KR101289394B1 - 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프 - Google Patents

진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오 펌프에 관한 것이다. 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체는, 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지; 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지; 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재; 상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 가스켓; 을 포함하고, 상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지 및 상기 가스켓에는 플랜지와 결합하기 위한 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된다.
이러한 구성에 따르면, 제1 댐핑 플랜지의 제1 홈부와 제2 댐핑 플랜지의 제2 홈부 사이에 탄성부재가 삽입되어 극저온 냉동기로부터 전달되는 진동을 완화할 수 있고, 펌프 바디와 극저온 냉동기는 체결부재에 의해 함께 체결되지 않도록 구성됨으로써 극저온 냉동기에서 발생한 진동이 펌프 바디로 전달되는 것을 최소화할 수 있는 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프를 제공할 수 있다.

Description

진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프 {Damping flange assembly for reducing vibration and cryopump having the same}
본 발명은 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프에 관한 것이다.
크라이오펌프(Cryopump)는 반도체 생산분야를 포함한 여러 산업분야에서 고진공 내지 초고진공의 환경을 조성하기 위해 사용되는 장비이다. 크라이오펌프는 펌프 내부의 온도를 예를 들어, 절대온도 8K(약 -265℃) 정도까지 낮추어 가스 분자들의 운동량을 떨어뜨려 움직이지 못하게 응축 또는 포집하여 진공을 조성한다.
크라이오펌프의 작동원리는 일반 냉동사이클을 이용하고 있으나 냉매로 수소(H2) 또는 헬륨(He)이 이용된다는 것이 특징이다. 크라이오펌프는 일반적인 에어컨의 냉동시스템과 같이 실내기 역할을 하는 펌프본체와 실외기 역할을 하는 압축기(compressor)를 기본적 구성요소로 한다. 그리고, 온도를 확인할 수 있는 모니터가 추가적으로 사용된다.
도 1은 종래의 크라이오펌프의 구성을 도시하는 도면이다.
크라이오펌프는 펌프 바디(10)와, 이러한 펌프 바디(10)와 플랜지에 의해 연결되는 극저온 냉동기(20)를 포함한다. 극저온 냉동기(20)는 호스(30)를 통해 압축기(40)와 연결된다.
극저온 냉동기(20)는 챔버 형태의 1단 어레이(22)와 연결되고, 1단 어레이(22)의 상부에는 배플(baffle)(23)이 배치된다. 1단 어레이(22)의 내부에는 극저온 냉동기(20)의 상단과 연결된 2단 어레이(24)가 위치된다.
펌프 바디(10)는 게이트 밸브(2)를 통해 진공을 필요로 하는 공정챔버(1)와 연결된다. 게이트 밸브(2)가 개방된 상태에서 크라이오펌프에 의해 공정챔버(1) 내부를 고진공 내지 초고진공으로 만들 수 있다.
1단 어레이(22)는 온도가 대략 30 내지 80K로 유지되고, 2단 어레이(24)는 10K까지 내려가서 Ar, N2, O2와 같은 TypeII 가스들을 응축 및 흡착시킨다. 그리고, H2, Ne과 같은 TypeIII 가스들은 어레이(24)에 부착된 활성탄에 의해 흡착된다.
압축기(40)에서 압축된 냉매 가스(예를 들어, 헬륨)는 호스(30)를 통해 극저온 냉동기(20)로 이동된 후, 극저온 냉동기(20) 내부의 팽창밸브에 의해 팽창되면서 온도가 저하된다. 이를 G-M 냉동원리라 하며, 이를 통해 냉동기의 각 단의 온도는 극저온으로 떨어지고 저압으로 떨어진 냉매는 다시 G-M 냉동원리에 따라 내부 왕복기에서 열교환 과정을 거친 후 저압호스를 통해 압축기로 회수된다.
펌프 바디(10)의 플랜지부(11)와 극저온 냉동기(20)의 플랜지부(21)는 체결부재(25)에 의해 직접 체결된다. 따라서, 내부에 위치된 왕복기 등의 동작에 의해 극저온 냉동기(20)에서는 고압과 저압의 반복이 주기적으로 발생하기 때문에 항상 일정한 주파수의 진동이 발생된다. 이러한 진동은 극저온 냉동기(20)의 플랜지부(21), 펌프 바디(10)의 플랜지부(11)를 거쳐 펌프 바디(10)로 전달된다.
