CN106313345A - 一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、精雕、研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线切割机去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成本，最后使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石技术领域，特别是涉及一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法。
背景技术
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能。广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征：1.高光学透射率，蓝宝石晶体有很好的透光性能，其透光范围为0.15～7.5微米，覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段；2.高耐磨性，膨胀系数仅为5X10-6/度，熔点为2050°C，工作温度可达1900°C，具有优秀的耐热冲击和耐高温性能；3.很好的机械性能，其硬度可达莫氏9级，同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度，同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能，抗辐射性能、电绝缘性能。
随着蓝宝石应用领域的发展，扫描仪窗口片应用越来越广，国内对扫描仪窗口片加工工艺远落后国际技术水平。传统的加工方法主要采用单面加工工艺不仅加工效率低、晶片外观划痕多、成本高等不足。
发明内容
本发明的目的是提供一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，解决传统的加工方法主要采用单面加工工艺不仅加工效率低、晶片外观划痕多、成本高等不足的问题。
为解决以上问题本发明所采用的方案：
一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16-18H，Warp控制在≤20um以内；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01-0.03mm ，工作时间为20-30min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30-40min，研磨后表面Ra保持在10-20nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3-0.5nm，TTV≤10um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20-60min，每分钟上下抛动20-60次。
上述的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其中，所述的中性环保清洗液以20%的中性环保清洗液与80%的超纯水混合配比而成，其中中性环保清洗液为东莞市炅盛塑胶科技有限公司提供，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
本方案的有益效果：
本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、精雕、研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线切割机去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成本，最后使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。
具体实施方式
实施例一：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16H，Warp控制在10um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01mm ，工作时间为20min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30min，研磨后表面Ra保持在10nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.5nm，TTV为10um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20min，每分钟上下抛动20次。
实施例二：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为17H，Warp控制在15um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.02mm ，工作时间为25min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为35min，研磨后表面Ra保持在15nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3nm，TTV为8um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为40min，每分钟上下抛动40次。
实施例三：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为18H，Warp控制在20um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.02mm ，工作时间为30min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为40min，研磨后表面Ra保持在20nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3-0.5nm，TTV为6um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为60min，每分钟上下抛动60次。
上述的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其中，所述的中性环保清洗液以20%的中性环保清洗液与80%的超纯水混合配比而成，其中中性环保清洗液为东莞市炅盛塑胶科技有限公司提供，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、精雕、研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线切割机去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成本，最后使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。
仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
Claims (2)
1.一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其特征为，加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16-18H，Warp控制在≤20um以内；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01-0.03mm ，工作时间为20-30min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30-40min，研磨后表面Ra保持在10-20nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3-0.5nm，TTV≤10um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20-60min，每分钟上下抛动20-60次。
2.如权利要求1所述的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其特征为，所述的中性环保清洗液以20%的中性环保清洗液与80%的超纯水混合配比而成，其中中性环保清洗液为东莞市炅盛塑胶科技有限公司提供，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
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