CN106457493A

CN106457493A - 工作台装置、输送装置、半导体制造装置以及检查装置

Info

Publication number: CN106457493A
Application number: CN201580016294.XA
Authority: CN
Inventors: 佐藤俊德
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2014-04-01
Filing date: 2015-03-31
Publication date: 2017-02-22
Anticipated expiration: 2035-03-31
Also published as: JP2015196222A; WO2015152246A1; TW201607666A; KR20160127812A; JP5776812B1; KR101848396B1; CN106457493B

Abstract

工作台装置（TS）具备：基座部件（1）；工作台（2），其配置在基座部件的上方；驱动系统（3），其能够沿着与第一轴、第二轴以及第三轴平行的方向移动工作台；活塞部件（4），其与工作台连接；缸部件（5），其配置在活塞部件的周围，对活塞部件以使其能够沿着与第一轴平行的方向移动的方式进行支承，并以能够沿着与第二轴以及第三轴平行的方向移动的方式支承于基座部件；第一轴承部件（6），其配置于缸部件，在与活塞部件的侧面之间形成气体轴承；第二轴承部件（7），其配置于缸部件，在与基座部件的导向面之间形成气体轴承；以及重力补偿装置（8），其具有对活塞部件的下表面所面对的缸部件的内部空间的下部空间提供气体的供给口。

Description

工作台装置、输送装置、半导体制造装置以及检查装置

技术领域

本发明涉及工作台装置、输送装置、半导体制造装置以及检查装置。

背景技术

在涉及半导体制造装置、检查装置以及测量装置等技术领域中，使用一种具备能够移动的工作台的工作台装置(载物台装置)。专利文献1中公开了一种与具备移动单元的载物台装置相关的技术，其中，该移动单元用于使安装有测量探头的Z轴工作台沿三维方向移动。专利文献2中公开了一种与使用楔形部件来使工作台升降的载物台装置有关的技术。

专利文献1：日本特开平10-318728号公报

专利文献2：日本特开2004-195620号公报

发明内容

在工作台装置中，在想要使工作台在目标轨道上移动时，如果该工作台从目标轨道偏离，则工作台的定位精度就有可能降低。例如，想要使工作台在铅垂方向上笔直地移动，但如果该工作台不能笔直地移动，则工作台的定位精度会降低。

另外，在工作台装置中，由于例如工作台的重量，可能会对用于移动工作台的致动器施加负荷。若致动器因受到负荷而发热，则周围部件可能发生热变形，导致工作台的定位精度降低。

若工作台的定位精度降低，则具备该工作台装置的输送装置的性能有可能降低。

本发明的目的在于提供一种能够抑制定位精度降低的工作台装置。另外，本发明的目的在于提供一种能够抑制性能降低的输送装置。

本发明的第一形态提供一种工作台装置，其包括：基座部件，其具有与规定面平行的导向面；工作台，其配置在上述基座部件的上方；驱动系统，其包括：在与正交于上述规定面的第一轴平行的方向上配置在上述基座部件与上述工作台之间并产生动力的致动器，上述驱动系统能够沿着与上述第一轴平行的方向、与上述规定面内的第二轴平行的方向以及与上述规定面内正交于上述第二轴的第三轴平行的方向移动上述工作台；活塞部件，其具有上表面、下表面以及连接上述上表面和上述下表面的侧面，其上述上表面侧的至少一部分与上述工作台连接；缸部件，其配置在上述活塞部件的周围，对上述活塞部件以使其能够沿着与上述第一轴平行的方向移动的方式进行支承，并以能够沿着与上述第二轴平行的方向以及与上述第三轴平行的方向分别移动的方式支承于上述基座部件；第一轴承部件，其配置于上述缸部件，在与上述活塞部件的侧面之间形成气体轴承；第二轴承部件，其配置于上述缸部件，在与上述基座部件的导向面之间形成气体轴承；以及重力补偿装置，其具有以面向上述活塞部件的下表面所面对的上述缸部件的内部空间的下部空间的方式被配置，并对上述下部空间提供气体的供给口。

根据本发明的第一形态，通过驱动系统，工作台能够沿着与第一轴平行的方向、与第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向这三个方向移动。与工作台连接的活塞部件通过由第一轴承部件形成的气体轴承非接触地支承于缸部件。由此，工作台能够以高定位精度沿着与第一轴平行的方向移动。缸部件通过由第二轴承部件形成的气体轴承非接触地支承于基座部件。由此，缸部件以及经由活塞部件支承于该缸部件的工作台能够以高定位精度沿着与第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向分别移动。另外，通过从供给口对活塞部件的下表面所面对的下部空间提供气体，能够降低工作台的重量对致动器产生的作用。由此，能够降低施加于致动器的负荷。因此，能够抑制致动器的发热，并能够抑制致动器的周围部件的热变形。另外，因为能够抑制工作台装置的部件的热变形，所以能够抑制工作台定位精度的降低。

在本发明的第一形态中也可以是，上述活塞部件与上述工作台的周边部的多个位置分别连接，以包围上述驱动系统的方式配置有多个上述缸部件。由此，工作台能够高精度地沿着目标轨道移动。

在本发明的第一形态中，上述驱动系统包括：第二轴驱动装置，其包括：以能够沿着与上述第二轴平行的方向移动的方式支承于上述基座部件的第二轴载物台；以及用于移动上述第二轴载物台的第二轴致动器；第三轴驱动装置，其包括：以能够沿着与上述第三轴平行的方向移动的方式支承于上述第二轴载物台的第三轴载物台；以及用于移动上述述第三轴载物台的第三轴致动器；以及第一轴驱动装置，其配置在上述第三轴载物台上，沿着与上述第一轴平行的方向移动上述工作台，上述缸部件与上述第三轴载物台连接。由此，工作台、活塞部件以及缸部件能够沿着与第二轴平行的方向和与第三轴的平行方向的各个方向稳定地一起移动。另外，缸部件与工作台及活塞部件一起，沿着与第二轴平行的方向和与第三轴平行的方向的各个方向稳定地移动。因此，能够将活塞部件以使其能够在与第一轴平行的方向上移动的方式非接触地持续支承。

在本发明的第一形态中，也可以是，上述第一轴驱动装置具有：第一楔部件，其以能够沿着与上述第二轴或者与上述第三轴平行的方向移动的方式支承于上述第三轴载物台；第二楔部件，其配置在上述第一楔部件的上方，能够相对于上述第一楔部件进行相对移动；第一轴致动器，其移动上述第一楔部件；导向装置，其至少一部分配置于上述第一楔部件，根据上述第一楔部件的移动，以使上述第二楔部件沿着与上述第一轴平行的方向移动的方式，来引导上述第二楔部件，上述工作台支承于上述第二楔部件。由此，通过沿着与第二轴或者第三轴平行的方向移动第一楔部件，能够使第二楔部件以及工作台沿着与第一轴平行的方向移动。另外，通过调整对第二楔部件进行支承的第一楔部件的斜面的倾斜角度，能够调整在与第二轴或者第三轴平行的方向上的第一楔部件的移动量和在与第一轴平行的方向上的第二楔部件的移动量之比(减速比、分辨率)。

在本发明的第一形态中，也可以是，上述导向装置包括直线运动式的滚动轴承，上述滚动轴承包括：配置于上述第一楔部件和上述第二楔部件的其中一方的楔部件的导轨；以及配置于其中另一方的楔部件并能够与上述导轨进行相对移动的滑动件。由此，导向装置能够高精度地引导第二楔部件以及工作台。

本发明的第二形态提供一种具备第一形态的工作台装置的输送装置。

根据本发明的第二形态，能够抑制输送装置的性能降低，能够将支承于工作台的物体能够输送到目标位置。

根据本发明，能够提供一种能够抑制定位精度降低的工作台装置。另外根据本发明，能够提供一种能够抑制性能降低的输送装置。

附图说明

图1是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。

图2是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。

图3是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的俯视图。

图4是第一实施方式涉及的工作台装置的一部分的放大了的侧截面图。

图5是图4的A－A线向视图。

图6是第一实施方式涉及的工作台装置的一部分的放大图。

图7是表示第一实施方式涉及的导向装置的一个示例的图。

图8是表示第二实施方式涉及的输送装置以及半导体制造装置的一个示例的图。

图9是表示第二实施方式涉及的输送装置以及检查装置的一个示例的图。

符号说明

1 基座部件

1A 上表面(导向面)

2 工作台

2A 上表面

2B 下表面

3 驱动系统

4 活塞部件

4A 上表面

4B 下表面

4C 侧面

5 缸部件

5A 上表面

5B 下表面

5H 内部空间

5S 内表面

6 轴承部件

6G 气体轴承

6S 内表面

7 轴承部件

8 重力补偿装置

9 支承装置

10 Z轴驱动装置(第一轴驱动装置)

11 第一楔部件

11B 下表面

11G 斜面

11S 侧面

12 第二楔部件

13 Z轴致动器(第一轴致动器)

14 Z轴导向装置

14A 滑动件

14B 导轨

15 动力传递机构

16 Y轴导向装置

16A 滑动件

16B 导轨

20 X轴驱动装置(第二轴驱动装置)

21 X轴载物台(第二轴载物台)

22 X轴致动器(第二轴致动器)

22A 动子(滑动件)

22B 定子

23 X轴导向装置

23A 滑动件

23B 导轨

30 Y轴驱动装置(第三轴驱动装置)

31 Y轴载物台(第三轴载物台)

32 Y轴致动器(第三轴致动器)

32A 动子(滑动件)

