CN106980237A - 紫外线照射装置及紫外线照射方法 - Google Patents

紫外线照射装置及紫外线照射方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。本发明的课题是提高将照射部的热排出的配管的寿命。实施方式的紫外线照射装置包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和移动部，所述移动部能使所述照射部及所述配管同步移动。

Description

紫外线照射装置及紫外线照射方法
技术领域
本发明涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。
背景技术
在构成液晶显示器等的显示面板的玻璃基板上，形成有布线图案及电极图案等微细的图案。例如，这样的图案可利用光刻法等方法形成。光刻法包括以下工序：将抗蚀剂膜涂布于玻璃基板的工序，将抗蚀剂膜曝光的工序，将曝光后的抗蚀剂膜显影的工序及向显影后的抗蚀剂膜照射紫外线等光的工序(固化(cure)工序)。
上述固化工序可利用向基板照射紫外线的紫外线照射装置进行。例如，专利文献1中公开了具有沿水平方向搬运基板的带式搬运机构、和向基板照射紫外线的紫外线照射机构的构成。
专利文献2中公开了具有保持基板的基板保持器、向基板照射紫外线的紫外线发生源、和改变从紫外线发生源发出的紫外线的照射方向的反射板的构成。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平4-97515号公报
专利文献2：日本特开2006-114848号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，就紫外线照射装置而言，一般考虑的是使向基板照射紫外线的照射部移动的构成。在照射部处连接有将照射部的热排出的配管。然而，对于这样的构成而言，由于在移动照射部时配管以追随照射部的移动的方式而被拉伸，因而有可能对配管施加过度的负荷。因此，在提高配管的寿命方面存在课题。
鉴于以上这样的情况，本发明的目的在于提供能够提高将照射部的热排出的配管的寿命的紫外线照射装置及紫外线照射方法。
用于解决课题的手段
本发明的一个方式涉及的紫外线照射装置包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和移动部，所述移动部能使所述照射部及所述配管同步移动。
通过上述构成，能够使照射部及配管同步移动，因此，配管不会以追随照射部的移动的方式而被拉伸。也就是说，即使在移动照射部时，也能够抑制对配管施加过度的负荷。由此，能够提高配管的寿命。
上述紫外线照射装置中，所述排气部可进一步包括排气箱，所述排气箱以能移动的方式连接所述配管，并以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自所述配管的热的排气口。
通过上述构成，可以一边沿着排气箱(其以沿着照射部的移动方向的方式延伸)的长度方向移动配管，一边从排气口排出来自配管的热。由此，可稳定地进行配管的移动，并且可确保从配管至排气口的热的排气通路。
上述紫外线照射装置中，所述排气部可进一步包括片材，所述片材以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并覆盖所述排气箱的内部空间，而且能随着所述配管的移动而移动。
通过上述构成，排气箱的内部空间被随配管的移动而移动的片材所覆盖，因此，可抑制来自配管的热向外部泄漏。由此，可通过使用了片材的简单构成来维持来自配管的热的排出效率。
上述紫外线照射装置中，所述片材可以以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧和另一侧延伸，并且以连接成环状的方式通过同一构件形成为一体。
通过上述构成，能够使形成为环状的片材在其周向上转动。因此，与片材形成为从连接部以直线状向一侧和另一侧延伸的情况相比，可减小随配管的移动而移动的片材的移动轨迹。因此，能够将装置小型化。
上述紫外线照射装置中，所述片材可包括第一片材和第二片材，所述第一片材以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧延伸，所述第二片材从所述连接部向另一侧延伸，并且能与所述第一片材同步移动。
通过上述构成，可使第二片材与第一片材同步移动，因此，可更加稳定地进行配管的移动。
上述紫外线照射装置中，所述片材可以以包围所述内部空间的方式沿着所述排气箱的外周而配置。
通过上述构成，可尽可能地减小随配管的移动而移动的片材的移动轨迹，因此，可有效地将装置小型化。
上述紫外线照射装置中，所述片材可以为树脂片材。
通过上述构成，与片材为金属片材的情况相比，能够实现轻质化，因此，可随着配管的移动而使片材顺利地移动。另外，由于可发挥耐氧化性，因而可抑制部件劣化、提高片材的寿命。
上述紫外线照射装置中，所述排气部可进一步包括张紧器(tensioner)，所述张紧器能调节所述片材的张力。
通过上述构成，当片材随着配管的移动而移动时，可抑制片材被过度拉伸、或过度弯曲。因此，可更加稳定地进行配管的移动。
上述紫外线照射装置中，所述排气部可进一步包括引导板，所述引导板以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并引导所述片材，而且形成有能使来自所述配管的热通过的贯穿孔。
通过上述构成，能够在片材随着配管的移动而移动时，一边引导片材、一边经由引导板的贯穿孔将来自配管的热从排气口排出。因此，可更加稳定地进行配管的移动，并且可确保从配管至排气口的热的排气通路。
上述紫外线照射装置中，所述引导板中的、所述配管与所述排气箱的连接部处的所述贯穿孔的开口面积可以为所述排气口的面积以上。
通过上述构成，可在来自配管的热(排气)从贯穿孔通过的前后将排气的流量维持为恒定，因此，可将照射部的温度维持为恒定。由此，可使从照射部照射出的紫外线的照度分布均匀。