펌프 바디(10)는 게이트 밸브(2)에 의해 공정챔버(1)와 연결되어 있으므로, 극저온 냉동기(20)로부터 펌프 바디(10)에 전달된 진동은 공정챔버(1)까지 쉽게 전달된다. 공정챔버(1)에 반복적으로 발생되는 진동은 정밀하면서도 진동 성분에 민감한 작업환경을 요구하는 제조분야에서는 좋지 않은 영향을 미칠 수 있다.
따라서, 본 발명은 상기 사정을 감안하여 발명한 것으로, 크라이오펌프의 극저온 냉동기에서 발생된 진동이 플랜지부를 통해 펌프 바디로 전달되지 않도록 하는 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프를 제공하고자 함에 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체는, 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지; 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지; 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재; 상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 가스켓; 을 포함하고, 상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지 및 상기 가스켓에는 플랜지와 결합하기 위한 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 의하면, 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체는, 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지; 상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지; 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재; 상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 O링; 을 포함하고, 상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지에는 플랜지와 결합하기 위한 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된다.
또한, 상기 제1 댐핑 플랜지 및 상기 제2 댐핑 플랜지에 형성된 상기 홀은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀과, 나사산이 형성된 제2 홀을 포함한다.
또한, 상기 탄성부재는 소정의 폭과 두께를 갖는 링 형상이고, 상기 탄성부재에는 종방향으로 연장되는 다수의 관통 개구가 형성되고, 상기 댐핑 플랜지 조립체는, 상기 관통 개구에 삽입되는 스프링; 을 더 포함한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 의하면, 진동 저감을 위한 크라이오펌프는, 소정의 수용 공간을 갖고 플랜지부를 구비하는 펌프 바디; 상면에 상기 펌프 바디의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지; 플랜지부가 형성되고 냉매를 팽창시켜 극저온을 형성하기 위한 극저온 냉동기; 상면에 상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지; 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재; 상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 가스켓; 을 포함하고, 상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지 및 상기 가스켓에는 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 의하면, 진동 저감을 위한 크라이오펌프는, 소정의 수용 공간을 갖고 플랜지부를 구비하는 펌프 바디; 상면에 상기 펌프 바디의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지; 플랜지부가 형성되고 냉매를 팽창시켜 극저온을 형성하기 위한 극저온 냉동기; 상면에 상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지; 상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재; 상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 O링; 을 포함하고, 상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지에는 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된다.
또한, 상기 제1 댐핑 플랜지 및 상기 제2 댐핑 플랜지에 형성된 상기 홀은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀과, 나사산이 형성된 제2 홀을 포함하고, 상기 펌프 바디의 상기 플랜지부에 체결되는 체결부재는 상기 제1 댐핑 플랜지의 상기 제1 홀을 지나 상기 제2 댐핑 플랜지의 상기 제2 홀까지 연장되고, 상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부에 체결되는 체결부재는 상기 제2 댐핑 플랜지의 상기 제1 홀을 지나 상기 제1 댐핑 플랜지의 상기 제2 홀까지 연장된다.
본 발명에 따르면, 제1 댐핑 플랜지의 제1 홈부와 제2 댐핑 플랜지의 제2 홈부 사이에 탄성부재가 삽입되어 극저온 냉동기로부터 전달되는 진동을 완화할 수 있는 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프를 제공할 수 있다.
또한, 펌프 바디와 극저온 냉동기는 체결부재에 의해 함께 체결되지 않도록 구성됨으로써 극저온 냉동기에서 발생한 진동이 펌프 바디로 전달되는 것을 최소화할 수 있는 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프를 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 크라이오 펌프의 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 크라이오 펌프의 구성을 도시하는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에서 댐핑 플랜지 조립체의 구성을 도시하는 분해 사시도이다.
도 4는 도 2의 크라이오 펌프의 구성요소들이 조립된 상태를 도시하는 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 크라이오 펌프의 구성을 도시하는 분해 사시도이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 크라이오 펌프의 구성을 도시하는 분해 사시도이다. 도 3은 도 2에서 댐핑 플랜지 조립체의 구성을 도시하는 분해 사시도이다. 도 4는 도 2의 크라이오 펌프의 구성요소들이 조립된 상태를 도시하는 개략적인 단면도이다.