32B 定子

33 Y轴导向装置

33A 滑动件

33B 导轨

40 连接部件

61 供给口

62 气室

63 气体供给装置

64 排气口

71 供给口

72 气室

73 气体供给装置

74 排气口

81 供给口

82 气体供给装置

83 压力调整装置

200 半导体制造装置

300 输送装置

400 检查装置

S 物体

TS 工作台装置

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明涉及的实施方式，但是本发明不限于此。能够适当地组合在下面所说明的各个实施方式的结构要素。另外，还存在不使用其中一部分结构要素的情况。

在下面的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系来说明各部分的位置关系。第一轴与规定面正交，将与第一轴平行的方向设为Z轴方向。将与规定面内的第二轴平行的方向设为X轴方向。将与在规定面内正交于第二轴的第三轴平行的方向设为Y轴方向。另外，将绕Z轴、X轴以及Y轴旋转(倾斜)的方向分别设为θZ、θX以及θY方向。Z轴(第一轴)与X轴(第二轴)以及Y轴(第三轴)分别正交。X轴与YZ平面正交。Y轴与XZ平面正交。Z轴与XY平面正交。XY平面与规定面平行。在本实施方式中，假设XY平面与水平面平行。Z轴方向是铅垂方向。另外，XY平面(规定面)也可以相对于水平面倾斜。

第一实施方式

说明第一实施方式。图1是从－Y侧观察本实施方式涉及的工作台装置TS得到的侧视图。图2是从+X侧观察本实施方式涉及的工作台装置TS得到的侧视图。图3是从+Z侧观察本实施方式涉及的工作台装置TS得到的俯视图。另外，在图1以及图2中，以截面表示工作台装置TS的一部分。

如图1、图2以及图3所示，工作台装置TS具备：基座部件1；工作台2，其配置在基座部件1的上方；驱动系统3，其能够移动工作台2；活塞部件4，其与工作台2连接；缸部件5，其配置在活塞部件4的周围；轴承部件6，其在活塞部件4与缸部件5之间形成气体轴承6G；轴承部件7，其在基座部件1与缸部件5之间形成气体轴承7G；以及重力补偿装置8。

基座部件1具有与XY平面平行的上表面(导向面)1A。导向面1A是平坦的。基座部件1可以是如印度黑(Indian black)那样的石头平板，也可以是铸铁平板。基座部件1例如配置于设置工作台装置TS的设施(例如工厂)的地板面。

工作台2配置于基座部件1的上方(+Z方向)。工作台2能够支承物体S并移动。工作台2具有朝向+Z方向的上表面2A和朝向上表面2A的相反方向(－Z方向)的下表面2B。上表面2A能够支承物体S。在将物体S载置于上表面2A的状态下，工作台2能够沿着X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向这三个方向移动。在本实施方式中，工作台2是能够沿着三个方向移动的三自由度的工作台(三轴工作台、三维工作台)。

驱动系统3包含产生动力的致动器，能够移动工作台2。驱动系统3至少包括产生用于使工作台2在Z轴方向上移动的动力的致动器。在本实施方式中，驱动系统3在Z轴方向上配置在基座部件1和工作台2之间。

在本实施方式中，驱动系统3包括：X轴致动器(第二轴致动器)22，其产生用于使工作台2在X轴方向上移动的动力；Y轴致动器(第三轴致动器)32，其产生用于使工作台2在Y轴方向上移动的动力；以及Z轴致动器(第一轴致动器)13，产生用于使工作台2在Z轴方向上移动的动力。驱动系统3能够沿着X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向这三个方向移动工作台2。

驱动系统3具有：Z轴驱动装置(第一轴驱动装置)10，其使工作台2沿着Z轴方向移动；X轴驱动装置(第二轴驱动装置)20，其使工作台2沿着X轴方向移动；以及Y轴驱动装置(第三轴驱动装置)30，其使工作台2沿着Y轴方向移动。

X轴驱动装置20沿着X轴方向移动工作台2。X轴驱动装置20配置在基座部件1上。X轴驱动装置20具有：X轴载物台(第二轴载物台)21，其以能够沿着X轴方向移动的方式支承于基座部件1；X轴致动器(第二轴致动器)22，其产生用于使X轴载物台21沿着X轴方向移动的动力；以及X轴导向装置23，其沿着X轴方向引导X轴载物台21。

在本实施方式中，X轴致动器22包括线性马达。X轴致动器22包括：定子22B，其固定于基座部件1的导向面1A；以及动子22A，其配置在X轴载物台21的下表面。定子22B在X轴方向上较长。动子22A能够相对于定子22B沿着X轴方向移动。X轴致动器22可以是动圈式的，其中，定子22B包含磁铁，动子22A包含线圈。X轴致动器22也可以是动磁式的，其中，定子22B包含线圈，动子22A包含磁铁。

X轴导向装置23具有：导轨23B，其固定于基座部件1的导向面1A；以及滑动件23A，其配置在X轴载物台21的下表面，并能够在导轨23B上移动。导轨23B在X轴方向上较长。在本实施方式中，X轴导向装置23包括直线运动式的滚动轴承。

根据包括线性马达的X轴致动器22的动作，X轴载物台21能够一边被X轴导向装置23引导，一边相对于基座部件1沿着X轴方向移动。

Y轴驱动装置30沿着Y轴方向移动工作台2。Y轴驱动装置30配置在X轴载物台21上。Y轴驱动装置30具有：Y轴载物台(第三轴载物台)31，其以能够沿着Y轴方向移动的方式支承于X轴载物台21；Y轴致动器(第三轴致动器)32，其产生用于使Y轴载物台31沿着Y轴方向移动的动力；以及Y轴导向装置33，其沿着Y轴方向引导Y轴载物台31。

在本实施方式中，Y轴致动器32包括线性马达。Y轴致动器32具有：定子32B，其固定在X轴载物台21的上表面；以及动子32A，其配置在Y轴载物台31的下表面。定子32B在Y轴方向上较长。动子32A能够相对于定子32B沿着Y轴方向移动。Y轴致动器32可以是动圈式的，其中，定子32B包含磁铁，动子32A包含线圈。Y轴致动器32也可以是动磁式的，其中，定子32B包含线圈，动子32A包含磁铁。

Y轴导向装置33具有：导轨33B，其固定在X轴载物台21的上表面；以及滑动件33A，其配置在Y轴载物台31的下表面，并且能够在导轨33B上移动。导轨33B在Y轴方向上较长。在本实施方式中，Y轴导向装置33包括直线运动式的滚动轴承。

根据包括线性马达的Y轴致动器32的动作，Y轴载物台31能够一边被Y轴导向装置33引导，一边相对于X轴载物台21沿着Y轴方向移动。

若X轴载物台21沿着X轴方向移动，则Y轴载物台31与X轴载物台21一起沿着X轴方向移动。在本实施方式中，根据X轴致动器22的动作以及Y轴致动器32的动作，Y轴载物台31能够沿着X轴方向以及Y轴方向的各个方向移动。

Z轴驱动装置10沿着Z轴方向移动工作台2。Z轴驱动装置10配置在Y轴载物台31上。Z轴驱动装置10具有：第一楔部件11，其以能够沿着Y轴方向移动的方式支承于Y轴载物台31；第二楔部件12，其配置在第一楔部件11的上方，并能够相对于第一楔部件11进行相对移动；Z轴致动器13，其产生用于使第一楔部件11沿着Y轴方向移动来使第二楔部件12沿着Z轴方向移动的动力；以及Z轴导向装置14，其至少一部分配置在第一楔部件11上，根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动，以使第二楔部件12沿着Z轴方向移动的方式，来引导第二楔部件12。

Z轴致动器13能够沿着Y轴方向移动第一楔部件11。在本实施方式中，若根据Z轴致动器13的动作，第一楔部件11沿着Y轴方向移动，则第二楔部件12与该第一楔部件11同步地沿着Z轴方向移动。

在本实施方式中，Z轴致动器13包括旋转马达。Z轴致动器13和第一楔部件11经由动力传递机构15连接。Z轴致动器13的动力经由动力传递机构15传递到第一楔部件11。

动力传递机构15将Z轴致动器13的旋转运动转换成直线运动。在本实施方式中，Z轴致动器13的轴(输出轴)沿着θY方向旋转。动力传递机构15将θY方向的旋转运动转换成Y轴方向的直线运动并向第一楔部件11传递。第一楔部件11根据经由动力传递机构15传递的Z轴致动器13的动力而沿着Y轴方向移动。

在本实施方式中，动力传递机构15包括滚珠丝杠。滚珠丝杠包括：丝杠，其根据Z轴致动器13的动作而旋转；螺母，其与第一楔部件11连接，并配置在丝杠的周围；以及滚珠，其配置在丝杠与螺母之间。滚珠丝杠的丝杠以能够旋转的方式被支承轴承支承。在本实施方式中，滚珠丝杠沿着θY方向旋转。通过滚珠丝杠沿着θY方向旋转，螺母以及与该螺母连接的第一楔部件11沿着Y轴方向移动(直线移动)。

若Z轴致动器13使滚珠丝杠的丝杠向一方向旋转，则第一楔部件11根据该丝杠的旋转而沿着+Y方向移动。若Z轴致动器13使滚珠丝杠的丝杠反向旋转，则第一楔部件11根据该丝杠轴的旋转而沿着－Y方向移动。即，根据Z轴致动器13的旋转方向(滚珠丝杠的丝杠的旋转方向)，来决定在Y轴方向上的第一楔部件11的移动方向(+Y方向以及－Y方向中的某一个方向)。根据第一楔部件11的移动方向来决定在Z轴方向上的第二楔部件12(工作台2)的移动方向(－Z方向以及+Z方向中的某一个方向)。

