CN107045402B - 集成触摸屏的显示装置 - Google Patents
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Abstract
提供了一种集成触摸屏的显示装置。该集成触摸屏的显示装置包括:包括有源区和非有源区的基板,所述有源区包括多个子像素;栅极线和数据线,所述栅极线和所述数据线限定一个子像素;设置在子像素中的薄膜晶体管;电连接至薄膜晶体管的源电极的第一电极;以及设置为与第一电极交叠的第二电极,其中保护层介于第一电极与第二电极之间,并且该集成触摸屏的显示装置还包括在非有源区中配置为连接线焊盘和信号提供焊盘的焊盘连接层。因此,可以减小信号提供焊盘与线焊盘之间的接触电阻,并且还可以抑制对焊盘连接层的损害。
Description
相关申请的交叉引用
本申请要求于2015年11月30日提交的韩国专利申请第10-2015-0169456号的优先权,其通过引用合并到本文中如同在本文中完全阐述一样以用于所有目的。
技术领域
本公开涉及集成触摸屏的显示装置。
背景技术
随着信息导向社会的发展,对于显示图像的显示装置的各种类型的需求增大。近来,已经使用了诸如液晶显示(LCD)装置、等离子体显示面板(PDP)装置或有机发光显示(OLED)装置的各种类型的显示装置。
这种显示装置打破了常规的输入系统例如按钮、键盘和鼠标,并且已经开发了允许用户直观地并且便利地输入信息或指令的基于触摸的显示装置。
为了提供这种基于触摸的输入系统,需要识别用户的触摸或非触摸并且精确地检测触摸坐标。
根据相关技术,各种触摸模式如电阻膜模式、电容模式、电磁感应模式、红外模式以及超声波模式设置用于触摸感测。
此外,关于将触摸屏应用于显示装置,已经开发了将触摸传感器安装在显示装置内的技术。特别地,已经开发了使用形成在下基板上的作为触摸电极的公共电极的内嵌(in-cell)型显示装置。
此外,显示装置包括显示面板,在显示面板中设置有数据线和栅极线,并且设置了在数据线与栅极线之间的交叉处限定的子像素,即,栅极线中之一与数据线中之一限定子像素。数据驱动器配置为将数据电压提供至数据线,栅极驱动器配置为驱动栅极线,并且控制器配置为控制数据驱动器和栅极驱动器的驱动定时。
已经通过TCP工艺等制造与栅极驱动器的移位寄存器集成并且将栅极驱动器IC连接至显示面板的栅极线焊盘的单独的栅极驱动器IC来使用常规的栅极驱动器。
然而,在近年中,已经应用了在显示面板上直接形成栅极驱动器的移位寄存器的板内栅极(GIP)技术。
根据GIP技术,配置为薄膜晶体管的GIP电路形成在显示面板上,并且用于将时钟信号CLK提供至GIP电路的控制信号线一起形成在显示面板上。
控制信号线形成在具有栅极线的基板上。然而,在内嵌型触摸屏显示装置中,当触摸感测线形成在钝化层上时,控制信号线形成在钝化层上。
特别地,形成在显示面板上的控制信号线的一端通过焊盘连接层以跳接(jumping)结构连接至形成在与栅极线相同层上的信号提供焊盘。
然而,为了露出信号提供焊盘,需要通过去除钝化层、栅极绝缘层和保护层的一部分来形成接触孔。然而,由于钝化层的厚度大,因此由于焊盘连接层设置在钝化层的陡峭斜坡上而使焊盘连接层可断开或裂开。
特别地,在由显示装置的驱动导致的高温和高湿环境下,在焊盘连接层中容易生成微裂纹以劣化图像质量。
发明内容
本公开的一个方面提供了一种集成触摸屏的显示装置,该集成触摸屏的显示装置通过从用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线去除钝化层并且因此减小线焊盘与信号提供焊盘之间的台阶高度来改善接触特性。
此外,本公开的一个方面还提供了一种集成触摸屏的显示装置,其中从用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线去除钝化层,并且因此减小了信号提供焊盘与线焊盘之间的接触电阻,并且抑制了对焊盘连接层的损害。
根据本公开的一个方面,提供了一种集成触摸屏的显示装置,该集成触摸屏的显示装置包括:包括有源区和非有源区的基板,所述有源区包括多个子像素;栅极线和数据线,以限定一个子像素;设置在有源区的子像素中的薄膜晶体管;钝化层,其设置在薄膜晶体管上并且具有在非有源区中的开口;设置在开口中的信号提供焊盘;线焊盘,其设置在开口中并且位于覆盖信号提供焊盘的保护层上;焊盘连接层,其配置为在开口中穿过至少一个第一接触孔连接线焊盘并且穿过至少一个第二接触孔连接信号提供焊盘;第一电极,其设置在钝化层上并且穿过第四接触孔连接至薄膜晶体管的源电极,保护层设置在第一电极上;设置在保护层上以与第一电极交叠的第二电极;以及与数据线平行的触摸感测线。因此,可以减小信号提供焊盘与线焊盘之间的接触电阻,并且还可以抑制对焊盘连接层的损害。
在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中,通过从用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线去除钝化层,因此减小线焊盘与信号提供焊盘之间的台阶高度来改善接触特性。
此外,在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中,从用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线去除钝化层,因此减小了信号提供焊盘与线焊盘之间的接触电阻,并且抑制了对焊盘连接层的损害。
附图说明
