CN106431004A - 截止蓝光和减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明一种具有截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法，该镀膜玻璃的膜层结构按顺序排列为：截止蓝光膜系/玻璃/减反射膜系，采取磁控溅射法镀膜。在380nm至780nm光谱波长范围内的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高1.5％～5.5％；蓝光截止率提高40％～75％，紫外线截止率100％。膜层铅笔硬度8.0H。得到的镀膜玻璃可以用于电子显示器面板、手机封装玻璃盖板、LED照明灯罩、橱窗、镜框、机车和轮船窗玻璃等领域，通过该视窗玻璃观察图像无眩光、图像更加清晰、减少人眼的疲劳、防止人眼损伤。

Description

截止蓝光和减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法
技术领域
本发明属于显示器件、仪表封装、保护玻璃盖板、LED灯具玻璃罩、橱窗、以及机车和轮船窗玻璃等使用玻璃的领域，具体涉及一种截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法。
背景技术
在电子显示器件封装、保护玻璃盖板、橱窗、LED灯具玻璃罩等使用玻璃作为视窗的领域，由于蓝光可以透射普通玻璃，给观察者的眼睛造成伤害。根据医学研究结果，除了紫外线会对眼睛有伤害之外，还有一种高能量紫/蓝光对眼睛视网膜黄斑部有更大的杀伤力。蓝光波长短、能量高，LED、液晶显示、电脑背景光等人造光源中保留了大量的蓝光，使得人工光更白，更亮，有些特别白亮的光给人一直泛蓝的感觉，这就是蓝光比例过高引起的。液晶显示屏幕、LED节能灯等各种新型人造光源发出的可见光中都含有大量的不规则频率的短波蓝光。蓝光能穿透眼睛晶状体到达视网膜，对其造成光学损害，加速黄斑区细胞的氧化，产生大量自由基，导致白内障，黄斑区退化。蓝光广泛存在于阳光，电子显示屏幕光，电脑显示屏，手机显示屏，仪表、数码产品、LED光源中，长期暴露在蓝光下，容易造成眼睛、面部皮肤伤害。为了减少蓝光对眼睛的危害，就需要在存在蓝光透射的产品视窗中，例如：液晶显示器、手机、LED光源等领域，使用截止蓝光透射的玻璃。
视窗玻璃自身存在8％的反射光，外部环境光源在视窗玻璃上的反射产生重影，使人的视觉产生疲劳、使观察显示内容模糊。为了清晰地观察显示内容、减轻视觉疲劳，就需要减少玻璃自身的反射光。
根据固体物理和薄膜光学理论，玻璃截止蓝光的方法有两种：
一是熔制方法，在玻璃组成中添加金属离子，吸收蓝光以下波长的光谱；在有机树脂液体成型前添加着色基团，例如:申请专利201410201261.X,(琥珀色防蓝光镜片及其制作方法)采取在树脂中混合有机色剂方法防止蓝光。
二是利用不同镀膜方法，在玻璃表面镀制不同折射率的膜层，利用膜层干涉截止蓝光以下波长的光谱。例如:申请专利201510078938.X(一种显示屏防蓝光玻璃保护片)是在玻璃的一面雾化、在玻璃的另一面镀防蓝光镀层,但是,该权利要求没有具体的雾化方法、也没有具体的镀层成分和镀层工艺；申请专利201310396622.6(抗蓝光镜片的制作方法)用二氧化硅、五氧化三钛组成膜系；申请专利201320761157.7(防蓝光镜片)用SiO2、ZrO2、In2O3和Ti2O3组成膜层；申请专利201410666013.2(一种防蓝光镜片)用蒸镀法在镜片上蒸镀二氧化钛和三氧化二铟、钕和镨、氧化铁、钯层。
由于普通玻璃自身有8％左右的反射光，使视窗玻璃产生重影,造成视觉疲劳、图像不清楚。减少玻璃反射可见光的方法，就是在玻璃表面上镀低于玻璃折射率的介质膜，或复合介质膜，或在玻璃表面产生纳米孔，利用干涉原理减少玻璃反射光，达到清晰观察显示内容的目的。例如，湿化学方法有：申请专利201110363911.7(减反射玻璃的制备方法)、201210331777.7(酸腐蚀制备减反射玻璃的方法)、201210331809.3(减反射玻璃及二次碱腐蚀制备减反射玻璃)都采取酸腐蚀的方法在玻璃表面形成孔结构，达到降低折射率，减少玻璃反射光；申请专利201310057774.3(一种带有减反射膜的双绒面玻璃)用溶胶涂敷法镀膜。物理方法有：申请专利201410816930.4(减反射玻璃及其制备方法；)在玻璃上用溅射法沉积SiO2、Nb2O5或Si3N4做膜系；申请专利201510083980.0(减反射膜制备方法及减反射玻璃)用SiO2、SiN或Si3N4做膜系；申请专利201410087985.6(多层膜减反射玻璃及其制备方法)用溅射法在玻璃上分别反应溅射沉积TiOx、AlSiOx膜层；在线气相方法：申请专利201310257406.3(一种五层膜系结构的在线镀膜减反射玻璃及其加工方法)用氧化锡、氧化硅和氟掺杂氧化锡组成膜系。
在玻璃上镀制膜层的方法主要有溅射法、蒸镀法、气相沉积法、湿化学法，其中成熟的磁控溅射方法镀膜，具有膜层均一性好、膜层厚度易控制、膜层与玻璃结合好等特点，已经在生产大尺寸镀膜玻璃的领域得到了广泛应用。
本发明采取了磁控溅射法在玻璃上镀膜，利用多膜层的干涉减少玻璃反射光，利用一定带隙的膜材料和高低折射率膜层形成膜系截止蓝光。二者在玻璃表面形成均匀、与玻璃结合牢固、硬度和耐磨性达到实用要求、具有截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃。
发明内容
技术问题：本发明的目的在于提供一种截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法。
技术方案：本发明的一种截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的膜层结构按顺序排列为：截止蓝光膜系、玻璃、可见光减反射膜系。
所述截止蓝光膜系的层状排列是：
SiOx膜、截止蓝光膜、SiOx膜、玻璃,其中x＝1～2；
或SiOx膜、氮氧化硅膜、截止蓝光膜、SiOx膜、玻璃；
截止蓝光膜层材料带隙在2.48eV～3.10eV，
所述可见光减反射膜系的层状排列是：
玻璃、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜；
或：玻璃、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜；
