、
前記真空容器に固定される第1フランジと、
前記極低温冷凍機に固定され、前記第1フランジと気密に接続された第2フランジと、
前記第1フランジから前記第2フランジに向かって、第1防振材料、第1支持部材、中間防振材料、第2支持部材、第2防振材料がこの記載の順に配置された積層防振体と、
前記第2支持部材を前記第1フランジに固定する第1固定部材であって、前記第1防振材料および前記中間防振材料を支持する第1支持構造を、前記第1フランジおよび前記第2支持部材とともに形成する第1固定部材と、
前記第1支持部材を前記第2フランジに固定する第2固定部材であって、前記中間防振材料および前記第2防振材料を支持する第2支持構造を、前記第2フランジおよび前記第1支持部材とともに形成する第2固定部材と、を備え、
前記第1支持構造と前記第2支持構造とは、前記第1防振材料、前記中間防振材料、および前記第2防振材料によって互いに振動絶縁されていることを特徴とする極低温冷凍機防振構造。 - 前記第1固定部材は、前記第1支持部材および前記第2フランジとは非接触に配置され、
前記第2固定部材は、前記第2支持部材および前記第1フランジとは非接触に配置されることを特徴とする請求項13に記載の極低温冷凍機防振構造。 - 前記第1固定部材は、前記第1フランジと前記第2支持部材との間に前記第1防振材料、前記第1支持部材、前記中間防振材料を挟み込んで保持するように前記第2支持部材を前記第1フランジに固定する第1締結部材を備え、
前記第2固定部材は、前記第2フランジと前記第1支持部材との間に前記中間防振材料、前記第2支持部材、前記第2防振材料を挟み込んで保持するように前記第1支持部材を前記第2フランジに固定する第2締結部材を備えることを特徴とする請求項13または14に記載の極低温冷凍機防振構造。 - 前記第1フランジと前記第2フランジの間には真空シール部が形成され、前記積層防振体は、前記真空シール部の径方向外側に配置されていることを特徴とする請求項13から15のいずれかに記載の極低温冷凍機防振構造。
- 前記第1フランジは、第1フランジ筒部を有し、前記第2フランジは、第2フランジ筒部を有し、前記第1フランジ筒部と前記第2フランジ筒部のうち一方が他方に挿入され、
前記真空シール部は、前記第1フランジ筒部と前記第2フランジ筒部の間に配置されたシール部材を備えることを特徴とする請求項16に記載の極低温冷凍機防振構造。 - 前記真空シール部としてのベローズをさらに備え、前記第1フランジと前記第2フランジが前記ベローズで接続されていることを特徴とする請求項16に記載の極低温冷凍機防振構造。
- 複数の積層防振体が、互いに環状に結合され、または環状に並べられていることを特徴とする請求項13から18のいずれかに記載の極低温冷凍機防振構造。
- 請求項13から19のいずれかに記載の極低温冷凍機防振構造と、
クライオポンプ真空容器と、
極低温冷凍機と、を備え、
前記第1フランジは、前記クライオポンプ真空容器に固定され、前記第2フランジは、前記極低温冷凍機に固定されていることを特徴とするクライオポンプ。
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