Z轴导向装置14具有：导轨14B，其固定于第一楔部件11的斜面；以及滑动件14A，其配置在第二楔部件12的斜面上，能够在导轨14B上移动。在本实施方式中，Z轴导向装置14包括直线运动式的滚动轴承。

另外，在本实施方式中，Z轴驱动装置10具有沿着Y轴方向引导第一楔部件11的Y轴导向装置16。Y轴导向装置16具有：导轨16B，其固定于Y轴载物台31的上表面；以及滑动件16A，其配置在第一楔部件11的下表面，能够在导轨16B上移动。在本实施方式中，Y轴导向装置16包括直线运动式的滚动轴承。

根据包括旋转马达的Z轴致动器13的动作，第一楔部件11能够一边被Y轴导向装置16引导，一边相对于Y轴载物台31沿着Y轴方向移动。根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动，第二楔部件12能够一边被Z轴导向装置14引导，一边相对于第一楔部件11沿着Z轴方向移动。

若Y轴载物台31沿着X轴方向以及Y轴方向移动，则第一楔部件11以及第二楔部件12与Y轴载物台31一起沿着X轴方向以及Y轴方向移动。在本实施方式中，根据X轴致动器22的动作以及Y轴致动器32的动作，第一楔部件11以及第二楔部件12能够沿着X轴方向以及Y轴方向的各个方向移动。

工作台2被支承于第二楔部件12。在本实施方式中，工作台装置TS具有支承装置9，该支承装置9配置在第二楔部件12与工作台2之间，灵活地支承工作台2。第二楔部件12经由支承装置9支承工作台2。在本实施方式中，支承装置9包括承受在Z轴方向上的荷重的球面轴承。支承装置9包括：内圈部件9A，其外表面是球面；以及外圈部件9B，其具有与内圈部件9A的外表面进行球面接触的支承面。在本实施方式中，外圈部件9B配置在第二楔部件12的上表面。内圈部件9A与工作台2的下表面2B的中央部连接。由于工作台2经由支承装置9支承于第二楔部件12，所以工作台2和第二楔部件12能够进行相对移动。在本实施方式中，通过支承装置9，能够抑制(制限)工作台2和第二楔部件12在Z轴方向上的相对移动，而允许工作台2和第二楔部件12在Z轴方向以外的方向(X轴、Y轴、θX、θY以及θZ方向)上的相对移动。

若根据X轴致动器22的动作以及Y轴致动器32的动作，第二楔部件12沿着X轴方向以及Y轴方向移动，则工作台2与第二楔部件12一起沿着X轴方向以及Y轴方向移动。另外，若根据第一楔部件11和第二楔部件12的相对移动，第二楔部件12沿着Z轴方向移动，则工作台2与第二楔部件12一起沿着Z轴方向移动。由此，工作台2能够沿着X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向这三个方向移动。

活塞部件4与工作台2的下表面2B连接。活塞部件4是在Z轴方向上较长的棒状部件。活塞部件4具有：朝向+Z方向的上表面4A；朝向－Z方向的下表面4B；以及连结上表面4A和下表面4B的侧面(外表面)4C。活塞部件4的上表面4A侧的至少一部分与工作台2连接。在本实施方式中，活塞部件4的上表面4A和工作台2的下表面2B经由连接部件40被固定。

如图3所示，在本实施方式中，XY平面中的工作台2的外形是四边形。在本实施方式中，与XY平面平行的活塞部件4的截面外形是圆形。即，活塞部件4是在Z轴方向上较长的圆柱状部件。活塞部件4的轴与Z轴平行。另外，活塞部件4的内部可以是中空。例如，活塞部件4也可以是在Z轴方向上较长的圆筒状部件。

支承装置9与工作台2的下表面2B的中央部连接。多个活塞部件4配置成包围支承装置9。活塞部件4与工作台2的下表面2B的周边部的多个位置分别连接。在本实施方式中，活塞部件4与工作台2的四个角部分别连接。多个活塞部件4配置成包围驱动系统3。

缸部件5是筒状部件，配置在活塞部件4的周围。缸部件5具有：朝向+Z方向的上表面5A；朝向－Z方向的下表面5B；以及面对缸部件5的内部空间5H的内表面5S。缸部件5的上表面5A与连接部件40的下表面对置。缸部件5的下表面5B与基座部件1的导向面1A对置。缸部件5的内表面5S与活塞部件4的外表面4C对置。缸部件5以包围驱动系统3的方式配置有多个(四个)。缸部件5对活塞部件4以能够使其沿着Z轴方向移动的方式进行支承。另外，缸部件5以能够沿着X轴方向以及Y轴方向分别移动的方式支承于基座部件1。

多个缸部件5配置成包围Y轴载物台31。在本实施方式中，缸部件5与Y轴载物台31连接。多个缸部件5与Y轴载物台31一起沿着X轴方向以及Y轴方向的各个方向移动。

轴承部件6在活塞部件4与缸部件5之间形成气体轴承(静压轴承)6G。在本实施方式中，轴承部件6配置于缸部件5。轴承部件6以面对缸部件5的内部空间5H的方式配置于缸部件5。轴承部件6配置于缸部件5的内表面5S。轴承部件6具有面对内部空间5H的内表面6S。缸部件5的内表面5S包括轴承部件6的内表面6S。即，在本实施方式中，可以将内表面6S视为内表面5S。轴承部件6在与活塞部件4的侧面4C之间，具有能够提供气体的供给口61。供给口61配置于轴承部件6的内表面6S。轴承部件6通过从供给口61提供的气体，在与活塞部件4的侧面4C之间形成气体轴承6G。通过形成气体轴承6G，使活塞部件4以非接触的方式支承于缸部件5的内表面5S。缸部件5通过由轴承部件6形成的气体轴承6G，对活塞部件4以使其能够沿着Z轴向移动的方式非接触地进行支承。

轴承部件7在基座部件1与缸部件5之间，形成气体轴承(静压轴承)7G。在本实施方式中，轴承部件7配置于缸部件5。轴承部件7以与基座部件1的导向面1A对置的方式配置于缸部件5。轴承部件7配置于缸部件5的下表面5B。轴承部件7具有与基座部件1的导向面1A对置的下表面7B。缸部件5的下表面5B包括轴承部件7的下表面7B。即，在本实施方式中，可以将下表面7B视为下表面5B。轴承部件7在与基座部件1的导向面1A之间，具有能够提供气体的供给口71。供给口71配置于轴承部件7的下表面7B。轴承部件7通过从供给口71提供的气体，在与基座部件1的导向面1A之间形成气体轴承7G。通过形成气体轴承7G，缸部件5以非接触的方式支承于基座部件1的导向面1A。基座部件1通过由轴承部件7形成的气体轴承7G，对缸部件5以使其能够沿着X轴方向以及Y轴方向移动的方式非接触地进行支承。

由轴承部件6形成的气体轴承6G使缸部件5的内表面5S和活塞部件4的外表面4C隔着间隙对置。由轴承部件7形成的气体轴承7G使缸部件5的下表面5B和基座部件1的导向面1A隔着间隙对置。另外，在本实施方式中，缸部件5的上表面5A和连接部件40的下表面隔着间隙对置。即，在本实施方式中，缸部件5配置成仅与Y轴载物台31连接但不与Y轴载物台31以外的部件相接触。

重力补偿装置8用于降低工作台2的重量对Z轴致动器13产生的作用。重力补偿装置8具有能够对活塞部件4的下表面4B所面对的缸部件5的内部空间5H的下部空间5Hu提供气体的供给口81。下部空间5Hu是内部空间5H中比活塞部件4的下表面4B靠下侧(－Z侧)的空间。重力补偿装置8通过从供给口81提供气体来降低工作台2的重量对Z轴致动器13产生的作用。

重力补偿装置8的供给口81配置成面对缸部件5的内部空间5H的下部空间5Hu。在本实施方式中，供给口81配置于缸部件5。通过从供给口81提供到下部空间5Hu的气体，该下部空间5Hu的压力升高，由此能够降低工作台2的重量对Z轴致动器13产生的作用。在本实施方式中，重力补偿装置8以使活塞部件4的下表面4B所面对的下部空间5Hu的压力高于缸部件5的外侧空间的压力的方式，从供给口81提供气体。

如上述那样，在本实施方式中，活塞部件4以及缸部件5配置有多个。至于重力补偿装置8的供给口81，以使其面对多个下部空间5Hu的各个地配置有多个。

图4是本实施方式涉及的工作台装置TS的一部分的放大后的侧截面图。图5是图4的A―A线向视图。活塞部件4是在Z轴方向上较长的棒状部件。活塞部件4具有：朝向+Z方向的上表面4A；朝向－Z方向的下表面4B；以及连接上表面4A和下表面4B的侧面(外表面)4C。如图5所示，与XY平面平行的活塞部件4的截面外形是圆形。活塞部件4是在Z轴方向上较长的圆柱状部件。活塞部件4的轴与Z轴平行。活塞部件4内部的至少一部分可以是中空。活塞部件4也可以是在Z轴方向上较长的圆筒状部件。

轴承部件6配置在活塞部件4的侧面4C的周围。轴承部件6是筒状(圆筒状)部件。轴承部件6的轴与Z轴平行。在本实施方式中，活塞部件4的轴和轴承部件6的轴一致。换而言之，活塞部件4的轴和轴承部件6的轴是同一个轴。轴承部件6具有能够与活塞部件4的侧面4C对置的内表面6S。可以将内表面6S称为轴承面6S。在本实施方式中，轴承部件6在与轴承部件6的轴平行的Z轴方向上配置有两个。