结合附图根据下面的详细描述将更清楚地理解本公开的上述及其他方面、特征和其他优点,在附图中:
图1是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的配置图;
图2是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的栅极驱动器的示意图;
图3是示出在根据本公开的一个示例性实施方案的集成触摸屏显示装置为液晶显示装置的情况下的显示面板的横截面的图;
图4是示出根据本公开的集成触摸屏的显示装置的GIP电路区的图;
图5是示出在集成触摸屏的显示装置中的控制信号线焊盘与信号提供焊盘之间出现的断开缺陷的图;
图6是示出根据本公开的制造集成触摸屏的显示装置的工艺的流程图;
图7是在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中的子像素区和控制信号线焊盘区的截面图;
图8是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的控制信号线焊盘和信号提供焊盘的平面图;
图9A至图9G是示出根据本公开的制造集成触摸屏的显示装置的工艺的截面图;
图10是示出根据本公开的另一示例性实施方案的集成触摸屏的显示装置的公共电压提供区的图;以及
图11是图10中的集成触摸屏的显示装置的子像素区和控制信号线焊盘区的截面图。
具体实施方式
参照附图,根据以下描述的示例性实施方案,将更加清楚地理解本公开的优点和特征以及用于实现本公开的方法。然而,本公开不限于以下示例性实施方案,并且可以以各种不同的形式来实现。示例性实施方案仅提供用于完成本公开的公开内容,并且向本公开所属领域技术人员完整提供本公开的类型,本公开将由所附权利要求来限定。
附图中所示的用于描述本公开示例性实施方案的形状、尺寸、比例、角度、数量等仅是实例,并且本公开不限于此。贯穿本说明书,相同的附图标记通常表示相同的元件。此外,在以下描述中,可以省略众所周知的相关技术的详细说明以避免不必要地模糊本公开的主题。
本文中所使用的术语如“包括”、“具有”、以及“由....组成”通常旨在允许添加其他部件,除非使用术语“仅”来限定术语。任何单数形式的引用可以包括复数形式,除非以另外的方式明确说明。
部件解释为包括普通误差范围,即使未明确说明也是如此。
当使用术语如“在...上”、“在...上方”、“在...下方”以及“靠近”的来描述两个部件之间的位置关系时,可以在两个部件之间布置一个或更多个部件,除非这些术语与术语“直接地”或“直接”一起使用。
当使用术语如“在...之后”、“随后”、“紧接”以及“在…之前”的来描述两个或更多个事件之间的时间序列时,两个或更多个事件可以是不连续的,除非这些术语与术语“直接地”或“直接”一起使用。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种部件,但是这些部件不受限于这些术语。这些术语仅用于区分一个部件与其他部件。因此,在本公开的技术构思中以下描述的第一部件可以是第二部件。
本公开的各个示例性实施方案的特征可以部分地或整个地彼此结合或组合,并且可以以本领域技术人员完全理解的技术上的各种方式来相互关联和操作,并且各个示例性实施方案可以独立地或者彼此相关联地进行实施。
在下文中,将参照附图详细描述本公开的示例性实施方案。此外,在附图中为了方便,可以将装置的尺寸和厚度呈现为放大。贯穿本说明书,相同的附图标记通常表示相同的元件。
图1是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的配置图。
参照图1,根据本公开的集成触摸屏的显示装置100为能够提供图像显示功能(显示功能)和触摸感测功能的显示装置。
例如,集成触摸屏的显示装置100为具有响应于触摸输入的触摸感测功能的中型装置以及大型装置(例如,TV或监视器)或者移动装置(例如,智能电话或平板电脑)。
参照图1,集成触摸屏的显示装置100包括用于提供显示功能的显示面板110、数据驱动器120、栅极驱动器130以及控制器140。
显示面板110可以包括沿第一方向(例如,沿列方向)设置的多条数据线DL以及沿第二方向(例如,沿行方向)设置的多条栅极线GL。
数据驱动器120驱动多条数据线DL。在本文中,数据驱动器120还可以称为“源极驱动器”。
栅极驱动器130驱动多条栅极线GL。在本文中,栅极驱动器130还可以称为“扫描驱动器”。
控制器140控制数据驱动器120和栅极驱动器130。为了这样做,控制器140将各种控制信号提供给数据驱动器120和栅极驱动器130。
控制器140根据在每个帧中实现的定时来开始扫描,将从外部输入的图像数据转换成适合于数据驱动器120使用的数据信号形式,输出所转换的图像数据,并且在对应于扫描的合适的时间处控制驱动数据。
控制器140可以是在一般显示技术中使用的定时控制器或包括定时控制器并且执行另外的控制功能的控制器。
栅极驱动器130根据控制器140的控制向多条栅极线相继提供ON(导通)电压或OFF(断开)电压扫描信号。
如果通过栅极驱动器130打开特定栅极线GL,则数据驱动器120将从控制器140接收的图像数据转换成模拟形式的数据电压并且将数据电压提供给多条数据线DL。
虽然图1中数据驱动器120位于显示面板110的仅一侧(例如,上侧或下侧)处,但是根据面板的驱动方法或者设计方法数据驱动器120可以位于显示面板110的两侧(例如,上侧和下侧)处。
