CN105829954B - 集成光学部件及其制造方法 - Google Patents

集成光学部件及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105829954B
CN105829954B CN201480070322.1A CN201480070322A CN105829954B CN 105829954 B CN105829954 B CN 105829954B CN 201480070322 A CN201480070322 A CN 201480070322A CN 105829954 B CN105829954 B CN 105829954B
Authority
CN
China
Prior art keywords
prism
kickplate
item
ladder
pedal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201480070322.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105829954A (zh
Inventor
J·D·勒
A·J·乌德柯克
J·C·卡尔斯
C·T·默里
R·J·弗格森
C·C·巴鲁姆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Innovative Properties Co
Original Assignee
3M Innovative Properties Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 3M Innovative Properties Co filed Critical 3M Innovative Properties Co
Publication of CN105829954A publication Critical patent/CN105829954A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105829954B publication Critical patent/CN105829954B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • G02B27/285—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining comprising arrays of elements, e.g. microprisms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133528—Polarisers
    • G02F1/133536—Reflective polarizers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133528—Polarisers
    • G02F1/13355—Polarising beam splitters [PBS]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)

Abstract

本公开提供了一种集成光学部件阵列以及制造可用于投影装置或其他光学装置的集成光学部件阵列的方法。该集成光学部件阵列可以是PBS阵列，该PBS阵列被制成使得具有若干元件的单个PBS立方体可以大规模并行方式组装并且接着分离为单个光学部件，并且可导致制造成本大幅降低。