缸部件5支承轴承部件6。轴承部件6固定于缸部件5。缸部件5经由轴承部件6将活塞部件4以能够移动的方式支承。在本实施方式中，缸部件5是至少一部分配置在活塞部件4以及轴承部件6的周围的筒状部件。缸部件5的轴与Z轴平行。在本实施方式中，活塞部件4的轴、轴承部件6的轴以及缸部件5的轴一致。换而言之，活塞部件4的轴、轴承部件6的轴以及缸部件5的轴是同一个轴。

如图4以及图5所示，轴承部件6的内表面6S配置在缸部件5的内表面5S。轴承部件6的内表面6S和活塞部件4的侧面(外表面)4C对置。轴承部件6的内表面6S隔着间隙与活塞部件4的侧面4C对置。

轴承部件6以非接触的方式支承活塞部件4。轴承部件6在与活塞部件4的侧面4C之间，具有能够提供气体的供给口61。在本实施方式中，供给口61配置成与活塞部件4的侧面4C对置。供给口61配置在轴承部件6的内表面6S。通过从供给口61提供的气体，在活塞部件4的侧面4C与轴承部件6的内表面6S之间形成气体轴承6G。通过气体轴承6G，在活塞部件4的侧面4C和轴承部件6的内表面6S之间形成间隙。在本实施方式中，供给口61提供空气(压缩空气)。

通过在活塞部件4的侧面4C的周围形成的气体轴承6G，来限制在X轴方向以及Y轴方向上的活塞部件4的移动。通过气体轴承6G，能够抑制在X轴方向以及Y轴方向上的活塞部件4的移动，而允许在Z轴方向上的活塞部件4的移动。

在本实施方式中，轴承部件6包括多孔体(多孔质部件)。多孔体例如可以是如日本专利第5093056号、日本特开2007-120527号等中所公开那样由石墨(碳石墨)制成的。另外，多孔体也可以是由陶瓷制成的。供给口61包括多孔体的孔。在本实施方式中，从多孔体的孔(供给口)61提供气体。如图4所示，在本实施方式中，在轴承部件6与缸部件5之间形成气室(cavity)62。从气体供给装置63对气室62提供气体。对气室62提供的气体通过轴承部件6的内部(多孔体的孔)到达轴承部件6的内表面6S，并从配置于该内表面6S的供给口61提供给内表面6S与外表面4C之间的空间。由此，在内表面6S与外表面4C之间形成气体轴承6G。内表面6S和外表面4C成为非接触状态。

在本实施方式中，在轴承部件6与活塞部件4之间设有排出所提供的气体的至少一部分的排气口64。排气口64以包围活塞部件4的方式配置于缸部件5。排气口64分别配置在沿着Z轴方向配置的两个轴承部件6的之间和沿着Z轴方向配置的两个轴承部件6中的下侧(－Z侧)的轴承部件6的下方。

活塞部件4与工作台2连接。在本实施方式中，活塞部件4的上表面4A经由连接部件40与工作台2的下表面2B连接。活塞部件4固定于工作台2。也可以通过螺栓那样的固定部件来对工作台2固定活塞部件4。

根据Z轴驱动装置10的动作，工作台2沿着Z轴方向移动。在本实施方式中，根据在Z轴方向上的工作台2的移动，与该工作台2连接的活塞部件4与工作台2一起沿着Z轴方向移动。活塞部件4被轴承部件6(气体轴承6G)引导而沿着Z轴方向移动。在本实施方式中，轴承部件6作为以使活塞部件4沿着Z轴方向移动的方式来引导该活塞部件4的导向装置发挥作用。可以将与活塞部件4的侧面4C对置的轴承部件6的内表面6S称作导向面6S。在本实施方式中，侧面4C以及内表面6S均与Z轴平行。

在Z轴方向上，活塞部件4的尺寸大于(长于)轴承部件6的尺寸。在本实施方式中，在Z轴方向上活塞部件4的上表面4A与下表面4B之间的距离大于沿着Z轴方向配置的两个轴承部件6中的上侧(+Z侧)的轴承部件6的+Z侧端部(上端部)和下侧(－Z侧)的轴承部件6的－Z侧端部(下端部)之间的距离。

轴承部件7是配置于缸部件5的下表面5B的圆筒状(环状)部件。轴承部件7的轴与Z轴平行。在本实施方式中，活塞部件4的轴和缸部件5的轴一致。换而言之，轴承部件7的轴和缸部件5的轴是同一个轴。

轴承部件7的下表面7B配置于缸部件5的下表面5B。轴承部件7的下表面7B和基座部件1的导向面1A对置。轴承部件7的下表面7B隔着间隙与基座部件1的导向面1A对置。

轴承部件7在与基座部件1的导向面1A之间，具有能够提供气体的供给口71。在本实施方式中，供给口71配置成与基座部件1的导向面1A对置。供给口71配置在轴承部件7的下表面7B。通过从供给口71提供的气体，在基座部件1的导向面1A与轴承部件7的下表面7B之间形成气体轴承7G。通过气体轴承7G，在基座部件1的导向面1A与轴承部件7的下表面7B之间形成间隙。在本实施方式中，供给口71提供空气(压缩空气)。

通过在缸部件5的下表面5B侧形成的气体轴承7G，来维持(固定)在Z轴方向上的缸部件5的位置。换而言之，通过气体轴承7G来限制在Z轴方向上的缸部件5的移动。通过气体轴承7G，在将缸部件5以非接触的方式支承于基座部件1的状态下，Z轴方向上的基座部件1和缸部件5的相对位置被固定。通过气体轴承7G，能够固定在Z轴方向上的缸部件5的位置，而允许在X轴方向以及Y轴方向上的缸部件5的移动。

在本实施方式中，轴承部件7包括多孔体(多孔质部件)。多孔体例如可以是如日本专利第5093056号、日本特开2007-120527号等中所公开那样由石墨(碳石墨)制成的。另外，多孔体也可以是由陶瓷制成的。供给口71包括多孔体的孔。在本实施方式中，从多孔体的孔(供给口)71提供气体。如图4所示，在本实施方式中，在轴承部件7与缸部件5之间形成气室72。从气体供给装置73对气室72提供气体。对气室72提供的气体通过轴承部件7的内部(多孔体的孔)，到达轴承部件7的下表面7B，并从配置在该下表面7B的供给口71提供到下表面7B与导向面1A之间的空间。由此，在下表面7B与导向面1A之间形成气体轴承7G。下表面7B与导向面1A成为非接触状态。

在本实施方式中，在轴承部件7与基座部件1之间设有排出所提供的气体的至少一部分的排气口74。在XY平面内排气口74是环状。排气口74配置于缸部件5。

根据X轴驱动装置20以及Y轴驱动装置30的动作，工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向移动。在本实施方式中，根据在X轴方向以及Y轴方向上的工作台2的移动，与该工作台2连接的活塞部件4和工作台2一起沿着X轴方向以及Y轴方向移动。另外，活塞部件4沿着X轴方向以及Y轴方向移动，由此缸部件5与活塞部件4一起沿着X轴方向以及Y轴方向移动。缸部件5被轴承部件7(气体轴承7G)引导而沿着X轴方向以及Y轴方向移动。在本实施方式中，导向面1A以及下表面7B均与XY平面平行。在本实施方式中，基座部件1作为导向装置发挥作用，以使工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向移动的方式对经由活塞部件4支承工作台2的缸部件5进行引导。

缸部件5配置成不与基座部件1接触。缸部件5配置成不与活塞部件4接触。缸部件5配置成不与工作台2(连接部件40)接触。通过由轴承部件6形成的气体轴承6G，使缸部件5的内表面5S(轴承部件6的内表面6S)和活塞部件4的外表面4C隔着间隙对置。通过由轴承部件7形成的气体轴承7G，使缸部件5的下表面5B(轴承部件7的下表面7B)和基座部件1的导向面1A隔着间隙对置。

如图1、图2以及图4等所示，活塞部件4的下表面4B与基座部件1相分离。活塞部件4与工作台2连接，而不与工作台2以外的部件连接。在本实施方式中，活塞部件4的上表面4A与工作台2连接，在侧面4C的周围以非接触的状态配置轴承部件6以及缸部件5，在活塞部件4的下表面4B上没有部件连接。

由活塞部件4的下表面4B和缸部件5的内表面5S来规定下部空间5Hu。活塞部件4的下表面4B面对下部空间5Hu。在本实施方式中，下部空间5Hu包括由活塞部件4的下表面4B、缸部件5的内表面5S以及基座部件1的导向面1A包围而成的空间。

重力补偿装置8具有能够对活塞部件4的下表面4B所面对的下部空间5Hu提供气体的供给口81。重力补偿装置8以降低工作台2的重量对Z轴致动器13产生的作用的方式，从供给口81提供气体。可以将重力补偿装置8称为自重补偿装置8，也可以将其称为自重消除装置8。重力补偿装置8包括空气缸装置，该空气缸装置通过对由活塞部件4的下表面4B和缸部件5的内表面5S规定的下部空间5Hu提供气体(空气)来消除工作台2的重量。

重力补偿装置8具有：气体供给装置82，其能够提供气体；压力调整装置83，其调整来自气体供给装置82的气体的压力。气体供给装置82例如提供压缩空气。压力调整装置83例如包含调节器，调整经由供给口81对下部空间5Hu提供的气体的压力。

在本实施方式中，连接气体供给装置82和供给口81的流路的至少一部分形成于缸部件5的内部。在该流路的一个端部配置供给口81。在本实施方式中，供给口81包括流路的一个端部的开口。流路的另一个端部与气体供给装置82连接。从气体供给装置82提供的气体经由流路被输送到供给口81。供给口81将从气体供给装置82提供并由压力调整装置83调整了压力的气体提供到下部空间5Hu。

