TWI733357B - 低溫泵及極低溫冷凍機防振結構 - Google Patents

低溫泵及極低溫冷凍機防振結構 Download PDF

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Abstract

低溫泵(10)具備：低溫泵真空容器(12)；極低溫冷凍機(14)；第1凸緣(28)，固定於低溫泵真空容器(12)；第2凸緣(30)，固定於極低溫冷凍機(14)且與第1凸緣(28)氣密地連接；及環狀積層防振體(32)，從第1凸緣(28)朝向第2凸緣(30)依序配置有第1環狀防振材料(38)、第1環狀支撐構件(40)、中間環狀防振材料(42)、第2環狀支撐構件(44)及第2環狀防振材料(46)。以使第1凸緣(28)及第2環狀支撐構件(44)與第2凸緣(30)及第1環狀支撐構件(40)隔振的方式將第2環狀支撐構件(44)固定於第1凸緣(28)並將第1環狀支撐構件(40)固定於第2凸緣(30)。

Description

低溫泵及極低溫冷凍機防振結構
本申請案係主張基於2019年04月02日申請之日本專利申請第2019-070799號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。 本發明係有關一種低溫泵及極低溫冷凍機防振結構。
低溫泵係將氣體分子藉由凝結或吸附捕集到被冷卻至極低溫之低溫板而排出之真空泵。低溫泵例如設置於進行半導體電路製造程序等的真空程序之真空程序裝置中而提供真空環境。 [先前技術文獻]
[專利文獻1] 日本特開2017-193993號公報
低溫泵為了冷卻低溫板而具備極低溫冷凍機。極低溫冷凍機構成為在內部使冷媒氣體的壓力週期性地變動，這樣的壓力變動可能使極低溫冷凍機振動。又，例如吉福德-麥克馬洪(Gifford-McMahon；GM)冷凍機那樣，若組裝有置換器等的可動構件和其驅動源，則其等亦會使極低溫冷凍機振動。由極低溫冷凍機產生之振動能夠透過低溫泵傳遞至真空程序裝置。振動可能成為對真空程序的品質帶來影響之一個因素。
[發明所欲解決之問題]
本發明的一態樣的例示性目的之一為降低從極低溫冷凍機向其他機器傳遞之振動。 [解決問題之技術手段]
依本發明的一態樣，低溫泵具備：低溫泵真空容器；極低溫冷凍機；第1凸緣，固定於低溫泵真空容器；第2凸緣，固定於極低溫冷凍機且與第1凸緣氣密地連接；及環狀積層防振體，從第1凸緣朝向第2凸緣依序配置有第1環狀防振材料、第1環狀支撐構件、中間環狀防振材料、第2環狀支撐構件及第2環狀防振材料。以使第1凸緣及第2環狀支撐構件與第2凸緣及第1環狀支撐構件隔振的方式將第2環狀支撐構件固定於第1凸緣並將第1環狀支撐構件固定於第2凸緣。
依本發明的一態樣，極低溫冷凍機防振結構具備：第1凸緣；第2凸緣，與第1凸緣氣密地連接；及環狀積層防振體，從第1凸緣朝向第2凸緣依序配置有第1環狀防振材料、第1環狀支撐構件、中間環狀防振材料、第2環狀支撐構件及第2環狀防振材料。以使第1凸緣及第2環狀支撐構件與第2凸緣及第1環狀支撐構件隔振的方式將第2環狀支撐構件固定於第1凸緣並將第1環狀支撐構件固定於第2凸緣。
依本發明的一態樣，極低溫冷凍機防振結構具備：第1凸緣；第2凸緣，與第1凸緣氣密地連接；積層防振體，從第1凸緣朝向第2凸緣依序配置有第1防振材料、第1支撐構件、中間防振材料、第2支撐構件及第2防振材料；第1固定構件，係將第2支撐構件固定於第1凸緣，並與第1凸緣及第2支撐構件一同形成支撐第1防振材料及中間防振材料之第1支撐結構；及第2固定構件，其將第1支撐構件固定於第2凸緣，並與第2凸緣及第1支撐構件一同形成支撐中間防振材料及第2防振材料之第2支撐結構。第1支撐結構與第2支撐結構，係藉由第1防振材料、中間防振材料及第2防振材料彼此隔振。
另外，在方法、裝置、系統等之間相互置換以上構成要件的任意組合或本發明的構成要件或表述之內容，作為本發明的態樣亦同樣有效。 [發明之效果]
依本發明，能夠降低從極低溫冷凍機向其他機器傳遞之振動。
以下，參閱圖式對本發明的實施形態進行詳細說明。在說明及圖式中，對相同或等同的構成要件、構件、處理標註相同的符號並適當省略重複說明。為了便於說明，適當設定圖示之各部的比例尺或形狀，除非特別指明，否則為非限定性解釋。實施形態係例示，並不對本發明的範圍做任何限定。實施形態中所記述之所有特徵或其組合未必係發明的本質者。
圖1係概略地表示實施形態之低溫泵10之圖。低溫泵10安裝於例如離子植入裝置、濺鍍裝置、蒸鍍裝置或其他真空程序裝置的真空腔室，用於將真空腔室內部的真空度提高至所期望的真空程序中所要求之等級。
低溫泵10具備低溫泵真空容器12、極低溫冷凍機14、防振結構16、第1段低溫板18及第2段低溫板20。
詳細內容在後面進行敘述，極低溫冷凍機14透過防振結構16安裝於低溫泵真空容器12，藉此，使低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14隔振。
低溫泵真空容器12具備：具有進氣口凸緣22之真空容器本體12a和具有真空容器凸緣24之冷凍機收容筒12b。真空容器本體12a係其一端作為低溫泵進氣口10a開放且另一端封閉之筒(例如圓筒)，進氣口凸緣22以包圍低溫泵進氣口10a之方式設置於真空容器本體12a。通常，進氣口凸緣22安裝於閘閥。真空程序裝置的真空腔室的氣體通過閘閥及低溫泵進氣口10a進入低溫泵10內。由於圖示之低溫泵10係所謂的臥式低溫泵，因此冷凍機收容筒12b係兩端開放之筒(例如圓筒)，其一端與形成於真空容器本體12a的側面之冷凍機插穿孔接合，另一端設置有真空容器凸緣24。
另外，低溫泵10亦可以係所謂的立式，在該情況下，真空容器本體12a不是在側面而在底面具有冷凍機插穿孔，冷凍機收容筒12b在真空容器本體12a的底面與冷凍機插穿孔接合。
極低溫冷凍機14具備室溫部14a、第1冷卻台14b及第2冷卻台14c，其係插穿防振結構16及冷凍機收容筒12b而插入到真空容器本體12a內。室溫部14a位於低溫泵真空容器12外。另一方面，第1冷卻台14b及第2冷卻台14c位於低溫泵真空容器12中。例如，第1冷卻台14b位於冷凍機收容筒12b的內部空間，第2冷卻台14c位於真空容器本體12a的內部空間。第1冷卻台14b可以位於冷凍機收容筒12b與真空容器本體12a的接合部附近。作為一例，極低溫冷凍機14係二段式GM冷凍機，但亦可以係脈管冷凍機等的其他極低溫冷凍機。