上述紫外线照射装置中，可以以沿着所述照射部的移动方向的方式在所述引导板中规则地配置多个所述贯穿孔。
通过上述构成，可在使照射部及配管同步移动的期间，将配管与排气箱的连接部处的贯穿孔的开口面积始终维持为恒定。由此，在使照射部及配管同步移动的期间，能够将排气的流量维持为恒定，因此，能够将照射部的温度维持为恒定。因此，能够使从照射部照射出的紫外线的照度分布始终均匀。
上述紫外线照射装置中，所述排气部可进一步包括流量调节部，所述流量调节部能基于所述照射部的温度而调节从所述配管及所述排气箱的至少一部分中通过的气体的流量。
通过上述构成，能够以适应照射部的温度的方式调节排气的流量，因此，能够使从照射部照射出的紫外线的照度分布更加均匀。
上述紫外线照射装置中，所述移动部可包括公共驱动源，所述公共驱动源能使所述照射部及所述配管同步移动。
通过上述构成，可使照射部及配管统一移动，因此，与使照射部及配管分别独立地移动的情况相比，能够实现装置构成的简单化。
上述紫外线照射装置中，可进一步包括能在密闭空间内收容所述基板的收容部，所述照射部、所述排气部及所述移动部被设置于所述收容部的外部，所述移动部使所述照射部及所述配管在所述收容部的外部同步移动。
通过上述构成，可在使基板在具有密闭空间的收容部的内部静止的状态下，一边在收容部的外部使照射部及配管移动一边向收容部内部的基板照射紫外线，因此，无需考虑伴随基板的移动而产生粒子(particle)。另外，由于在收容部的外部进行照射部及配管的移动，因而即使假设伴随照射部及配管的移动而产生粒子，通过使收容部为密闭空间，也能避免粒子侵入到收容部内。因此，能够抑制在收容部内产生粒子，能够保持基板清洁。
另外，通过在使基板静止的状态下移动照射部及配管，从而即使使用平面视图尺寸比照射部及配管大的基板，与在使照射部及配管静止的状态下移动基板的情况相比，也可节约向基板照射紫外线时所需要的空间，可减小占用空间(footprint)。
另外，通过形成为使基板在收容部内静止的状态，从而收容部内只要确保基板的收容空间即可，因此，与使基板在收容部内移动的情况相比，可减小收容部的容积，将会容易进行收容部内的氧浓度及露点的管理。另外，可削减在调节收容部内的氧浓度时使用的氮的消耗量。
本发明的一个方式涉及的紫外线照射方法是使用下述紫外线照射装置的紫外线照射方法，所述紫外线照射装置包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；和排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管，
所述紫外线照射方法包括使所述照射部及所述配管同步移动的移动步骤。
通过上述方法，能够使照射部及配管同步移动，因此，配管不会以追随照射部的移动的方式而被拉伸。也就是说，即使在移动照射部时，也能够抑制对配管施加过度的负荷。因此，能够提高配管的寿命。
上述紫外线照射方法中，可进一步包括流量调节步骤，所述流量调节步骤基于所述照射部的温度而调节从所述配管及排气箱的至少一部分中通过的气体的流量，所述排气箱以能移动的方式连接所述配管，并以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自所述配管的热的排气口。
通过上述方法，能够以适应照射部的温度的方式调节排气的流量，因此，能够使从照射部照射出的紫外线的照度分布更加均匀。
上述紫外线照射方法中，可进一步包括能在密闭空间内收容所述基板的收容部，所述照射部及所述排气部被设置于所述收容部的外部，所述移动步骤使所述照射部及所述配管在所述收容部的外部同步移动。
通过上述方法，可在使基板在具有密闭空间的收容部的内部静止的状态下，一边在收容部的外部使照射部及配管移动一边向收容部内部的基板照射紫外线，因此，无需考虑伴随基板的移动而产生粒子。另外，由于在收容部的外部进行照射部及配管的移动，因而即使假设伴随照射部及配管的移动而产生粒子，通过使收容部为密闭空间，也能避免粒子侵入到收容部内。因此，能够抑制在收容部内产生粒子，能够保持基板清洁。
另外，通过在使基板静止的状态下移动照射部及配管，从而即使使用平面视图尺寸比照射部及配管大的基板，与在使照射部及配管静止的状态下移动基板的情况相比，也能够节约向基板照射紫外线时所需要的空间，能够减小占用空间。
另外，通过形成为使基板在收容部内静止的状态，从而收容部内只要确保基板的收容空间即可，因此，与使基板在收容部内移动的情况相比，可减小收容部的容积，将会容易进行收容部内的氧浓度及露点的管理。另外，可削减在调节收容部内的氧浓度时使用的氮的消耗量。
发明效果
通过本发明，可提供能够提高将照射部的热排出的配管的寿命的紫外线照射装置及紫外线照射方法。
附图说明
[图1]为实施方式涉及的紫外线照射装置的立体图。
[图2]为实施方式涉及的紫外线照射装置的俯视图。
[图3]为包含图2的III－III剖视图的实施方式涉及的紫外线照射装置的侧视图。
[图4]为实施方式涉及的排气部的立体图。
[图5]为实施方式涉及的排气部的俯视图。
[图6]为包含图5的VI－VI剖面的实施方式涉及的排气部的侧视图。
[图7]为图5的VII－VII剖视图。
[图8]为图6的VIII－VIII剖视图。
[图9]为示出实施方式涉及的排气部的变形例的侧视图。
[图10]为示出实施方式涉及的排气部的另一变形例的侧视图。
附图标记说明
1…紫外线照射装置
10…基板
2…室(收容部)
5…搬运机构(移动部)
6…排气部
40…照射部
50…引导部(驱动源)
60…配管
61…排气箱
61s…内部空间
63h…排气口
64…引导板
64h…贯穿孔
65…可动部(连接部)
68…流量调节部
70…片材
79…张紧器
170A…第一片材
170B…第二片材
S1…排气口的面积
S2…贯穿孔的开口面积
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。在以下的说明中，设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系对各构件的位置关系进行说明。将水平面内的规定方向作为X方向，将在水平面内与X方向垂直的方向作为Y方向，将与X方向及Y方向分别垂直的方向(即竖直方向)作为Z方向。