供给口81配置成面对下部空间5Hu。在本实施方式中，供给口81配置在缸部件5的内表面5S。

压力调整装置83作为能够调整每单位时间的气体提供量的流量调整装置发挥功能。压力调整装置83能够调整从供给口81向下部空间5Hu提供的每单位时间的气体提供量。通过调整来自供给口81的气体提供量，能够调整下部空间5Hu的压力。如果来自供给口81的气体提供量较多，则下部空间5Hu的压力就会变高。若来自供给口81的气体提供量较少，则下部空间5Hu的压力就会变低。压力调整装置83通过调整从供给口81向下部空间5Hu提供的气体提供量，能够调整下部空间5Hu的压力。在本实施方式中，从供给口81提供空气(压缩空气)。

重力补偿装置8以降低工作台2的重量对Z轴致动器13产生的作用的方式，从供给口81提供气体。根据重力的作用，工作台2产生－Z方向的力。该工作台2的力经由第二楔部件12、第一楔部件11以及动力传递装置15传递到Z轴致动器13。重力补偿装置8以降低从工作台2向Z轴致动器13传递的力的方式，从供给口81提供气体。重力补偿装置8以抑制工作台2以及活塞部件4由于重力作用而产生的力被传递到Z轴致动器13的方式，供给口81提供气体。

在本实施方式中，重力补偿装置8以降低工作台2以及活塞部件4的重量对Z轴致动器13产生的作用的方式，从供给口81提供气体。重力补偿装置8以降低由于重力作用而从工作台2以及活塞部件4传递到Z轴致动器13的力的方式，从供给口81提供气体。重力补偿装置8以抵消由工作台2以及活塞部件4的自重产生的朝向－Z方向的力的方式，对活塞部件4以及工作台2沿着+Z方向施加力。换而言之，重力补偿装置8以消除由重力作用产生的朝向－Z方向的力的方式，对活塞部件4以及工作台2施加+Z方向的力。即，重力补偿装置8以向上推举工作台2以及活塞部件4的方式，对工作台2以及活塞部件4的下方的下部空间5Hu提供气体。在本实施方式中，重力补偿装置8以使下部空间5Hu的压力高于缸部件5的外侧空间的压力的方式，从供给口81提供气体。缸部件5的外侧空间包括工作台2的周围空间。缸部件5的外侧空间包含活塞部件4的上表面4A的周围空间。缸部件5的外侧空间包括相对于下部空间5Hu的外部空间。在本实施方式中，缸部件5的外侧空间的压力是大气压。重力补偿装置8以使下部空间5Hu的压力高于大气压的方式，从供给口81对下部空间5Hu提供气体。

重力补偿装置8也可以考虑载置于工作台2的物体S的重量，来对下部空间5Hu提供气体。即，重力补偿装置8也可以以降低工作台2、活塞部件4以及物体S的重量对Z轴致动器13产生的作用的方式来从供给口81提供气体。换而言之，重力补偿装置8以降低由于重力作用而从工作台2、活塞部件4以及物体S传递到Z轴致动器13的力的方式来从供给口81提供气体。

图6是表示本实施方式涉及的Z轴驱动装置10的一个示例的图。在本实施方式中，Z轴驱动装置10包括通常所说的楔型升降装置。第一楔部件11、第二楔部件12、Z轴导向装置14以及Y轴导向装置16配置于工作台2的下表面2B侧(－Z侧)。第二楔部件12在工作台2的下表面2B侧支承工作台2。

第一楔部件11以及第二楔部件12是可动部件。第一楔部件11以及第二楔部件12分别在工作台2的下方空间(－Z侧的空间)移动。第一楔部件11以及第二楔部件12分别在Y轴载物台31的上方空间(+Z侧的空间)移动。

第一楔部件11能够在XY平面内移动。在本实施方式中，第一楔部件11能够沿着Y轴方向移动。在YZ平面内，第一楔部件11的外形是大致三角形(楔形)。如图2以及图6所示，第一楔部件11具有：与XY平面平行的下表面11B；相对于XY平面倾斜的斜面11G；以及与Z轴平行的侧面11S。斜面11G以及侧面11S配置在下表面11B的上侧(+Z侧)。斜面11G朝向+Y方向向上方(+Z方向)倾斜。斜面11G的下端部和下表面11B的－Y侧的端部连接。斜面11G的上端部和侧面11S的上端部连接。侧面11S的下端部和下表面11B的+Y侧的端部连接。

第二楔部件12能够移动地支承于第一楔部件11。第一楔部件11和第二楔部件12能够进行相对移动。第二楔部件12在第一楔部件11的上方(+Z侧)相对于第一楔部件11进行相对移动。

第二楔部件12能够至少沿着Z轴方向移动。在本实施方式中，根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动，第二楔部件12沿着Z轴方向移动。在YZ平面内，第二楔部件12的外形是大致三角形(楔形)。如图2以及图6所示，第二楔部件12具有：与XY平面平行的上表面12A；相对于XY平面倾斜的斜面12G；以及与Z轴平行的侧面12S。上表面12A配置在侧面12S以及斜面12G的上侧(+Z侧)。斜面12G朝向+Y方向向上方(+Z方向)倾斜。在本实施方式中，斜面11G和斜面12G平行。斜面12G的上端部和上表面12A的+Y侧的端部连接。斜面12G的下端部和侧面12S的下端部连接。侧面12S的上端部和上表面12A的－Y侧的端部连接。

Z轴导向装置14根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动，以使第二楔部件12沿着Z轴方向移动的方式来引导第二楔部件12。Z轴导向装置14的至少一部分配置于第一楔部件11。在本实施方式中，Z轴导向装置14包括直线运动导向机构。Z轴导向装置14包括：导轨14B，其配置于第一楔部件11；以及滑动件(滑块)14A，其配置于第二楔部件12，能够在导轨14B上移动。导轨14B配置于第一楔部件11的斜面11G。滑动件14A配置于第二楔部件12的斜面12G。

Z轴导向装置14包括直线运动式轴承。在本实施方式中，Z轴导向装置14包括直线运动式的滚动轴承。滚动轴承具有滚动体。滚动体包括滚珠以及滚子中的一方或者双方。即，滚动轴承包括滚珠轴承以及滚子轴承中的一方或者双方。在本实施方式中，Z轴导向装置14包括直线运动式滚珠轴承(linear ball bearing)。

图7是表示本实施方式涉及的Z轴导向装置14的一个示例的图。Z轴导向装置14包括导轨14B和能够与导轨14B进行相对移动的滑动件(滑块、直线运动式轴承)14A。导轨14B具有：朝向上方的表面41A；配置于表面41A的两侧的侧面41B；以及发布形成于各侧面41B的槽41C。滑动件14A具有：第一对置面42A，其能够与导轨14B的表面41A对置；第二对置面42B，其能够与导轨14B的侧面41B对置；以及滚动体(滚珠)42T，其至少一部分配置在导轨14B的槽41C。滚珠42T与槽41C的内表面接触而滚动。由于滚珠42T沿着槽41C滚动，所以滑动件14A能够在导轨14B上平滑地移动。

在本实施方式中，导轨14B以相对于XY平面倾斜的方式配置于第一楔部件11(斜面11G)。导轨14B配置成导轨14B的表面41A相对于XY平面倾斜。如图6所示，在本实施方式中，导轨14B(表面41A)相对于XY平面的倾斜角度是θ。角度θ比0度大且比90度小。滑动件14A以使第一对置面42A和导轨14B的表面41A平行的方式配置于第二楔部件12(斜面12G)。在本实施方式中，滑动件14A在第二楔部件12的斜面12G上配置有两个。另外，滑动件14A也可以在第二楔部件12上配置有一个。也可以在第二楔部件12上配置有三个以上的多个滑动件14A。

第二楔部件12以根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动而沿着Z轴方向移动的方式被Z轴导向装置14引导。若第一楔部件11向－Y方向移动，则第二楔部件12向+Z方向移动(上升)。若第一楔部件11向+Y方向移动，则第二楔部件12向－Z方向移动(下降)。工作台2被第二楔部件12支承。因此，根据在Z轴方向上的第二楔部件12的移动(升降)，工作台2也与第二楔部件12一起移动。即，若第二楔部件12向+Z方向移动(上升)，则工作台2与第二楔部件12一起向+Z方向移动。若第二楔部件12向－Z方向移动(下降)，则工作台2与第二楔部件12一起向－Z方向移动。

另外，在Z轴导向装置14中，也可以在第一楔部件11的斜面11G上配置滑动件14A，并且在第二楔部件12的斜面12G上配置导轨14B。

如图6所示，设置有沿着Y轴方向引导第一楔部件11的Y轴导向装置16。如上述那样，Z轴驱动装置10具有沿着Y轴方向移动第一楔部件11来使第二楔部件12以及工作台2沿着Z轴方向移动的Z轴致动器13。

Y轴导向装置16根据Z轴致动器13的动作，以使第一楔部件11沿着Y轴方向移动的方式来引导第一楔部件11。Y轴导向装置16的至少一部分配置在Y轴载物台31上。在本实施方式中，Y轴导向装置16包含直线运动导向机构。Y轴导向装置16包括：导轨16B，其配置于Y轴载物台31；以及滑动件(滑块)16A，其配置于第一楔部件11，并能够与导轨16B相对移动。导轨16B固定于Y轴载物台31的上表面。滑动件16A固定于第一楔部件11的下表面11B。滑动件16A与第一楔部件11一起移动。导轨16B也可以相对于Y轴载物台31移动。导轨16B相对于Y轴载物台31的相对位置被固定。