第1段低溫板18係與第1冷卻台14b熱耦合，並配置於真空容器本體12a內。第1段低溫板18構成為，以不與低溫泵真空容器12接觸的方式藉由第1冷卻台14b支撐。第1段低溫板18亦稱為放射屏蔽件，在許多情況下，具有直徑比真空容器本體12a的直徑稍微小的筒型形狀。第1段低溫板18亦可以與放射屏蔽件熱耦合，並且具有配置於低溫泵進氣口10a或其附近之例如板狀(例如圓板狀)或百葉形狀的進氣口低溫板。
第2段低溫板20係與第2冷卻台14c熱耦合，並配置於真空容器本體12a內。第2段低溫板20構成為，以不與第1段低溫板18接觸的方式藉由第2冷卻台14c支撐。第2冷卻台14c及第2段低溫板20被第1段低溫板18包圍。
第1段低溫板18及第2段低溫板20的配置或形狀並不限定於圖示之特定的結構，能夠適當採用各種公知的結構。
第1段低溫板18藉由第1冷卻台14b冷卻至第1冷卻溫度，第2段低溫板20藉由第2冷卻台14c冷卻至第2冷卻溫度。第2冷卻溫度低於第1冷卻溫度。第1冷卻溫度可以在例如約65～120K、或約80～100K的範圍內。第2冷卻溫度可以在約10～20K的範圍內。
因此，在第1段低溫板18上凝結有例如水蒸氣等的在第1冷卻溫度下蒸氣壓(例如10-8 Pa以下等)充分低的氣體(亦稱為第1型氣體)。在第2段低溫板20上凝結有例如氬、氮、氧等的在第2冷卻溫度下蒸氣壓充分低的氣體(亦稱為第2型氣體)。在第2段低溫板20上亦可以設置有活性碳等的吸附材料，在此情況下，在吸附材料上吸附有例如氫等的即使在第2冷卻溫度下蒸氣壓亦不會充分低的氣體(亦稱為第3型氣體)。如此，低溫泵10藉由凝結或吸附而排出各種氣體，能夠提供所期望的真空環境。
極低溫冷凍機14的室溫部14a具有冷凍機凸緣26。在典型的低溫泵中，能夠將冷凍機凸緣26緊固於真空容器凸緣24，藉此將極低溫冷凍機14安裝於低溫泵真空容器12。但是，在本實施形態之低溫泵10中，防振結構16將冷凍機凸緣26連接於真空容器凸緣24。極低溫冷凍機14透過防振結構16安裝於低溫泵真空容器12。因此，極低溫冷凍機14未直接安裝於低溫泵真空容器12。
防振結構16具備第1凸緣28、第2凸緣30及配置於第1凸緣28與第2凸緣30之間之環狀積層防振體32。環狀積層防振體32具備第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40、中間環狀防振材料42、第2環狀支撐構件44及第2環狀防振材料46。
第1凸緣28係安裝於真空容器凸緣24，並固定於低溫泵真空容器12。例如，第1凸緣28藉由多個第1緊固螺栓34與真空容器凸緣24緊固。第2凸緣30係安裝於冷凍機凸緣26，並固定於極低溫冷凍機14的室溫部14a。例如，第2凸緣30藉由多個第2緊固螺栓36與冷凍機凸緣26緊固。
在圖示之例子中，真空容器凸緣24及冷凍機凸緣26均具有圓環形狀，因此防振結構16亦具有圓環形狀。但是，當安裝有防振結構16之凸緣具有例如矩形等的其他形狀時，防振結構16亦可以具有例如方筒形狀等的其他形狀。
圖2係概略地表示實施形態之防振結構16之分解圖。圖3(a)係從第1凸緣28側觀察實施形態之防振結構16之概略俯視圖，圖3(b)係從第2凸緣30側觀察實施形態之防振結構16之概略俯視圖。圖4(a)概略地表示圖3(b)的A-A剖面，圖4(b)概略地表示圖3(b)的B-B剖面。又，圖5(a)係實施形態之第1環狀支撐構件40的概略立體圖，圖5(b)係實施形態之第2環狀支撐構件44的概略立體圖。
環狀積層防振體32係從第1凸緣28朝向第2凸緣30依序配置第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40、中間環狀防振材料42、第2環狀支撐構件44及第2環狀防振材料46而構成。
環狀積層防振體32的該等構成要件分別具有環形狀，並沿著環狀積層防振體32的中心軸方向彼此相鄰且同軸地配置。各構成要件的環形狀亦可以具有共同的內徑及外徑。防振結構16的外徑由第1凸緣28及第2凸緣30的外徑決定，環狀積層防振體32的外徑比防振結構16的外徑小，環狀積層防振體32收納於被夾在第1凸緣28與第2凸緣30間之空間內。
第1環狀支撐構件40和第2環狀支撐構件44係與第1凸緣28和第2凸緣30同樣地，例如由不鏽鋼等金屬材料或其他合適之結構材料形成。第1環狀防振材料38、中間環狀防振材料42及第2環狀防振材料46例如由橡膠形成。或者，第1環狀防振材料38、中間環狀防振材料42及第2環狀防振材料46亦可以由凝膠、氟樹脂等的合成樹脂或例如鋁等的軟質金屬或其他防振材料形成。第1環狀防振材料38、中間環狀防振材料42及第2環狀防振材料46可以由相同材料形成，或者亦可以由不同材料形成。
可以藉由選擇該等環狀防振材料(38、42、46)的材料來調節防振結構16的隔振特性(例如，振動的頻率與振動傳遞率之間的關係)。可以藉由選擇環狀防振材料的尺寸(例如，環狀積層防振體32的中心軸方向的厚度、與相鄰之環狀支撐構件的接觸面積等)來調節防振結構16的隔振特性。又，可以藉由選擇環狀支撐構件(40、44)的尺寸及/或材料來調節防振結構16的隔振特性。
在實施形態之防振結構16中，以使第1凸緣28及第2環狀支撐構件44與第2凸緣30及第1環狀支撐構件40隔振的方式將第2環狀支撐構件44固定於第1凸緣28並將第1環狀支撐構件40固定於第2凸緣30。防振結構16為了將第1凸緣28、第2凸緣30及環狀積層防振體32彼此固定而具備第1緊固構件48及第2緊固構件50。
第1緊固構件48，係以在第1凸緣28與第2環狀支撐構件44之間夾持並保持第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40及中間環狀防振材料42的方式，將第2環狀支撐構件44固定於第1凸緣28。
防振結構16具有：貫穿第2環狀支撐構件44、中間環狀防振材料42、第1環狀支撐構件40及第1環狀防振材料38而到達第1凸緣28之第1緊固孔49。第1緊固構件48插入於第1緊固孔49，第2環狀支撐構件44藉由第1緊固構件48與第1凸緣28緊固。在夾持在第1凸緣28與第2環狀支撐構件44之間之第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40及中間環狀防振材料42上，賦予由第1緊固構件48產生之緊固力。
