CN105810621A - 一种脱胶机上料agv车 - Google Patents

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张学强
靳立辉
周晓英
白聪轩
尹擎
赵晓光
姚长娟
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Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
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Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint Stock Co Ltd
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Abstract

本发明创造提供了一种脱胶机上料AGV车，包括车体，所述车体上端对称设置有两个传送轨道，所述车体上端位于所述两个传送轨道之间处设置有沿所述传送轨道长度方向延伸的滑动槽，所述滑动槽内设置有夹紧块，所述夹紧块上端伸出所述滑动槽外，所述夹紧块下端与设置于车体内部的驱动装置电连接，所述滑动槽一端设置有限位板；所述车体前端设置有激光测距传感器。本发明创造所述的脱胶机上料AGV车结构新颖，设计合理，可以降低脱胶机上料的错误率，提升上料速度，提升脱胶机稼动率，增加产值，降低人工作业强度，减少操作人员数量，降低硅片的制作成本。

Description

一种脱胶机上料AGV车
技术领域
本发明创造属于半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种脱胶机上料AGV车。
背景技术
现有的传统半导体硅片脱胶机的上料方式大量依赖人工操作，由于硅片总体积大、质量大，人工搬运上料费时、费力，搬运操作人员劳动强度大，生产安全风险难以控制，且硅片易损坏，作为关键工序拉低了生产节拍。
发明内容
有鉴于此，本发明创造旨在提出一种脱胶机上料AGV车，以解决人工搬运费时费力及硅片易损坏的问题。
为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：
一种脱胶机上料AGV车，包括车体，所述车体上端对称设置有两个传送轨道，所述车体上端位于所述两个传送轨道之间处设置有沿所述传送轨道长度方向延伸的滑动槽，所述滑动槽内设置有夹紧块，所述夹紧块上端伸出所述滑动槽外，所述夹紧块下端与设置于车体内部的驱动装置电连接，所述滑动槽一端设置有限位板。
进一步的，所述传送轨道包括框架和若干个均匀设置于所述框架内部的滚筒。
进一步的，所述滚筒为无动力滚筒。
进一步的，所述车体上端位于限位板外侧处设置有定位柱。
进一步的，所述两个传送轨道外侧端均设置有导向板。
进一步的，所述车体前端设置有激光测距传感器和机械防撞条。
相对于现有技术，本发明创造所述的脱胶机上料AGV车具有以下优势：结构新颖，设计合理，可以降低脱胶机上料的错误率，提升上料速度，提升脱胶机稼动率，增加产值，降低人工作业强度，减少操作人员数量，降低硅片的制作成本。
附图说明
构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：
图1为本发明创造的结构示意图。
附图标记说明：
1-车体；2-传送轨道；201-框架；202-滚筒；3-导向板；4-滑动槽；5-夹紧块；6-限位板；7-定位柱；8-激光测距传感器；9-机械防撞条。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。
如图1所示，一种脱胶机上料AGV车，包括车体1，所述车体1上端对称设置有两个传送轨道2，所述传送轨道2包括框架201和若干个均匀设置于所述框架201内的滚筒202，所述滚筒202为无动力滚筒，所述两个传送轨道2外侧端均设置有导向板3，对脱胶治具起导向作用；
所述车体1上端位于所述两个传送轨道2之间处设置有沿所述传送轨道2长度方向延伸的滑动槽4，所述滑动槽4内设置有夹紧块5，所述夹紧块5上端伸出所述滑动槽4外，所述夹紧块5下端与设置于车体1内部的驱动装置电连接，所述夹紧块5可在驱动装置的作用下做升降运动和沿所述滑动槽4的平移运动，所述滑动槽4一端设置有限位板6，所述限位板6的高度高于所述传送轨道2的高度；
所述车体1前端设置有激光测距传感器8和机械防撞条9；
进一步的，所述车体1上端位于限位板6外侧处设置有定位柱7；
本实例的工作过程：脱胶机上料AGV车根据指令到达指定物料对接区，在物料对接区获取带脱胶治具的单晶料片，获取的脱胶治具放置在车体1上端横跨于两传送轨道2上且脱胶治具的一部分或全部落在夹紧块5与限位板6之间，脱胶治具放置好后，夹紧块5在驱动装置的驱动下向上起升，起升至夹紧块5的上端高度高于脱胶治具的下端高度即可，然后夹紧块5在驱动装置的作用下带动脱胶治具向限位板6的方向滑动，夹紧块5沿滑动槽4滑动，脱胶治具在夹紧块5的推动下沿传送轨道2滑动，直至将脱胶治具顶紧在限位板6处，然后脱胶机上料AGV车前往指定脱胶上料操作区，通过激光测距传感器8进行位置车体姿态微调后停车，等待脱胶机取走脱胶治具及料片，脱胶治具及料片取走后夹紧块5恢复到初始位置，脱胶机上料AGV车前往脱胶机下料区等待脱胶机将脱胶治具放到车体1上，之后撤离脱胶机操作区等待下次指令。
以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种脱胶机上料AGV车，其特征在于：包括车体(1)，所述车体(1)上端对称设置有两个传送轨道(2)，所述车体(1)上端位于所述两个传送轨道(2)之间处设置有沿所述传送轨道(2)长度方向延伸的滑动槽(4)，所述滑动槽(4)内设置有夹紧块(5)，所述夹紧块(5)上端伸出所述滑动槽(4)外，所述夹紧块(5)下端与设置于车体(1)内部的驱动装置电连接，所述滑动槽(4)一端设置有限位板(6)。
2.根据权利要求1所述的脱胶机上料AGV车，其特征在于：所述传送轨道(2)包括框架(201)和若干个均匀设置于所述框架(201)内的滚筒(202)。
3.根据权利要求2所述的脱胶机上料AGV车，其特征在于：所述滚筒(202)为无动力滚筒。
4.根据权利要求1或2所述的脱胶机上料AGV车，其特征在于：所述两个传送轨道(2)外侧端均设置有导向板(3)。
5.根据权利要求1或2所述的脱胶机上料AGV车，其特征在于：所述车体(1)上端位于限位板(6)外侧处设置有定位柱(7)。
6.根据权利要求1或2所述的脱胶机上料AGV车，其特征在于：所述车体(1)前端设置有激光测距传感器(8)和机械防撞条(9)。
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