Y轴导向装置16包括直线运动式的滚动轴承。在本实施方式中，Y轴导向装置16包括直线运动式滚珠轴承(linear ball bearing)。第一楔部件11根据Z轴致动器13的动作以沿着Y轴方向移动的方式被Y轴导向装置16引导。Y轴导向装置16与参照图7说明了的Z轴导向装置14构造相同。省略对于Y轴导向装置16的构造的详细说明。

另外，在Y轴导向装置16中，也可以在Y轴载物台31的上表面配置滑动件16A，并且在第一楔部件11的下表面11B配置导轨16B。

X轴导向装置23包括直线运动导向机构。X轴导向装置23具有导轨23B和能够与导轨23B相对移动的滑动件(滑块)23A。X轴导向装置23包括直线运动式滚动轴承。在本实施方式中，X轴导向装置23包括直线运动式滚珠轴承(linear ball bearing)。X轴载物台21以沿着X轴方向移动的方式被X轴导向装置23引导。X轴导向装置23与参照图7说明的Z轴导向装置14构造相同。省略对于X轴导向装置23的构造的详细说明。

Y轴导向装置33包括直线运动导向机构。Y轴导向装置33具有导轨33B和能够与导轨33B相对移动的滑动件(滑块)33A。Y轴导向装置33包括直线运动式滚动轴承。在本实施方式中，Y轴导向装置33包括直线运动式滚珠轴承(linear ball bearing)。Y轴载物台31以沿着Y轴方向移动的方式被Y轴导向装置33引导。Y轴导向装置33与参照图7说明的Z轴导向装置14构造相同。省略对于Y轴导向装置33的构造的详细说明。

下面，说明上述工作台装置TS的动作的一个示例。

在使工作台2沿着X轴方向移动时，使X轴致动器22动作。根据X轴致动器22的动作，X轴载物台21沿着X轴方向移动。X轴载物台21被X轴导向装置23引导而沿着X轴方向平滑地移动。通过使X轴载物台21沿着X轴方向移动，被该X轴载物台21支承的Y轴载物台31和经由第一楔部件11以及第二楔部件12被Y轴载物台31支承的工作台2与X轴载物台21一起沿着X轴方向移动。

在使工作台2沿着Y轴方向移动时，使Y轴致动器32动作。根据Y轴致动器32的动作，Y轴载物台31沿着Y轴方向移动。Y轴载物台31被Y轴导向装置33引导而沿着Y轴方向平滑地移动。通过使Y轴载物台31沿着Y轴方向移动，经由第一楔部件11以及第二楔部件12被Y轴载物台31支承的工作台2与Y轴载物台31一起沿着Y轴方向移动。

在本实施方式中，Y轴载物台31与缸部件5连接。该缸部件5通过气体轴承7G以非接触的方式支承于基座部件1。即，在本实施方式中，Y轴载物台31经由缸部件5以非接触的方式支承于基座部件1。通过气体轴承7G，能够抑制在Z轴方向上的缸部件5(Y轴载物台31)的位置变动，而允许其沿着X轴方向以及Y轴方向移动。由此，工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向在目标轨道(期望的轨道)上移动。根据X轴致动器22的动作，工作台2能够通过X轴导向装置23沿着X轴方向笔直地移动。根据Y轴致动器32的动作，工作台2能够通过Y轴导向装置33沿着Y轴方向笔直地移动。

在使工作台2沿着Z轴方向移动时，使Z轴致动器13动作。根据Z轴致动器13的动作，经由动力传递机构15，Z轴致动器13的动力被传递到第一楔部件11。根据Z轴致动器13的动作，第一楔部件11沿着Y轴方向移动。第一楔部件11被Y轴导向装置16引导，沿着Y轴方向平滑地移动。通过Y轴导向装置16，第一楔部件11沿着Y轴方向在目标轨道(期望的轨道)上移动。在本实施方式中，通过Y轴导向装置16，第一楔部件11能够沿着Y轴方向笔直地移动。

根据在Y轴方向上的第一楔部件11的移动，第二楔部件12沿着Z轴方向移动。第二楔部件12被Z轴导向装置14引导而沿着Z轴方向平滑地移动。通过使第二楔部件12沿着Z轴方向移动，被该第二楔部件12支承的工作台2也与第二楔部件12一起沿着Z轴方向移动。

在本实施方式中，活塞部件4与工作台2连接，并以能够在Z轴方向上移动的方式支承于缸部件5。通过由缸部件5的轴承部件6形成的气体轴承6G，能够抑制活塞部件4(工作台2)相对于缸部件5沿着X轴方向以及Y轴方向移动，而允许其沿着Z轴方向移动。由此，工作台2沿着Z轴方向在目标轨道(期望的轨道)上移动。在本实施方式中，基于通过气体轴承6G以非接触的方式支承于缸部件5的活塞部件4，工作台2能够沿着Z轴方向笔直地移动。

在本实施方式中，Z轴驱动装置10包含楔形升降装置，第二楔部件12与工作台2连接。通过缸部件5以及活塞部件4，XY平面内第二楔部件12和Y轴载物台31的相对位置实质上不发生变化。另一方面，工作台2经由活塞部件4以能够沿着Z轴方向移动的方式支承于缸部件5。因此，以在Z轴方向上在第二楔部件12与Y轴载物台31之间使第二楔部件12与Y轴载物台31之间的距离(Z轴方向的距离)发生变化的方式，第一楔部件11相对于第二楔部件12以及Y轴载物台31沿着Y轴方向进行相对移动，由此第二楔部件12能够相对于第一楔部件11以及Y轴载物台31沿着Z轴方向移动。

另外，通过气体轴承6G来维持缸部件5的内表面5S和活塞部件4的外表面4C的间隙(非接触状态)，通过气体轴承7G来维持缸部件5的下表面5B与基座部件1的导向面1A的间隙(非接触状态)。因此，当工作台2以及活塞部件4沿着X轴方向以及Y轴方向移动时，缸部件5能够与在X轴方向以及Y轴方向上的工作台2以及活塞部件4的移动同步地，沿着X轴方向以及Y轴方向移动。因此，即便工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向移动，缸部件5也能够以非接触状态沿着Z轴方向持续引导活塞部件4。

另外，在本实施方式中，Y轴载物台31与缸部件5连接，在X轴方向以及Y轴方向上与工作台2一起移动。即，当工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向移动时，Y轴载物台31以及缸部件5与工作台2一起移动。由此，即便工作台2沿着X轴方向以及Y轴方向移动，缸部件5也能够以非接触状态沿着Z轴方向持续引导活塞部件4。

根据Z轴致动器13的动作，被工作台2支承的物体S在Z轴方向上配置到目标位置。例如，在使用Z轴致动器13的动力来使工作台2沿着+Z方向移动的情况下或者在使用Z轴致动器13的动力来维持在Z轴方向上的工作台2的位置的情况下，该Z轴致动器13有可能被施加负荷。即，为了使工作台2上升或者为了维持在Z轴方向上的工作台2的位置，Z轴致动器13必须持续产生规定动力(扭矩)。该情况下，必须对Z轴致动器13持续提供规定的电力(电流)，其结果，Z轴致动器13有可能发热。若Z轴致动器13发热，周围部件则有可能发生热变形。其结果，工作台装置TS的性能有可能降低，例如工作台2的定位精度降低、或者工作台2偏离目标轨道地移动等。另外，有可能由于Z轴致动器13的发热，而被工作台2支承的物体S发生热变形。

在本实施方式中，设置有重力补偿装置8。因此，在使工作台2沿着+Z方向移动时，或者在维持Z轴方向上的工作台2的位置的情况下，Z轴致动器13产生的动力(转矩)较小即可。即，对Z轴致动器13提供的电力(电流)较小即可。因此，能够抑制Z轴致动器13的发热。其结果，能够抑制周围部件的热变形以及物体S的热变形。

另外，因为设有重力补偿装置8，所以即便工作台2所搭载的物体S的质量(重量)较大，也能够降低施加于Z轴致动器13的负荷。另外，因为设置有重力补偿装置8，所以Z轴致动器13产生的动力较小即可。因此，能够实现Z轴致动器13的小型化。

另外，因为通过重力补偿装置8提高了下部空间5Hu的压力，所以即便产生停电等异常情况(紧急停止)，Z轴致动器13不产生动力，也能够抑制工作台2急剧下降(跌落)。例如，能够省略用于防止工作台2跌落的电磁制动器，因此不会产生由于该电磁制动器而导致的发热(热变形)。

如以上说明了的那样，根据本实施方式，通过驱动系统3，工作台2能够沿着Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向这三个方向移动。根据本实施方式，与工作台2连接的活塞部件4通过由轴承部件6形成的气体轴承6G，以非接触的方式支承于缸部件5。轴承部件6在与活塞部件4之间形成气体轴承6G，以使活塞部件4能够沿着Z轴方向移动的方式支承(引导)活塞部件4。由此，与该活塞部件4连接的工作台2能够沿着Z轴方向在目标轨道(期望的轨道)上高精度地移动。

在本实施方式中，轴承部件6以使活塞部件4能够沿着Z轴方向笔直地移动的方式支承(引导)活塞部件4。由此，与该活塞部件4连接的工作台2能够沿着Z轴方向笔直地移动。即，通过能够形成气体轴承6G的轴承部件6，能够抑制活塞部件4以及工作台2的移动中笔直度的下降。由此，能够将被工作台2支承的物体S配置到目标位置上。