或：玻璃、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜。
所述高折射率膜的材料是：二氧化钛、氧化铌、氧化锆、氧化锡或氧化锌。
本发明的的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法具体如下：
a)玻璃清洗：采取去离子水清洗玻璃，干燥，得到洁净玻璃；在常压氮气气氛下，用等离子体轰击处理洁净玻璃表面；
b)在玻璃的一个面上依次在线用磁控溅射法镀制截止蓝光膜如下：
玻璃、SiOx、截止蓝光膜、SiOx,
或：玻璃、SiOx、截止蓝光膜、氮氧化硅膜、SiOx；
其中，x＝1～2；
c)在玻璃未镀膜的另一面依次在线用磁控溅射法镀制可见光减反射膜系为：
三层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
或五层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
或七层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
依次类推，根据减反射可见光、截止蓝光的要求，增加膜系层数。
所述氮氧化硅膜层是用纯硅，或硅硼做靶材，溅射气体的气压为2.5～4.5×10- 1Pa,采用氧气、氮气和氩气混合气体作为溅射气体,其中氮气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％.
所述的SiOx膜，采用纯硅，或硅硼做靶材，在氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa沉积得到。
所述的截止蓝光膜层，采用纯硅，或硅硼做靶材、氩气做工作气体，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积得到非晶硅膜。
所述的截止蓝光膜层，采用纯金属钨，或氧化钨做靶材，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积得到氧化钨膜。
镀制高折射率膜层是在氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10- 1Pa沉积得到。
有益效果：本发明的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃及其制备方法，第一是制备工艺简单、方法成熟；第二是制备过程无污染；第三是得到的镀膜玻璃能够截止蓝光、减少可见光反射率、紫外线截止率100％。该发明的镀膜玻璃可用于电子显示玻璃面板、封装玻璃盖板、橱窗和像框、机车和轮船窗玻璃等使用玻璃的领域，通过该视窗玻璃观察图像无眩光、图像更加清晰、减少人眼的疲劳、防止人眼损伤。
在380nm至780nm光谱波长范围内，该双功能镀膜玻璃的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高1.5％～5.5％，蓝光截止率40％～75％，紫外线截止率100％。镀膜过程中不产生环境污染。
具体实施方式
1.膜层组成和结构
本发明的具有截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃，其膜层结构按顺序排列为：截止蓝光膜系/玻璃/可见光减反射膜系，截止蓝光膜系层总厚度110～326nm，减反射膜系层总厚度170～330nm。
其中，截止蓝光膜系：SiOx膜/截止蓝光膜/SiOx膜/玻璃，或SiOx膜/氮氧化硅膜/截止蓝光膜/SiOx膜/玻璃,x＝1～2。截止蓝光膜层材料的光学带隙在2.48～3.10eV，例如：非晶硅膜，氧化钨；
可见光减反射膜系：玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx,x＝1～2。
高折射率膜层指二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌；
2、制备工艺流程
采取成熟磁控溅射方法在玻璃上镀膜，制备流程如下：
a)玻璃清洗：采取去离子水清洗玻璃，干燥，得到洁净玻璃；
b)在常压氮气气氛下，用等离子体轰击处理洁净玻璃表面；
c)在玻璃的一个面上依次在线用磁控溅射法镀制：
i)玻璃/SiOx,x＝1～2；
ii)玻璃/SiOx/截止蓝光膜，例如：非晶硅，或氧化钨膜；
iii)玻璃/SiOx/截止蓝光膜/SiOx；
或玻璃/SiOx/截止蓝光膜/氮氧化硅膜层，
玻璃/SiOx/截止蓝光膜/氮氧化硅膜层/SiOx；
d)在玻璃未镀膜的另一面依次在线用磁控溅射法镀制高折射率膜和SiOx膜例如：
方案1)玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
方案2)玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
方案3)玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
依次类推，根据减反射可见光、截止蓝光的要求，增加膜系层数。
本发明的特点是：用成熟的磁控溅射法镀膜，膜层厚度可控，制备工艺简单、成熟；在380nm至780nm光谱波长范围内，该双功能镀膜玻璃的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高1.5％～5.5％；蓝光截止率提高40％～75％，紫外线截止率100％。镀膜过程中不产生环境污染。
所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法包括如下步骤：
待镀膜玻璃基片用去离子水进行清洗、干燥，得到清洁样品；洁净玻璃放到溅射镀膜的真空箱体中,在常压氮气分下，用500～1000V电压形成的等离子体处理玻璃表面；然后把真空箱体的气压抽到3.5～8.5×10-4Pa。截止蓝光膜系厚度在110nm～326nm，可见光减反射膜系厚度在170nm～330nm。
实施例1：
一、在玻璃的一面依次镀制截止蓝光膜系
1、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氧化硅膜层厚度5nm。