虽然图1中栅极驱动器130位于显示面板110的仅一侧(例如,上侧或下侧)处,但是根据面板的驱动方法或者设计方法栅极驱动器130可以位于显示面板110的两侧(例如,上侧和下侧)处。
前述的控制器140从外部(例如,主机系统)接收输入图像数据连同各种定时信号,例如,垂直同步信号Vsync、水平同步信号Hsync、输入数据使能(DE)信号以及时钟信号CLK。
集成触摸屏的显示装置100可以是诸如液晶显示装置、有机发光显示装置以及等离子体显示装置的各种不同装置中的任一种。例如,集成触摸屏的显示装置100可以是其中液晶分子水平取向并且在面内转动以显示图像的面内切换(IPS)模式液晶显示装置,并且具有高分辨率、低功耗、宽视角等的优点。更具体地,集成触摸屏的显示装置100可以是先进的高性能IPS(AH-IPS)模式液晶显示装置。
设置在显示面板110中的每个子像素SP可以配置为包括各种电路元件如晶体管。
同时,集成触摸屏的显示装置100可以包括用于提供触摸感测功能的触摸系统。
参照图1,触摸系统可以包括用作触摸传感器的多个触摸电极TE和配置为通过驱动多个触摸电极TE感测触摸输入的触摸电路150。
触摸电路150向多个触摸电极TE相继提供触摸驱动信号以相继驱动多个触摸电极TE。
然后,触摸电路150从施加有触摸驱动信号的触摸电极TE接收触摸感测信号。
触摸电路150可以识别触摸或非触摸并且基于从多个触摸电极TE接收的触摸感测信号计算触摸坐标。
在本文中,触摸驱动信号例如可以具有脉冲调制信号(具有两个或更多个电压电平)的波形。
根据通过相应触摸电极TE周围的对象如手指或笔的输入是否触摸,从多个触摸电极TE接收的触摸感测信号可变化。
触摸电路150可以识别触摸或非触摸并且通过基于触摸感测信号获得触摸电极TE中的电容变化(或电压变化或电荷变化)来获得触摸坐标。
参照图1,触摸电极TE中的每个连接至感测线SL以将触摸驱动信号提供给多个触摸电极TE中的每一个。
此外,为了向多个触摸电极TE相继提供触摸驱动信号,触摸系统还可以包括配置为将触摸电路150相继连接至感测线SL(分别连接至多个触摸电极TE)的开关电路160。
开关电路160可以包括至少一个复用器。
同时,参照图1,多个触摸电极TE中的每一个可以形成为块状。
此外,每个触摸电极TE的尺寸可以等于或对应于一个子像素区SP的尺寸。
另外地,每个触摸电极TE的尺寸可以比一个子像素区SP的尺寸大,如图1中所示。
即,每个触摸电极TE区的尺寸可以对应于两个或更多个子像素区SP的尺寸。
同时,参照图1,在显示面板110中可以构建多个触摸电极TE。
在这个意义上,可以说显示面板110可以与触摸屏或触摸屏面板集成在一起。即,显示面板110可以是内嵌型或盒上型集成触摸屏的显示面板。
同时,集成触摸屏的显示装置100可以以显示模式操作以提供显示功能,或者可以以触摸模式操作以提供触摸感测功能。
就这一点而言,多个触摸电极TE可以在触摸模式期间操作为触摸传感器,并且可以在显示模式期间用作显示模式电极。
例如,在显示模式期间,作为显示模式电极的实例,多个触摸电极TE可以操作为施加有公共电压Vcom的公共电极。
在本文中,公共电压Vcom对应于施加至像素电极的像素电压。
同时,在显示面板110中构建的多个触摸电极TE可以以N(N≥2)行和M(M≥2)列的矩阵形式设置,如图1中所示。
图2是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的栅极驱动器的示意图。
在下面,为了方便说明,包括在栅极驱动器130中的一个或更多个栅极驱动器集成电路将描述呈现为GIP型,并且栅极驱动集成电路还可以描述为“GIP”(板内栅极驱动器IC)。
在该情况下,如图2中的栅极驱动器130的示例图中所示,多个栅极驱动器集成电路GIP 1、GIP 2、...、GIP n可以设置在非有源区中作为显示面板110的显示图像的有源区A/A的外周。
此外,多个控制信号线131设置为与栅极驱动器130相邻,并且电连接至设置在栅极驱动器集成电路中的多个GIP电路(参照图4)。
图2示出了栅极驱动器集成电路以与栅极线GL的数量n相同的数量设置。然而,根据栅极驱动器130的驱动方法栅极驱动器集成电路的数量(例如,2n)可以与栅极线GL的数量n不同。
如果特定栅极线开通,则数据驱动器120将从控制器140接收的图像数据转换成模拟形式的数据电压,并且将数据电压提供至多条数据线DL中的每个以驱动数据线DL。
图3是示出在根据本公开的一个示例性实施方案的集成触摸屏显示装置为液晶显示装置的情况下的显示面板的横截面的图。
参照图3,例如,在集成触摸屏的显示装置100的显示面板110中,在下基板400上沿第一方向(沿图1中的水平方向)形成栅极线402,并且在其上形成栅极绝缘层(栅极绝缘体)404。
在栅极绝缘层404上沿第二方向(沿图1中的垂直方向)形成数据线406,并且在其上形成第一保护层408。
在第一保护层408上形成每个子像素区的像素电极410和感测线412,并且在其上可以形成第二保护层414。在本文中,感测线412分别从用作公共电极和触摸电极的多个触摸电极TE连接至开关电路160,以在显示模式下将由公共电压提供单元生成的公共电压Vcom传输至多个触摸电极TE并且在触摸模式下将从触摸电路150和开关电路160生成的触摸驱动信号传输至多个触摸电极TE。
在第二保护层414上形成用作公共电极和触摸电极的一个电极416,并且在其上形成液晶层418。在本文中,用作公共电极和触摸电极的电极416是多个触摸电极TE中的一个,并且可以是块状图案。
其上待形成黑矩阵419a、滤色器419b等的上基板420位于液晶层418上。