Description

集成光学部件及其制造方法
技术领域
本公开涉及集成光学部件及其制造方法。
背景技术
基于硅上液晶(LCOS)的投影仪的操作需要使用偏振光。为了有效地操作，此类投影仪可需要使用偏振分束器(PBS)。这些专用光学部件通常是手工组装的。因此，这些装置的劳动量相对较高而产率相对较低。这两个因素通常可导致部件的高成本。此外，手工组装可将PBS限制于照明应用。部件的高成本是具有讽刺意味的，因为LCOS成像器是相对廉价的，并且基于LCOS的系统据称是低成本的系统。这可导致其中部件的高成本抵消成像器的低成本的情况。
发明内容
本公开提供一种集成光学部件阵列和制造可用于投影装置或其他光学装置的集成光学部件阵列的方法。集成光学部件阵列可以是PBS阵列，其被制成使得具有若干元件的单个PBS立方体可以大规模并行方式组装并且接着分离为单个光学部件，并且可导致制造成本大幅降低。
在一个方面，本公开提供一种集成光学部件，其包括具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括多个阶梯，多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，该踏板和踢板相交形成靠近平坦的第一表面的铰接部；和偏振分束器(PBS)立方体，其设置于多个阶梯中的每个阶梯上并且与支座成一体。PBS立方体还包括第一棱镜、第二棱镜和反射偏振片，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行，其中第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且PBS立方体包括正交于踏板和踢板的相对端面。
在另一个方面，本公开提供一种集成光学部件，其包括具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括多个阶梯，多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，该踏板和踢板相交形成靠近平坦的第一表面的铰接部；和多个偏振分束器(PBS)立方体，其与支座成一体，并在多个阶梯中的每个阶梯上沿线设置。多个PBS立方体中的每个PBS立方体还包括第一棱镜、第二棱镜、反射偏振片及相对端面，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行；每个相对端面正交于反射偏振片，其中每个第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且第二槽将踢板上的相邻PBS立方体分离。
在又一个方面，本公开提供一种集成光学部件，其包括具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括具有踏板和踢板的阶梯；和多个偏振分束器(PBS)立方体，其与支座成一体，并且在阶梯上沿线设置。多个PBS立方体中的每个PBS立方体还包括第一棱镜、第二棱镜、反射偏振片及相对端面，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行；每个相对端面正交于反射偏振片，其中每个第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且第二槽将踢板上的相邻PBS立方体分离。
在又一个方面，本公开提供了一种制造光学部件的方法，该方法包括：将反射偏振片层合在第一聚合板和第二聚合板之间，该第一聚合板具有第一外表面，并且第二聚合板具有反向的第二外表面；在第二聚合板中以45度角朝着反射偏振片铣削出多个平行的第一槽至第一底部，每个平行的第一槽将阶梯踢板与偏振分束器(PBS)立方体的第一棱镜表面分离开；铣削出垂直于第一槽的多个平行的第二槽从而形成多个阶梯踏板，每个阶梯踏板与第一底部共面，并且从第一踢板延伸至相邻的第二踢板，其中每个第二槽将踏板上相邻PBS立方体的端面分离开，并且踏板和踢板的相交部限定靠近第一外表面的第一铰接部；任选地，铣削出多个平行的第三槽，每个第三槽具有第三底部并且平行于第一槽，每个平行的第三槽垂直于对应的阶梯踢板，并形成支撑PBS立方体的凸缘，第三底部由第二铰接部与踏板分离。该方法还包括铣削出平行于第一槽的多个凹口，每个凹口具有平行于踏板的第一凹口表面，和平行于踢板并延伸到踢板中的第二凹口表面，其中第一凹口表面包括与踏板相背对的第四棱镜表面，并且第二凹口表面包括与第一棱镜表面相背对的第三棱镜表面，其中铣削步骤可以任意顺序执行。
在又一个方面，本公开提供了一种光学制品，其包括具有第一主表面的第一透明板；具有第二主表面的第二透明板；附连在第一主表面和第二主表面之间的聚合多层反射偏振片；以及具有第一相对侧面和第一底部的第一底切槽，该第一底切槽延伸穿过第一透明板和聚合多层反射偏振片，其中第一透明板和第二透明板中的至少一者表现出低双折射。
上述发明内容并非旨在描述本公开的每个所公开的实施方案或每种实施方式。以下附图和具体实施方式更具体地说明示例性实施方案。
附图说明
在整个说明书中都参考了附图，在这些附图中，相同的附图标号表示相同的元件，其中：
图1A示出光学层合体的横截面视图；
图1B示出光学层合体的横截面视图；
图2A示出集成光学部件的透视示意图；
图2B示出经铣削的光学层合体的透视示意图；
图2C示出经铣削的光学层合体的透视示意图；
图2D示出经铣削的光学层合体的透视示意图；
图2E示出经铣削的光学层合体的透视示意图；
图2F示出集成光学部件的透视示意图；
图2G示出集成光学部件的透视示意图；
图3A示出了单独分离出的PBS的透视示意图；并且
图3B-图3C示出了图3A中单独分离出的PBS的示意性侧视图和顶视图。
附图未必按比例绘制。附图中使用的相似标号指示相似的部件。然而，应当理解，在给定附图中使用标号指示部件并非旨在限制另一附图中用相同标号标记的部件。
具体实施方式
本公开提供一种集成光学部件阵列和制造集成光学部件阵列的方法，该集成光学部件阵列可包括可用于投影装置或其他光学装置的多个光学部件，诸如偏振分束器(PBS)。光学部件阵列可被制成使得具有若干元件的单个光学部件可以大规模并行方式组装并且接着分离(即，彼此分开)为单个光学部件。这种构造技术开启了大幅降低制造成本的可能性，并且可消除可能是光学部件差异主要来源的大部分手工组装。
在制造偏振控制部件，尤其是聚合偏振控制部件时遇到的一个障碍是需要确保部件表现出足够低的双折射水平。就大量生产的注塑零件而言这可能难以实现，因为与注塑相关联的残余应力可频繁地导致高的双折射。然而，至少出于成本和使用寿命的原因，塑性零件是非常可取的。
在一个方面，本公开描述了一种集成光学部件，如在别处所述的，该集成光学部件可使用特别低双折射材料制成，诸如热稳定丙烯酸板，该热稳定丙烯酸板可在能够降低制作过程中并入板中的残余应力的热环境中通过悬浮丙烯酸板制备而成。残余应力可导致双折射水平升高，并且热稳定过程可显著降低或消除应力，从而产生延迟量优选地小于20nm，更优选地小于10nm，最优选地小于5nm的丙烯酸板。
在一个具体实施方案中，本文所述发明的一些优势包括：因为直接铣削立方体表面而消除了PBS立方体边缘上的倒角；消除了使用激光进行分离的需求，并消除了由使用激光生成的相关碎片；消除了分离过程产生的未上漆/未涂覆的边缘和端面；制造精确且更加稳健的机加工的光阑，而不需要外来特别订购的机加工；能够进行一步式上漆或涂覆过程，而无需二次补漆整饰；以及能够针对光学表面进行更加稳定和可能的自动抛光过程。
在以下说明中参考附图，这些附图构成本说明的一部分，并且其中通过举例说明的方式示出。应当理解，在不脱离本公开的范围或实质的情况下，可设想并进行其他实施方案。因此，以下的详细说明不应被视为具有限制意义。
除非另外指明，否则本发明中使用的所有的科学和技术术语具有在本领域中所普遍使用的含义。本文给出的定义旨在有利于理解本文频繁使用的一些术语，并无限制本公开范围之意。
除非另外指明，否则说明书和权利要求书中所使用的所有表达特征尺寸、量和物理特性的数值在所有情况下均应理解成由术语“约”修饰。因此，除非有相反的说明，否则在上述说明书和所附权利要求书中列出的数值参数均为近似值，这些近似值可根据本领域的技术人员使用本文所公开的教导内容寻求获得的期望特性而变化。
除非内容明确指定，否则本说明书和所附权利要求中使用的单数形式“一个”、“一种”和“所述”涵盖了具有多个指代对象的实施方案。除非上下文另外清楚指明，否则如本说明和所附权利要求中使用的，术语“或”一般以包括“和/或”的意义使用。
空间相关的术语包括但不限于“下面”、“上面”、“在...下面”、“在...下方”、“在...上方”和“在顶部”，如果在本文中使用，则用于便于描述一个(或多个)元件相对于另一个元件的空间关系。除了图中示出的或本文所述的具体取向外，此类空间相关术语涵盖装置在使用或操作时的不同取向。例如，如果附图中所描绘的对象翻转或倒转，则先前描述的在其他元件下方或下面的部分就在那些其他元件上方。
如本文所用，例如当元件、部件或层描述为与另一元件、部件或层形成“一致界面”，或在另一元件、部件或层“上”、“连接到”、“耦合到”或“接触”另一元件、部件或层，其意为直接在...上，直接连接到，直接耦合到或直接接触，或例如居间的元件、部件或层可能在特定元件、部件或层上，或连接到、耦合到或接触特定元件、部件或层。例如当元件、部件或层被称为“直接在另一元件上”、“直接连接到另一元件”、“直接与另一元件耦合”或“直接与另一元件接触”时，则不存在居间的元件、部件或层。
如本文所用，“具有”、“包括”、“包含”、“含有”等等均以其开放性意义使用，并且一般是指“包括但不限于”。应当理解，术语“由...组成”和“基本上由...组成”包含在术语“包括”等等之中。
同样，为了本文中所提供的本说明的目的，术语“与所需偏振态对齐”旨在将光学元件的透光轴与穿过光学元件的光的所需偏振态联系起来，即，诸如s偏振、p偏振、右圆偏振、左圆偏振等所需偏振态。在本发明参照附图描述的一个实施方案中，与第一偏振态对准的光学元件(诸如偏振器)是指下述取向的偏振器，即通过p偏振态的光，并且反射或吸收第二偏振态(在这种情况下为s偏振态)的光。应当理解，如果需要，偏振器可反而对准成通过s偏振态的光，并且反射或吸收p偏振态的光。
影响微型投影仪市场的一个因素是投影仪的高成本，尤其是投影仪是由电池供电的。基于LCOS的投影仪具有低成本的潜力，因为可使用半导体制造技术来制造成像器。基于偏振开关，这些投影仪需要偏振控制部件，诸如偏振分束器(PBS)、偏振转换系统(PCS)和常规的光学部件诸如合色器(CC)和锥形光导。当前这些部件多数是手工组装的并且可能相当昂贵。本公开提供一种将这些部件的成本降低多达一个数量级的途径。这种成本的降低可使LCOS投影仪成为微型投影仪市场中明显的低成本赢家。