在圖示之例子中，第1緊固構件48係埋頭螺栓，第1緊固孔49係在第2環狀支撐構件44上成為埋頭孔，第1緊固構件48的頭部收納於第2環狀支撐構件44中。又，第1緊固孔49係在第1凸緣28上成為螺栓孔，藉此，第1緊固構件48將第2環狀支撐構件44與第1凸緣28緊固。第1緊固孔49未貫穿第1凸緣28。第1緊固構件48及第1緊固孔49在周向上以等角度間隔設置於多處(例如8處)。
第1緊固構件48配置成不與第1環狀支撐構件40接觸。第1環狀支撐構件40具有直徑大於第1緊固構件48的直徑的第1插穿孔52。第1插穿孔52係形成於第1環狀支撐構件40之所謂的穿通孔，而成為第1緊固孔49的一部分。第1緊固構件48在與第1環狀支撐構件40之間具有一些遊隙地插穿第1插穿孔52。因此，在第1緊固構件48與第1環狀支撐構件40之間未形成振動傳遞路徑。與第1環狀支撐構件40的第1插穿孔52同樣地，在第1環狀防振材料38及中間環狀防振材料42亦形成有供第1緊固構件48插穿之插穿孔。該等插穿孔例如係圓形貫通孔，但亦可以係矩形等的其他形狀的貫通孔。
又，第1緊固構件48配置成不與第2凸緣30接觸。由於第1緊固構件48的頭部被第2環狀支撐構件44支撐，且在第2凸緣30與第2環狀支撐構件44之間插入有第2環狀防振材料46，因此第1緊固構件48不與第2凸緣30接觸。
第2緊固構件50，係以在第2凸緣30與第1環狀支撐構件40之間夾持並保持中間環狀防振材料42、第2環狀支撐構件44及第2環狀防振材料46的方式，將第1環狀支撐構件40固定於第2凸緣30。
防振結構16具有：貫穿第2凸緣30、第2環狀防振材料46、第2環狀支撐構件44及中間環狀防振材料42而到達第1環狀支撐構件40之第2緊固孔51。第2緊固構件50插入於第2緊固孔51，第2凸緣30藉由第2緊固構件50與第1環狀支撐構件40緊固。在夾持在第2凸緣30與第1環狀支撐構件40之間之中間環狀防振材料42、第2環狀支撐構件44及第2環狀防振材料46上，賦予由第2緊固構件50產生之緊固力。
在圖示之例子中，第2緊固構件50係螺栓，第2緊固孔51係在第2凸緣30上成為深埋頭孔，第2緊固構件50的頭部收納於第2凸緣30中。又，第2緊固孔51係在第1環狀支撐構件40上成為螺栓孔，藉此，第2緊固構件50將第2凸緣30與第1環狀支撐構件40緊固。第2緊固孔51貫穿第1環狀支撐構件40。第2緊固構件50及第2緊固孔51在周向上以等角度間隔設置於多處(例如8處)。
第2緊固構件50配置成不與第2環狀支撐構件44接觸。第2環狀支撐構件44具有直徑大於第2緊固構件50的直徑的第2插穿孔54。第2插穿孔54係形成於第2環狀支撐構件44之所謂的穿通孔，而成為第2緊固孔51的一部分。第2緊固構件50在與第2環狀支撐構件44之間具有一些遊隙地插穿第2插穿孔54。因此，在第2緊固構件50與第2環狀支撐構件44之間未形成振動傳遞路徑。與第2環狀支撐構件44的第2插穿孔54同樣地，在中間環狀防振材料42及第2環狀防振材料46亦形成有供第2緊固構件50插穿之插穿孔。該等插穿孔例如係圓形貫通孔，但亦可以係矩形等的其他形狀的貫通孔。
又，第2緊固構件50配置成不與第1凸緣28接觸。由於在第1凸緣28與第1環狀支撐構件40之間插入有第1環狀防振材料38，因此第2緊固構件50的前端部未到達第1凸緣28。
在中間環狀防振材料42上賦予比第1環狀防振材料38大的軸向壓縮力。這是因為，第1環狀防振材料38只不過是被第1緊固構件48的緊固力壓縮，與此相對，中間環狀防振材料42被第1緊固構件48和第2緊固構件50這兩者的緊固力壓縮。
因此，中間環狀防振材料42在環狀積層防振體32的中心軸方向上比第1環狀防振材料38厚。藉此，能夠提高中間環狀防振材料42的強度。中間環狀防振材料42的厚度C可以係例如第1環狀防振材料38的厚度D的約1.5～3倍，例如2倍左右。中間環狀防振材料42亦可以由具有該厚度C之一片材料層形成。或者，中間環狀防振材料42亦可以重疊多片(例如2片)材料層而形成(例如，亦可以重疊2片與用作第1環狀防振材料38之材料層相同的材料層)。同樣地，由於在中間環狀防振材料42上賦予比第2環狀防振材料46大的軸向壓縮力，因此中間環狀防振材料42在環狀積層防振體32的中心軸方向上比第2環狀防振材料46厚。
環狀防振材料的插穿孔，亦可以係與環狀防振材料的外周(或內周)相連之(例如，在俯視下呈U字狀的)缺口部來代替圓形貫通孔。環狀防振材料由橡膠等的軟質材料形成，因此這樣的缺口比貫通孔容易加工。同樣地，環狀支撐構件的插穿孔亦可以係與環狀支撐構件的外周(或內周)相連之缺口部。
第1緊固構件48和第2緊固構件50(亦即第1緊固孔49和第2緊固孔51)配置於在環狀積層防振體32的徑向上相同位置且在周向上彼此不同的位置。但是，亦能夠例如藉由將第1緊固構件48和第2緊固構件50配置於在徑向上不同的位置，而將第1緊固構件48和第2緊固構件50配置於在環狀積層防振體32的周向上相同的位置。
第2凸緣30與第1凸緣28氣密地連接。在第1凸緣28與第2凸緣30之間形成有真空密封部56。第1凸緣28具有從其開口部朝向第2凸緣30延伸之第1凸緣筒部28a，第2凸緣30具有從其開口部朝向第1凸緣28延伸之第2凸緣筒部30a。
第2凸緣筒部30a的外徑比第1凸緣筒部28a的內徑稍微小，第2凸緣筒部30a插入於第1凸緣筒部28a。在第1凸緣筒部28a的內周面與第2凸緣筒部30a的外周面之間配置有例如O型環等的密封構件56a，藉此形成真空密封部56。密封構件56a安裝於第2凸緣筒部30a的外周面。
在真空密封部56中，第1凸緣筒部28a和第2凸緣筒部30a係以僅透過密封構件56a來彼此接觸的方式決定兩者的尺寸公差。因此，在第1凸緣筒部28a的內周面與第2凸緣筒部30a的外周面之間，形成有例如約0.05～0.3mm、例如約0.1mm的間隙，第1凸緣28與第2凸緣30未彼此接觸。
另外，第1凸緣筒部28a和第2凸緣筒部30a的徑向位置關係亦能夠相反，亦可以為第1凸緣筒部28a插入於第2凸緣筒部30a，真空密封部56形成於第1凸緣筒部28a的外周面與第2凸緣筒部30a的內周面之間。
