CN105858098A - 一种ntc线切机上料agv车 - Google Patents

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靳立辉
张学强
周晓英
白聪轩
尹擎
赵晓光
姚长娟
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Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for

Abstract

本发明创造提供了一种NTC线切机上料AGV车，包括车体，所述车体上端设置有滑动槽，所述滑动槽内设置有可在所述滑动槽内滑动的支架A；所述支架A上部一侧设置有导轨A，所述导轨A上设置有可沿所述导轨A做上下运动的支架B，所述支架B上端面设置有导轨B，所述导轨B上设置有可沿所述导轨B运动的支架C，所述支架C前端设置有料座，所述支架B下端面设置有导轨C，所述导轨C上设置有可沿所述导轨C运动的支架D，所述支架D上设置有电动手指。本发明创造所述的NTC线切机上料AGV车结构新颖，设计合理，可实现三维运动，能够精确定位，可大大降低上料的错误率，提升上料速度，且可降低人工作业强度，减少操作人员数量，大大节约了成本。

Description

一种NTC线切机上料AGV车
技术领域
本发明创造属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种NTC线切机上料AGV车。
背景技术
现有的传统半导体硅片NTC线切机的上料大多采用人工搬运，搬运速度低，作为关键工序会拉低生产线整体生产节拍，且硅单晶晶棒体积大、质量重，搬运操作人员劳动强度大，生产安全风险难以控制，综合考虑传统半导体硅片生产工序的上述缺点，这就需要一种上料效率高且上料错误率低的上料装置。
发明内容
有鉴于此，本发明创造旨在提出一种NTC线切机上料AGV车，以解决人工上料搬运速度低，晶棒易损坏的问题。
为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：
一种NTC线切机上料AGV车，包括车体，所述车体上端设置有滑动槽，所述滑动槽内设置有可在所述滑动槽内滑动的支架A；所述支架A上部一侧设置有导轨A和驱动装置A，所述导轨A上设置有可沿所述导轨A做上下运动的支架B，所述支架B的工作面与所述水平面平行；所述支架B上端面设置有导轨B和驱动装置B，所述导轨B上设置有可沿所述导轨B运动的支架C，所述支架C的运动方向与所述支架B的运动方向垂直，所述支架C前端设置有料座；所述支架B下端面设置有导轨C和驱动装置C，所述导轨C上设置有可沿所述导轨C运动的支架D，所述支架D的运动方向与所述支架C的运动方向一致，所述支架D上设置有电动手指；所述车体一侧设置有激光测距传感器B。
进一步的，所述支架C上端前部设置有激光测距传感器A。
进一步的，所述车体一侧设置有激光测距传感器B和机械防撞条。
进一步的，所述驱动装置A为齿轮齿条传动机构。
进一步的，所述驱动装置B为齿轮齿条传动机构。
进一步的，所述支架A为L形。
进一步的，所述电动手指与所述支架D可转动连接。
相对于现有技术，本发明创造所述的NTC线切机上料AGV车具有以下优势：结构新颖，设计合理，可实现三维运动，能够精确定位，可大大降低上料的错误率，提升上料速度，且可降低人工作业强度，减少操作人员数量，大大节约了成本。
附图说明
构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：
图1为本发明创造的三维结构示意图；
图2为本发明创造的侧视图。
附图标记说明：
1-车体；101-滑动槽；2-支架A；3-导轨A；4-驱动装置A；5-支架B；6-导轨C；7-驱动装置C；8-支架C；9-激光测距传感器A；10-料座；11-晶棒；12-导轨B；13-旋转机构；14-电动手指；15-激光测距传感器B；16-机械防撞条。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。
如图1和2所示，一种NTC线切机上料AGV车，包括车体1，所述车体1上端设置有滑动槽101，所述滑动槽101内设置有可在所述滑动槽101内滑动的支架A2，所述支架A2为L形；
所述支架A2上部一侧设置有导轨A3和驱动装置A4，所述驱动装置A4为齿轮齿条传动机构，所述导轨A3上设置有可沿所述导轨A3做上下运动的支架B5，所述支架B5的工作面与所述水平面平行；
所述支架B5上端面设置有导轨B6和驱动装置B7，所述驱动装置B7为齿轮齿条传动机构，所述导轨B6上设置有可沿所述导轨B6运动的支架C8，所述支架C8的运动方向与所述支架B5的运动方向垂直，所述支架C8前端设置有料座10，所述料座10用来取放晶棒11，所述支架C8上端前部设置有激光测距传感器A9；
所述支架B5下端面设置有导轨C12和驱动装置C，所述导轨C12上设置有可沿所述导轨C12运动的支架D13，所述支架D13的运动方向与所述支架C8的运动方向一致，所述支架D13上设置有电动手指14，所述电动手指14与所述支架D13可转动连接，所述电动手指14可绕支架D13由竖直状态旋转为水平状态，电动手指14在水平状态时一端与支架D13相连，另一端指向料座10方向；
进一步的，所述车体1一侧设置有激光测距传感器B15和机械防撞条16；
本实例的工作过程：NTC线切机上料AGV车根据指令到达指定储料区，在储料区获取晶棒11后前往指定NTC线切操作区，驶入上料点后，通过车体1一侧的激光测距传感器B15进行车体1姿态微调后停车，然后通过支架C8上的激光测距传感器A9来感知上料口的准确位置，通过支架A2在滑动槽101中的左右移动、支架B5在导轨A3上的上下移动、以及支架C8在导轨B6上的前后移动来调整料座10及晶棒11的位置，使其与上料口的高度同轴，此时电动手指14旋转为水平状态且沿导轨C12向前移动，将晶棒11推送到NTC线切机内部，然后各部分姿态还原，撤离操作区执行下次指令。
以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种NTC线切机上料AGV车，其特征在于：包括车体(1)，所述车体(1)上端设置有滑动槽(101)，所述滑动槽(101)内设置有可在所述滑动槽(101)内滑动的支架A(2)；
所述支架A(2)上部一侧设置有导轨A(3)和驱动装置A(4)，所述导轨A(3)上设置有可沿所述导轨A(3)做上下运动的支架B(5)，所述支架B(5)的工作面与所述水平面平行；
所述支架B(5)上端面设置有导轨B(6)和驱动装置B(7)，所述导轨B(6)上设置有可沿所述导轨B(6)运动的支架C(8)，所述支架C(8)的运动方向与所述支架B(5)的运动方向垂直，所述支架C(8)前端设置有料座(10)；
所述支架B(5)下端面设置有导轨C(12)和驱动装置C，所述导轨C(12)上设置有可沿所述导轨C(12)运动的支架D(13)，所述支架D(13)的运动方向与所述支架C(8)的运动方向一致，所述支架D(13)上设置有电动手指(14)。
2.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述支架C(8)上端前部设置有激光测距传感器A(9)。
3.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述车体(1)一侧设置有激光测距传感器B(15)和机械防撞条(16)。
4.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述驱动装置A(4)为齿轮齿条传动机构。
5.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述驱动装置B(7)为齿轮齿条传动机构。
6.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述支架A(2)为L形。
7.根据权利要求1所述的NTC线切机上料AGV车，其特征在于：所述电动手指(14)与所述支架D(13)可转动连接。
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