2、镀制截止蓝光膜层(非晶硅)：真空箱体中，氩气做工作气体，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的膜层厚度70nm。
或镀制截止蓝光膜层(氧化钨)：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯金属钨，或氧化钨做靶材，沉积的氧化钨膜层厚度70nm
3、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的SiOx膜层厚度35nm。
二、在玻璃的另一面依次镀制可见光减反射膜层
1、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层，沉积的膜层厚度80nm；
2、镀制氮氧化硅膜层：真空箱体中，氮气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氮氧化硅膜层厚度10nm；
3、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度120nm。
得到的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的膜层结构是：
SiOx膜/非晶硅膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
或SiOx膜/氧化钨膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
双功能镀膜玻璃的截止蓝光膜系厚度是110nm，减反射膜系的厚度是210nm；在380nm至780nm可见光谱波长范围内的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高1.5％；蓝光截止率提高40％，紫外线截止率100％。膜层铅笔硬度8.0H；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
实施例2
一、在玻璃的一面依次镀制蓝光截止膜系
1、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氧化硅膜层厚度25nm。
2、镀制截止蓝光膜层(非晶硅)：真空箱体中，氩气做工作气体，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的膜层厚度80nm。
或镀制截止蓝光膜层(氧化钨)：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯金属钨，或氧化钨做靶材，沉积的氧化钨膜层厚度80nm
3、镀制氮氧化硅膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氮氧化硅膜层厚度50nm；
5、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的SiOx膜层厚度55nm。
二、在玻璃的另一面镀制可见光减反射膜层
1、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层，沉积的膜层厚度40nm；
2、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度55nm。
3、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层，沉积的膜层厚度45nm；
4、镀制氮氧化硅膜层：真空箱体中，氮气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氮氧化硅膜层厚度15nm；
5、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度75nm。
得到的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的膜层结构是：
SiOx膜/氮氧化硅膜/非晶硅膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
或SiOx膜/氮氧化硅膜/氧化钨膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
双功能镀膜玻璃的截止蓝光膜系厚度是210nm，减反射膜系的厚度是230nm；双功能镀膜玻璃在380nm至780nm光谱波长范围内的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高3.25％；蓝光截止率提高55％，紫外线截止率100％。膜层铅笔硬度8.0H；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
实施例3
一、在玻璃的一面依次镀制蓝光截止膜系
1、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氧化硅膜层厚度45nm。
2、镀制截止蓝光膜层(非晶硅)：真空箱体中，氩气做工作气体，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的膜层厚度90nm。
或镀制截止蓝光膜层(氧化钨)：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯金属钨，或氧化钨做靶材，沉积的氧化钨膜层厚度90nm
3、镀制氮氧化硅膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氮氧化硅膜层厚度65nm；
4、镀制SiOx膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的SiOx膜层厚度96nm。
二、在玻璃的另一面依次镀制可见光减反射膜层
1、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层；沉积的膜层厚度40nm；
2、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度55nm。
3、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层，沉积的膜层厚度45nm；