在一个方面，本公开提供一种连续的光学部件阵列和用于制造它们的技术。这种技术具有显著降低成本和浪费并大幅提高产率的潜力。在一个具体实施方案中，通过机加工方法制造偏振分束器(PBS)阵列，其中PBS形式的二维阵列由光学层合体加工而成。光学层合体包括粘附于两个透明板之间的反射偏振片。透明板中的至少一个具有低双折射，诸如热稳定丙烯酸，并且反射偏振片可以是聚合多层光学薄膜(MOF)，诸如购自3M公司的VikuitiTMDBEF反射偏振片(VikuitiTMDBEF reflective polarizer,3M Company)。
为了将透明板胶粘到MOF上，可使用任何有效的技术。在一个具体实施方案中，可将MOF可释放地附接到平坦表面上，并且可将所需量的粘合剂放置在MOF的顶部上，该MOF的范围可大于板。然后可将透明板放置在粘合剂池的顶部上，从而使粘合剂流出到透明板的边缘。然后可将粘合剂固化或定形(例如，UV固化或热固化)。在一些情况下，可将压敏粘合剂(PSA)施加于MOF或透明板，然后进行层合。
在将第一透明板粘附到MOF之后，可将透明板和MOF从MOF可释放地附接到的平坦表面上剥离。然后可将此构造放置成MOF侧向上并且可将第二量的粘合剂放置在MOF的相对侧上。之后，可将第二透明板放置在MOF的顶部上，并且粘合剂将再次流出到边缘并可接着被固化。每个透明板中可以具有对准特征结构，用于在进一步铣削/机加工操作过程中使光学层合体可靠地对准。在一些情况下，可使用光匹配粘合剂将一个以上的透明板粘附于光学层合体的任一侧，以允许所积累的厚度能够满足刚度，或满足形成较大光学部件的足够厚度。
在一个具体实施方案中，制造PBS阵列的技术的关注点在于确定待制造的一个或多个光学表面的取向，使得它们不仅就机加工而言还就常见传统工艺而言都是平坦的(在竖直或水平方向上)，其中常见传统工艺包括例如光学涂覆、真空涂覆、抗反射(AR)涂覆、抛光等。尤其是，为有利于机加工，这些表面优选地对齐常规的X、Y或Z取向。如果待机加工的表面以偏斜角度定位，相比有限的阶梯运动(X-Y平移)而言，对准常规方向有助于允许机器操作进行精确平稳的直线运动。这对于机加工光阑来说尤为有用，因为冠状光阑的设计允许在X-Y上进行精确的控制，同时允许Z方向上留有一些余地。同时，此类取向允许将基准本底水平面移动到有源部分区域之外。
在一个方面，本公开提供了可将单个机加工的多功能PBS部件形成大阵列再进行分离的工艺。在一个具体实施方案中，单个机加工的PBS部件可包括具有涂覆有光学黑色涂层的选择性表面的PBS、具有机加工的且抛光的光阑特征件而非印刷光阑的PBS、施加于所选表面的AR涂层、选择性抛光的表面，并且不包括倒角刀尖。本公开提供了在有源光学部件区外部的梯台区(即，单个PBS元件阵列的支撑部分)。所公开的制造PBS阵列的方式可与其他工艺(包括黑色涂覆、AR涂覆、抛光和分离)更深入地协同配合，并且允许先对立方体阵列中每个立方体完成任意功能性涂覆工艺或处理，再移除梯台区，并分离成单个立方体。
图1A示出了根据本发明的一个方面的光学层合体100的横截面图。光学层合体100包括具有第一厚度t3、第一外表面103和第一内表面105的第一透明板101；具有第二外表面104和第二内表面106的第二透明板102；以及附连在第一透明板101和第二透明板102之间的基底118。第一透明板101和第二透明板102中的至少一者表现出低双折射。在一个具体实施方案中，由于可能难以制造用于待制造光学元件的足够厚且双折射足够低的板，因此可以通过将不止一个低双折射板层合在一起而将第一透明板101或第二透明板102中的至少一者制造得更厚，如图1A所示。如图1A所示，可通过包括具有第一独立厚度t1的第一独立透明板102a和具有第二独立厚度t2的第二独立透明板102b而将第二透明板制造得更厚，其中第一独立透明板和第二独立透明板沿着共同表面102c被层合在一起，从而形成具有合并厚度(t1+t2)的第二透明板。
第一透明板101和第二透明板102可以是可机加工的任何合适的聚合物或玻璃，诸如可用于光学部件的可见光透明的聚合物和低双折射的玻璃。在一些情况下，光学质量玻璃，诸如购自宾夕法尼亚州杜里埃的肖特光学玻璃公司(Schott Optical Glass,DuryeaPA)的光学质量玻璃可以是特别有用的。在一个具体实施方案中，可表现出低双折射的聚合物包括槽模浇注的丙烯酸、聚碳酸酯、环烯烃共聚物等。浇注的丙烯酸类聚合物包括Spartech PolycastTM(购自密苏里州克莱顿的斯巴泰克公司(Spartech Corp.,Clayton,MO))、Evonik AcryliteTMGP(购自新泽西州帕西帕尼的赢创有限公司(Evonik Cyro LLC,Parsippany,NJ))、Reynolds R-CastTM(购自科罗拉多州大章克申的雷诺聚合物技术公司(Reynolds Polymer Technology,Grand Junction,CO))和PlexiglasTMG(购自宾夕法尼亚州布里斯托尔的阿科玛公司(Arkema Inc.,Briston,PA))。槽模浇注的丙烯酸类聚合物可以是优选的，因为它们可易于进行机加工，从而提供平滑的表面、来自机加工操作的最小的热效应和低的双折射。在一个具体实施方案中，如在别处所描述的，热稳定丙烯酸可以是特别优选的。虽然以下公开内容提及使用聚合物板(例如，如参考图1A所述的第一透明板101和第二透明板102)，但是应当理解，可替代性地使用玻璃板来生产本文所述的任何光学部件阵列。
基底118可以是可附连到、粘附于或稳定夹置于第一透明板101和第二透明板102的第一内表面105和第二内表面106之间的任意合适的基底。在一些情况下，基底118可以附连到或粘附在几乎整个表面上；然而，在一些情况下，仅有一部分表面可以被附连或粘附。基底118可用于双重目的。在一些情况下，基底118可赋予光学部件阵列诸如强度等物理特性，使得可牢靠地执行机加工操作。在一些情况下，基底118可以是光学部件的用以赋予部件诸如偏振等光学特性的部分。在一个具体实施方案中，基底118可以是：包括无机薄膜、涂层或多层薄膜叠堆的多层介电膜；有机薄膜，诸如聚合物薄膜、聚合物薄膜层合体和多层聚合物薄膜，包括诸如反射偏振片和吸收型偏振器的偏振器；包括聚合多层光学薄膜偏振器、McNeill偏振器和金属光栅偏振器的偏振器；包括四分之一波延迟器和半波延迟器的延迟器；薄膜或涂层，诸如有机或无机分色反射器和吸收器；以及它们的组合。在一些情况下，基底118可以是可通过以下技术沉积到第一透明板101和第二透明板102的第一内表面105和第二内表面106中的一者或两者上的涂层或层：气相沉积技术，诸如溅射或化学气相沉积；或液相沉积技术，诸如涂覆或喷涂。
在一个具体实施方案中，基底118是反射偏振片118，诸如聚合反射偏振片，该反射偏振片在机加工前，通过例如使用合适透明的粘合剂诸如光学粘合剂，被层合在第一透明板101和第二透明板102的第一内表面105和第二内表面106之间。如本文所用，参考呈反射偏振片118(例如聚合多层反射偏振片)形式的基底，然而应当理解，上述任一基底都可以被替代，以制作具有与所选基底相关的所需性能的光学制品。
在一个具体实施方案中，任何光学部件阵列的制造可始于包括以下的平坦光学叠堆：粘合剂、塑料，诸如可见光透明塑料、玻璃、二向色涂层、散射材料、反射偏振片、吸收型偏振器、多层光学薄膜、延迟器、反射器、回复反射器、微结构化材料、透镜状结构化材料、菲涅耳结构化材料、吸收器、或它们的组合。可根据需要排列平坦光学叠堆以产生期望的光学部件，然后使其经受本文所述的机加工步骤。应当理解，光学部件阵列的制造可包括组合若干阵列制造步骤的结果，诸如第一三维结构阵列和第二三维结构阵列的层合。在一些情况下，这种组合可包括将第一部件的第一分离元件、线性阵列或矩形阵列与第二部件的第二分离元件、线性阵列或矩形阵列组合。
图1B示出了根据本发明的一个方面的光学层合体100的横截面图。图1B中所示的元件101-104中的每个元件对应于图1A中所示的此前已描述的类似标号的元件101-104。例如，图1B所示的第一透明板101对应于图1A所示的第一透明板101，以此类推。在光学层合体100中已形成具有相对第一侧面162,164和第一底部166的第一底切槽160，该底切槽延伸穿过第一透明板101和反射偏振片118。第一底切槽160可延伸至第二透明板102内部至任意所需深度，但该深度一般不会使得光学层合体100分离成两片。第一底切槽160与反射偏振片118形成底切角度θ，并在垂直于图1B所示横截面的方向延伸穿过光学层合体100。根据待制造的光学部件，底切角度θ可以是任意所需角度，例如约15度、约30度、约45度、约60度、约75度或一般约5度和约90度之间的任意角度。在一个具体实施方案中，例如，可选择约45度的底切角度θ来制造PBS，但也可以选择其他角度。
在用作成像PBS之前，通过以下技术对第一底切槽进行机加工，所述技术不需要进行另外的处理(诸如抛光)即可提供合格的表面光洁度。在一些情况下，机加工技术可以是金刚石机加工，包括例如径向飞切、轴向飞切、高速金刚石端铣，或金刚石磨削。表面光洁度可通过包括例如白光干涉测量法、触针轮廓术，共焦显微镜法或原子力显微镜法(AFM)在内的技术来表征。虽然公认的是如果表面的光洁度优于3微英寸(约75nm)峰谷测量值那么该表面具有“光学质量”，但每个光学应用决定实际的合格要求。在一些情况下，如果需要可进行另外的抛光，包括例如使用包括机械抛光、火焰抛光、蒸气抛光或它们的组合在内的技术进行的抛光。
在一个具体实施方案中，可对第一底切槽160的相对第一侧面162,164中的每个侧面进行机加工，使得它们相互平行，或者使得它们相对于彼此形成取决于所需光学部件的任意所需角度。在一些情况下，第一底部166可垂直于相对第一侧面162,164中的每个侧面，或者，根据所需光学部件，第一底部166可与相对第一侧面162,164中的每个侧面形成任意所需角度。在一个具体实施方案中，可在光学层合体100中机加工出多个槽(未示出)，多个槽中的每个槽可彼此相互平行，或可被机加工成与彼此呈所需角度，并可被机加工成用以形成所需光学部件的任意所需深度，如别处所描述的。
图2A示出了根据本公开的一个方面的经铣削的光学层合体200的透视示意图，该光学层合体被加工成如图所示的形式时可被描述成集成光学部件200。集成光学部件200包括具有平坦第二表面204和相背对的第二表面203的支座202。相背对的第二表面203包括包括多个阶梯298，其包括设置于多个阶梯298中的每个阶梯上的多个偏振分束器(PBS)立方体210。如在别处所描述的，集成光学部件200可被分离成单个PBS立方体210。集成光学部件200还可任选地包括在机加工操作期间用于固定并配准集成光学部件200的一个或多个对准孔299。图2B-图2F中描述了用于制造集成光学部件200的代表性制造步骤，其示出了经铣削的光学层合体200的一部分的放大视图，该光学层合体是经历了集成光学部件200所必须的典型制造步骤而形成的。应当理解，可以任意所需顺序执行所述制造步骤，以制备准备被分离成单个PBS立方体210的集成光学部件200阵列。