본 발명의 실시예에 따른 크라이오펌프(200)는 도 1에 도시된 종래의 크라이오펌프와 동일 또는 유사한 냉각 사이클에 의해 작동될 수 있다. 크라이오펌프는 반도체 생산분야를 포함한 여러 산업분야에서 고진공 내지 초고진공의 환경을 조성하기 위해 사용된다. 크라이오펌프는 펌프 내부의 온도를 예를 들어, 절대온도 8K(약 -265℃) 정도까지 낮추어 가스 분자들의 운동량을 떨어뜨려 움직이지 못하게 응축 또는 포집하여 진공을 조성한다.
크라이오펌프는 예를 들어, 스터링 사이클, 솔베이 사이클, GM(Gifford- Macmahon) 냉동 사이클 등을 이용하여 펌프 내부를 극저온으로 냉각할 수 있고, 냉매로는 수소(H2) 또는 헬륨(He)이 이용될 수 있다. 크라이오펌프는 펌프 바디(210)와, 이러한 펌프 바디(210)와 연결되는 극저온 냉동기(260)를 포함한다. 극저온 냉동기(260)는 호스를 통해 압축기(도시안됨)와 연결된다.
본 발명의 실시예에 따른 크라이오펌프(또는 크라이오펌프 조립체)(200)는 펌프 바디(210), 제1 댐핑 플랜지(220), 가스켓(230), 탄성부재(240), 제2 댐핑 플랜지(250), 극저온 냉동기(260)를 포함한다.
펌프 바디(210)는 소정의 수용 공간을 갖고 플랜지부(또는 플랜지)(211)를 구비한다. 플랜지부(21)는 펌프 바디(210)와 일체로 형성되거나, 다른 부재를 통해 연결될 수 있다.
플랜지부(211)에는 체결부재(217)가 통과될 수 있도록 체결구멍(213)이 형성된다. 플랜지부(211)에는 O링(215)이 삽입되는 O링 홈(212)이 형성될 수 있다.
제1 댐핑 플랜지(220)는 제2 댐핑 플랜지(250)와 사실상 동일한 형상을 가질 수 있다. 제1 댐핑 플랜지(220)는 상면에 펌프 바디(210)의 플랜지부(211)가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부(225)를 갖는다. 제1 플랜지 안착부(225)의 형상은 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 플랜지 안착부(255)의 형상을 참조하면 된다. 제1 플랜지 안착부(225)는 제1 댐핑 플랜지(220)의 상단보다 단차를 갖도록 형성되어 제1 댐핑 플랜지(220)의 상단보다 낮은 평면으로 형성된다.
제1 댐핑 플랜지(220)의 후면에는 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부(223)가 형성된다. 제1 홈부(223)에는 탄성부재(240)가 삽입될 수 있다.
극저온 냉동기(260)는 냉매(예를 들어, 헬륨)를 팽창시켜 극저온을 형성한다. 극저온 냉동기(260)는 내부에 팽창밸브, 왕복기 등의 구성을 가질 수 있다. 여기서 극저온 냉동기(260)는 주로 G-M냉동기를 말하는 것이며 냉동기 유닛, 콜드헤드(cold head), 익스팬더(expander), GM 크라이오쿨러, 등 여러 가지 명칭으로 불려지고 있으나, 본 발명에서 극저온 냉동기(260)는 크라이오펌프에서 펌프 바디(210)와 플랜지 형태로 연결되면서, 냉매를 팽창시켜 극저온을 형성하기 위한 부품을 말하는 것이며, G-M 냉동사이클 뿐만 아니라 솔베이 또는 스터링 냉동 사이클도 해당될 수 있다.
극저온 냉동기(260)는 플랜지부(또는 플랜지)(261)를 구비한다. 플랜지부(261)는 극저온 냉동기(260)와 일체로 형성되거나, 다른 부재를 통해 연결될 수 있다.
플랜지부(261)에는 체결부재(267)가 통과될 수 있도록 체결구멍(263)이 형성된다. 플랜지부(211)에는 O링(265)이 삽입되는 O링 홈(262)이 형성될 수 있다.