第1凸緣28係與真空容器凸緣24氣密連接之真空凸緣，在凸緣端面形成有收納O型環等的密封構件之第1環溝58。第1環溝58位於比第1緊固螺栓34用的第1螺栓孔34a更靠徑向內側且比第1緊固構件48更靠徑向外側之位置。又，第2凸緣30係與冷凍機凸緣26氣密連接之真空凸緣，在凸緣端面形成有收納O型環等的密封構件之第2環溝60。第2環溝60位於比第2緊固構件50更靠徑向內側之位置。第2緊固螺栓36用的第2螺栓孔36a形成於比第2緊固構件50更靠徑向外側之位置。
環狀積層防振體32配置於真空密封部56的徑向外側。環狀積層防振體32以包圍第1凸緣筒部28a及第2凸緣筒部30a之方式配置於真空環境外。亦即，環狀積層防振體32與極低溫冷凍機14的室溫部14a同樣地配置於周圍環境中。藉此，與將環狀積層防振體32配置於真空環境中之情況相比，容易將真空密封部56以及真空凸緣的直徑設計得較小。又，容易將環狀積層防振體32的直徑設計得較大。在該情況下，藉由環狀防振材料的面積的增加，容易減小防振結構16的彈簧常數，並且容易降低高頻率的振動傳遞率。
對防振結構16的組裝步驟的一例進行敘述。首先，將第1凸緣28以第1凸緣筒部28a朝上的方式載置。第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40、中間環狀防振材料42及第2環狀支撐構件44依序積層於第1凸緣28上。該等構件以各構件的貫通孔的位置一致之方式積層於第1凸緣28上，藉此，形成第1緊固孔49。第1緊固構件48插入於第1緊固孔49，使第2環狀支撐構件44與第1凸緣28緊固。
接著，在第2環狀支撐構件44上重疊第2環狀防振材料46，進而從其上方安裝第2凸緣30。此時，第2凸緣筒部30a插入於第1凸緣筒部28a。又，藉由使各構件的貫通孔的位置一致而形成第2緊固孔51。第2緊固構件50插入於第2緊固孔51，第2凸緣30與第1環狀支撐構件40緊固。如此，組裝好防振結構16。
如此，第1環狀支撐構件40配置成被第1環狀防振材料38與中間環狀防振材料42夾持，並且不與第1凸緣28、第2環狀支撐構件44及第1緊固構件48接觸。第2環狀支撐構件44配置成被第2環狀防振材料46與中間環狀防振材料42夾持，並且不與第2凸緣30、第1環狀支撐構件40及第2緊固構件50接觸。又，如上所述，第1凸緣28與第2凸緣30未彼此直接接觸。
因此，防振結構16具備：第1支撐結構，其具有第1凸緣28、第2環狀支撐構件44和第1緊固構件48；及第2支撐結構，其具有第2凸緣30、第1環狀支撐構件40和第2緊固構件50，第1支撐結構與第2支撐結構藉由第1環狀防振材料38、中間環狀防振材料42及第2環狀防振材料46彼此隔振。第1支撐結構固定於低溫泵真空容器12，第2支撐結構固定於極低溫冷凍機14。
在既存的低溫泵中，在許多情況下，極低溫冷凍機直接固定於低溫泵真空容器。極低溫冷凍機，起因於內部中的週期性的壓力變動及置換器等的可動構件的動作而能夠稱為振動源。極低溫冷凍機的振動傳遞至低溫泵真空容器，進而能夠傳遞至安裝有低溫泵之真空程序裝置。
與此相對，依實施形態之低溫泵10，極低溫冷凍機14透過防振結構16安裝於低溫泵真空容器12。防振結構16具備：第1凸緣28，固定於低溫泵真空容器12；第2凸緣30，固定於極低溫冷凍機14；及環狀積層防振體32，從第1凸緣28朝向第2凸緣30，依序配置有第1環狀防振材料38、第1環狀支撐構件40、中間環狀防振材料42、第2環狀支撐構件44及第2環狀防振材料46。以使第1凸緣28及第2環狀支撐構件44與第2凸緣30及第1環狀支撐構件40隔振的方式，將第2環狀支撐構件44固定於第1凸緣28並將第1環狀支撐構件40固定於第2凸緣30。
藉此，使低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14隔振。因此，能夠降低從極低溫冷凍機14向其他機器傳遞之振動。極低溫冷凍機14的振動可能對真空程序裝置帶來之風險亦降低。
圖6(a)表示針對比較例之低溫泵的振動測定結果，圖6(b)表示針對實施形態之低溫泵10的振動測定結果。在比較例之低溫泵中，極低溫冷凍機直接固定於低溫泵真空容器。在實施形態之低溫泵10中，極低溫冷凍機14透過防振結構16安裝於低溫泵真空容器12。其餘測定條件係共同的。該等測定結果表示低溫泵真空容器的z軸方向(圖1中的上下方向)的振動。縱軸係表示振動的大小之值(例如加速度)，橫軸表示時間。
如圖6(a)所示，可知當極低溫冷凍機直接固定於低溫泵真空容器的情況，反覆發生起因於極低溫冷凍機的週期性動作之振動。與此相對，如圖6(b)所示，當低溫泵10具有防振結構16的情況，振動大幅降低。在該測定結果中，與圖6(a)的傳統機相比，振動的最大加速度減少到約7%(亦即減少93%)。確認了x軸方向及y軸方向的最大加速度亦與傳統機相比減少到約12%。
又，實施形態之防振結構16藉由凸緣(28、30)、環狀支撐構件(40、44)、緊固構件(48、50)實現結構上的支撐。由於極低溫冷凍機14的重量由這樣的支撐結構支撐，因此能夠降低作用於環狀防振材料之荷重。
環狀防振材料能夠採用環形狀的材料片材，這樣的形狀的防振材料通常容易獲得。無需使用具有特殊的形狀之定製產品，在設計上及製造上有利。
由於防振結構16安裝於低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14之間，因此能夠輕易地追加到既存的低溫泵的低溫泵真空容器與極低溫冷凍機之間。無需進行低溫泵或極低溫冷凍機的設計變更等的大幅改造，就能夠提高防振性能。
在上述實施形態中，為了在防振結構16的內部保持真空環境而設置有真空密封部56。真空密封部56由第1凸緣28與第2凸緣30的嵌合結構(所謂的插承結構)和安裝於該等兩個凸緣之間之密封構件56a形成。但是，亦能夠使用確保防振結構16的氣密性之其他結構。例如，第1凸緣28與第2凸緣30亦可以藉由波紋管(bellows)連接製作成一體結構。在該情況下，設置於第1凸緣28與第2凸緣30之間之環狀積層防振體32，亦可以具有組合多個部分而構成之分割結構。參閱圖7至圖10(b)，在以下對這樣的實施形態進行敘述。