图2B示出了根据本公开的一个方面的经铣削的光学层合体的透视示意图，该光学层合体具有一般被描述成第二透明板202的支座202，该第二透明板具有平坦的第二表面204。图2B中所示的元件201-218中的每个元件对应于图1A中所示的此前已描述的类似标号的元件101-118。例如，图2B所示的第二透明板202对应于图1A所示的第二透明板102，以此类推。从图1A与图2B可以很容易地看到，图1A的光学层合体可具有多个凹口222，这些凹口被机加工到图1A的第一外表面103中，以形成图2B中经铣削的光学层合体。凹口222中的每个凹口具有第一表面226和第二表面228，第一表面和第二表面可彼此正交，并贯穿第一透明板201、反射偏振片218，进入第二透明板202中。在一些情况下，制造工序中可省略凹口222的机加工；然而，在一些情况下，需要包括凹口222。
图2C示出了根据本公开的一个方面的经铣削的光学层合体的透视示意图，该光学层合体具有包括平坦第二表面204的支座202。图2C中所示的元件201-228中的每个元件对应于图2B中所示的此前已描述的类似标号的元件201-228。例如，图2C所示的第二透明板202对应于图2B所示的第二透明板202，以此类推。在图2C中，多个第一底切槽220以图1B中所示的相似方式延伸穿过第一透明板201、反射偏振片218，并进入第二透明板202中。第一底切槽220包括分别被称为阶梯踏板207和阶梯踢板206的底部和侧面。阶梯踏板207和阶梯踢板206相交于第一边缘208处，该第一边缘形成通过第二透明板202至平坦第二表面204的第一铰接部209。在一些情况下，第一铰接部209可用作分离光学部件相邻行的第一可断开部分，如在别处所描述的。
图2D示出了根据本公开的一个方面的经铣削的光学层合体的透视示意图，该光学层合体具有包括平坦第二表面204的支座202。图2D中所示的元件201-228中的每个元件对应于图2C中所示的此前已描述的类似标号的元件201-228。例如，图2D所示的第二透明板202对应于图2C所示的第二透明板202，以此类推。在图2D中，机加工出多个第二槽225，使得相邻的PBS立方体210彼此分离。可对第二槽225进行机加工，使得踏板207位于第一底切槽220和第二槽225之间并且是共面的，并使每个PBS立方体210在踏板207上对齐成PBS立方体行2。第二槽225将每个PBS立方体210分离，每个PBS立方体可被视为包括第一棱镜212、第二棱镜216、这两个棱镜之间的反射偏振片218以及相对端面230,235。第一棱镜212包括由第一底切槽220而与踢板206分离的第一棱镜表面211，以及与踏板207相邻的第二棱镜表面213。第二棱镜216包括与第一棱镜表面211相背对的第三棱镜表面221，以及与第二棱镜表面213相背对的相邻第四棱镜表面223。在一些情况下，第一棱镜212包括由棱镜延伸部214与相邻踏板207分离的第二棱镜表面213。棱镜延伸部214使得PBS立方体210与踏板207分离，并可在后续加工步骤中被机加工去除，如在别处所描述的。
图2E示出了根据本公开的一个方面的经铣削的光学层合体的透视示意图，该光学层合体具有包括平坦第二表面204的支座202。图2E中所示的元件201-240中的每个元件对应于图2D中所示的此前已描述的类似标号的元件201-240。例如，图2E所示的第二透明板202对应于图2D所示的第二透明板202，以此类推。在图2E中，执行操作以通过将光阑框架217机加工于第二棱镜216的第四棱镜表面223(如图2D所示)中来制造在光阑框架217上延伸的光阑219。光阑框架217被机加工在第四棱镜表面223中后，可在经铣削的光学层合体上执行第一涂覆操作，诸如在所有表面上涂覆黑色吸收涂层，如在别处所描述的。在一些情况下，黑色吸收涂层可以是基于溶剂的涂料或可固化涂料，诸如双组分尿烷、环氧树脂或辐射固化涂料。示例性涂料包括，例如购自俄亥俄州克里夫兰宣伟涂料公司(Sherwin-WilliamsCo.,Cleveland,OH)的Perfect MatchTM BUN0100涂料、购自俄亥俄州特拉华马修斯涂料(Matthews Paint,Delaware,OH)的N923SP Satin Black双组分聚氨酯,以及购自俄亥俄州克里夫兰宣伟涂料公司(Sherwin-Williams Co.,Cleveland,OH)的F63B12T Satin Black双组分聚氨酯。然后，可在经铣削的光学层合体上执行后续机加工操作，从而形成具有所需黑色涂层表面和抛光光学表面的集成光学部件。
图2F示出了根据本公开的一个方面的集成光学部件的透视示意图，该集成光学部件具有包括平坦第二表面204的支座202。图2F示出了沿着第一铰接部209进行分离的技术步骤。图2F中所示的元件201-240中的每个元件对应于图2E中所示的此前已描述的类似标号的元件201-240。例如，图2F所示的第二透明板202对应于图2E所示的第二透明板202，以此类推。在图2F中，已执行进一步机加工步骤，以制备具有多个要分离的单个PBS立方体210的集成光学部件。在一个具体实施方案中，图2E中所示的第三棱镜表面221可先被机加工以去除施加于第三棱镜表面221的第一涂层，然后进行抛光以形成PBS立方体210的前输出面215。可以在机加工操作过程中沿着踏板207形成凸部227。也可以相似的方式对光阑219进行机加工以去除第一涂层，并进行抛光。如果需要，也可在抛光后将附加的涂层诸如AR涂层等施加至前输出面215和光阑219。
在如图2F所示的一个具体实施方案中，接着可通过沿着第一铰接部209进行弯折直至第一铰接部209断裂，使得每个踏板207与每个踢板206沿着第一边缘208分离，进而得到PBS立方体210的单个行240。然后，可将PBS立方体210包埋进可移除灌封材料(未示出)中，来支撑PBS立方体210的行240，再进行后续机加工以去除棱镜延伸部214，并进行抛光以暴露第二棱镜表面213。在一些情况下，可取而代之的做法是，将PBS立方体210粘附至可移除粘合剂表面(未示出)，来支撑PBS立方体210的行240，再进行后续机加工以去除棱镜延伸部214，并进行抛光以暴露第二棱镜表面213。然后，可去除可移除灌封材料或可移除粘合剂表面，得到单独分离出的PBS立方体。
图2G示出了根据本公开的一个方面的集成光学部件的透视示意图，该集成光学部件具有包括平坦第二表面204的支座202。图2G示出了沿着第二铰接部259进行分离的另选技术步骤。图2G中所示的元件201-240中的每个元件对应于图2F中所示的此前已描述的类似标号的元件201-240。例如，图2G所示的第二透明板202对应于图2F所示的第二透明板202，以此类推。在图2G中，机加工多个第三槽250使得每个第三槽250平行于第一底切槽220，并垂直于踢板206从而形成支撑PBS立方体210的凸缘258。第三槽250包括相对侧面252,254和底部256，并在踏板207和第二侧面254之间形成第二铰接部259。
在如图2G所示的一个具体实施方案中，接着可通过沿着第二铰接部259进行弯折直至第二铰接部259断裂，使得每个踏板207与每个踢板206分离，进而得到PBS立方体210的单个行240。然后，可将PBS立方体210包埋进可移除灌封材料(未示出)中，来支撑PBS立方体210的行240，再进行后续机加工以去除棱镜延伸部214，并进行抛光以暴露第二棱镜表面213。在一些情况下，可取而代之的做法是，将PBS立方体210粘附至可移除粘合剂表面(未示出)，来支撑PBS立方体210的行240，再进行后续机加工以去除棱镜延伸部214，并进行抛光以暴露第二棱镜表面213。然后，可去除可移除灌封材料或可移除粘合剂表面，从而得到单独分离出的PBS。
图3A示出了根据本公开的一个方面的单独分离出的PBS 300的透视示意图。图3A中所示的元件311-330中的每个对应于图2G中所示的此前已描述的类似标号的元件211-230。例如，图3A中所示的光阑319对应于图2G中所示的光阑219，以此类推。单独分离出的PBS 300包括第一棱镜312、第二棱镜316和设置于第一棱镜312和第二棱镜316之间的反射偏振片318。第一棱镜312包括第一表面311和第二表面313，其中第二表面可以进行抛光，以充当光源(未示出)的输入表面313。第二棱镜316包括第三表面315，该第三表面可以是与第一表面311相背对的输出表面315。第二棱镜316还包括光阑319和围绕光阑319的光阑框架317，光阑和光阑框架一起与第二表面相背对。可以贴着光阑319放置LCoS成像器(未示出)，并且可放置光源(未示出)以将光射入输入表面313中，从而产生由输出表面315所投射出的影像。在一个具体实施方案中，第一表面311、光阑框架317和相对端330,335可以包括吸收黑色涂层，以最大程度地减少引入单独分离出的PBS 300中的多余光，如在别处所描述的。
图3B-图3C示出了根据本公开的一个方面的图3A中单独分离出的PBS 300的示意性侧视图和顶视图。在图3B-图3C中，第一外伸距离“L1”和第二外伸距离“L2”可用于保护反射偏振片318的切割边缘。在一个具体实施方案中，因为系统中可能发生潜在的光路长度变化，所以可根据由光学设计带来的其他限制来选择第一外伸距离L1和第二外伸距离L2。在一些情况下，L1和L2可成为光路长度的一部分，因此，整体光学设计可能需要适应这种尺寸的变化。本领域的普通技术人员应当认识到需要考虑该附加光路长度。从制造加工的角度来看，在一些情况下，外伸部分可让人们更容易地制造两个立体棱镜联合起来的接合形式。
实施例
制造PBS立方体的集成光学部件阵列。
制备粘合剂
首先，通过将以下物质混合在一起制备粘合剂溶液：具有20.5％固体的48.78lb(22.15kg)光学透明粘合剂(OCA)溶液(该OCA溶液是溶于甲乙酮/甲醇/甲苯/乙酸乙酯混合溶剂的具有93％丙烯酸异辛酯和7％丙烯酸的共聚物)；具有35％固体的17.14lb(7.78kg)高Tg聚合物(高Tg聚合物是溶于甲乙酮/甲醇/甲苯/乙酸乙酯混合溶剂的具有69％异丁烯酸甲酯、25％甲基丙烯酸丁酯和6％甲基丙烯酸二甲胺乙酯的共聚物)；8lb(3.63kg)4-羟基丁基丙烯酸酯(购自新泽西州弗洛勒姆帕克巴斯夫公司(BASF,Florham Park,NJ))；0.12lb(54gm)甲基丙烯酸酯功能性硅烷单体(购自密苏里州圣路易斯西格玛奥德里奇公司的硅烷A-174(Silane A-174,Sigma-Aldrich,St.Louis,MO))；0.4lb(182gm)Lucirin TPO-L(购自巴斯夫公司(BASF))；0.244lb(111gm)具有5％固体的双酰胺交联剂(溶于甲苯的1,1'-间苯二甲酰双(2-甲基氮杂环丙烷))；44.94lb(20.4kg)99％乙酸乙酯(购自西格玛奥德里奇公司(Sigma-Aldrich))；以及29.96lb(13.6kg)异丙醇(购自西格玛奥德里奇公司(Sigma-Aldrich))。