제2 댐핑 플랜지(250)는 제1 댐핑 플랜지(220)와 사실상 동일한 형상을 가질 수 있다. 제2 댐핑 플랜지(250)는 상면에 극저온 냉동기(260)의 플랜지부(261)가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부(255)를 갖는다. 제2 플랜지 안착부(255)는 제2 댐핑 플랜지(250)의 상단보다 단차를 갖도록 형성되어 제2 댐핑 플랜지(250)의 상단보다 낮은 평면으로 형성된다.
제2 댐핑 플랜지(250)의 후면에는 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부(253)가 형성된다. 제2 홈부(253)에는 탄성부재(240)가 삽입될 수 있다.
탄성부재(240)는 제1 댐핑 플랜지(220)의 제1 홈부(223)와 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 홈부(253)에 삽입된다. 탄성부재(240)는 제1 홈부(223)와 제2 홈부(253) 사이에 삽입되면서 탄성을 구비하여, 극저온 냉동기(260)로부터 발생되는 진동이 펌프 바디(210)로 전달되지 않도록 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 탄성부재(240)는 제1 홈부(223)와 제2 홈부(253) 사이에 삽입된 상태에서 제1 홈부(223)와 제2 홈부(253)의 단부가 접촉되지 않도록 하는 정도의 길이를 가질 수 있다. 탄성부재(240)는 스프링, 고무 등 탄성을 가져서 충격과 진동을 완화할 수 있는 부재이면 되고, 그 형상이나 재질은 본 발명을 제한하지 않는다.
본 실시예에서, 탄성부재(240)는 소정의 폭과 두께를 갖는 링 형상의 부재로 형성될 수 있다. 이러한 탄성부재(240)는 극저온 냉동기(260)로부터 발생되는 진동을 완화시켜 이러한 진동이 펌프 바디(210)로 전달되는 것을 최소화한다.
탄성부재(240)에는 종방향으로 연장되는 다수의 관통 개구(241)가 형성될 수 있다. 각각의 관통 개구(241)에는 스프링(245)이 삽입되어, 이러한 스프링(245)에 의해 극저온 냉동기(160)로부터 발생되는 진동을 더욱 완화시킬 수 있다.
가스켓(230)은 제1 댐핑 플랜지(220)의 후면과 제2 댐핑 플랜지(250)의 후면 사이에 위치될 수 있다. 가스켓(230)은 펌프 바디(210)와 극저온 냉동기(260) 사이에 기밀을 제공한다.
더욱 양호한 기밀 환경을 위해 제1 댐핑 플랜지(220)의 후면에는 링 형상의 돌출부(221)가 형성될 수 있다. 또한, 제2 댐핑 플랜지(250)의 후면에도 링 형상의 돌출부(251)가 형성될 수 있다. 이러한 돌출부(221, 251)는 조립된 상태에서 가스켓(230)을 가압하여 기밀이 잘 유지될 수 있도록 한다.
제1 댐핑 플랜지(220)에는 체결부재(217, 267)가 통과될 수 있도록 다수의 홀(226, 227)이 형성된다. 이러한 홀(226, 227)은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀(226)과, 나사산이 형성된 제2 홀(227)을 포함할 수 있다. 제1 홀(226)은 제2 홀(227)보다 약간 큰 직경을 가질 수 있다.
제2 댐핑 플랜지(250)에는 체결부재(217, 267)가 통과될 수 있도록 다수의 홀(256, 257)이 형성된다. 이러한 홀(256, 257)은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀(256)과, 나사산이 형성된 제2 홀(257)을 포함할 수 있다. 제1 홀(256)은 제2 홀(257)보다 약간 큰 직경을 가질 수 있다.
가스켓(230)에는 체결부재(217, 267)가 통과될 수 있도록 다수의 홀(231, 132)이 형성된다.
도 4를 참조하면, 펌프 바디(210)의 플랜지부(211)에 형성된 체결구멍으로 삽입된 체결부재(217)는 제1 댐핑 플랜지(220)의 제1 홀(226), 가스켓(230)의 홀(231)을 지나 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 홀(257)까지 연장된다. 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 홀(257)에는 나사산이 형성되어, 체결부재(217)에 형성된 나사산과 체결될 수 있다.
즉, 펌프 바디(210)의 체결구멍으로 삽입된 체결부재(217)는 제2 댐핑 플랜지(250)까지만 연장되어 극저온 냉동기(260)의 플랜지부(261)와는 체결되지 않는다.
또한, 극저온 냉동기(260)의 플랜지부(261)에 형성된 체결구멍으로 삽입된 체결부재(267)는 제2 댐핑 플랜지(250)의 제1 홀(256), 가스켓(230)의 홀(232)을 지나 제1 댐핑 플랜지(220)의 제2 홀(227)까지 연장된다. 제1 댐핑 플랜지(220)의 제2 홀(227)에는 나사산이 형성되어, 체결부재(267)에 형성된 나사산과 체결될 수 있다.
즉, 극저온 냉동기(260)의 체결구멍으로 삽입된 체결부재(267)는 제1 댐핑 플랜지(220)까지만 연장되어 펌프 바디(210)의 플랜지부(211)와는 체결되지 않는다.
이와 같이, 펌프 바디(210)와 극저온 냉동기(260)는 어긋맞춤 조임의 원리를 적용하여 체결부재(217, 267)에 의해 함께 체결되지 않으므로, 극저온 냉동기(260)에서 발생되는 진동 또는 충격은 탄성부재(240), 가스켓(230), 제1 댐핑 플랜지(220)를 거치는 과정에서 대부분 상쇄되고 펌프 바디(210)로 직접 전달되지 않는다. 따라서, 극저온 냉동기(260)에서 진동이 발생한다 하더라도 이러한 진동이 펌프 바디(210)로 전달되지 않도록 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 크라이오펌프(200)는 제1 댐핑 플랜지(220)의 제1 홈부(223)와 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 홈부(253) 사이에 탄성부재(240)가 삽입되어 극저온 냉동기(160)로부터 전달되는 진동을 완화할 수 있다. 또한, 탄성부재(240)에 형성된 관통 개구(241)에 삽입된 스프링(245)은 추가로 진동을 완화시킬 수 있다.
또한, 크라이오펌프(200)에서, 펌프 바디(210)와 극저온 냉동기(260)는 체결부재(217, 267)에 의해 함께 체결되지 않도록 구성되어 극저온 냉동기(260)에서 진동이 발생한다 하더라도 이러한 진동 성분이 탄성부재(240), 가스켓(230), 제1 댐핑 플랜지(220)를 거치는 동안 대부분 상쇄되고 펌프 바디(210)로 전달되지 않도록 한다. 따라서, 극저온 냉동기(260)에서 발생되는 진동이 펌프 바디(210)와 연결되는 공정챔버로 진동이 전달되는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 댐핑 플랜지(220), 제2 댐핑 플랜지(250), 가스켓(230), 탄성부재(240)로 구성되는 부분을 댐핑 플랜지 조립체라 할 수 있다. 이러한 댐핑 플랜지 조립체는 제1 댐핑 플랜지(220)의 제1 플랜지 안착부(225)에 안착되는 플랜지와, 제2 댐핑 플랜지(250)의 제2 플랜지 안착부(255)에 안착되는 플랜지 사이에서 진동이 서로 전달되는 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 댐핑 플랜지 조립체는 크라이오펌프에서 진동 저감을 위한 목적 외에도 플랜지 형태로 결합되는 2개의 부재 사이에서 진동이 서로 전달되지 않도록 용도에는 어떠한 곳에도 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 크라이오 펌프의 구성을 도시하는 분해 사시도이다.
본 실시예의 크라이오펌프(200)는 도 2 내지 도 4에 도시된 크라이오펌프(200)에서 가스켓(230)이 O링(235)으로 대체된 것을 제외하고는 도 2 내지 도 4에 도시된 크라이오펌프(200)와 동일하다. 제1 댐핑 플랜지(220)의 후면에는 O링(235)이 삽입될 수 있도록 제1 댐핑 플랜지(220)에는 O링 홈(224)이 형성될 수 있다. 이러한 O링 홈(224)은 제2 댐핑 플랜지(250)의 후면에 형성될 수도 있다.
이와 같이, 도 2 내지 도 4에 도시된 실시예에서 기밀을 위한 가스켓(230)은 본 실시예에서 O링(235)으로 대체될 수 있고, 다른 구성은 동일하다.