＜紫外线照射装置＞
图1为实施方式涉及的紫外线照射装置1的立体图。图2为实施方式涉及的紫外线照射装置1的俯视图。图3为包含图2的III-III剖视图的实施方式涉及的紫外线照射装置的侧视图。
如图1～图3所示，紫外线照射装置1是针对基板10进行紫外线照射的装置。紫外线照射装置1具有室(chamber)2(收容部)、台(stage)3、照射单元4、搬运机构5(移动部)、排气部6、气体供给部7及控制部8。控制部8总括控制紫外线照射装置1的构成要素。
＜室＞
室2收容进行紫外线的照射处理的基板10。室2形成为箱状，在俯视下成为矩形。具体而言，室2由下述要素形成：顶板20，所述顶板20覆盖基板10的上方，为矩形板状；周壁21，所述周壁21以包围方式覆盖基板10的侧面，为矩形框状；和底板22，所述底板22覆盖基板10的下方。在周壁21的-Y方向侧，设置有基板搬入搬出口21a，所述基板搬入搬出口21a用于将基板10搬入室2及从室2搬出。
例如，顶板20、周壁21及底板22由遮挡紫外线的遮光构件形成。由此，可避免在向室2的内部的基板10照射紫外线时，紫外线透出至室2的外部。
室2构成为能在密闭空间内收容基板10。例如，通过利用焊接等将顶板20、周壁21及底板22的各连接部无缝连接，可提高室2内的气密性。例如，可在室2中设置泵机构等减压机构(未图示)。由此，可在使室2内减压的状态下收容基板10。
如图3所示，可在室2内设置对基板10进行加热的加热机构11。加热机构11具有与基板10大致相同的平面视图尺寸的矩形板状，以从下方支持基板10的方式被配置。加热机构11被安装于台3。加热机构11包括加热器等(未图示)。
如图2所示，在室2的顶板20上设置有可透射紫外线的透射部23。透射部23构成顶板20的一部分。透射部23形成为在俯视下比顶板20小的矩形板状。透射部23被安装于矩形的开口部20h，所述开口部20h使顶板20沿厚度方向开口。例如，透射部23使用石英、耐热玻璃、树脂片材、树脂膜等。
透射部23的尺寸被设定为大于基板10的尺寸。由此，在向基板10照射紫外线时，可避免紫外线被顶板20的遮光部(透射部23以外的部分)遮挡，因此，可向基板10的上表面整体均匀地照射紫外线。
需要说明的是，开口部20h的尺寸可被设定为能放入取出基板10的尺寸。另外，透射部23也可装卸自如地被嵌入到开口部20h中。由此，在将透射部23嵌入开口部20h时，可使得室2内成为密闭空间，在从开口部20h拆卸下透射部23时，可将基板10放入到室2内或从室2内取出。
＜台＞
台3通过上表面支持室2及搬运机构5。台3形成为在Z方向上具有厚度的板状。
台3被支架31从下方支持。
支架31是将多根钢材等的棱柱组合成格子状而形成的。
需要说明的是，在支架31的下端部，旋转自如地安装有多个车轮31a。由此，可使支架31在XY平面内自如地移动。
＜升降机构＞
如图3所示，在室2的下方，设置有升降机构25，所述升降机构25能使基板10沿Z方向移动。在升降机构25上设置有多个升降销(lift pin)25a。多个升降销25a的顶端(+Z侧的端部)被配置在与XY平面平行的同一面内。
多个升降销25a的顶端被设置为能插通台3、底板22及加热机构11。
具体而言，在台3上形成有多个插通孔3a，所述多个插通孔3a使台3沿厚度方向开口。在底板22上形成有多个插通孔22a，所述多个插通孔22a在平面视图中位于与各插通孔3a重合的位置，使底板22沿厚度方向开口。在加热机构11中形成有多个插通孔11a，所述多个插通孔11a在平面视图中位于与各插通孔22a重合的位置，使加热机构11沿厚度方向开口。多个升降销25a的顶端被设置为能通过各插通孔3a、22a、11a而与基板10的下表面抵接及远离。因此，通过多个升降销25a的顶端，从而按照与XY平面平行的方式支持基板10。
升降机构25支持被收容在室2内的基板10并使其沿室2内的Z方向移动。图3中，多个升降销25a的顶端通过各插通孔3a、22a、11a与基板10的下表面抵接，并使所述基板10上升，由此，呈现出使基板10从加热机构11离开的状态。
需要说明的是，升降机构25中，在室2的外部配置驱动源25b，所述驱动源25b使多个升降销25a升降。因此，即使假设伴随驱动源25b的驱动而产生粒子，通过使室2为密闭空间，也能避免粒子侵入到室2内。
＜照射单元＞
照射单元4被设置在室2的外部。照射单元4具有照射部40及聚光构件41。
照射部40构成为，能向基板10照射i线等紫外线。
此处，“紫外线”是指，波长范围的下限为1nm左右、上限为可见光线的短波长端的光。
例如，照射部40使用金属卤化物灯。
需要说明的是，照射部40不限于此，也可使用高压汞灯、LED灯。另外，对于照射部40而言，也可组合多种上述灯。
例如，可在照射部40的下表面设置滤光器，所述滤光器阻隔波长低于300nm的成分。由此，通过滤光器而射出的紫外线的波长成为300nm以上，因此，可抑制因紫外线的照射而导致基板10温度过度升高。
聚光构件41将从照射部40射出的紫外线聚光至基板10上。通过使紫外线在基板10上聚光，可抑制从照射部40射出的紫外线扩散至基板10的外部，因此，可提高照度。
＜搬运机构＞
如图1及图2所示，搬运机构5被设置在室2的外部。搬运机构5使照射单元4在室2的外部移动，以使得从室2的外部向被收容在室2内部的基板10照射紫外线。搬运机构5具有引导部50、基座53及门型框54。搬运机构5构成为能使照射部40、和排气部6的配管60同步移动。
引导部50具有一对导轨51、和滑块(slider)52。例如，引导部50使用直线电动机驱动器。引导部50为能使照射部40、和排气部6的配管60同步移动的公共驱动源。引导部50相当于权利要求中记载的“驱动源”。
一对导轨51以从-Y方向侧及+Y方向侧夹隔室2的方式沿作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向延伸。
滑块52构成为能沿一对导轨51滑动。
基座53被设置在台3的四角，且设置多个(例如本实施方式中在四角各一个共计四个)。各基座53支持一对导轨51的X方向两端部。