使用如美国专利5,759,274(Maier等人)所述的模涂法和仪器将粘合剂溶液涂覆在14英寸(35.56cm)的第一离型衬垫(SKC RF22N，75微米厚，购自韩国首尔爱思开哈斯新材料有限公司(SKCHaas,Seoul,KR))上。涂覆线速度为20ft/min(6.09m/min)，溶液的涂层宽度为12英寸(30.48cm)，并在涂层的两个侧面均留出1英寸的未涂覆边缘。使用齿轮泵溶液递送系统将溶液递送至模头。调节流速，以达到10微米的涂层厚度。使带有涂覆溶液的离型衬垫通过一系列烘箱，将经涂覆的溶液直线式地进行干燥，并将第二14英寸宽的离型衬垫(CPfilm T-10，3密耳(76微米)厚，购自弗吉尼亚州菲尔代尔首诺科特工厂(CP Films,Fieldale,VA))层合在暴露的粘合剂表面上，再将粘合剂/第一离型衬垫卷起，从而形成带有双离型衬垫的粘合剂。
制备热稳定透明板
将购自斯巴特公司(Spartech Corporation)的PMMA POLYCAST CLR板切割成12”(30.5cm)的正方形板。使用长尾夹将PMMA板悬挂在环保烤箱中，并使用以下条件进行退火：(1)耗用一小时使烤箱温度上升到95℃、RH上升到30％；(2)使烤箱在温度95℃、RH 30％下保持60小时；(3)耗用一小时使烤箱温度下降到30℃、RH下降到0％。接着使用常规CNC铣床和平坦工具将退火后的PMMA板整平，从而使得最终透明板的厚度是5.10+/-0.01mm。
形成光学层合体
使用AGL工业层压机(购自威斯康星州德福雷斯特AGL资源公司(AGL Inc,Deforest,WI))将粘合剂EAS 2059层合到14"(35.6cm)宽、40微米厚的VikuitiTMMOF反射偏振片(购自3M公司(3M Company))的两侧。工艺条件为：张力控制为10-15psi，夹送辊压力为约20-30psi，速度控制为约5-10fpm。使用剪切切割机将所得的粘合剂/MOF/粘合剂层合体剪切成25"(63.5cm)的片材。
使用Sun-Tec层压机(购自亚利桑那州Sun-Tec公司(Sun-Tec,AZ))将粘合剂/MOF/粘合剂片材层合到整平退火后的PMMA板上。工艺条件为：夹送辊压力为约0.3-0.4MPa，层合速度为约50mm/s。
使用ChemInstrument热轧层合机(购自俄亥俄州费尔菲尔德化仪公司(ChemInstruments,Inc.,Fairfield,OH))将整平退火后的PMMA/粘合剂/MOF粘附于另一退火后的PMMA板。工艺条件为：夹送辊压力为约100psi，层合速度为约2min/min。
然后使所得的PMMA/粘合剂/MOF/粘合剂/PMMA层合体在60℃、80PSI下高压灭菌8小时。使用Dymax 5000-EC系列UV固化泛光灯系统(购自康涅狄格州托灵顿戴马士公司(Dymax,Torrington,CT))来固化高压灭菌后的PMMA/粘合剂/MOF/粘合剂/PMMA层合体中的粘合剂，其中UVA剂量(通过空气测量)等于约1J/cm2。
UV固化后，接着使用3M光学透明粘合剂(OCA 8146-5，购自3M公司(3M Company))将输出板PMMA/粘合剂/APF/粘合剂/整平PMMA的未整平的一侧与另一1/4"(0.635cm)厚的PMMA板(购自麦克马斯特供应公司(McMaster-Carr))层合，从而形成相似于图1A所示具有双重厚度第二透明板102的光学层合体。
机加工光学层合体以形成集成光学部件阵列
层合处理后，对层合体进行制造过程。钻取对准孔(图2A示出的对准孔299)，并将未整平的PMMA表面整平(图2A的平坦第二表面204)。使用带有Siemens NX软件7.5与集成CAD/CAM/CAE的Hurco CNC铣床(印第安纳州印第安纳波利斯赫克公司(Hurco,Indianapolis,IN))为光学部件的机床装备和机加工提供附图和完整的部件制造解决方案。参见图2G，使用不同的铣削钻头(购自马萨诸塞州罗利哈维工具公司(Harvey Tool,Rowley,MA))制造具有PGS立方体210的集成光学部件阵列。使用Carbide塑料切割端铣刀(工具号49908-C4，刀具直径1/8"，切口长度5/8"，购自马萨诸塞州罗利哈维工具公司(Harvey Tool,Rowley,MA))铣削第一棱镜表面211、光阑框架217和相对端面230,235，为涂覆黑色涂层做好准备。
施加黑色涂层
将KL4530Desktop CNC镂铣机(购自伊利诺州霍夫曼伊斯塔特自动化技术股份有限公司(Automation Technology Inc,Hoffman Estates,IL))用作其上附着有Nordson787MS-SS MicroSpray精确喷雾阀(购自俄亥俄州西湖诺言公司(Nordson Corp,Westlake,OH))的XYZ自动控制仪器。使用小量规型(内径为0.013"-0.004")一次性端孔点胶尖端，在一些情况下，使用一次性侧口点胶尖端(尺度为18-26)(购自内华达州里诺汉密尔顿公司(Hamilton Company,Reno,Nevada))。将Perfect MatchTM BUN0100涂料(购自俄亥俄州克利夫兰宣伟涂料公司(Sherwin-Williams Co.,Cleveland,OH))精确喷涂到第一棱镜表面211上。将BUN0100涂料从喷雾罐手工喷涂到其他所有表面上，包括光阑框架217和相对端面230,235。
铣削光阑、输出表面和凸缘
涂覆黑色涂层后，使用Carbide塑料切割端铣刀(工具号48716-C4，刀具直径为1/4"，切口长度为3/4")和PCD金刚石端铣刀(工具号12124，刀具直径为3/8"，切口长度为1/4")(二者皆购自马萨诸塞州罗利哈维工具公司(Harvey Tool,Rowley,MA))铣削前输出面215和光阑219以去除黑色涂层和抛光金刚石。使用Carbide塑料切割端铣刀(工具号49908-C4，刀具直径为1/8"，切口长度为5/8")(购自马萨诸塞州罗利哈维工具公司(Harvey Tool,Rowley,MA))铣削第三槽250以制造凸缘258。
分离并抛光PBS立方体
沿着第二铰接部259手动撕开，制造单独凸缘258上的PBS立方体210行。使用3MTM可移除可重新定位胶带666将每个立方体条带的光阑219粘附在玻璃板上，接着，使用带有Diablo1/4"×1"Carbide直镂铣机钻头模型#DR04108(Diablo1/4"×1"Carbide StraightRouter Bit Model#DR04108)的KL4530Desktop CNC镂铣机(购自北卡罗来纳州海波因特锐无敌公司(Freud,High Point,NC))削去凸缘258和棱镜延伸部214，从而分离单个立方体。
所得PBS立方体与图3A-图3C中所示单独分离出的PBS 300相似，并具有以下尺寸。经测量，光阑319的尺寸为3.6mm×5.8mm，光阑比光阑框架317抬高了0.1mm，并且在经测量为7.2mm×7.2mm的上表面上居中。经测量，就单独分离出的PBS 300的相对端330,335而言，其输入表面313至光阑319的距离是7mm，输出表面315至第一表面311的距离是7.2mm。经测量，第一外伸距离L1是0.1mm，并且第二外伸距离L2是0.2mm。黑色涂层标称厚度为0.045mm。
使用Buehler Vector Head/Beta抛光机(购自伊利诺州布勒夫湖标乐公司(Buehler,Lake Bluff,IL))以200rpm的速度进行操作，并将施力设定为关，采用手压的方式进一步抛光光学表面，使得光学表面具有小于约0.32微米的峰谷粗糙度。使用3M可移除胶带666将立方体安装在玻璃板上，从而对输入表面313(即，底部背光表面)进行抛光。用3MESPE Imprint 3轻体牙印模材料来填充立方体之间的间隔，从而固定立方体。对输入表面313使用Buehler砂轮P2500再次修整1.5小时，并使用Buehler Master Prep0.05微米浆态溶液抛光1分钟。
使用3M可移除胶带666将立方体安装在玻璃板上来对输出表面315进行抛光。用3MESPE Imprint 3轻体牙印模材料来填充立方体之间的间隔，从而固定立方体。对输出表面315使用Buehler砂轮P1200砂磨3分钟，使用Buehler砂轮P2500再次修整15-20分钟，并使用Buehler Master Prep0.05微米浆态溶液抛光1分钟。
使用3M可移除胶带666将立方体安装在玻璃板上来对光阑319进行抛光。用3MESPE Imprint 3轻体牙印模材料来填充立方体之间的间隔，从而固定立方体。对光阑319使用Buehler砂轮P1200砂磨3分钟，使用Buehler砂轮P2500重新整修15分钟，使用通过PSA安装在玻璃板上的3M Lapping薄膜562X重新整修1分钟，使用Buehler 3um浆态悬浮液重新整修3分钟，使用Buehler Master Prep浆态溶液抛光1分钟，并使用通过PSA安装在玻璃板上的3M Lapping薄膜568X手工磨光1分钟。
以下为本公开的实施方案的列表。
项1是一种集成光学部件，其包括：具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括多个阶梯，多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，该踏板和踢板相交形成靠近平坦的第一表面的铰接部；偏振分束器(PBS)立方体，其设置于多个阶梯中的每个阶梯上并与支座成一体，该PBS立方体包括：第一棱镜、第二棱镜和反射偏振片，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行，其中第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且PBS立方体包括正交于踏板和踢板的相对端面。
项2为项1所述的集成光学部件，其中每个踏板包括至少两个PBS立方体，其具有被第二槽分离的端面。
项3为项1或项2所述的集成光学部件，其中每个第二棱镜表面由棱镜延伸部与相邻踏板分离。
项4为项1至项3所述的集成光学部件，其还包括设置于第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者上的黑色涂层。
项5为项1至项4所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者包括抛光表面。
项6为项1至项5所述的集成光学部件，其中第三棱镜表面与踢板中的凹口相邻，该凹口具有平行于踏板的第一凹口表面，以及与第二棱镜表面相邻并平行于踢板的第二凹口表面。
项7为项1至项6所述的集成光学部件，其中每个阶梯的踏板和踢板以90度角相交。