虽然图3示出了液晶显示装置,但是本公开不限于此,并且可以应用于可以与触摸面板集成在一起的各种显示装置。
图4是示出根据本公开的集成触摸屏的显示装置的GIP电路区的图。
参照图4,根据本公开,在集成触摸屏的显示装置的显示面板110上设置栅极驱动器集成电路GIP。此外,在栅极驱动器集成电路GIP上设置包括多个薄膜晶体管的GIP电路133以用作移位寄存器。
此外,在GIP电路133的一侧区中设置多个控制信号线131,并且在GIP电路133与有源区A/A之间设置公共线132。
如附图中所示,GIP电路133电连接至控制信号线131,并且当形成公共电极(或者触摸电极)时可以通过图案化的连接图案以跳接结构连接。
特别地,根据本公开,在集成触摸屏的显示装置中添加了触摸感测线(感测线)。在该情况下,在钝化层上形成控制信号线131。
控制信号线131用作用于将时钟信号CLK等提供至GIP电路133的线。时钟信号CLK通过生成待提供至栅极线的栅极信号(扫描信号)从GIP电路133输出。
此外,提供至控制信号线131的时钟信号CLK从形成在基板上的信号提供焊盘传输。因此,线焊盘形成在控制信号线131的一侧边缘上并且连接至信号提供焊盘。
设置在钝化层上的线焊盘和设置在基板上的信号提供焊盘经由穿过形成在钝化层上以露出信号提供焊盘的接触孔的焊盘连接层连接。
然而,钝化层的大的厚度导致相对于接触孔区的大的台阶高度。因此,配置为电连接线焊盘和信号提供焊盘的焊盘连接层可能断开或者可能生成裂纹。
图5是示出在集成触摸屏的显示装置中的控制信号线焊盘与信号提供焊盘之间出现的断开缺陷的图。
参照图5连同图4,设置在显示面板110的非有源区中的控制信号线131以及在它们末端上形成的线焊盘550形成在钝化层730上。
因此,设置在控制信号线焊盘区上的线焊盘550设置在层叠在基板700上的栅极绝缘层710、第一保护层720、钝化层730以及第二保护层760上。附图中的附图标记761表示第三保护层。
如附图中所示,在基板700上设置信号提供焊盘510。因此,在露出信号提供焊盘510的接触孔区中在线焊盘550与信号提供焊盘510之间有大的台阶高度。
因此,配置为连接信号提供焊盘510和线焊盘550的焊盘连接层570沿钝化层730的陡峭斜坡设置。因此,在驱动显示装置的同时可能出现裂纹或断开。
在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中,从控制信号线区去除钝化层的一部分,并且信号提供焊盘与控制信号线间隔开,其中栅极绝缘层介于信号提供焊盘与控制信号线之间。因此,减小了线焊盘与信号提供焊盘之间的台阶高度。
此外,在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中,钝化层的一部分被去除用于布置用于向GIP电路提供控制信号的控制信号线的信号提供焊盘和线焊盘,因此减小了信号提供焊盘与线焊盘之间的接触电阻,并且抑制了对焊盘连接层的损害。
在下面,描述了根据本公开的集成触摸屏的显示装置。然而,本公开还可以应用于面内切换(IPS)模式液晶显示装置或先进的高性能IPS(AH-IPS)模式液晶显示装置。
在IPS模式液晶显示装置的情况下,公共电极具有未划分为如触摸电极的块状而是在显示面板的整个区上形成为一体的电极结构。公共电极在对应于每个子像素区的区中被图案化为梳齿状或者缝状,并且用作公共电极,并且像素电极被图案化为板状,但是本公开不限于此。在其他实施方案中,公共电极可以被图案化为板状,并且像素电极可以被图案化为梳齿状或者缝状。
图6是示出根据本公开的制造集成触摸屏的显示装置的工艺的流程图。
参照图6,根据本公开的制造集成触摸屏的显示装置的工艺包括:设置划分为显示图像的有源区A/A和沿有源区A/A的周边设置在有源区A/A外部的非有源区的基板;以及形成栅极线、薄膜晶体管的栅电极以及栅极焊盘。此外,在本公开中,同时在基板上形成将时钟信号CLK提供至连接至栅极驱动器的GIP电路的控制信号线的信号提供焊盘(第一掩模工艺(掩模#1))。
然后,执行用于形成设置在有源区的每个子像素上的薄膜晶体管的有源层、源电极以及漏电极的第二掩模工艺(掩模#2)。在基板上形成第一保护层和钝化层以保护薄膜晶体管。然后,在钝化层上执行第三掩模工艺(掩模#3)以形成接触孔以露出源电极或漏电极。
在第二掩模工艺中,衍射掩模或半色调掩模用于同时形成源电极、漏电极和有源层。
此外,在本公开中,去除了钝化层的一部分,因此将有将形成控制信号线和信号提供焊盘的区,使得一起形成露出栅极绝缘层的区。
然后,对于每个子像素执行用于形成像素电极(第一电极)的第四掩模工艺(掩模#4)和用于形成第二保护层、触摸感测线、控制信号线和线焊盘的第五掩模工艺(掩模#5)。在该情况下,控制信号焊盘和线焊盘形成在开口上,并且因此形成在第二保护层(形成在栅极绝缘层上)上。
然后,在基板的整个表面上形成第三保护层,并且执行接触孔工艺用于通过执行第六掩模工艺(掩模#6)来露出触摸感测线、像素电极的一部分、线焊盘和信号提供焊盘。
然后,执行第七掩模工艺(掩模#7)以形成待设置在像素电极上的触摸电极(公共电极),其中第三保护层介于其间。
在该情况下,在控制信号线焊盘区上同时形成了用于连接线焊盘与信号提供焊盘的焊盘连接层。
在本公开中,在去除了钝化层的栅极绝缘层上形成控制信号线和线焊盘。因此,降低了相对于信号提供焊盘的台阶高度以抑制图像质量的劣化。
图7是在根据本公开的集成触摸屏的显示装置中的子像素区和控制信号线焊盘区的截面图,以及图8是根据本公开的集成触摸屏的显示装置的控制信号线焊盘和信号提供焊盘的平面图。