门型框54以在Y方向上跨越室2的方式形成为门型，并且被设置为能沿一对导轨51移动。门型框54具有沿Z方向延伸的一对门柱部54a、和以连结一对门柱部54a之间的方式沿Y方向延伸的连结部54b。在门型框54的各门柱部54a的下端部，安装滑块52。
如图3所示，在门型框54的连结部54b的内部，设置有保持照射单元4的保持部54c。保持部54c形成从门型框54的Y方向中间部的下表面向上方凹陷的凹部。照射单元4中除照射面4a(下表面)之外的部分被保持部54c的凹部包围，被门型框54的壁部被覆。例如，门型框54由遮挡紫外线的遮光构件形成。由此，在从照射单元4照射紫外线时，能够避免紫外线向门型框54的侧面扩散，能够朝向下方(室2内的基板10)照射紫外线。
如图2所示，在X方向上，各导轨51的长度L1比室2的长度L2长(L1＞L2)。本实施方式中，在X方向上，使各导轨51的长度L1比室2的长度L2、与门型框54的2倍长度(2×L3)加和的长度(L2+2×L3)更长。由此，俯视图中，可使照射单元4从超出室2的-X方向端的区域移动至超出室2的+X方向端的区域。
＜气体供给部＞
在室2中设置有气体供给部7，所述气体供给部7能调节室2的内部气氛的状态。气体供给部7供给作为干燥气体的氮(N2)、氦(He)、氩(Ar)等非活性气体。
通过气体供给部7，可调节室2的内部气氛的露点，可调节室2内的水分浓度。
例如，气体供给部7调节干燥气体的供给，以将室2的内部气氛的露点调节为-80℃(水分浓度为0.54ppm，以质量为基准)以上且为-5℃(水分浓度为4000ppm，以质量为基准)以下。
例如，在将抗蚀剂膜的曝光后的预图案(prepattern)固化时的气氛中，通过如上所述使露点为优选的上限以下，可使得图案的固化容易进行。另一方面，通过使露点为优选的下限以上，可提高运用装置方面的作业性等。
另外，通过气体供给部7，也可调节室2的内部气氛的氧浓度。室2的内部气氛的氧浓度(以质量为基准)越低越好。具体而言，优选使室2的内部气氛的氧浓度为1000ppm以下，更优选使室2的内部气氛的氧浓度为500ppm以下。
例如，在将抗蚀剂膜的曝光后的预图案固化时的气氛中，通过如上所述使氧浓度为优选的上限以下，可使得图案的固化容易进行。
＜排气部＞
图4为实施方式涉及的排气部6的立体图。图5为实施方式涉及的排气部6的俯视图。图6为包含图5的VI－VI剖面的实施方式涉及的排气部6的侧视图。图7为图5的VII－VII剖视图。图8为图6的VIII－VIII剖视图。需要说明的是，在图5及图8中，为了便于说明，省略了片材70的图示。
如图1所示，排气部6被设置于室2的外部。排气部6被配置在台3的+Y方向侧。排气部6具有配管60和排气箱61，所述配管60能排出照射单元4(照射部40)的热，所述排气箱61以能移动的方式连接配管60。
虽然未进行图示，但在室2的外部设置有能将照射单元4冷却的冷却部。例如，冷却部被安装于门型框54的侧壁部(门柱部54a)。例如，冷却部使用鼓风机。由此，能够经由排气部6(具体而言，配管60及排气箱61)将由照射单元4产生的热气向外部排放。
＜配管＞
如图1及图4所示，配管60为筒状构件，所述筒状构件以跨越门型框54的+Y方向侧的侧壁部(门柱部54a)与后述的可动部65之间的方式延伸。配管60呈L字状弯曲。配管60的一端部60a(-Y方向侧的端部)被固定于门型框54的+Y方向侧的侧壁部(门柱部54a)。配管60的另一端部60b(-Z方向侧的端部)被固定于后述的可动部65。由此，配管60能与照射部40一同在室2的外部沿X方向移动。
需要说明的是，配管60的一端部60a可拆卸地连接于门型框54的+Y方向侧的侧壁部。由此，可提高配管60的一端部60a的维护性。
＜排气箱＞
如图2及图4所示，排气箱61沿作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向延伸。排气箱61具有排气口63h，所述排气口63h能将来自配管60的热排放到外部。在X方向上，排气箱61的长度L4为与各导轨51的长度L1实质上相同的长度(L4≈L1)。
如图5～图7所示，排气箱61具有第一底壁61a、第二底壁61b、一对侧壁61c、一对引导壁61d、第一隔壁61e及第二隔壁61f。
第一底壁61a在Z方向上具有厚度，并沿X方向延伸。
第二底壁61b配置在比第一底壁61a更靠-Z方向侧的位置，并具有与第一底壁61a实质上相同的形状。
一对侧壁61c在Y方向上具有厚度，并沿X方向延伸，而且，自第二底壁61b的Y方向两端部沿+Z方向竖立从而将第一底壁61a与第二底壁61b的Y方向端部间连接，然后进一步沿+Z方向延伸。
一对引导壁61d在Z方向上具有厚度，并沿X方向延伸，而且向一对侧壁61c的上端部的Y方向间的内侧突出。
第一隔壁61e在X方向上具有厚度，并以跨越第一底壁61a及一对侧壁61c的+X方向侧的端部间的方式进行配置。即，第一隔壁61e自+X方向侧将排气箱61的内部空间61s密闭。
第二隔壁61f以在X方向上隔开排气箱61的长度L4(参见图2)程度的间隔的方式与第一隔壁61e对置。第二隔壁61f具有与第一隔壁61e实质上相同的形状，并以跨越第一底壁61a及一对侧壁61c的-X方向侧的端部间的方式进行配置。即，第二隔壁61f自-X方向侧将排气箱61的内部空间61s密闭。
需要说明的是，排气箱61的内部空间61s是由第一底壁61a、一对侧壁61c、第一隔壁61e、第二隔壁61f及后述的引导板64所包围的空间。
如图6及图7所示，在第一底壁61a与第二底壁61b之间形成有能使片材70沿X方向移动的底壁侧空间61t。底壁侧空间61t在Z方向上的间隔比片材70的厚度大。即，底壁侧空间61t在Z方向上的间隔被设定为能使片材70在第一底壁61a与第二底壁61b之间顺利地移动的大小。
如图5及图6所示，一对引导壁61d以能滑动的方式支持可动部65(其支持配管60)。一对引导壁61d的Y方向间的间隔大于形成于后述的引导板64中的贯穿孔64h的形成区域的Y方向上的长度。