项8为项1至项7所述的集成光学部件，其中每个阶梯的踏板与平坦的第一表面呈45度角设置。
项9为项1至项8所述的集成光学部件，其中支座、第一棱镜和第二棱镜中的至少一者包含热稳定丙烯酸。
项10为项9所述的集成光学部件，其中所述热稳定丙烯酸的延迟量小于20nm。
项11为项1至项10所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面是背面黑色涂覆的表面，第二棱镜表面是抛光的光输入表面，第三棱镜表面是抛光的输出表面，并且第四棱镜表面包括适用于硅上液晶(LCoS)成像器的抛光光阑。
项12是一种集成光学部件，其包括：具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括多个阶梯，多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，该踏板和踢板相交形成靠近平坦的第一表面的铰接部；多个偏振分束器(PBS)立方体，其与支座成一体，并在多个阶梯中的每个阶梯上沿线设置，多个PBS立方体中的每个PBS立方体包括：第一棱镜、第二棱镜、反射偏振片及相对端面，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行；每个相对端面正交于反射偏振片，其中每个第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且第二槽将踢板上的相邻PBS立方体分离。
项13为项12所述的集成光学部件，其中每个第二棱镜表面由棱镜延伸部与相邻踏板分离。
项14为项12或13所述的集成光学部件，其还包括设置于第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者上的黑色涂层。
项15为项12至项14所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者包括抛光表面。
项16为项12至项15所述的集成光学部件，其中第三棱镜表面与踢板中的凹口相邻，该凹口具有平行于踏板的第一凹口表面，以及与第二棱镜表面相邻并平行于踢板的第二凹口表面。
项17为项12至项16所述的集成光学部件，其中每个阶梯的踏板和踢板以90度角相交。
项18为项12至项17所述的集成光学部件，其中每个阶梯的踏板与平坦的第一表面呈45度角设置。
项19为项12至项18所述的集成光学部件，其中支座、第一棱镜和第二棱镜中的至少一者包含热稳定丙烯酸。
项20为项19所述的集成光学部件，其中所述热稳定丙烯酸的延迟量小于20nm。
项21为项12至项20所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面是背面黑色涂覆的表面，第二棱镜表面是抛光的光输入表面，第三棱镜表面是抛光的输出表面，并且第四棱镜表面包括适用于硅上液晶(LCoS)成像器的抛光光阑。
项22为项12至项21所述的集成光学部件，其中使用辐射固化粘合剂将反射偏振片粘附于第一棱镜和第二棱镜之间。
项23为项22所述的集成光学部件，其中通过紫外线辐射来固化所述辐射固化粘合剂。
项24是一种集成光学部件，其包括：具有平坦的第一表面和相背对的第二表面的支座，相背对的第二表面包括具有踏板和踢板的阶梯；多个偏振分束器(PBS)立方体，其与支座成一体，并且在阶梯上沿线设置，多个PBS立方体中的每个PBS立方体包括：第一棱镜、第二棱镜、反射偏振片及相对端面，第一棱镜具有与踢板相邻的第一棱镜表面和与阶梯相邻的第二棱镜表面；第二棱镜具有与第一表面相对的第三棱镜表面和与第二表面相对的第四棱镜表面；反射偏振片设置于第一棱镜和第二棱镜之间的对角线曲面上，其与支座的平坦的第一表面平行；每个相对端面正交于反射偏振片，其中每个第一棱镜表面由第一槽与踢板分离，并且第二槽将踢板上的相邻PBS立方体分离。
项25为项24所述的集成光学部件，其中每个第二棱镜表面由棱镜延伸部与相邻踏板分离。
项26为项24或25所述的集成光学部件，其还包括设置于第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者上的黑色涂层。
项27为项24至项26所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者包括抛光表面。
项28为项24至项27所述的集成光学部件，其中第三棱镜表面与踢板中的凹口相邻，该凹口具有平行于踏板的第一凹口表面，以及与第二棱镜表面相邻并平行于踢板的第二凹口表面。
项29为项24至项28所述的集成光学部件，其中踏板和踢板以90度角相交。
项30为项24至项29所述的集成光学部件，其中踏板与平坦的第一表面呈45度角设置。
项31为项24至项30所述的集成光学部件，其中支座、第一棱镜和第二棱镜中的至少一者包含热稳定丙烯酸。
项32为项31所述的集成光学部件，其中所述热稳定丙烯酸的延迟量小于20nm。
项33为项24至项32所述的集成光学部件，其中第一棱镜表面是背面黑色涂覆的表面，第二棱镜表面是抛光的光输入表面，第三棱镜表面是抛光的输出表面，并且第四棱镜表面包括适用于硅上液晶(LCoS)成像器的抛光光阑。
项34为项24至项33所述的集成光学部件，其中使用辐射固化粘合剂将反射偏振片粘附于第一棱镜和第二棱镜之间。
项35为项34所述的集成光学部件，其中通过紫外线辐射来固化所述辐射固化粘合剂。
项36是一种制造光学部件的方法，该方法包括：将反射偏振片层合在第一聚合板和第二聚合板之间，该第一聚合板具有第一外表面，并且第二聚合板具有反向的第二外表面；在第二聚合板中以45度角朝着反射偏振片铣削出多个平行的第一槽至第一底部的深度，每个平行的第一槽将阶梯踢板与偏振分束器(PBS)立方体的第一棱镜表面分离；铣削出垂直于第一槽的多个平行的第二槽从而形成多个阶梯踏板，每个阶梯踏板与第一底部深度共面，并且从第一踢板延伸至相邻的第二踢板，其中每个第二槽将踏板上相邻PBS立方体的端面分离，并且踏板和踢板的相交部限定靠近第一外表面的第一铰接部；任选地，铣削出多个平行的第三槽，每个第三槽具有第三底部并且平行于第一槽，每个平行的第三槽垂直于对应的阶梯踢板，并形成支撑PBS立方体的凸缘，第三底部由第二铰接部与踏板分离；以及铣削出平行于第一槽的多个凹口，每个凹口具有平行于踏板的第一凹口表面，以及平行于踢板并延伸到踢板中的第二凹口表面，其中第一凹口表面包括与踏板相背对的第四棱镜表面，并且第二凹口表面包括与第一棱镜表面相背对的第三棱镜表面，其中铣削步骤可以任意顺序执行。
项37为项36所述的方法，还包括抛光第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者。
项38为项36或项37所述的方法，还包括在第一棱镜表面、第三棱镜表面、第四棱镜表面和端面中的至少一者上涂覆黑色涂层。
项39为项36至项38所述的方法，还包括沿着第一铰接部使相邻踏板彼此分离，从而形成支撑于踏板上的多个PBS立方体线性阵列。
项40为项36至项38所述的方法，还包括沿着第二铰接部分离每个凸缘，从而形成支撑于凸缘上的多个PBS立方体线性阵列。
项41为项39或项40所述的方法，还包括将PBS立方体线性阵列固定在包埋材料中或粘合剂表面上，并朝向第二棱镜表面铣削第一外表面。
项42为项41所述的方法，还包括抛光第二棱镜表面。
项43是根据权利要求41所述的方法，还包括去除包埋材料或粘合剂表面，从而分离单个PBS立方体。
项44为项36至项43所述的方法，其中第一聚合板的厚度大于第二聚合板。
项45为项36至项44所述的方法，其中第一聚合板的厚度是第二聚合板的两倍。
项46是项36至项45所述的方法，其中将反射偏振片层合在第一聚合板和第二聚合板之间包括将粘合剂涂覆在反射偏振片的每个主表面上，然后层合第一聚合板和第二聚合板，并固化粘合剂。
项47为项46所述的方法，其中固化粘合剂包括通过紫外线辐射固化该粘合剂。
项48为项36至项47所述的方法，其中第一聚合板和第二聚合板中的至少一者包含热稳定丙烯酸。
项49为项48所述的方法，其中所述热稳定丙烯酸的延迟量小于20nm。
项50为项36至项49所述的方法，其中第一棱镜表面是背面黑色涂覆的表面，第三棱镜表面是抛光的输出表面，并且第四棱镜表面包括适用于硅上液晶(LCoS)成像器的抛光光阑。
项51为项41所述的方法，其中第二棱镜表面是抛光的光输入表面。
项52是一种光学制品，其包括：具有第一主表面的第一透明板；具有第二主表面的第二透明板；附连在第一主表面和第二主表面之间的聚合多层反射偏振片；以及具有第一相对侧面和第一底部的第一底切槽，该第一底切槽延伸穿过第一透明板和聚合多层反射偏振片，其中第一透明板和第二透明板中的至少一者表现出低双折射。
项53为项52所述的光学制品，其中第一透明板和第二透明板都表现出低双折射。
项54为项52或项53所述的光学制品，其中第一底部设置于第二透明板内。
项55为项52至项54所述的光学制品，其中第一相对侧面相互平行，并且第一底部垂直于第一相对侧面中的每个侧面。
项56为项52至项55所述的光学制品，还包括平行于第一底切槽的第二底切槽，第二底切槽具有第二相对侧面和第二底部，该第二底部垂直于第一底部取向。
项57为项56所述的光学制品，其中第二相对侧面为平行的，并且第二底部垂直于第二相对侧面中的每个侧面。
项58为项56或项57所述的光学制品，其中第二底部与第一底部由铰接部而分离，该铰接部包括第二低双折射板的一部分。
项59为项52至项58所述的光学制品，其中第一透明板和第二透明板中的至少一者包括平行于聚合多层反射偏振片的相对主表面。
项60为项52至项59所述的光学制品，其中第一透明板和第二透明板中的至少一者包含热稳定丙烯酸。
项61为项60所述的光学制品，其中所述热稳定丙烯酸的延迟量小于20nm。
项62为项52至项61所述的光学制品，还包括垂直于第一底切槽的至少一个侧槽，该至少一个侧槽具有第三相对侧面和第三底部，第三底部平行于第一底部。
项63是根据项62所述的光学制品，其中第一槽、第二槽和两个相邻的侧槽共同限定偏振分束器的边界。
除非另外指明，否则本说明书和权利要求书中所用的表示特征结构尺寸、量和物理特性的所有数字应理解为都由术语“约”来修饰。因此，除非有相反的说明，否则在上述说明书和所附权利要求书中列出的数值参数均为近似值，这些近似值可根据本领域的技术人员使用本文所公开的教导内容寻求获得的期望特性而变化。
本文中引用的所有参考文献及出版物全文以引用方式明确地并入本文中，但能够与本公开直接冲突的部分除外。虽然本文已经举例说明并描述了具体实施方案，但本领域的普通技术人员将会知道，在不脱离本公开的范围的情况下，可用多种另选和/或等同形式的具体实施来代替所示出的和所描述的具体实施方案。本专利申请旨在涵盖本文所讨论的具体实施方案的任何调整或变型。因此，本公开旨在仅受权利要求书及其等同形式的内容限制。