圖7係概略地表示另一實施形態之低溫泵110之圖。圖7中示出低溫泵110的外觀的側面。低溫泵110具備低溫泵真空容器12、極低溫冷凍機14及防振結構116。低溫泵真空容器12、極低溫冷凍機14及低溫泵110的內部結構亦可以與參閱圖1進行說明之結構相同。
極低溫冷凍機14透過防振結構116安裝於低溫泵真空容器12，藉此，使低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14隔振。積層防振體132係從前述第1凸緣128朝向前述第2凸緣130依序配置有第1防振材料138、第1支撐構件140、中間防振材料142、第2支撐構件144及第2防振材料146而構成。第1凸緣128安裝於真空容器凸緣24，第2凸緣130安裝於冷凍機凸緣26。
圖8(a)及圖8(b)係表示另一實施形態之凸緣體170之概略側視圖及立體圖。凸緣體170由第1凸緣128、第2凸緣130及波紋管172構成。作為真空密封部的波紋管172將第1凸緣128連接於第2凸緣130，藉此保持凸緣體170的內部的氣密性。波紋管172例如係金屬製的真空波紋管，藉由例如熔接或其他適當的接合手段，將其一端固定於第1凸緣128，將另一端固定於第2凸緣130。如圖所示，在朝向第2凸緣130側之第1凸緣128的表面，在周向上以等間隔形成有多個凸緣凹部174。
圖9係概略地表示另一實施形態之防振結構116的積層防振體132之分解立體圖。在防振結構116中設置有多個積層防振體132，因此積層防振體132的構成要件亦分別以多個零件的形式準備。構成積層防振體132之支撐構件和防振材料的相互位置關係和固定方法與前述實施形態大致相同。
參閱圖7至圖9。第1緊固構件148，係以在第1凸緣128與第2支撐構件144之間夾持並保持第1防振材料138、第1支撐構件140及中間防振材料142的方式，將第2支撐構件144固定於第1凸緣128。第2緊固構件150，係以在第2凸緣130與第1支撐構件140之間夾持並保持中間防振材料142、第2支撐構件144及第2防振材料146的方式，將第1支撐構件140固定於第2凸緣130。
第1緊固構件148及第1緊固孔149在周向上以等角度間隔設置於多處(例如4處)。第1緊固孔149貫穿第1凸緣128、第1防振材料138、第1支撐構件140及中間防振材料142而到達第2支撐構件144。第1緊固構件148插入於第1緊固孔149，第2支撐構件144藉由第1緊固構件148與第1凸緣128緊固。第1緊固孔149係在第2支撐構件144上成為螺栓孔。在夾持在第1凸緣128與第2支撐構件144之間之第1防振材料138、第1支撐構件140及中間防振材料142上，賦予由第1緊固構件148產生之緊固力。
第1緊固構件148配置成不與第1支撐構件140接觸。第1支撐構件140具有直徑大於第1緊固構件148的直徑的第1插穿孔152。因此，在第1緊固構件148與第1支撐構件140之間未形成振動傳遞路徑。又，第1緊固構件148配置成不與第2凸緣130接觸。由於在第2凸緣130與第2支撐構件144之間插入有第2防振材料146，因此第1緊固構件148的前端部未到達第2凸緣30。
第2緊固構件150及第2緊固孔151在周向上以等角度間隔設置於多處(例如4處)。第2緊固孔151貫穿第1支撐構件140、中間防振材料142、第2支撐構件144及第2防振材料146而到達第2凸緣130。第2緊固構件150插入於第2緊固孔151，第2凸緣130藉由第2緊固構件150與第1支撐構件140緊固。第2緊固孔151係在第2凸緣130上成為螺栓孔。在夾持在第2凸緣130與第1支撐構件140之間之中間防振材料142、第2支撐構件144及第2防振材料146上，賦予由第2緊固構件150產生之緊固力。
第2緊固構件150配置成不與第2支撐構件144接觸。第2支撐構件144具有直徑大於第2緊固構件150的直徑的第2插穿孔154。因此，在第2緊固構件150與第2支撐構件144之間未形成振動傳遞路徑。又，第2緊固構件150配置成不與第1凸緣128接觸。第2緊固構件150的頭部收納於形成在第1凸緣128之凸緣凹部174，使第2緊固構件150不與第1凸緣128接觸。
第1支撐構件140係半圓的圓弧狀的板，並且由金屬材料或其他合適之材料形成。可視為藉由排列兩個第1支撐構件140而形成一個環狀支撐構件。第2支撐構件144亦相同。同樣地，中間防振材料142成形為半圓的圓弧狀。仍然，可視為藉由排列兩個中間防振材料142而形成一個環狀防振材料。
為了確保對於第1緊固構件148和第2緊固構件150兩者的緊固力的強度，中間防振材料142在積層防振體132的中心軸方向上比第1防振材料138厚。同樣地，中間防振材料142在積層防振體132的中心軸方向上比第2防振材料146厚。
又，設置有四個第1防振材料138和四個第2防振材料146。四個第1防振材料138藉由在周向上隔著間隔排列，能夠沿著形成第1支撐構件140之一個環狀支撐構件配置。因此，可視為由四個第1防振材料138形成一個環狀防振材料。同樣地，四個第2防振材料146藉由在周向上隔著間隔排列，能夠沿著形成第2支撐構件144之一個環狀支撐構件配置。為了使在支撐構件上的防振材料的定位變得容易，亦可以在支撐構件設置：配合防振材料的尺寸而形成之凹部178。
將第1支撐構件140、中間防振材料142及第2支撐構件144依序重疊，在其一側放置兩個第1防振材料138，在相反側放置兩個第2防振材料146。這樣一來，形成半圓的圓弧狀的積層防振體132。可視為藉由排列兩個積層防振體132而形成一個環狀積層防振體。
另外，積層防振體132的各構成要件的分割數並不限於上述例，亦可以更少或者更多。
圖10(a)及圖10(b)係用於說明防振結構116的組裝步驟的一例的圖。在圖10(a)中，為了容易觀察而省略了圖示，但亦可以將第2凸緣130預先利用螺栓安裝於冷凍機凸緣26。
如圖10(a)所示，第1防振材料138、第1支撐構件140、中間防振材料142、第2支撐構件144及第2防振材料146以使各構件的貫通孔的位置一致之方式依序重疊而形成積層防振體132。第2緊固構件150插入於第2緊固孔151。積層防振體132以第2緊固孔151對準第1凸緣128的凸緣凹部174之方式組裝於第1凸緣128與第2凸緣130之間。藉由第2緊固構件150，使第1支撐構件140與第2凸緣130緊固。