在一对侧壁61c中的+Y方向侧的壁部固定有形成排气口63h的圆筒状排气管63。排气管63与排气箱61的内部空间61s连通。
如图4所示，在排气箱61的下部设置有缆线支持构件62。例如，缆线支持构件62为CABLE BEAR(注册商标)。在缆线支持构件62上引导有未图示的电源线等缆线(cable)。由此，能够以将缆线弯曲的状态驱动排气部6。
＜片材＞
如图4及图6所示，排气部6进一步具有片材70，所述片材70覆盖排气箱61的内部空间61s。片材70以沿着作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向的方式延伸。片材70构成为能随着配管60的移动而移动。
具体而言，片材70以沿着作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向的方式、从作为配管60与排气箱61的连接部的可动部65向一侧(-X方向侧)和另一侧(+X方向侧)延伸，并且以连接成环状的方式通过同一构件形成为一体。片材70是以包围内部空间61s的方式沿着排气箱61的外周而配置的。例如，片材70为树脂片材。
如图5及图6所示，排气部6具有卷挂片材70的多个(例如，在本实施方式中为六个)辊(具体而言，第一辊71、第二辊72、第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76)。片材70在排气箱61的+X方向侧被卷挂在两个辊(具体而言，第一辊71及第二辊72)上。片材70在排气箱61的-X方向侧被卷挂在四个辊(具体而言，第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76)上。
排气部6进一步具有第一罩盖77及第二罩盖78。
第一罩盖77覆盖第一辊71及第二辊72，并且旋转自如地支持第一辊71及第二辊72。第一罩盖77形成为朝-X方向侧开口的箱状，并且被可拆卸地安装于排气箱61的各壁(具体而言，第二底壁61b、一对侧壁61c及一对引导壁61d)的+X方向侧的端部。由此，可提高第一罩盖77的内部(例如，第一辊71及第二辊72)的维护性。
第二罩盖78覆盖第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76，并且旋转自如地支持第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76。第二罩盖78形成为朝+X方向侧开口的箱状，并且被可拆卸地安装于排气箱61的各壁(具体而言，第二底壁61b、一对侧壁61c及一对引导壁61d)的-X方向侧的端部。由此，可提高第二罩盖78的内部(例如，第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76)的维护性。
＜张紧器＞
排气部6进一步具有张紧器79，所述张紧器79能调节片材70的张力。张紧器79被配置于第二罩盖78的Y方向两侧部。张紧器79能使位于第四辊74与第六辊76之间的第五辊75靠近及远离以在X方向上隔开间隔的方式排列的第四辊74及第六辊76。例如，在使第五辊75靠近第四辊74及第六辊76的情况下，可减弱片材70的张力。另一方面，在使第五辊75远离第四辊74及第六辊76的情况下，可增强片材70的张力。
＜可动部＞
如图5及图6所示，可动部65具有基座部65a、主体部65b、连接部65c及一对引导片65d。
如图6所示，基座部65a被配置在后述的引导板64与引导壁61d之间。基座部65a在Z方向上具有厚度，并且在俯视下成为矩形框状。即，在基座部65a中以在Z方向上开口的方式形成有贯通孔65h(其能使来自配管60的热通过)。贯通孔65h经由引导板64的贯穿孔64h而与排气箱61的内部空间61s连通。
主体部65b连接于基座部65a中的贯通孔65h的周边部。在图6的剖面视图中，主体部65b成为以越朝向+Z方向侧、开口面积越小的方式在Z方向上延伸的筒状。
连接部65c成为从主体部65b向+Z方向延伸的圆筒状。在连接部65c上可拆卸地连接有配管60的另一端部60b(参见图4)。由此，可提高配管60的另一端部60b及连接部65c的维护性。
一对引导片65d从主体部65b向Y方向两侧延伸，并且以沿着引导壁61d的方式在X方向上延伸。一对引导片65d以在它们与基座部65a的Y方向两端部之间夹持引导壁61d的方式进行配置。
在基座部65a的+X方向侧的端部设置有第一锁定部66，所述第一锁定部66可拆卸地锁定片材70的一端部70a。在基座部65a的-X方向侧的端部设置有第二锁定部67，所述第二锁定部67可拆卸地锁定片材70的另一端部70b。
以下，对片材70的配置方法的一个例子进行说明。首先，将片材70的一端部70a经由第一锁定部66锁定在基座部65a的+X方向侧的端部。然后，将片材70卷挂于第一辊71及第二辊72。然后，在将片材70从另一端部70b侧通过底壁侧空间61t之后，将其卷挂于第三辊73、第四辊74、第五辊75及第六辊76。然后，将片材70的另一端部70b经由第二锁定部67锁定在基座部65a的-X方向的端部。然后，通过张紧器79调节片材70的张力。通过上述方式，片材70经由可动部65连接成环状，并且被配置为包围内部空间61s。
＜引导板＞
如图6所示，排气部6进一步具有引导板64，所述引导板64引导片材70。引导板64在Z方向上具有厚度，并且沿作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向延伸。在引导板64中形成有能使来自配管60的热通过的贯穿孔64h。
如图5所示，在俯视下，贯穿孔64h形成为圆形。沿作为照射单元4的移动方向(照射部40的移动方向)的X方向和Y方向，在引导板64中规则地配置有多个贯穿孔64h。例如，引导板64为冲孔金属(punching metal)。
如图6及图8所示，引导板64中的、配管60与排气箱61的连接部(即可动部65)处的贯穿孔64h的开口面积S2为排气口63h的面积S1以上。此处，所谓贯穿孔64h的开口面积S2，是指形成于引导板64整体中的贯穿孔64h中的、仅在俯视下从贯通孔65h露出的贯穿孔64h的开口面积。所谓排气口63h的面积S1，是指排气管63的开口面积。
需要说明的是，为了便于说明，图8中省略了一对引导片65d等的图示。
＜流量调节部＞
如图4所示，排气部6进一步具有流量调节部68，所述流量调节部68能基于照射部40(参见图1)的温度而调节从配管60的至少一部分中通过的气体的流量。流量调节部68被设置于配管60上。例如，流量调节部68为流量调节阀。
＜紫外线照射方法＞
接下来，说明本实施方式涉及的紫外线照射方法。本实施方式中，使用上述紫外线照射装置1向基板10照射紫外线。由紫外线照射装置1的各部分进行的动作可通过控制部8进行控制。
本实施方式涉及的紫外线照射方法包括收容步骤、照射步骤及移动步骤。
收容步骤中，室2在密闭空间内收容基板10。例如，经由基板搬入搬出口21a将基板10搬运到室2内，然后关闭基板搬入搬出口21a而将室2密闭。
照射步骤中，照射单元4向基板10照射紫外线。
移动步骤中，搬运机构5使照射单元4在室2的外部移动，以使得从室2的外部向收容在室2内部的基板10照射紫外线。
移动步骤中，使照射单元4及配管60同步移动。移动步骤中，使照射单元4在室2的外部移动，以使得经由透射部23向室2内部的基板10照射紫外线。如上所述，由于在门型框54的+Y方向侧的侧壁部安装有配管60，因而在移动步骤中使配管60与照射单元4一同在室2的外部移动。
移动步骤中，使照射单元4在一对导轨51的-X方向端(一端)与+X方向端(另一端)之间往复移动。例如，图3的俯视图中，使照射单元4从超出室2的-X方向端的区域至超出室2的+X方向端的区域往复移动。
本实施方式涉及的紫外线照射方法进一步包括流量调节步骤。
流量调节步骤中，流量调节部68基于照射部40的温度而调节从配管60的至少一部分中通过的气体的流量。
需要说明的是，本实施方式涉及的紫外线照射方法进一步包括气体供给步骤。
气体供给步骤中，气体供给部7调节室2的内部气氛的露点。另外，气体供给步骤中，气体供给部7调节室2的内部气氛的氧浓度。
如上所述，通过本实施方式，能够使照射部及配管60同步移动，因此，配管60不会以追随照射部40的移动的方式而被拉伸。也就是说，即使在移动照射部40时，也能够抑制对配管60施加过度的负荷。由此，能够提高配管60的寿命。
另外，排气部6进一步包括排气箱61，所述排气箱61以能移动的方式连接配管60，并以沿着照射部40的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自配管60的热的排气口63h，由此，可一边沿排气箱61(其以沿着照射部40的移动方向的方式延伸)的长度方向移动配管60，一边从排气口63h排出来自配管60的热。因此，可稳定地进行配管60的移动，并且可确保从配管60至排气口63h的热的排气通路。
另外，排气部6进一步包括片材70，所述片材70以沿着照射部40的移动方向的方式延伸，并且覆盖排气箱61的内部空间61s，而且能随着配管60的移动而移动，由此，排气箱61的内部空间61s被随配管60的移动而移动的片材70所覆盖，因此，可抑制来自配管60的热向外部泄漏。由此，可通过使用了片材70的简单构成来维持来自配管60的热的排出效率。
另外，片材70以沿着照射部40的移动方向的方式、从作为配管60与排气箱61的连接部的可动部65向一侧和另一侧延伸，并且以连接成环状的方式通过同一构件形成为一体，由此，能够使形成为环状的片材70在其周向上转动。因此，与片材70形成为从可动部65以直线状向一侧和另一侧延伸的情况相比，可减小随配管60的移动而移动的片材70的移动轨迹。因此，能够将装置小型化。
另外，片材70是以包围内部空间61s的方式沿着排气箱61的外周而配置的，由此，可尽可能地减小随配管60的移动而移动的片材70的移动轨迹，因此，可有效地将装置小型化。
另外，通过使片材70为树脂片材70，从而获得以下效果。与片材70为金属片材70的情况相比，能够实现轻质化，因此，能够随着配管60的移动而使片材70顺利地移动。另外，由于可发挥耐氧化性，因而能够抑制部件劣化、提高片材70的寿命。
另外，排气部6进一步包括张紧器79，所述张紧器79能调节片材70的张力，由此，当片材70随着配管60的移动而移动时，可抑制片材70被过度拉伸、或过度弯曲。因此，可更加稳定地进行配管60的移动。
另外，排气部6进一步包括引导板64，所述引导板64以沿着照射部40的移动方向的方式延伸，并且引导片材70，而且形成有能使来自配管60的热通过的贯穿孔64h，由此，能够在片材70随着配管60的移动而移动时，一边引导片材70、一边经由引导板64的贯穿孔64h将来自配管60的热从排气口63h排出。因此，可更加稳定地进行配管60的移动，并且可确保从配管60至排气口63h的热的排气通路。
另外，通过使引导板64中的、作为配管60与排气箱61的连接部的可动部65处的贯穿孔64h的开口面积S2为排气口63h的面积以上，从而能够在来自配管60的热(排气)从贯穿孔64h通过的前后将排气的流量维持为恒定，因此，能够将照射部40的温度维持为恒定。由此，能够使从照射部40照射出的紫外线的照度分布均匀。
另外，通过以沿着照射部40的移动方向的方式在引导板64中规则地配置多个贯穿孔64h，从而可在使照射部40及配管60同步移动的期间，将作为配管60与排气箱61的连接部的可动部65处的贯穿孔64h的开口面积S2始终维持为恒定。由此，在使照射部40及配管60同步移动的期间，能够将排气的流量维持为恒定，因此，能够将照射部40的温度维持为恒定。因此，能够使从照射部40照射出的紫外线的照度分布始终均匀。
另外，排气部6进一步包括流量调节部68，所述流量调节部68能基于照射部40的温度而调节从配管60的至少一部分中通过的气体的流量，由此，能够以适应照射部40的温度的方式调节排气的流量，因此，能够使从照射部40照射出的紫外线的照度分布更加均匀。
另外，搬运机构5包括作为能使照射部40及配管60同步移动的公共驱动源的引导部50，由此，能够使照射部40及配管60统一移动，因此，与使照射部40及配管60分别独立地移动的情况相比，能够实现装置构成的简单化。
另外，紫外线照射装置1进一步具有能在密闭空间内收容基板10的室2，照射部40、排气部6及搬运机构5被设置于室2的外部，搬运机构5使照射部40及配管60在室2的外部同步移动，由此获得以下的效果。
由于可在使基板10在具有密闭空间的室2的内部静止的状态下，一边在室2的外部使照射部40及配管60移动一边向室2内部的基板10照射紫外线，因而无需考虑伴随基板10的移动而产生粒子。另外，由于在室2的外部进行照射部40及配管60的移动，因而即使假设伴随照射部40及配管60的移动而产生粒子，通过使室2为密闭空间，也能避免粒子侵入到室2内。因此，能够抑制在室2内产生粒子，能够保持基板10清洁。
另外，通过在使基板10静止的状态下移动照射部40及配管60，从而即使使用平面视图尺寸比照射部40及配管60大的基板10，与在使照射部40及配管60静止的状态下移动基板10的情况相比，也能够节约向基板10照射紫外线时所需要的空间，能够减小占用空间。
另外，通过形成为使基板10在室2内静止的状态，从而室2内只要确保基板10的收容空间即可，因此，与使基板10在室2内移动的情况相比，可减小室2的容积，将会容易进行室2内的氧浓度及露点的管理。另外，可削减在调节室2内的氧浓度时使用的氮的消耗量。
另外，通过在室2内设置可透射紫外线的透射部23，从而可通过使用了透射部23的简单构成，经由透射部23向基板10照射紫外线。
另外，通过使室2包括覆盖基板10上方的顶板20，并且在顶板20上设置透射部23，从而可利用在室2的顶板20上设置有透射部23的简单构成，经由透射部23向基板10照射紫外线。另外，通过在室2的一部分中设置透射部23，从而与在室2整体中设置透射部的情况相比，可提高透射部23的维护性。
另外，搬运机构5包括一对导轨51(引导部50)和门型框54，所述一对导轨51以夹隔室2的方式沿照射单元4的移动方向延伸，所述门型框54以跨越室2的方式形成为门型、并且被设置为能沿一对导轨51移动，而且在门型框54上设置有保持照射单元4的保持部54c，由此，与一般的沿导轨移动照射单元4的情况相比，可利用具有高刚性的门型框54使照射单元4沿一对导轨51移动，因此，可稳定地进行照射单元4的移动。
另外，通过在室2的外部设置能将照射单元4冷却的冷却部(未图示)，可将照射单元4冷却，因此，即使在向基板10连续照射紫外线等时连续驱动照射单元4的情况下，也能够抑制照射单元4过热。
另外，通过在室2内设置能调节室2的内部气氛的氧浓度及露点的气体供给部7，从而可将室2的内部气氛的氧浓度调节为规定的浓度，因此，可在规定的氧浓度的条件下向基板10照射紫外线。另外，可将室2的内部气氛的露点调节为规定的露点，因此，可在规定的露点的条件下向基板10照射紫外线。
另外，移动步骤中，通过使照射单元4在一对导轨51的-X方向端(一端)与+X方向端(另一端)之间往复移动，从而与使照射单元4在一对导轨51的一端与另一端之间仅沿一个方向移动的情况相比，即使在向基板10反复照射紫外线时，也能够顺利且高效地照射。另外，由于设置一个照射单元4即足矣，因此，可实现装置构成的简单化。
(变形例)
接下来，使用图9及图10，对实施方式的变形例进行说明。
图9为示出实施方式涉及的排气部的变形例的侧视图。需要说明的是，在图9中省略了排气箱61的各壁、引导板64等的图示。
如图9所示，相对于实施方式，本变形例在片材170具有第一片材170A及第二片材170B方面是特别不同的。图9中，对与实施方式同样的构成标注同一符号，并省略其详细说明。
如图9所示，第一片材170A以沿着照射部40的移动方向的方式，从作为配管60与排气箱61的连接部的可动部65向一侧(+X方向侧)延伸。第一片材170A的一端部的一侧卷绕于第一驱动辊171。第一片材170A的另一端部经由第一锁定部66而被锁定在基座部65a的+X方向侧的端部。
第二片材170B以沿着照射部40的移动方向的方式，从可动部65向另一侧(-X方向侧)延伸。第二片材170B构成为能与第一片材170A同步移动。第二片材170B的一端部的一侧卷绕于第二驱动辊172。第二片材170B的另一端部经由第二锁定部67而被锁定在基座部65a的-X方向侧的端部。
第一驱动辊171构成为能绕着沿Y方向延伸的第一驱动轴171a而转动。第二驱动辊172构成为能绕着沿Y方向延伸的第二驱动轴172a而转动。图9中，通过使第一驱动辊171沿箭头J1的方向转动，并且使第二驱动辊172沿箭头J2的方向转动，从而呈现出第一片材170A及第二片材170B在-X方向(箭头K的方向)上同步移动的状态。
通过本变形例，可使第二片材170B与第一片材170A同步地移动，因此，可更加稳定地进行配管60(参见图1)的移动。
图10为示出实施方式涉及的排气部的另一变形例的侧视图。需要说明的是，图10中，省略了排气箱61的各壁等的图示。
如图10所示，相对于实施方式，本变形例在下述方面是特别不同的：片材70构成为能在卷挂于一对搬运辊180的状态下以沿着照射部40的移动方向的方式移动。图10中，对与实施方式同样的构成标注同一符号，并省略其详细说明。
一对搬运辊180构成为能以在X方向上隔开间隔的状态沿X方向移动。在由一对搬运辊180、片材70及引导板64包围的部分中，形成有贯穿部180h(其为能使来自配管60的热通过的空间)。贯穿部180h经由引导板64的贯穿孔64h而与排气箱61的内部空间61s(参见图6)连通。
例如，通过使一对搬运辊180始终隔开一定的间隔，从而可将从贯穿部180h通过的气体的流量始终维持为恒定。另一方面，通过增大或减小一对搬运辊180的间隔，从而可调节从贯穿部180h通过的气体的流量。
需要说明的是，上述例子中示出的各构成构件的各种形状、组合等是一个例子，可根据设计要求等进行各种变更。
例如，上述实施方式中设置了一个室2，但不限于此，也可设置2个以上的多个室2。
另外，上述实施方式中，举出引导板64的贯穿孔64h的俯视形状为圆形的例子进行了说明，但不限于此。例如，引导板64的贯穿孔64h的俯视形状也可以为椭圆形，还可以为三角形、四边形等多边形。另外，举出引导板64为冲孔金属的例子进行了说明，但不限于此，也可以是在俯视下成为梯状的构件。即，对于引导板64的形状而言，可根据设计方法采用各种形状。
另外，上述实施方式中，举出流量调节部68构成为能调节从配管60的至少一部分中通过的气体的流量的例子进行了说明，但不限于此。例如，流量调节部68也可以构成为能调节从排气箱61的至少一部分中通过的气体的流量。即，流量调节部68构成为能调节从配管60及排气箱61的至少一部分中通过的气体的流量即可。
另外，上述实施方式中，举出将排气部6应用于紫外线照射装置1中的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以将排气部6应用于喷嘴的干燥装置等其他装置中。
需要说明的是，对于在上文中作为实施方式或其变形例而记载的各构成要素，可在不超出本发明的主旨的范围内适当组合，另外，也可适当地不使用所组合的多种构成要素中的一部分构成要素。

Claims (17)

1.一种紫外线照射装置，包括：
照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；
排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和
移动部，所述移动部能使所述照射部及所述配管同步移动。
2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其中，
所述排气部进一步包括排气箱，所述排气箱以能移动的方式连接所述配管，并以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自所述配管的热的排气口。
3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其中，
所述排气部进一步包括片材，所述片材以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并覆盖所述排气箱的内部空间，而且能随着所述配管的移动而移动。
4.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其中，
所述片材以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧和另一侧延伸，并且以连接成环状的方式通过同一构件形成为一体。
5.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其中，
所述片材包括第一片材和第二片材，所述第一片材以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧延伸，所述第二片材从所述连接部向另一侧延伸，并且能与所述第一片材同步移动。
6.如权利要求4或5所述的紫外线照射装置，其中，
所述片材是以包围所述内部空间的方式沿着所述排气箱的外周而配置的。
7.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，
所述片材为树脂片材。
8.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，
所述排气部进一步包括张紧器，所述张紧器能调节所述片材的张力。
9.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，
所述排气部进一步包括引导板，所述引导板以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并引导所述片材，而且形成有能使来自所述配管的热通过的贯穿孔。
10.如权利要求9所述的紫外线照射装置，其中，
所述引导板中的、所述配管与所述排气箱的连接部处的所述贯穿孔的开口面积为所述排气口的面积以上。
11.如权利要求9所述的紫外线照射装置，其中，
以沿着所述照射部的移动方向的方式，在所述引导板中规则地配置有多个所述贯穿孔。
12.如权利要求2～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，
所述排气部进一步包括流量调节部，所述流量调节部能基于所述照射部的温度而调节从所述配管及所述排气箱的至少一部分中通过的气体的流量。
13.如权利要求1～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，
所述移动部包括公共驱动源，所述公共驱动源能使所述照射部及所述配管同步移动。
14.如权利要求1～5中任一项所述的紫外线照射装置，所述紫外线照射装置进一步包括能在密闭空间内收容所述基板的收容部，
所述照射部、所述排气部及所述移动部被设置于所述收容部的外部，
所述移动部使所述照射部及所述配管在所述收容部的外部同步移动。
15.一种紫外线照射方法，其为使用下述紫外线照射装置的紫外线照射方法，所述紫外线照射装置包括：
照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；和
排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管，
所述紫外线照射方法包括使所述照射部及所述配管同步移动的移动步骤。
16.如权利要求15所述的紫外线照射方法，所述紫外线照射方法进一步包括流量调节步骤，
所述流量调节步骤基于所述照射部的温度而调节从所述配管及排气箱的至少一部分中通过的气体的流量，
所述排气箱以能移动的方式连接所述配管，并以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自所述配管的热的排气口。
17.如权利要求15或16所述的紫外线照射方法，其中，
所述紫外线照射装置进一步包括能在密闭空间内收容所述基板的收容部，
所述照射部及所述排气部被设置于所述收容部的外部，
所述移动步骤使所述照射部及所述配管在所述收容部的外部同步移动。
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