参照图7,本公开的集成触摸屏的显示装置的描述集中在设置多个子像素的有源区以及作为有源区的外部区(非有源区)的控制信号线焊盘区。
控制信号线焊盘区可以是在图2中设置控制信号线131的两个端子末端的任一个。此外,假定本公开的集成触摸屏的显示装置具有其中栅极驱动器130构建在显示面板110中的GIP结构。
在本公开的集成触摸屏的显示装置的有源区中,栅电极702设置在基板700上,并且包括栅极绝缘层710、有源层712、源电极724和漏电极726的薄膜晶体管设置在栅电极702上。源电极和漏电极可以彼此切换。
栅电极702可以由双金属图案或多个金属图案形成。此外,金属图案可以具有其中导电金属图案和透明导电金属图案混合的结构。
例如,导电金属图案可以使用选自铝(Al)、钨(W)、铜(Cu)、钼(Mo)、铬(Cr)、钛(Ti)、钨化钼(MoW)、钛化钼(MoTi)以及铜/钛化钼(Cu/MoTi)中的至少之一来形成,但是不限于此。此外,透明导电材料图案可以使用选自ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)以及CNT(碳纳米管)中的至少之一来形成,但是不限于此。
此外,在栅极绝缘层710上设置数据线714。数据线714可以由包括第一数据线图案714a和第二数据线图案714b的双图案形成。第一数据线图案714a可以包括多个金属图案。此外,金属图案可以具有其中导电金属图案和透明导电材料图案混合的上述结构。
由于在本公开中源电极724、漏电极726和有源层712通过单个掩模工艺形成,所以第二数据线图案714b可以由与有源层712相同的材料形成。
第一保护层720和钝化层730设置在薄膜晶体管和数据线714上。在薄膜晶体管的源电极区724中,形成了接触孔C4。钝化层730可以是由有机膜材料形成的覆盖层。
此外,第一电极740和第二电极770a设置为彼此交叠,其中第二保护层760和第三保护层761在钝化层730上介于第一电极740和第二电极770a之间。在接触孔C4中,设置了由与第二电极770a相同的材料形成并且配置为电连接第一电极740和源电极724的连接图案770c。
第二电极770a是在显示模式下用作公共电极或者在触摸模式下还用作触摸电极的电极。
此外,触摸感测线750设置在钝化层730上与数据线714交叠的第二保护层760上。触摸感测线750与数据线714平行。第三保护层761形成在触摸感测线750上。触摸感测线750通过其中第三保护层761被部分地去除的接触孔C3暴露于外部,并且触摸连接层770b穿过接触孔C3电连接至触摸感测线750。
此外,在非有源区中,设置了包括GIP电路的栅极驱动器,并且如图2中所示,控制信号线131设置为与GIP电路相邻。
控制信号线131由与触摸感测线750相同的材料同时形成。特别地,在本公开中,通过去除控制信号线131和控制信号线焊盘区上的钝化层730的一部分来形成开口PO。开口PO通过去除钝化层730的一部分来形成。
参照图8连同图7,在控制信号线焊盘区中,提供有信号如来自外部系统的时钟信号CLK的信号提供焊盘810设置在基板700上,并且栅极绝缘层710形成在信号提供焊盘810上。
在开口PO中,去除了形成在非有源区中的钝化层730和第一保护层720,并且第二保护层760形成在栅极绝缘层710上。
因此,控制信号线131和线焊盘850设置在第二保护层760上在开口PO中,并且栅极绝缘层710和第二保护层760存在于信号提供焊盘810与线焊盘850之间。
参照图8,线焊盘850在显示面板上与每个控制信号线131形成为一体,并且线焊盘850通过焊盘连接层870电连接至信号提供焊盘810。
与每个控制信号线131形成为一体的线焊盘850通过其中第三保护层761被部分地去除的接触孔C1暴露于外部。信号提供焊盘810通过其中栅极绝缘层710、第二保护层760和第三保护层761被部分地去除的接触孔C2露出。
焊盘连接层870穿过接触孔C1和接触孔C2电连接至信号提供焊盘810和线焊盘850。因此,如果来自外部系统的时钟信号CLK等提供至信号提供焊盘810,则时钟信号CLK通过焊盘连接层870和线焊盘850提供至控制信号线131。
在本公开中,钝化层730的一部分被去除以减小控制信号线131上的信号提供焊盘810与线焊盘850之间的台阶高度,使得信号提供焊盘810和线焊盘850可以设置为彼此相邻。
因此,信号提供焊盘810与线焊盘850之间的距离减小。因此,可以降低焊盘连接层870的接触电阻。
此外,在本公开中,焊盘连接层870的接触距离减小。因此,可以降低焊盘连接层870的接触电阻。此外,信号提供焊盘810与线焊盘850之间的台阶高度减小。因此,可以抑制焊盘连接层870的裂纹或断开缺陷。
图9A至图9G是示出根据本公开的制造集成触摸屏的显示装置的工艺的截面图。
本公开的集成触摸屏的显示装置划分为形成多个子像素以显示图像的有源区A/A和非有源区。非有源区可以包括其中设置了栅极焊盘区、数据焊盘区、栅极驱动器、控制信号线和公共线的区。
在图9A至图9G中,描述了显示区中的有源区A/A的子像素区以及控制信号线焊盘区。
参照图9A,栅极金属膜形成在划分为有源区A/A和作为有源区A/A的外周的非有源区的基板700上。然后,通过第一掩模工艺(掩模#1)形成栅电极702和栅极线(未示出)。同时,在栅极焊盘区中形成栅极焊盘(未示出)。此外,信号提供焊盘810形成在控制信号线焊盘区中。信号提供焊盘810和栅极线GL由相同的材料形成。