在本实施方式中，在活塞部件4与轴承部件6之间形成气体轴承6G，轴承部件6以非接触的方式支承活塞部件4。由此，活塞部件4能够平滑地沿着Z轴方向移动。若轴承部件6与活塞部件4接触，则有可能对应于活塞部件4的移动而产生阻力。其结果，尽管想要使工作台2以及活塞部件4笔直地移动，工作台2以及活塞部件4也有可能不笔直地移动。另外，若轴承部件6与活塞部件4接触，则有可能由于活塞部件4的移动而产生振动。若活塞部件4产生振动，则工作台2也会发生振动，其结果，有可能导致工作台2的定位精度降低。在本实施方式中，因为轴承部件6对活塞部件4以使其能够移动的方式非接触地进行支承，所以工作台2以及活塞部件4能够笔直地移动。而且，能够抑制振动的产生。其结果，能够抑制工作台2的定位精度的降低，并能够将工作台2以及被该工作台2支承的物体S配置到目标位置上。

另外，在本实施方式中，缸部件5通过由轴承部件7形成的气体轴承7G以非接触的方式支承于基座部件1。由此，经由活塞部件4支承于缸部件5的工作台2在XY平面内能够平滑地移动，并能够沿着X轴方向以及Y轴方向的各个方向在目标轨道上高精度地移动。

另外，根据本实施方式，通过气体轴承6G来维持缸部件5的内表面5S和活塞部件4的外表面4C的间隙(非接触状态)，通过气体轴承7G来维持缸部件5的下表面5B和基座部件1的导向面1A的间隙(非接触状态)。因此，当工作台2以及活塞部件4沿着X轴方向以及Y轴方向移动时，在能够维持缸部件5和活塞部件4的间隙以及缸部件5和基座部件1的间隙的状态下，缸部件5能够与工作台2以及活塞部件4在X轴方向以及Y轴方向上的移动同步地沿着X轴方向以及Y轴方向移动。因此，即便工作台2以及活塞部件4沿着X轴方向以及Y轴方向移动，缸部件5也能够对活塞部件4以使其能够沿着Z轴方向移动的方式非接触地持续进行支承。

这样，根据本实施方式，通过由轴承部件6形成的气体轴承6G以及由轴承部件7形成的气体轴承7G，工作台2能够沿着Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向的各个方向在目标轨道上高精度地移动。因此，能够抑制工作台2的定位精度的降低。

另外，在本实施方式中，驱动系统3具有：X轴驱动装置20，其包括以能够移动的方式支承于基座部件1的X轴载物台21以及用于移动X轴载物台21的X轴致动器22；Y轴驱动装置30，其包括以能够移动的方式支承于X轴载物台21的Y轴载物台31以及用于移动Y轴载物台31的Y轴致动器32；以及Z轴驱动装置10，其配置在Y轴载物台31上，并沿着Z轴方向移动工作台2。缸部件5与Y轴载物台31连接。由此，在XY平面内，工作台2、Y轴载物台31以及缸部件5能够一起移动。因此，能够稳定地保持活塞部件4的外表面4C和缸部件5的内表面5S的间隙，XY平面内的缸部件5、工作台2以及活塞部件4的移动稳定。因为移动稳定，因此工作台2能够在目标轨道上移动。

另外，在本实施方式中，工作台装置TS包括楔形升降装置，该楔形升降装置通过第一楔部件11与第二楔部件12的相对移动来移动工作台2。因此，通过调整角度θ，能够调整在Y轴方向上的第一楔部件11的移动量和在Z轴方向上的第二楔部件12的移动量的比(减速比、分辨率)。

另外，在本实施方式中，因为设置有重力补偿装置8，所以能够降低施加于Z轴致动器13的负荷。因此，能够抑制Z轴致动器13的发热，在工作台装置TS中，Z轴致动器13的周围部件的热变形被抑制。Z轴致动器13的周围部件包括Z轴导向装置14的部件、Y轴导向装置16的部件、Y轴载物台31、第一楔部件11、第二楔部件12、活塞部件4、缸部件5以及工作台2中的至少一个。因此，能够抑制工作台2的定位精度降低或工作台2偏离目标轨道移动。其结果，能够抑制工作台装置TS的性能降低。

另外，在本实施方式中，活塞部件4的截面外形是圆形，轴承部件6是配置在活塞部件4的侧面4C的周围的圆筒状部件。截面外形为圆形的活塞部件4的加工与例如截面外形为方形的活塞部件的加工相比，能够容易得到高加工精度的可能性较高。换而言之，制造外形为圆形的活塞部件4与制造外形为方形的活塞部件相比，能够容易得到目标形状的可能性较高。另外，制造具有截面为圆形的内表面6S的轴承部件6与制造具有截面为方形的内表面的轴承部件相比，能够容易得到高加工精度(目标形状)的可能性较高。例如，在制造方形的活塞部件以及轴承部件的情况下，以使该活塞部件的角部与轴承部件之间形成的间隙的尺寸和该活塞部件的平面部与轴承部件之间形成的间隙的尺寸相等的方式来制造活塞部件以及轴承部件，这有可能存在困难。根据本实施方式，通过利用圆形的活塞部件4以及轴承部件6，能够抑制在该活塞部件4的侧面4C与轴承部件6的内表面6S之间形成的间隙的尺寸变得不均匀。因此，能够抑制在该活塞部件4的侧面4C和轴承部件6的内表面6S之间形成的间隙中压力变得不均匀。因此，能够抑制气体轴承6G的性能降低，抑制活塞部件4偏离目标轨道移动。

另外，在本实施方式中，活塞部件4至少配置有两个，与工作台2的不同部位分别连接。因此，通过与工作台2连接的多个活塞部件4，能够抑制例如工作台2的旋转。由此，工作台2的定位精度提高。即，在本实施方式中，活塞部件4的截面外形是圆形，轴承部件6是配置在活塞部件4的侧面4C的周围的圆筒状部件。因此，在轴承部件6的内侧，活塞部件4有可能沿着θZ方向移动(旋转)。在只有一个与工作台2连接的活塞部件4的情况下，由于活塞部件4相对于轴承部件6的旋转，工作台2也有可能发生旋转。在本实施方式中，活塞部件4配置有多个。因此，由于这些多个活塞部件4被轴承部件6以及缸部件5支承，所以能够抑制在θZ方向上的工作台2的移动(旋转)。

另外，在本实施方式中，Z轴导向装置14、Y轴导向装置16、Y轴导向装置33以及X轴导向装置23均由具有滚动轴承的直线运动导向机构构成。Z轴导向装置14、Y轴导向装置16、Y轴导向装置33以及X轴导向装置23均具有构造实质上相同的滚动轴承。因此，工作台2被该Z轴导向装置14、Y轴导向装置16、Y轴导向装置33以及X轴导向装置23引导而能够沿着Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向的各个方向在目标轨道上高精度地移动。

另外，在本实施方式中，工作台2经由支承装置9被支承于第二楔部件12。因此，即便第二楔部件12发生了意料之外的移动(振动)，也能够抑制该意料之外的移动(振动)通过支承装置9被传递到工作台2。

另外，在本实施方式中，设为第一楔部件11沿着Y轴方向移动。第一楔部件11也可以沿着X轴方向移动。

另外，在本实施方式中，也可以使缸部件5和Y轴载物台31不连接。

另外，在本实施方式中，可以省略支承装置9。第二楔部件12可以固定于工作台2。第二楔部件12也可以经由连接部件固定于工作台2。

另外，在本实施方式中，以轴承部件6包含多孔体并且由从该多孔体的孔提供的气体形成气体轴承6G的通常所说的多孔质节流方式为示例来进行了说明。用于形成气体轴承6G的轴承部件6的节流方式不限于多孔质节流。例如可以是不使用多孔体的小孔节流方式，也可以是环面节流方式，也可以是经由设置于轴承面(导向面)的槽来提供气体的表面节流方式。例如在环面节流方式的轴承部件6的情况下，提供气体的供给口61包括节流孔的开口。轴承部件7也相同。轴承部件7可以是多孔质节流方式，也可以是不使用多孔体的小孔节流方式，也可以是环面节流方式，也可以是经由设置于轴承面(导向面)的槽来提供气体的表面节流方式。

另外，在本实施方式中，设为活塞部件4的与XY平面平行的截面的外形是圆形。与XY平面平行的截面的活塞部件4的外形也可以是多边形。活塞部件4的截面外形也可以是四边形。活塞部件4的截面外形并不限于四边形，也可以是其它多边形。

另外，在本实施方式中，设为活塞部件4以及缸部件5在驱动系统3的周围配置有四个。活塞部件4以及缸部件5在驱动系统3的周围至少配置两个即可。连接于工作台2的活塞部件4可以是两个或者三个，也可以是五个以上的任意数量。缸部件5与多个活塞部件4分别对应地配置即可。

多个活塞部件4在XY平面内与工作台2的不同的多个部位分别连接即可。通过将多个活塞部件4与工作台2连接并且由缸部件5支承这些多个活塞部件4，从而能够抑制在XY平面内工作台2相对于缸部件5的移动。即，多个活塞部件4在XY平面内与工作台2的不同的多个部位分别连接，这些多个活塞部件4被轴承部件6以及缸部件5支承，由此能够抑制在θZ方向上的工作台2相对于缸部件5的移动(旋转)。

在例如两个(两根)活塞部件4与工作台2连接的情况下，这些活塞部件4与工作台2的第一部位以及工作台2中与该第一部位不同的第二部位分别连接即可。在三个(三根)活塞部件4与工作台2连接的情况下，这些活塞部件4与工作台2的第一部位、工作台2中与该第一部位不同的第二部位以及工作台2中与这些第一部位以及第二部位不同的第三部位分别连接即可。