積層防振體132配置於作為真空密封部的波紋管172的徑向外側。積層防振體132以包圍凸緣體170之方式配置於真空環境外亦即周圍環境中。
接著，如圖10(b)所示，第2支撐構件144藉由第1緊固構件148與第1凸緣128緊固。此時，第1緊固構件148亦可以將真空容器凸緣24與第1凸緣128一起緊固。然後，真空容器凸緣24與第1凸緣128利用追加的螺栓被牢固地固定。如此，如圖7所示，組裝好防振結構116。
如此，第1支撐構件140配置成被第1防振材料138與中間防振材料142夾持，並且不與第1凸緣128、第2支撐構件144及第1緊固構件148接觸。第2支撐構件144配置成被第2防振材料146與中間防振材料142夾持，並且不與第2凸緣130、第1支撐構件140及第2緊固構件150接觸。又，如上所述，第1凸緣128與第2凸緣130藉由波紋管172連接。
因此，防振結構116具備：第1支撐結構，其具有第1凸緣128、第2支撐構件144和第1緊固構件148；及第2支撐結構，其具有第2凸緣130、第1支撐構件140和第2緊固構件150。第1支撐結構支撐第1防振材料138及中間防振材料142，第2支撐結構支撐中間防振材料142及第2防振材料146。第1支撐結構與第2支撐結構藉由第1防振材料138、中間防振材料142及第2防振材料146彼此隔振。第1支撐結構固定於低溫泵真空容器12，第2支撐結構固定於極低溫冷凍機14。因此，低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14隔振，能夠降低從極低溫冷凍機14向真空程序裝置等的其他機器傳遞之振動。
另外，由於低溫泵真空容器12和極低溫冷凍機14的本身重量，波紋管172可能會變形一定程度。由於波紋管172稍微撓曲，使第1凸緣128和第2凸緣130中的一方相對於另一方稍微傾斜，其結果，或許在至少一個第1插穿孔152中使第1緊固構件148與第1支撐構件140具有接觸點。同樣地，可能在至少一個第2插穿孔154中使第2緊固構件150與第2支撐構件144接觸。但是，即使任一個緊固構件與支撐構件以點狀接觸，其等並不會相互牢固地結合(例如緊固)，並不會形成實質上的振動傳遞路徑。因此，防振結構116依然能夠提供所期望的隔振性能。
圖11係概略地表示又一實施形態之防振結構16之圖。代替將防振結構16安裝於低溫泵真空容器12與極低溫冷凍機14之間，防振結構16亦可以安裝於進氣口凸緣22與真空腔室80之間。通常，在低溫泵10與真空腔室80之間安裝有閘閥82，因此防振結構16亦可以安裝於進氣口凸緣22與閘閥82之間。例如，亦可以係防振結構16的第1凸緣28安裝於進氣口凸緣22，第2凸緣30安裝於閘閥82(亦可以相反)。或者，防振結構16亦可以安裝於閘閥82與真空腔室80之間。
又，作為另一例，低溫泵真空容器12可以分割為真空容器本體12a和冷凍機收容筒12b，防振結構16亦可以安裝於真空容器本體12a與冷凍機收容筒12b之間。
圖12係概略地表示又一實施形態之防振結構16之圖。代替將防振結構16應用於低溫泵10，防振結構16亦可以應用於極低溫冷凍機14單體。因此，防振結構16亦可以安裝於極低溫冷凍機14與真空腔室80之間。
以上，基於實施例對本發明進行了說明。本領域技術人員應當理解，本發明並不限定於上述實施形態，能夠進行各種設計變更，且能夠實施各種變形例，並且這樣的變形例亦在本發明的範圍內。關於某一實施形態進行說明之各種特徵亦能夠應用於另一實施形態。藉由組合產生之新的實施形態，兼具所組合之實施形態各自的效果。
在上述實施形態中，各個環狀支撐構件是以單個環狀板的形式準備。但是，例如當為了應用於大型低溫泵10而防振結構16成為大口徑時等，為了使製造變得容易或因為其他理由，一個環狀支撐構件亦可以分割為多個構件。例如，亦可以準備多個圓弧狀構件，其等彼此呈圓環狀結合或呈圓環狀排列，形成為一個環狀支撐構件。同樣地，一個環狀防振材料亦可以分割為多個構件。
在上述實施形態中，以緊固構件為螺栓的情況為例進行了說明，但緊固構件亦可以係例如鉚釘或其他緊固構件。或者，環狀支撐構件與凸緣的固定亦可以使用例如夾具(clamper)那樣以將構件夾持並保持之方式構成之任何連接構件。另外，緊固構件(或連接構件)亦可以像螺栓那樣能夠拆卸。在進行防振結構的分解、防振材料的更換時便利。
在上述實施形態中，第1凸緣28安裝於真空容器凸緣24並固定於低溫泵真空容器12，第2凸緣30安裝於冷凍機凸緣26並固定於極低溫冷凍機14，但這並不是必須的。例如，第1凸緣28亦可以與低溫泵真空容器12形成為一體。第2凸緣30亦可以與極低溫冷凍機14的室溫部14a形成為一體。
在上述實施形態中，在第1凸緣28與第2凸緣30之間形成真空密封部56，而使第1凸緣28與第2凸緣30氣密地連接。取而代之，第2凸緣30亦可以透過例如波紋管等追加的構件與第1凸緣28氣密地連接。
在需要時，環狀積層防振體32亦可以具備追加的構成要件(例如，第3環狀支撐構件、第3環狀防振材料)。
基於實施形態，使用具體的語句對本發明進行了說明，但實施形態僅表示本發明的原理、應用的一個態樣，在不脫離申請專利範圍所界定之本發明的思想之範圍內，可以對實施形態進行許多變形例或配置的變更。 [產業上的可利用性]
本發明能夠利用於低溫泵及極低溫冷凍機防振結構領域。
10:低溫泵 12:低溫泵真空容器 14:極低溫冷凍機 16:防振結構 28:第1凸緣 30:第2凸緣 32:環狀積層防振體 38:第1環狀防振材料 40:第1環狀支撐構件 42:中間環狀防振材料 44:第2環狀支撐構件 46:第2環狀防振材料 48:第1緊固構件 50:第2緊固構件 52:第1插穿孔 54:第2插穿孔 56:真空密封部
[圖1]概略地表示實施形態之低溫泵之圖。 [圖2]係概略地表示實施形態之防振結構之分解圖。 [圖3]中，圖3(a)係從第1凸緣側觀察實施形態之防振結構之概略俯視圖，圖3(b)係從第2凸緣側觀察實施形態之防振結構之概略俯視圖。 [圖4]中，圖4(a)概略地表示圖3(b)的A-A剖面，圖4(b)概略地表示圖3(b)的B-B剖面。 [圖5]中，圖5(a)係實施形態之第1環狀支撐構件的概略立體圖，圖5(b)係實施形態之第2環狀支撐構件的概略立體圖。 [圖6]中，圖6(a)表示針對比較例之低溫泵的振動測定結果，圖6(b)表示針對實施形態之低溫泵的振動測定結果。 [圖7]係概略地表示另一實施形態之低溫泵之圖。 [圖8]中，圖8(a)及圖8(b)係表示另一實施形態之凸緣體之概略側視圖及立體圖。 [圖9]係概略地表示另一實施形態之防振結構之分解立體圖。 [圖10]中，圖10(a)及圖10(b)係用於說明防振結構的組裝步驟的一例的圖。 [圖11]係概略地表示又一實施形態之防振結構之圖。 [圖12]係概略地表示又一實施形態之防振結構之圖。
10:低溫泵
10a:低溫泵進氣口
12:低溫泵真空容器
12a:真空容器本體
12b:冷凍機收容筒
14:極低溫冷凍機
14a:室溫部
14b:第1冷卻台
14c:第2冷卻台
16:防振結構
18:第1段低溫板
20:第2段低溫板
22:進氣口凸緣
24:真空容器凸緣
26:冷凍機凸緣
28:第1凸緣
30:第2凸緣
32:環狀積層防振體
34:第1緊固螺栓
36:第2緊固螺栓
38:第1環狀防振材料
40:第1環狀支撐構件
42:中間環狀防振材料
44:第2環狀支撐構件
46:第2環狀防振材料

Claims (20)

  1. 一種低溫泵，其特徵為，係具備： 低溫泵真空容器； 極低溫冷凍機； 第1凸緣，固定於前述低溫泵真空容器； 第2凸緣，固定於前述極低溫冷凍機且與前述第1凸緣氣密地連接；及 環狀積層防振體，從前述第1凸緣朝向前述第2凸緣依序配置有第1環狀防振材料、第1環狀支撐構件、中間環狀防振材料、第2環狀支撐構件及第2環狀防振材料， 以使前述第1凸緣及前述第2環狀支撐構件與前述第2凸緣及前述第1環狀支撐構件隔振的方式，將前述第2環狀支撐構件固定於前述第1凸緣並將前述第1環狀支撐構件固定於前述第2凸緣。
  2. 如請求項1所述之低溫泵，其進一步具備： 第1緊固構件，係以在前述第1凸緣與前述第2環狀支撐構件之間夾持並保持前述第1環狀防振材料、前述第1環狀支撐構件及前述中間環狀防振材料的方式，將前述第2環狀支撐構件固定於前述第1凸緣；及 第2緊固構件，係以在前述第2凸緣與前述第1環狀支撐構件之間夾持並保持前述中間環狀防振材料、前述第2環狀支撐構件及前述第2環狀防振材料的方式，將前述第1環狀支撐構件固定於前述第2凸緣。
  3. 如請求項2所述之低溫泵，其中， 前述第1緊固構件配置成不與前述第1環狀支撐構件及前述第2凸緣接觸， 前述第2緊固構件配置成不與前述第2環狀支撐構件及前述第1凸緣接觸。
  4. 如請求項2或請求項3所述之低溫泵，其中， 前述第1環狀支撐構件具有直徑大於前述第1緊固構件的直徑的第1插穿孔， 前述第2環狀支撐構件具有直徑大於前述第2緊固構件的直徑的第2插穿孔。
  5. 如請求項1至請求項3之任一項所述之低溫泵，其中， 前述中間環狀防振材料在前述環狀積層防振體的中心軸方向上比前述第1環狀防振材料厚。
  6. 如請求項1至請求項3之任一項所述之低溫泵，其中， 在前述第1凸緣與前述第2凸緣之間形成有真空密封部，前述環狀積層防振體配置於前述真空密封部的徑向外側。
  7. 如請求項6所述之低溫泵，其中， 前述第1凸緣具有第1凸緣筒部，前述第2凸緣具有第2凸緣筒部，並且前述第1凸緣筒部和前述第2凸緣筒部中的一方插入到另一方， 前述真空密封部具備：配置於前述第1凸緣筒部與前述第2凸緣筒部之間之密封構件。
  8. 如請求項6所述之低溫泵，其進一步具備作為前述真空密封部的波紋管，前述第1凸緣與前述第2凸緣藉由前述波紋管連接。
  9. 如請求項1至請求項3之任一項所述之低溫泵，其中， 前述環狀積層防振體，係由彼此呈環狀結合或呈環狀排列而形成前述環狀積層防振體之多個部分構成。
  10. 一種極低溫冷凍機防振結構，其特徵為，係具備： 第1凸緣； 第2凸緣，與前述第1凸緣氣密地連接；及 環狀積層防振體，從前述第1凸緣朝向前述第2凸緣依序配置有第1環狀防振材料、第1環狀支撐構件、中間環狀防振材料、第2環狀支撐構件及第2環狀防振材料， 以使前述第1凸緣及前述第2環狀支撐構件與前述第2凸緣及前述第1環狀支撐構件隔振的方式，將前述第2環狀支撐構件固定於前述第1凸緣並將前述第1環狀支撐構件固定於前述第2凸緣。
  11. 如請求項10所述之極低溫冷凍機防振結構，其進一步具備： 第1緊固構件，係以在前述第1凸緣與前述第2環狀支撐構件之間夾持並保持前述第1環狀防振材料、前述第1環狀支撐構件及前述中間環狀防振材料的方式，將前述第2環狀支撐構件固定於前述第1凸緣；及 第2緊固構件，係以在前述第2凸緣與前述第1環狀支撐構件之間夾持並保持前述中間環狀防振材料、前述第2環狀支撐構件及前述第2環狀防振材料的方式，將前述第1環狀支撐構件固定於前述第2凸緣。
  12. 如請求項11所述之極低溫冷凍機防振結構，其中， 前述第1緊固構件配置成不與前述第1環狀支撐構件及前述第2凸緣接觸， 前述第2緊固構件配置成不與前述第2環狀支撐構件及前述第1凸緣接觸。
  13. 一種極低溫冷凍機防振結構，其特徵為，係具備： 第1凸緣； 第2凸緣，與前述第1凸緣氣密地連接； 積層防振體，從前述第1凸緣朝向前述第2凸緣依序配置有第1防振材料、第1支撐構件、中間防振材料、第2支撐構件及第2防振材料； 第1固定構件，係將前述第2支撐構件固定於前述第1凸緣，並與前述第1凸緣及前述第2支撐構件一同形成支撐前述第1防振材料及前述中間防振材料之第1支撐結構；及 第2固定構件，係將前述第1支撐構件固定於前述第2凸緣，並與前述第2凸緣及前述第1支撐構件一同形成支撐前述中間防振材料及前述第2防振材料之第2支撐結構， 前述第1支撐結構與前述第2支撐結構，係藉由前述第1防振材料、前述中間防振材料及前述第2防振材料彼此隔振。
  14. 如請求項13所述之極低溫冷凍機防振結構，其中， 前述第1固定構件配置成不與前述第1支撐構件及前述第2凸緣接觸， 前述第2固定構件配置成不與前述第2支撐構件及前述第1凸緣接觸。
  15. 如請求項13或請求項14所述之極低溫冷凍機防振結構，其中， 前述第1固定構件具備第1緊固構件，前述第1緊固構件係以在前述第1凸緣與前述第2支撐構件之間夾持並保持前述第1防振材料、前述第1支撐構件及前述中間防振材料的方式，將前述第2支撐構件固定於前述第1凸緣， 前述第2固定構件具備第2緊固構件，前述第2緊固構件係以在前述第2凸緣與前述第1支撐構件之間夾持並保持前述中間防振材料、前述第2支撐構件及前述第2防振材料的方式，將前述第1支撐構件固定於前述第2凸緣。