栅极金属膜可以通过层叠至少两个或更多个金属层形成,并且可以具有其中层叠了金属层和透明导电材料层的结构。因此,金属层可以使用选自铝(Al)、钨(W)、铜(Cu)、钼(Mo)、铬(Cr)、钛(Ti)、钨化钼(MoW)、钛化钼(MoTi)以及铜/钛化钼(Cu/MoTi)中的至少之一来形成,但是不限于此。
此外,透明导电材料层可以使用选自ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)以及CNT(碳纳米管)中的至少之一来形成,但是不限于此。栅极金属膜不限于双金属层,而是可以形成为单个金属层。
如上所述,如果在基板700上形成栅电极702等,则栅极绝缘层710形成在基板700的整个表面上,如图9B中所示。栅极绝缘层710设置在信号提供焊盘810和栅极线GL上。然后,半导体层和源极/漏极金属膜可以相继形成。
半导体层可以由半导体材料如非晶硅或多晶硅(例如,LTPS、HTPS等)形成。此外,半导体层可以使用半导体氧化物材料如锌氧化物(ZO)、铟镓锌氧化物(IGZO)、锌铟氧化物(ZIO)、以及Ga掺杂的ZnO(ZGO)形成。
然后,通过使用衍射掩模或半色调掩模的第二掩模工艺(掩模#2),在对应于栅电极702的栅极绝缘层710上形成有源层712、源电极724以及漏电极726。薄膜晶体管包括栅电极702、栅极绝缘层710、有源层712、源电极724以及漏电极726。
此外,同时,在数据线714和数据焊盘区上形成数据焊盘(未示出)。
然后,如图9C中所示,在基板700的整个表面上依次形成第一保护层720和钝化层730。然后,通过第三掩模工艺(掩模#3)形成露出源电极724的一部分的接触孔C4。
此外,通过去除钝化层730和第一保护层720的一部分,在控制信号线焊盘区中形成开口PO,以形成将形成控制信号线和线焊盘的区。因此,在开口PO中,栅极绝缘层710暴露于外部。
第一保护层720可以由无机材料如SiO2和SiNx或者有机材料如光丙烯酸类物质形成,但是本公开不限于此。
此外,钝化层730可以形成为有机材料的覆盖层。
如果在钝化层730上形成接触孔C4,则在基板700的整个表面上形成金属层,如图9D中所示。然后,通过第四掩模工艺(掩模#4)在钝化层730上形成第一电极(像素电极)740。第一电极740可以由选自ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)和CNT(碳纳米管)的任一种透明导电材料形成。
如果第一电极740形成在钝化层730上,如上所述,则第二保护层760形成在基板700的整个表面上,并且金属层形成为如图9E中所示。然后,通过第五掩模工艺(掩模#5),在与数据线714交叠的钝化层730上形成触摸感测线750。
此外,在控制信号线焊盘区中,控制信号线(未示出)和线焊盘850形成在形成于开口PO中的第二钝化层760上。触摸感测线750和线焊盘850由相同的材料形成。
如果触摸感测线750形成在第二保护层760上,如上所述,则第三保护层761形成在基板700的整个表面上,如图9F中所示。然后,通过第六掩模工艺(掩模#6)形成接触孔C1、C2和C4。
触摸感测线750的一部分通过接触孔C4露出,线焊盘850的一部分通过接触孔C1露出,并且信号提供焊盘810的一部分通过接触孔C2露出。
如果如上所述形成接触孔C1、C2和C4,则透明导电材料层形成在基板700的整个表面上,如图9G中所示。另外,本公开接触孔C1至C4的数量不限。在其他实施方案中,每个接触孔C1至C4的数量可以是复数个。然后,通过第七掩模工艺(掩模#7)形成与第一电极740交叠的第二电极(公共电极或触摸电极)770a。另外,基板700与触摸感测线750之间的距离为d1,基板700与第一电极740之间的距离为d2,基板700与第二电极770a之间的距离为d3,并且d3>d1>d2。即,从基板700至触摸感测线750、第一电极740和第二电极770a的距离彼此不同。
此外,在接触孔C4中,形成了用于电连接第一电极740和源电极724的连接图案770c。在接触孔C3中,形成了电连接至触摸感测线750的触摸连接层770b。
此外,在控制信号线焊盘区中,由与第二电极770a相同材料形成的焊盘连接层870形成为电连接线焊盘850和信号提供焊盘810。
因此,完成了本公开的集成触摸屏的显示装置的下基板。
如此,在本公开的集成触摸屏的显示装置中,从用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线去除钝化层的一部分。因此,可以减小线焊盘与信号提供焊盘之间的台阶高度,并且可以减小接触电阻。
此外,在本公开的集成触摸屏的显示装置中,为了布置用于向GIP电路提供控制信号的信号提供焊盘和控制信号线,去除钝化层的一部分。因此,可以减小相对于信号提供焊盘的接触电阻,并且可以抑制对焊盘连接层的损害。因此,可以抑制图像质量的劣化。
图10是示出根据本公开的另一示例性实施方案的集成触摸屏的显示装置的公共电压提供区的图,以及图11是图10中的集成触摸屏的显示装置的子像素区和控制信号线焊盘区的截面图。
参照图10和图11连同图1,根据本公开的另一示例性实施方案在集成触摸屏的显示装置的显示面板110上设置了多个触摸电极TE,并且称为触摸驱动信号的公共电压提供至这些触摸电极TE。因此,触摸电极TE可以称为公共电极,并且多个像素对应于一个公共电极(触摸电极TE)。
待提供至触摸电极TE的公共电压通过触摸电路150和开关电路160提供至每个触摸感测线。在图10中,公共电压提供区可以是开关电路160与显示面板110之间的交叠区。配置为提供公共电压的开关电路160可以包括其上设置多个晶体管的Vcom Tr区以及用于触摸感测线950b与设置在开关电路160上的晶体管的源极之间电连接的接触区,如图10中所示。
如图10中所示,配置为控制向显示面板110的触摸电极TE提供公共电压的开关电路160上的每个晶体管电连接至触摸感测线950b。
在图11中,在本公开的集成触摸屏的显示装置的有源区中,栅电极902设置在基板700上,栅极绝缘层910设置在栅电极902上,以及包括有源层912、源电极924以及漏电极926的薄膜晶体管设置在栅电极902上的栅极绝缘层910上。源电极和漏电极可以彼此切换。
栅电极902可以由双金属图案或多个金属图案形成。此外,金属图案可以具有其中导电金属图案和透明导电金属图案混合的结构。
例如,导电金属图案可以使用选自铝(Al)、钨(W)、铜(Cu)、钼(Mo)、铬(Cr)、钛(Ti)、钨化钼(MoW)、钛化钼(MoTi)以及铜/钛化钼(Cu/MoTi)中的至少之一来形成,但是不限于此。此外,透明导电材料图案可以使用选自ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)以及CNT(碳纳米管)中的至少之一来形成,但是不限于此。
此外,在栅极绝缘层910上设置数据线934。数据线934可以由包括第一数据线图案934a和第二数据线图案934b的双图案形成。第一数据线团934a可以包括多个金属图案。此外,金属图案可以具有其中导电金属图案和透明导电材料图案混合的上述结构。
第二数据线图案934b可以由与有源层912相同的材料形成。
第一保护层920和钝化层930设置在薄膜晶体管和数据线934上。在薄膜晶体管的源电极区924中,形成了接触孔CH4。钝化层930可以是由有机膜材料形成的覆盖层。
此外,第一电极940和第二电极970a设置为彼此交叠,其中第二保护层960和第三保护层961在钝化层930上介于第一电极940和第二电极970a之间。另外,基板700与触摸感测线950b之间的距离为d4,基板700与第一电极940之间的距离为d5,基板700与第二电极970a之间的距离为d6,并且d6>d4>d5。即,从基板700至触摸感测线950b、第一电极940和第二电极970a的距离彼此不同。
关于与图7的差异,第一电极940由接触孔CH4中的单个体形成,并且与源电极924直接接触。也就是说,与图7不同,在钝化层930中形成接触孔CH4之后,第一电极940形成在钝化层930上。
因此,图10和图11中的实施方案需要比图7的掩模工艺多一个掩模工艺,这是由于需要使用单独的掩模工艺用于形成接触孔和第一电极。
此外,在接触孔CH4中,在没有去除第二保护层960和第三保护层961的情况下,第二保护层960和第三保护层961堆叠在接触孔CH4中,这是由于无需形成连接图案770c来连接钝化层上的第一电极,如图7中所示。
第二电极970a是在显示模式下用作公共电极或者还在触摸模式下用作触摸电极的电极。
此外,触摸感测线950b设置在钝化层930上的与数据线934交叠的第二保护层960上。触摸感测线950b与数据线934平行。第三保护层961形成在触摸感测线950b上。触摸感测线950b通过其中第三保护层961被部分地去除的接触孔CH3暴露于外部,并且触摸连接层970b穿过接触孔CH3电连接至触摸感测线950b。
然后,在如图11中所示的控制信号线焊盘区中,从设置在开关电路160上的晶体管的源极延伸出信号提供焊盘(源极接触电极)914与从触摸感测线950b延伸出的线焊盘(触摸感测焊盘)950a通过焊盘连接层970电连接。触摸感测线950b和触摸感测焊盘950a由相同的材料形成。源极接触电极914可以是晶体管的源极。
更具体地,栅极绝缘层910设置在基板700上,并且源极接触电极914设置在栅极绝缘层910上。源极接触电极914和数据线934由相同的材料形成。源极接触电极914包括第一源极接触层914a和第二源极接触层914b,由于半导体层和金属层同时通过半色调或衍射掩模工艺被图案化,因此第一源极接触层914a和第二源极接触层914b形成为双层结构。
在源极接触电极914的一部分区域上层叠第一保护层920和钝化层930,并且将第一保护层920和钝化层930的一部分去除以将源极接触电极914的一部分暴露于外部。在其中源极接触电极914露出的区中,设置了接触层980,其中接触层980设置在控制信号线焊盘区中,形成在钝化层930的倾斜表面上,并且设置在焊盘连接层970与源极接触电极914之间。当形成像素电极时,接触层980被图案化,并且因此,接触层980由与像素电极相同的材料形成。
此外,接触层980沿源极接触电极914的露出区以及钝化层930的斜坡形成。因此,可以增大源极接触电极914的接触面积。此外,第二保护层960和第三保护层961层叠在接触层980上,并且形成了对应于所露出的源极接触电极914的焊盘接触孔CH2。
此外,在对应于触摸感测线950b的区中,第一保护层920和钝化层930以距基板700上的源极接触电极914预定距离间隔开。第二保护层960、触摸感测线950b和第三保护层961层叠在钝化层930上。
此外,在对应于触摸感测焊盘950a的区中,在其上分别设置源极接触电极914和触摸感测线950b的钝化层930之间第二保护层960与基板700接触。从触摸感测线950b延伸出的触摸感测焊盘950a设置在第二保护层960上,并且沿钝化层930的斜坡连接至触摸感测线950b。
此外,第三保护层961设置在触摸感测焊盘950a上并且包括在部分区域中的接触孔CH1。因此,在本示例性实施方案中,焊盘连接层970分别穿过接触孔CH1和CH2电连接至触摸感测焊盘950a和源极接触电极914,其中焊盘连接层970和信号提供焊盘950a通过接触层980连接。
如上所述,在本示例性实施方案中,从用于向触摸电极TE提供公共电压的触摸感测线950b与开关电路区的晶体管之间的接触区去除钝化层930。因此,形成在钝化层中的接触孔可以抑制配置为连接晶体管的源极(源极接触电极914)和触摸感测线950a的焊盘连接层970的断开。
此外,在本示例性实施方案中,从配置为控制公共电压(触摸感测信号)的提供的触摸感测焊盘与开关元件(晶体管)之间的接触区去除钝化层的一部分。因此,相对于焊盘连接层的接触区可以具有最大化的尺寸,使得可以改善电压提供特性。
此外,在本示例性实施方案中,从触摸感测线与晶体管之间的接触区去除钝化层的一部分。因此,焊盘接触孔可以具有足够的尺寸,使得可以改善晶体管与触摸感测线之间的电连接特性。
此外,上述的示例性实施方案具有如下优点:能够以相同的方式应用于在显示面板的边缘区上电连接至配置为提供来自外部的信号(电压)的焊盘的公共电压线、数据线、栅极线或触摸感测线之间的接触区,并且还能够获得相同的效果。
以上描述和附图仅提供为说明本公开的技术构思,但是本领域技术人员将理解,可以在不脱离本公开的范围的情况下进行诸如部件的组合、分离、替代和变更的各种修改和改变。因此,本公开的示例性实施方案被提供用于仅说明的目的,并且不旨在限制本公开的技术构思。本公开的技术构思的范围不限于此。因此,应当理解,上述示例性实施方案在所有方面是说明性的并且不限制本公开。本公开的保护范围应当被解释为基于所附权利要求书,并且所附权利要求书的等同范围中的所有技术构思应当被解释为落入本公开的范围内。
Claims (20)
1.一种显示装置,包括:
基板,所述基板包括有源区和非有源区,所述有源区包括多个子像素;
栅极线和数据线,所述栅极线和所述数据线限定一个子像素;
设置在所述有源区的所述子像素中的薄膜晶体管;
设置在所述薄膜晶体管上并且具有在所述非有源区中的开口的钝化层;
设置在所述开口中的信号提供焊盘;
线焊盘,所述线焊盘设置在所述开口中并且位于覆盖所述信号提供焊盘的保护层上;
焊盘连接层,所述焊盘连接层配置为在所述开口中穿过至少一个第一接触孔连接所述线焊盘并且穿过至少一个第二接触孔连接所述信号提供焊盘;
第一电极,所述第一电极设置在所述钝化层上并且穿过第四接触孔连接至所述薄膜晶体管的源电极,所述保护层设置在所述第一电极上;
设置在所述保护层上以与所述第一电极交叠的第二电极;以及
与所述数据线平行的触摸感测线。
2.根据权利要求1所述的显示装置,还包括触摸连接层,所述触摸连接层配置为穿过至少一个第三接触孔连接至所述触摸感测线。
3.根据权利要求1所述的显示装置,还包括GIP电路,所述GIP电路配置为连接至所述非有源区中的所述线焊盘。
4.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述焊盘连接层由与所述第二电极相同的材料形成。
5.根据权利要求2所述的显示装置,其中从所述基板至所述触摸感测线、所述第一电极和所述第二电极的距离彼此不同。
6.根据权利要求5所述的显示装置,其中所述触摸感测线和所述线焊盘由相同的材料形成。
7.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述至少一个第一接触孔的数量为复数个,所述至少一个第二接触孔的数量为复数个。
8.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述信号提供焊盘和所述栅极线由相同的材料形成。
9.根据权利要求8所述的显示装置,还包括设置在所述信号提供焊盘和所述栅极线上的栅极绝缘层。
10.根据权利要求1所述的显示装置,所述信号提供焊盘和所述数据线由相同的材料形成。
11.根据权利要求10所述的显示装置,还包括栅极绝缘层,以及所述信号提供焊盘和所述数据线设置在所述栅极绝缘层上。
12.根据权利要求11所述的显示装置,还包括设置在所述钝化层上的接触层。
13.根据权利要求12所述的显示装置,其中所述接触层设置在所述焊盘连接层与所述信号提供焊盘之间。
14.根据权利要求13所述的显示装置,其中所述焊盘连接层与所述信号提供焊盘通过所述接触层连接。
15.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述第二电极在触摸模式期间操作为触摸传感器以及在显示模式期间操作为公共电极。
16.根据权利要求15所述的显示装置,其中所述第二电极为块状。
17.根据权利要求15所述的显示装置,其中所述第二电极具有比一个子像素区的尺寸大的尺寸。
18.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述第一电极被图案化为梳齿状或缝状,以及所述第二电极被图案化为板状。
19.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述第一电极被图案化为板状,以及所述第二电极被图案化为梳齿状或缝状。
20.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述数据线、所述触摸感测线、所述第一电极的相反边缘以及所述第二电极的相反边缘彼此平行。
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