在四个(四根)活塞部件4与工作台2连接的情况下，这些活塞部件4与工作台2的下表面2B的第一部位、工作台2的下表面2B中与第一部位不同的第二部位、工作台2的下表面2B中与第一部位以及第二部位不同的第三部位、工作台2的下表面2B中与第一部位、第二部位以及第三部位不同的第四部位分别连接即可。第一部位、第二部位、第三部位以及第四部位也可以配置在下表面2B的中心的周围。

另外，在本实施方式中，设为工作台2是矩形。在XY平面内，工作台2可以是圆形，也可以是如六边形或八边形那样的多边形。

另外，在本实施方式中，设为Z轴导向装置14包括具有滚动体的滚动轴承。Z轴导向装置14可以包含不具有滚动体的直线运动式滑动轴承，也可以包含直线运动式气体轴承。另外，Z轴导向装置14也可以不具有滑动件。例如，也可以使第二楔部件12的斜面12G沿着设置于第一楔部件11的导轨移动，以使第二楔部件12沿着Z轴方向移动。该情况下，设置于第一楔部件11的导轨作为引导第二楔部件12的导向装置发挥作用。

同样地，Y轴导向装置16可以包含直线运动式滑动轴承，也可以包含直线运动式气体轴承。另外，Y轴导向装置16也可以不具有滑动件。

同样地，Y轴导向装置33以及X轴导向装置23的其中至少一方可以包含直线运动式滑动轴承，也可以包含直线运动式气体轴承。另外，Y轴导向装置33以及X轴导向装置23的其中至少一方也可以不具有滑动件。

第二实施方式

说明第二实施方式。在下面的说明中，对于与上述实施方式相同或者等同的结构部分，赋予相同符号并简化或者省略其说明。

图8是表示具备本实施方式涉及的工作台装置TS的半导体制造装置200的一个示例的图。半导体制造装置200包括能够制造半导体器件的半导体器件制造装置。半导体制造装置200包括能够输送用于制造半导体器件的物体S的输送装置300。输送装置300包括本实施方式涉及的工作台装置TS。另外，在图8中简略地图示工作台装置TS。

在本实施方式中，物体S是用于制造半导体器件的基板。由物体S来制造半导体器件。物体S可以包括半导体晶片，也可以包括玻璃板。通过在物体S上形成器件图案(布线图案)来制造半导体器件。

半导体制造装置200对配置在处理位置PJ1处的物体S进行用于形成器件图案的处理。工作台装置TS将支承于工作台2的物体S配置到处理位置PJ1。输送装置300包括：搬入装置301，其能够将物体S输送(搬入)到工作台装置TS的工作台2上；和搬出装置302，其能够从工作台2输送(搬出)物体S。搬入装置301将处理前的物体S输送(搬入)到工作台2。工作台装置TS将支承于工作台2的物体S输送到处理位置PJ1。搬出装置302从工作台2输送(搬出)处理后的物体S。

工作台装置TS移动工作台2来将支承于工作台2的物体S移动到处理位置PJ1。如在上述实施方式中说明了的那样，工作台2能够沿着X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向这三个方向在目标轨道上移动，并能够以高定位精度移动。因此，工作台装置TS能够将支承于工作台2的物体S配置到处理位置(目标位置)PJ1。

例如，在半导体制造装置200包括通过光学系统201计测物体S的器件图案的计测装置的情况下，处理位置PJ1包括光学系统201的焦点位置(计测位置)。通过在处理位置PJ1配置物体S，半导体制造装置200能够通过光学系统201来获取在物体S上形成的器件图案的图像。在半导体制造装置200包括在物体S上形成膜的成膜装置的情况下，处理位置PJ1是能够提供用于形成膜的材料的位置。通过在处理位置PJ1配置物体S，能够在物体S上形成用于形成器件图案的膜。

在处理位置PJ1对物体S进行处理后，搬出装置302从工作台2输送该处理后的物体S。搬出装置302输送(搬出)的物体S被输送到进行后续工序的处理装置。

在本实施方式中，工作台装置TS能够将物体S配置到处理位置(目标位置)PJ1。因此，能够抑制制造出不合格的产品。即，通过工作台装置TS，能够抑制半导体制造装置200中物体S的定位精度的降低，所以能够抑制不合格产品的产生。

图9是表示具备本实施方式涉及的工作台装置TS的检查装置400的一个示例的图。检查装置400检查通过半导体制造装置200制造出的物体(半导体器件)S2。检查装置400包括能够输送物体S2的输送装置300B。输送装置300B包括本实施方式涉及的工作台装置TS。另外，在图9中简略地图示工作台装置TS。

检查装置400检查配置于检查位置PJ2处的物体S2。工作台装置TS将支承于工作台2的物体S2配置到检查位置PJ2。输送装置300B包括：搬入装置301B，其能够将物体S2输送(搬入)到工作台装置TS的工作台2上；以及搬出装置302B，其能够从工作台2输送(搬出)物体S2。搬入装置301B将检查前的物体S2输送(搬入)到工作台2上。工作台装置TS将支承于工作台2的物体S2输送到检查位置PJ2。搬出装置302B从工作台2输送(搬出)检查后的物体S2。

工作台装置TS移动工作台2，将支承于工作台2的物体S2移动到检查位置PJ2。如在上述实施方式中说明了的那样，工作台2能够沿着X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向这三个方向在目标轨道上移动工作台2，并且能够以高定位精度移动。因此，工作台装置TS能够将支承于工作台2的物体S2配置到检查位置(目标位置)PJ2。

在本实施方式中，检查装置400利用检测光来对物体S2进行光学检查。检查装置400包括：照射装置401，其能够射出检测光；以及受光装置402，其能够接受从照射装置401射出且由物体S2反射的检测光的至少一部分。在本实施方式中，检查位置PJ2包括检测光的照射位置。通过在检查位置PJ2配置物体S2，而能够对物体S2的状态进行光学检查。

在检查位置PJ2检查了物体S2之后，搬出装置302B从工作台2输送该检查后的物体S2。

在本实施方式中，由于工作台装置TS能够将物体S2配置到检查位置(目标位置)PJ2，所以能够抑制检查问题的产生。即，检查装置400能够准确地判断物体S2是否为不合格。由此，能够减少例如不合格的物体S2被输送到后续工序或者出厂。

Claims

1.一种工作台装置，其特征在于，包括：

基座部件，其具有与规定面平行的导向面；

工作台，其配置在所述基座部件的上方；

驱动系统，其包括：在与正交于所述规定面的第一轴平行的方向上配置在所述基座部件与所述工作台之间并产生动力的致动器，所述驱动系统能够沿着与所述第一轴平行的方向、与所述规定面内的第二轴平行的方向以及与所述规定面内正交于所述第二轴的第三轴平行的方向移动所述工作台；

活塞部件，其具有上表面、下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧面，其所述上表面侧的至少一部分与所述工作台连接；

缸部件，其配置在所述活塞部件的周围，对所述活塞部件以使其能够沿着与所述第一轴平行的方向移动的方式进行支承，并以能够沿着与所述第二轴平行的方向以及与所述第三轴平行的方向分别移动的方式支承于所述基座部件；

第一轴承部件，其配置于所述缸部件，在与所述活塞部件的侧面之间形成气体轴承；

第二轴承部件，其配置于所述缸部件，在与所述基座部件的导向面之间形成气体轴承；以及

重力补偿装置，其具有以面向所述活塞部件的下表面所面对的所述缸部件的内部空间的下部空间的方式被配置，并对所述下部空间提供气体的供给口。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其特征在于：

所述活塞部件与所述工作台的周边部的多个位置分别连接，

以包围所述驱动系统的方式配置有多个所述缸部件。

3.根据权利要求1或2所述的工作台装置，其特征在于：

所述驱动系统包括：

第二轴驱动装置，其包括：以能够沿着与所述第二轴平行的方向移动的方式支承于所述基座部件的第二轴载物台；以及用于移动所述第二轴载物台的第二轴致动器；

第三轴驱动装置，其包括：以能够沿着与所述第三轴平行的方向移动的方式支承于所述第二轴载物台的第三轴载物台；以及用于移动所述第三轴载物台的第三轴致动器；以及

第一轴驱动装置，其配置在所述第三轴载物台上，沿着与所述第一轴平行的方向移动所述工作台，

所述缸部件与所述第三轴载物台连接。

4.根据权利要求3所述的工作台装置，其特征在于：

所述第一轴驱动装置具有：

第一楔部件，其以能够沿着与所述第二轴或者所述第三轴平行的方向移动的方式支承于所述第三轴载物台；

第二楔部件，其配置在所述第一楔部件的上方，能够相对于所述第一楔部件进行相对移动；

第一轴致动器，其移动所述第一楔部件；以及

导向装置，其至少一部分配置于所述第一楔部件，根据所述第一楔部件的移动，以使所述第二楔部件沿着与所述第一轴平行的方向移动的方式，来引导所述第二楔部件，

所述工作台支承于所述第二楔部件。

5.根据权利要求4所述的工作台装置，其特征在于：

所述导向装置包括直线运动式的滚动轴承，所述滚动轴承包括：配置于所述第一楔部件和所述第二楔部件的其中一方的楔部件的导轨；以及配置于其中另一方的楔部件并能够与所述导轨进行相对移动的滑动件。

6.一种输送装置，其特征在于，包括：

权利要求1至5中任一项所述的工作台装置。

7.一种半导体制造装置，其特征在于，包括：

权利要求1至5中任一项所述的工作台装置。

8.一种检查装置，其特征在于，包括：

权利要求1至5中任一项所述的工作台装置。