  16. 如請求項13或請求項14所述之極低溫冷凍機防振結構，其中， 在前述第1凸緣與前述第2凸緣之間形成有真空密封部，前述積層防振體配置於前述真空密封部的徑向外側。
  17. 如請求項16所述之極低溫冷凍機防振結構，其中， 前述第1凸緣具有第1凸緣筒部，前述第2凸緣具有第2凸緣筒部，並且前述第1凸緣筒部和前述第2凸緣筒部中的一方插入到另一方， 前述真空密封部具備：配置於前述第1凸緣筒部與前述第2凸緣筒部之間之密封構件。
  18. 如請求項16所述之極低溫冷凍機防振結構，其進一步具備作為前述真空密封部的波紋管，前述第1凸緣與前述第2凸緣藉由前述波紋管連接。
  19. 如請求項13或請求項14之極低溫冷凍機防振結構，其中， 多個積層防振體彼此呈環狀結合或呈環狀排列。
  20. 一種低溫泵，其特徵為，係具備： 如請求項13至請求項19之任一項所述之極低溫冷凍機防振結構、低溫泵真空容器、及極低溫冷凍機， 前述第1凸緣固定於前述低溫泵真空容器，前述第2凸緣固定於前述極低溫冷凍機。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024085234A (ja) 2022-12-14 2024-06-26 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、クライオポンプの製造方法および使用方法
NL2034497B1 (en) * 2023-04-04 2024-03-05 Phe Nx Knowledge B V Vacuum coupling with integrated vibration insulator.

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09506400A (ja) * 1993-11-24 1997-06-24 テクトン 防震ベアリング
WO2009107679A1 (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 株式会社ブリヂストン 空気ばね装置
JP2017193993A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ、真空処理装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4363217A (en) * 1981-01-29 1982-12-14 Venuti Guy S Vibration damping apparatus
JPS58183878A (ja) 1982-04-21 1983-10-27 Hitachi Ltd クライオポンプの防振機構
JPS63501519A (ja) * 1985-09-24 1988-06-09 ヘリツクス　テクノロジ−　コ−ポレ−シヨン 振動絶縁装置を備えたクライオポンプ
US4862697A (en) * 1986-03-13 1989-09-05 Helix Technology Corporation Cryopump with vibration isolation
US4835972A (en) * 1986-03-13 1989-06-06 Helix Technology Corporation Flex-line vibration isolator and cryopump with vibration isolation
US5056319A (en) * 1989-03-18 1991-10-15 Leybold Aktiengesellschaft Refrigerator-operated apparatus
JPH0346234A (ja) 1989-07-13 1991-02-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体処理用横型炉
JPH041348A (ja) 1990-04-19 1992-01-06 Ohbayashi Corp 遠心力鋳造鋼管
JP2004225722A (ja) 2003-01-20 2004-08-12 Bando Chem Ind Ltd 免震支承体及び該免震支承体の製造方法
JP2004225772A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Showa Denko Kk 圧力容器、燃料タンク及び車両
JP4322237B2 (ja) 2005-08-31 2009-08-26 勲 齋藤 中実肉厚形態の栄養調整食品の包装方法
JP5916502B2 (ja) * 2012-04-27 2016-05-11 住友理工株式会社 防振支持構造体
KR101289394B1 (ko) 2013-05-02 2013-07-29 지브이티 주식회사 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프
CN108884821B (zh) * 2016-02-15 2021-04-13 住友重机械工业株式会社 低温泵及闸阀

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09506400A (ja) * 1993-11-24 1997-06-24 テクトン 防震ベアリング
WO2009107679A1 (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 株式会社ブリヂストン 空気ばね装置
JP2017193993A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 アルバック・クライオ株式会社 クライオポンプ、真空処理装置

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