4、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度25nm。
5、镀制高折射率膜层：真空箱体中，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积二氧化钛，或氧化铌，或氧化锆，或氧化锡，或氧化锌膜层，沉积的膜层厚度75nm；
6、镀制氮氧化硅膜层：真空箱体中，氮气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，，用纯硅，或硅硼做靶材，沉积的氮氧化硅膜层厚度10nm；
7、镀制SiOx膜层：用纯硅，或硅硼做靶材，氧气和氩气流量比例5～10％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa溅射沉积SiOx膜，膜层厚度80nm。
得到的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的膜层结构是：
SiOx膜/氮氧化硅膜/非晶硅膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
或SiOx膜/氮氧化硅膜/氧化钨膜/SiOx膜/玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜
双功能镀膜玻璃的截止蓝光膜系厚度是296nm，减反射膜系的厚度是330nm；双功能镀膜玻璃在380nm至780nm光谱波长范围内的透射率比未镀膜玻璃原片的透射率提高5.50％；蓝光截止率提高63％，紫外线截止率100％。膜层铅笔硬度8.0H；镀膜玻璃的理化性能符合“镀膜玻璃理化性能测试标准”中规定的国家标准。
对于本领域的技术人员而言，具体实施例只是对本专利进行了示例性描述，显然本专利具体实现并不受上述方式的限制。

Claims (10)

1.一种截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃，其特征在于该镀膜玻璃的膜层结构按顺序排列为：截止蓝光膜系、玻璃、可见光减反射膜系。
2.根据权利要求1所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃，其特征在于所述截止蓝光膜系的层状排列是：
SiOx膜、截止蓝光膜、SiOx膜、玻璃,其中x＝1～2；
或SiOx膜、氮氧化硅膜、截止蓝光膜、SiOx膜、玻璃；
截止蓝光膜层材料带隙在2.48eV～3.10eV。
3.根据权利要求1所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃，其特征在于所述可见光减反射膜系的层状排列是：
玻璃、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜；
或：玻璃、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜；
或：玻璃、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、SiOx膜、高折射率膜、氮氧化硅膜、SiOx膜。
4.根据权利要求1所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃，其特征在于所述高折射率膜的材料是：二氧化钛、氧化铌、氧化锆、氧化锡或氧化锌。
5.一种如权利要求1、2、3或4所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于该制备方法具体如下：
a)玻璃清洗：采取去离子水清洗玻璃，干燥，得到洁净玻璃；
在常压氮气气氛下，用等离子体轰击处理洁净玻璃表面；
b)在玻璃的一个面上依次在线用磁控溅射法镀制截止蓝光膜如下：
玻璃、SiOx、截止蓝光膜、SiOx,
或：玻璃、SiOx、截止蓝光膜、氮氧化硅膜、SiOx；
其中，x＝1～2；
c)在玻璃未镀膜的另一面依次在线用磁控溅射法镀制可见光减反射膜系为：
三层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
或五层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
或七层可见光减反射膜：
玻璃/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/SiOx膜/高折射率膜/氮氧化硅膜/SiOx膜；
依次类推，根据减反射可见光、截止蓝光的要求，增加膜系层数。
6.根据权利要求5所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述氮氧化硅膜层是用纯硅，或硅硼做靶材，溅射气体的气压为2.5～4.5×10-1Pa,采用氧气、氮气和氩气混合气体作为溅射气体,其中氮气和氩气流量比例5～10％，氧气和氮气流量比例5～15％。
7.根据权利要求5所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述的SiOx膜，采用纯硅，或硅硼做靶材，在氧气和氩气流量比例5～15％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa沉积得到。
8.根据权利要求5所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述的截止蓝光膜层，采用纯硅，或硅硼做靶材、氩气做工作气体，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积得到非晶硅膜。
9.根据权利要求5所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述的截止蓝光膜层，采用纯金属钨，或氧化钨做靶材，氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa，沉积得到氧化钨膜。
10.根据权利要求5所述的截止蓝光和可见光减反射双功能镀膜玻璃的制备方法，其特征在于镀制高折射率膜层是在氧气和氩气流量比例15～25％，溅射气压2.5～4.5×10-1Pa沉积得到。
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