Claims (10)

1.一种集成光学部件，包括：
支座，所述支座具有平坦的第一表面和相背对的第二表面，所述相背对的第二表面包括多个阶梯，所述多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，所述踏板和所述踢板相交以形成靠近所述平坦的第一表面的铰接部；
偏振分束器立方体，所述偏振分束器立方体设置于所述多个阶梯中的每个阶梯上并与所述支座成一体，所述偏振分束器立方体包括：
第一棱镜，所述第一棱镜具有与所述踢板相邻的第一棱镜表面和与所述阶梯相邻的第二棱镜表面；
第二棱镜，所述第二棱镜具有与所述第一表面相背对的第三棱镜表面和与所述第二表面相对的第四棱镜表面；和
反射偏振片，所述反射偏振片设置于所述第一棱镜和所述第二棱镜之间的对角线曲面上，所述反射偏振片平行于所述支座的所述平坦的第一表面，
其中所述第一棱镜表面由第一槽与所述踢板分离，并且所述偏振分束器立方体包括正交于所述踏板和所述踢板的相对的端面。
2.根据权利要求1所述的集成光学部件，其中每个第二棱镜表面由棱镜延伸部与所述相邻踏板分离。
3.根据权利要求1所述的集成光学部件，还包括设置于所述第一棱镜表面、所述第三棱镜表面、所述第四棱镜表面和所述端面中的至少一者上的黑色涂层。
4.根据权利要求1所述的集成光学部件，其中所述第三棱镜表面与所述踢板中的凹口相邻，所述凹口具有平行于所述踏板的第一凹口表面，以及与所述第二棱镜表面相邻并平行于所述踢板的第二凹口表面。
5.一种集成光学部件，包括：
支座，所述支座具有平坦的第一表面和相背对的第二表面，所述相背对的第二表面包括多个阶梯，所述多个阶梯中的每个阶梯具有踏板和踢板，所述踏板和所述踢板相交以形成靠近所述平坦的第一表面的铰接部；
多个偏振分束器立方体，所述多个偏振分束器立方体与所述支座成一体并在所述多个阶梯中的每个阶梯上沿直线设置，所述多个偏振分束器立方体中的每个偏振分束器立方体包括：
第一棱镜，所述第一棱镜具有与所述踢板相邻的第一棱镜表面和与所述阶梯相邻的第二棱镜表面；
第二棱镜，所述第二棱镜具有与所述第一表面相背对的第三棱镜表面和与所述第二表面相对的第四棱镜表面；
反射偏振片，所述反射偏振片设置于所述第一棱镜和所述第二棱镜之间的对角线曲面上，所述反射偏振片平行于所述支座的所述平坦的第一表面；和
相对的端面，每个相对的端面正交于所述反射偏振片，
其中每个第一棱镜表面由第一槽与所述踢板分离，并且第二槽将所述踢板上的相邻偏振分束器立方体分离。
6.根据权利要求5所述的集成光学部件，其中所述第一棱镜表面是背面黑色涂覆的表面，所述第二棱镜表面是抛光的光输入表面，所述第三棱镜表面是抛光的输出表面，并且所述第四棱镜表面包括适用于硅上液晶成像器的抛光光阑。
7.一种集成光学部件，包括：
支座，所述支座具有平坦的第一表面和相背对的第二表面，所述相背对的第二表面包括具有踏板和踢板的阶梯；
多个偏振分束器立方体，所述多个偏振分束器立方体与所述支座成一体并在所述阶梯上沿直线设置，所述多个偏振分束器立方体中的每个偏振分束器立方体包括：
第一棱镜，所述第一棱镜具有与所述踢板相邻的第一棱镜表面和与所述阶梯相邻的第二棱镜表面；
第二棱镜，所述第二棱镜具有与所述第一表面相背对的第三棱镜表面和与所述第二表面相对的第四棱镜表面；
反射偏振片，所述反射偏振片设置于所述第一棱镜和所述第二棱镜之间的对角线曲面上，所述反射偏振片平行于所述支座的所述平坦的第一表面；和
相对的端面，每个相对的端面正交于所述反射偏振片，
其中每个第一棱镜表面由第一槽与所述踢板分离，并且第二槽将所述踢板上的相邻偏振分束器立方体分离。
8.一种制造光学部件的方法，包括：
将反射偏振片层合在第一聚合板和第二聚合板之间，所述第一聚合板具有第一外表面，并且所述第二聚合板具有相背对的第二外表面；
在所述第二聚合板中以45度角朝着所述反射偏振片铣削出多个平行的第一槽至第一底部，每个平行的第一槽将阶梯踢板与偏振分束器立方体的第一棱镜表面分离；
铣削出垂直于所述第一槽的多个平行的第二槽，从而形成多个阶梯踏板，所述阶梯踏板中的每个阶梯踏板与所述第一底部共面并从第一踢板延伸至相邻的第二踢板，其中每个第二槽将所述踏板上的相邻偏振分束器立方体的端面分离，并且所述踏板和所述踢板的相交部限定靠近所述第一外表面的第一铰接部；
任选地铣削出多个平行的第三槽，每个第三槽具有第三底部，每个第三槽平行于所述第一槽，所述平行的第三槽中的每个第三槽垂直于对应的阶梯踢板并形成支撑所述偏振分束器立方体的凸缘，所述第三底部由第二铰接部与所述踏板分离；以及
铣削出平行于所述第一槽的多个凹口，每个凹口具有平行于所述踏板的第一凹口表面以及平行于所述踢板并延伸到所述踢板中的第二凹口表面，其中所述第一凹口表面包括与所述踏板相背对的第四棱镜表面，并且所述第二凹口表面包括与所述第一棱镜表面相背对的第三棱镜表面，
其中所述铣削步骤能够以任意顺序执行。
9.一种光学制品，包括：
具有第一主表面的第一透明板；
具有第二主表面的第二透明板；
附连在所述第一主表面和所述第二主表面之间的聚合多层反射偏振片；和
具有第一相对侧面和第一底部的第一底切槽，所述第一底切槽延伸穿过所述第一透明板和所述聚合多层反射偏振片，
其中所述第一透明板和所述第二透明板中的至少一者表现出低双折射。
10.根据权利要求9所述的光学制品，还包括平行于所述第一底切槽的第二底切槽，所述第二底切槽具有第二相对侧面和第二底部，所述第二底部垂直于所述第一底部取向。
CN201480070322.1A 2013-12-23 2014-12-11 集成光学部件及其制造方法 Expired - Fee Related CN105829954B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361919867P 2013-12-23 2013-12-23
US61/919,867 2013-12-23
PCT/US2014/069657 WO2015100015A1 (en) 2013-12-23 2014-12-11 Integrated optical component and method of making