본 실시예에서, 제1 댐핑 플랜지(220), 제2 댐핑 플랜지(250), O링(235), 탄성부재(240)로 구성되는 부분을 댐핑 플랜지 조립체라 할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
200 : 크라이오펌프
210 : 펌프 바디
211 : 플랜지부
217 : 체결부재
220 : 제1 댐핑 플랜지
225 : 제1 플랜지 안착부
226 : 제1 홀
227 : 제2 홀
230 : 가스켓
240 : 탄성부재
241 : 관통 개구
245 : 스프링
250 : 제2 댐핑 플랜지
255 : 제1 플랜지 안착부
256 : 제1 홀
257 : 제2 홀
260 : 극저온 냉동기

Claims (8)

  1. 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체에 있어서,
    상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지;
    상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지;
    상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재;
    상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 가스켓;
    을 포함하고,
    상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지 및 상기 가스켓에는 플랜지와 결합하기 위한 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된 댐핑 플랜지 조립체.
  2. 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체에 있어서,
    상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지;
    상면에 플랜지가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지;
    상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재;
    상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 O링;
    을 포함하고,
    상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지에는 플랜지와 결합하기 위한 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된 댐핑 플랜지 조립체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 플랜지 및 상기 제2 댐핑 플랜지에 형성된 상기 홀은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀과, 나사산이 형성된 제2 홀을 포함하는 댐핑 플랜지 조립체.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탄성부재는 소정의 폭과 두께를 갖는 링 형상이고,
    상기 탄성부재에는 종방향으로 연장되는 다수의 관통 개구가 형성되고,
    상기 댐핑 플랜지 조립체는,
    상기 관통 개구에 삽입되는 스프링;
    을 더 포함하는 댐핑 플랜지 조립체.
  5. 진동 저감을 위한 크라이오펌프에 있어서,
    소정의 수용 공간을 갖고 플랜지부를 구비하는 펌프 바디;
    상면에 상기 펌프 바디의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지;
    플랜지부가 형성되고 냉매를 팽창시켜 극저온을 형성하기 위한 극저온 냉동기;
    상면에 상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지;
    상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재;
    상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 가스켓;
    을 포함하고,
    상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지 및 상기 가스켓에는 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된 크라이오펌프.
  6. 진동 저감을 위한 크라이오펌프에 있어서,
    소정의 수용 공간을 갖고 플랜지부를 구비하는 펌프 바디;
    상면에 상기 펌프 바디의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제1 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제1 홈부가 형성된 제1 댐핑 플랜지;
    플랜지부가 형성되고 냉매를 팽창시켜 극저온을 형성하기 위한 극저온 냉동기;
    상면에 상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부가 안착될 수 있도록 제2 플랜지 안착부를 갖고 후면의 외주를 따라 링 형상의 제2 홈부가 형성된 제2 댐핑 플랜지;
    상기 제1 홈부 및 상기 제2 홈부에 삽입되는 탄성부재;
    상기 제1 댐핑 플랜지의 후면과 상기 제2 댐핑 플랜지의 후면 사이에 위치되는 O링;
    을 포함하고,
    상기 제1 댐핑 플랜지, 상기 제2 댐핑 플랜지에는 체결부재가 통과할 수 있도록 다수의 홀이 형성된 크라이오펌프.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 플랜지 및 상기 제2 댐핑 플랜지에 형성된 상기 홀은 나사산이 형성되지 않은 제1 홀과, 나사산이 형성된 제2 홀을 포함하고,
    상기 펌프 바디의 상기 플랜지부에 체결되는 체결부재는 상기 제1 댐핑 플랜지의 상기 제1 홀을 지나 상기 제2 댐핑 플랜지의 상기 제2 홀까지 연장되고,
    상기 극저온 냉동기의 상기 플랜지부에 체결되는 체결부재는 상기 제2 댐핑 플랜지의 상기 제1 홀을 지나 상기 제1 댐핑 플랜지의 상기 제2 홀까지 연장되는 크라이오펌프.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 탄성부재는 소정의 폭과 두께를 갖는 링 형상이고,
    상기 탄성부재에는 종방향으로 연장되는 다수의 관통 개구가 형성되고,
    상기 크라이오 펌프는,
    상기 관통 개구에 삽입되는 스프링;
    을 더 포함하는 크라이오펌프.
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KR20120039378A (ko) * 2010-10-15 2012-04-25 현대자동차주식회사 차량용 댐퍼 풀리
KR20120048179A (ko) * 2010-11-05 2012-05-15 이봉춘 개량된 역지밸브

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