CN106945916B - 基底片存储器 - Google Patents
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Abstract
本发明揭示了一种基底片存储器，包括承载机构和输送机构，承载机构具有多个凹槽，多个凹槽沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽分别对应一个基底片，输送机构用来带动凹槽沿着承载机构的长度方向移动，便于基底片的抓取或存放，通过凹槽将基底片分隔开来，有效避免了基底片的相互吸附，造成连带情况的出现。
Description
技术领域
本发明涉及存储器，尤其涉及一种用于晶圆片的存储器。
背景技术
晶圆片在生产线上经过工艺制造后，例如经过化学研磨、清洗、腐蚀清洗或者表面涂布等工艺，需要根据晶圆片的厚度、大小或表面状况等条件以分类存放到相应存储器中，此后，在满足一定数量后再从该存储器中取出，并将分类后的晶圆片转入运输载具，进入下一步工序。
在现有技术中，位于存储器内的晶圆片之间会直接接触，因此造成相互污染，以及在存取过程中会造成晶圆片的磨损，无法满足晶圆片独立存放、不可有任何接触的功能要求。另外，各晶圆片之间由于直接接触，因此晶圆片会相互吸附，在抓取过程中容易造成连带情况，连带发生时晶圆片计数将打乱，以及在抓取过程中连带发生后又掉落会造成产品损坏。
发明内容
本发明解决上述现有技术中的不足和问题的技术方案是：提供了一种防止基底片相互吸附的存储器。
为达到以上目的，本发明提供了一种基底片存储器，包括：
承载机构，所述承载机构具有多个凹槽，多个所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽分别对应一个基底片；
输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向移动。
进一步，所述承载机构为齿形皮带，所述齿形皮带的齿槽为所述凹槽。
进一步，还包括两个滚筒、一个安装架和一个固定架，所述安装架的一端固定在所述固定架上，所述安装架的另一端为自由端，所述安装架的两端分别设置有一所述滚筒，两个所述滚筒之间通过所述齿形皮带传动连接，所述齿形皮带的齿槽朝外设置。
进一步，所述齿形皮带的两面分别设置有齿槽，其中，所述齿形皮带一面上的齿槽与所述滚筒啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。
进一步，所述输送机构包括动力装置、执行机构和底板，所述执行机构的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架与所述底板连接，所述底板与所述齿形皮带连接，所述动力装置带动所述执行机构伸缩，进而带动所述齿形皮带转动。
进一步，所述输送机构包括动力装置，所述动力装置与所述滚筒连接，所述动力装置带动所述滚筒转动，进而带动所述齿形皮带转动。
进一步，所述基底片为晶圆片。
进一步，所述晶圆片呈方形，呈方形的所述晶圆片每一边分别至少对应一个所述承载机构。
进一步，呈方形的所述晶圆片每一边分别对应两个所述承载机构。
进一步，所述安装架和所述固定架之间加装有垫片，并通过紧固件固定。
据优选实施例，本发明提供了如下优点：
本发明通过凹槽与晶圆片对应，有效避免了晶圆片之间的污染和磨损，因此提高了晶圆片的质量。还有，防止了晶圆片之间相互吸附而造成计数错误，以及避免了在抓取过程中因吸附晶圆片掉落所造成的生产线混乱，因此大大提高了生产线的工作效率。
以下结合附图及实施例进一步说明本发明。
附图说明
图1为本发明所述基底片存储器第一实施例的立体图；
图2为图1应用于晶圆片的示意图；
图3为图1的主视图；
图4为图1中沿A-A向的剖视图；
图5为图1中沿B-B向的剖视图；
图6为本发明所述基底片存储器第二实施例的立体图；
图7为图6应用于晶圆片的示意图。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
第一实施例
如图1至图5所示，所述基底片存储器包括承载机构和输送机构。
承载机构具有多个凹槽101，多个凹槽101沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽101可分别对应一个基底片，该基底片包括但不局限于晶圆片700，为了描述本发明，将只参照用于晶圆片700，其中，每个凹槽101对应一个晶圆片700，使得相邻的两个晶圆片700之间不存在任何接触，有效防止晶圆片700之间的吸附，而造成连带的发生。
输送机构用来带动凹槽101沿着承载机构的长度方向移动，因此，输送机构可带动凹槽101逐一远离或逐一靠近机械手，其中，在凹槽101远离机械手的过程中，机械手可抓取晶圆片700，并逐一放置到承载机构上的凹槽101内，在凹槽101靠近机械手的过程中，机械手可逐一取出位于凹槽101内的晶圆片700。
在本实施例中，承载机构为齿形皮带100，该齿形皮带100的齿槽视为凹槽101。
如图3和图4所示，所述基底片存储器还包括两个滚筒300、一个安装架200和一个固定架600，安装架200的一端固定在固定架600上，安装架200的另一端为自由端，安装架200的两端分别设置有一滚筒300，两个滚筒300之间通过齿形皮带100传动连接，该齿形皮带100的齿槽朝外设置。
位于滚筒300上的凹槽101被其撑开，即该凹槽101呈V型，由于位于该V型凹槽101内的晶圆片700便于机械手抓取和放置，因此，该呈V型的凹槽101可视为机械手在齿形皮带100上抓取和放置晶圆片700的准备位置。
在其它实施例中，齿形皮带100的两面分别设置有齿槽，其中，齿形皮带100一面上的齿槽与滚筒300啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。
在本实施例中，输送机构包括动力装置(未示出)、执行机构500和底板400，执行机构500的一端连接动力装置，另一端穿过固定架600与底板400连接，底板400与齿形皮带100连接，该动力装置可为电机，电机可带动执行机构500伸缩，进而带动齿形皮带100转动。
在其它实施例中，输送机构包括动力装置，动力装置与滚筒300连接，动力装置带动滚筒300转动，进而带动齿形皮带100转动。
如图1和图2所示，晶圆片700呈方形，该承载机构的数量可为四个，即呈方形晶圆片700的每一边分别对应一承载机构。
相应地，固定架600也呈方形，只要将四个承载机构安装在固定架600的每一边上，就能实现晶圆片700的每一边分别对应一承载机构。
本领域技术人员可以理解的是，固定架600的形状可根据基底片形状进行相应调整，即固定架600可呈圆形、或三角形等。
在本实施例中，如图5所示，安装架200和固定架600之间可加装垫片900，并通过紧固件800固定，通过增加或减少垫片的数量，可改变位于相对的两个承载机构之间的距离，进而实现不同大小晶圆片的存放。
在其它实施例中，安装架200和固定架600之间还设置有移动装置，该移动装置可带动安装架200沿着安装架200安装在固定架600边的垂直方向移动。通过移动装置调整相对两个承载机构之间的距离。具体地，该移动装置可为导轨，卡槽和卡条配合的结构，或圆杆和圆环配合的结构等。
在本实施例的存储器存放晶圆片过程中，机械手抓取晶圆片700放置到齿形皮带100上的准备位置，然后，执行机构下降一个工作位置，使该呈V型的凹槽101下降，下降的凹槽101由V型变为U型，该呈U型的凹槽101能够很好的卡住晶圆片700，此后，按照上述顺序逐步进行，直至完成晶圆片700的存放。
在存储器取出晶圆片过程中，机械手首先抓取位于齿形皮带100上准备位置的晶圆片700，然后，执行机构上升一个工作位置，使下层的晶圆片700移动到准备位置，此后，按照上述顺序逐步进行，直至完成晶圆片700的取出。
第二实施例
如图6和图7所述，第二实施例和第一实施例的区别为，承载机构的数量为八个，即呈方形晶圆片700的每一边分别对应两承载机构。
本领域技术人员可以理解的是，呈方形晶圆片700的每一边分别对应的承载机构数量可根据实际操作进行选择，不限于一个或两个。另外，呈方形晶圆片700的每一边不一定都要对应承载机构。
以上所述的实施例仅用于说明本发明的技术思想及特点，其目的在于使本领域内的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，不能仅以本实施例来限定本发明的专利范围采用，即凡依本发明所揭示的精神所作的同等变化或修饰，仍落在本发明的专利范围内。
Claims (4)
1.一种基底片存储器，其特征在于，包括：
承载机构，所述承载机构具有多个凹槽(101)，多个所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽(101)分别对应一个基底片；
输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽(101)沿着所述承载机构的长度方向移动；
其中，所述承载机构为齿形皮带(100)，所述齿形皮带(100)的齿槽为所述凹槽(101)；
还包括两个滚筒(300)、一个安装架(200)和一个固定架(600)，所述安装架(200)的一端固定在所述固定架(600)上，所述安装架(200)的另一端为自由端，所述安装架(200)的两端分别设置有一所述滚筒(300)，两个所述滚筒(300)之间通过所述齿形皮带(100)传动连接，所述齿形皮带(100)的齿槽朝外设置；
所述输送机构包括动力装置、执行机构(500)和底板(400)，所述执行机构(500)的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架(600)与所述底板(400)连接，所述底板(400)与所述齿形皮带(100)连接，所述动力装置带动所述执行机构(500)伸缩，进而带动所述齿形皮带(100)转动；
所述基底片为晶圆片(700)；
所述晶圆片(700)呈方形，呈方形的所述晶圆片(700)每一边分别至少对应一个所述承载机构。
2.如权利要求1所述的基底片存储器，其特征在于，所述齿形皮带(100)的两面分别设置有齿槽，其中，所述齿形皮带(100)一面上的齿槽与所述滚筒(300)啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。
3.如权利要求1所述的基底片存储器，其特征在于，呈方形的所述晶圆片(700)每一边分别对应两个所述承载机构。
4.如权利要求1所述的基底片存储器，其特征在于，所述安装架(200)和所述固定架(600)之间加装有垫片(900)，并通过紧固件(800)固定。
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