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105829954A CN105829954A (zh) 2016-08-03
CN105829954B true CN105829954B (zh) 2018-11-09

Family

ID=52347402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480070322.1A Expired - Fee Related CN105829954B (zh) 2013-12-23 2014-12-11 集成光学部件及其制造方法

Country Status (7)

Country Link
US (3) US10018850B2 (zh)
EP (2) EP3087429A1 (zh)
JP (1) JP6599337B2 (zh)
KR (1) KR102288256B1 (zh)
CN (1) CN105829954B (zh)
TW (1) TW201539041A (zh)
WO (1) WO2015100015A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018220959A1 (ja) * 2017-05-29 2018-12-06 日東電工株式会社 光学積層体の製造方法
JP7232577B2 (ja) * 2017-05-29 2023-03-03 日東電工株式会社 光学積層体の製造方法
JP2019109396A (ja) * 2017-12-19 2019-07-04 シャープ株式会社 表示パネルの製造方法
IL303390A (en) 2020-12-03 2023-08-01 Battelle Memorial Institute Compositions of polymer nanoparticles and DNA nanostructures and methods for non-viral transport
AU2022253899A1 (en) 2021-04-07 2023-10-26 Battelle Memorial Institute Rapid design, build, test, and learn technologies for identifying and using non-viral carriers
IT202100028076A1 (it) * 2021-11-04 2023-05-04 Nexter S R L Sensore per rilevamento di impulsi e/o livelli luminosi

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1670550A (zh) * 2004-03-19 2005-09-21 中国科学院半导体研究所 采用非平面工艺实现硅基二氧化硅波导偏振无关的方法
CN201004142Y (zh) * 2007-01-24 2008-01-09 浙江大学 一种用于平面光波导热光器件的微加热装置
JP2008051828A (ja) * 2004-11-04 2008-03-06 Toyota Motor Corp 導波型ビームパラメータ積制御光回路及び光集積回路

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR920010621B1 (ko) * 1988-09-12 1992-12-12 후지쓰 가부시끼가이샤 광학부품용기재와그의제조방법및그를사용한광학제품
US6002829A (en) * 1992-03-23 1999-12-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Luminaire device
US5528720A (en) * 1992-03-23 1996-06-18 Minnesota Mining And Manufacturing Co. Tapered multilayer luminaire devices
US20070091230A1 (en) * 1993-12-21 2007-04-26 3M Innovative Properties Company Display incorporating reflective polarizer
US5759274A (en) 1994-04-29 1998-06-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Die coating apparatus with surface covering
CN1143155C (zh) * 1996-09-30 2004-03-24 西门子公司 制造一个分光模制体并且在一个光电模块中使用分光模制体的方法
JP4161413B2 (ja) * 1998-06-12 2008-10-08 凸版印刷株式会社 偏光ビームスプリッタ
US6278552B1 (en) * 1999-05-12 2001-08-21 Minolta Co., Ltd. Polarization separation device and projection-type display apparatus
TW455705B (en) * 1999-07-05 2001-09-21 Seiko Epson Corp Manufacturing method of polarization transformation element
US6592224B2 (en) * 2000-01-28 2003-07-15 Seiko Epson Corporation Optical reflection polarizer and projector comprising the same
US6811274B2 (en) * 2002-12-04 2004-11-02 General Electric Company Polarization sensitive optical substrate
US7749348B2 (en) * 2003-09-30 2010-07-06 Nitto Denko Corporation Method for manufacturing polarizing plate, polarizing plate, optical film and image viewing display
US7234816B2 (en) * 2004-02-03 2007-06-26 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter assembly adhesive
US7155106B2 (en) 2004-05-28 2006-12-26 The Boeing Company High efficiency multi-spectral optical splitter
US20070023941A1 (en) * 2005-07-29 2007-02-01 Duncan John E Method for making polarizing beam splitters
US20070153384A1 (en) * 2005-12-30 2007-07-05 Ouderkirk Andrew J Reinforced reflective polarizer films
JP2007279692A (ja) * 2006-03-13 2007-10-25 Epson Toyocom Corp 偏光分離素子とその製造方法
US20080030656A1 (en) * 2006-08-01 2008-02-07 3M Innovative Properties Company Transflective lc display with internal reflector and reflective polarizer
JP2008145481A (ja) * 2006-12-06 2008-06-26 Epson Toyocom Corp 複合プリズムの製造方法
ATE551626T1 (de) * 2008-07-16 2012-04-15 3M Innovative Properties Co Eine mischung von methylmethacrylatpolymer und styrolacrylnitrilpolymer umfassende mehrschichtige optische filmschicht
CN101738668B (zh) * 2008-11-19 2011-12-07 上海丽恒光微电子科技有限公司 偏振立方体及其制造方法
JP5182071B2 (ja) * 2008-12-25 2013-04-10 セイコーエプソン株式会社 偏光子、偏光子の製造方法およびプロジェクター
EP2467748A2 (en) * 2009-08-17 2012-06-27 3M Innovative Properties Company Dual total internal reflection polarizing beamsplitter
US20130120961A1 (en) * 2010-07-29 2013-05-16 3M Innovative Properties Company Beam Splitter Module For Illumination Systems
JPWO2013114979A1 (ja) 2012-01-30 2015-05-11 コニカミノルタ株式会社 偏光板、偏光板の製造方法及び液晶表示装置
WO2014004228A1 (en) 2012-06-27 2014-01-03 3M Innovative Properties Company Optical component array

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1670550A (zh) * 2004-03-19 2005-09-21 中国科学院半导体研究所 采用非平面工艺实现硅基二氧化硅波导偏振无关的方法
JP2008051828A (ja) * 2004-11-04 2008-03-06 Toyota Motor Corp 導波型ビームパラメータ積制御光回路及び光集積回路
CN201004142Y (zh) * 2007-01-24 2008-01-09 浙江大学 一种用于平面光波导热光器件的微加热装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015100015A1 (en) 2015-07-02
US10488673B2 (en) 2019-11-26
US20180292667A1 (en) 2018-10-11
US20180284471A1 (en) 2018-10-04
EP3208651A1 (en) 2017-08-23
US20160313566A1 (en) 2016-10-27
JP2017504065A (ja) 2017-02-02
KR20160102207A (ko) 2016-08-29
US10018850B2 (en) 2018-07-10
EP3087429A1 (en) 2016-11-02
KR102288256B1 (ko) 2021-08-11
CN105829954A (zh) 2016-08-03
US10379369B2 (en) 2019-08-13
JP6599337B2 (ja) 2019-10-30
TW201539041A (zh) 2015-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105829954B (zh) 集成光学部件及其制造方法
CN104428696B (zh) 光学部件阵列
KR102069572B1 (ko) 편광 빔 스플리터 및 이를 제조하는 방법
CN103052898B (zh) 包括哑光表面层的多层膜和制品
US20060192307A1 (en) Method for producing high quality optical parts by casting
CN103597379A (zh) 光控膜
CN108474878A (zh) 衍射光学元件和光照射装置
US10792955B2 (en) Plate with printed layer, manufacturing method thereof, and display device
JP7268686B2 (ja) 樹脂シート、それを用いた画像表示装置用前面板、及びそれを用いた画像表示装置、並びに転写シート
CN103809291A (zh) 光控膜
CN106094061B (zh) 光学膜及其制造方法
US20160178807A1 (en) Method for fabricating a display dial for a portable object such as a timepiece and display dial obtained thereby
CN108431643A (zh) 具有微结构化层的制品
TW201738079A (zh) 具有微結構化層之物品
JP7067193B2 (ja) 加飾成形品、画像表示装置及び転写シート
CN104969102A (zh) 不对称输入光导
CN114206631A (zh) 装饰结构
US20110229652A1 (en) Decorating method
KR20120114975A (ko) 반사방지 필름 제조용 주형의 제조방법, 및 그 주형을 이용한 반사방지 필름의 제조방법
JP2010228153A (ja) 光学物品の製造方法
JP2003084111A (ja) シート状光学物品、シート状光学物品の形成方法、およびこれらによって構成された表示装置
CN106862000B (zh) 涂布设备及其制备方法和复合光学膜的制备方法
CN110018536A (zh) 投影系统、小尺寸的直角棱柱体反射镜以及制造小尺寸的直角棱柱体反射镜的方法
JP7251130B2 (ja) 樹脂シート及びそれを用いた画像表示装置、並びに転写シート
JP6996389B2 (ja) 画像表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20181109

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee