CN105629679B - 边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法。本发明的边缘曝光机，包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；在边缘曝光机进行边缘曝光时，所述方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高基板的利用率。
Description
技术领域
本发明涉及液晶显示面板生产制造技术领域，尤其涉及一种边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片基板(ColorFilter，CF)之间灌入液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。
液晶显示面板的制程可划分为三个阶段：第一阶段为阵列制程(Array)，即把薄膜晶体管制作在阵列玻璃基板上；第二阶段为组合制程(Cell)，即把彩色滤光基板与薄膜晶体管阵列基板对组，并在中间灌入液晶分子；第三阶段为模组制程(LCM)，即在组合后的面板背后加上背光组件及外接集成电路板，完成液晶显示面板的制作。在Array制程中，需要先在阵列玻璃基板的上涂布正性光阻层，然后通过曝光制程对玻璃基板进行打码及边缘曝光；其中，所谓打码即在TFT制程中为每一片阵列玻璃基板刻上唯一的数字与字母组合的序列号码以将其进行分辨，避免帐料异常，以及异常追溯，其原理是使用镭射光照射涂布正性光阻的玻璃与正性光阻发生化学反应，从而形成图案；所谓边缘曝光，即为避免后制程机台发生放电导致破片，需要去除阵列玻璃基板边缘的正性光阻，其原理是通过紫外光线照射涂布正性光阻的玻璃与正性光阻发生化学反应，去除玻璃基板边缘光阻。
传统打码位置必须选择边缘曝光区域以外，否则打码所形成的数字图案会被边缘曝光消除。如图1所示，其为一种现有的阵列玻璃基板边缘曝光区域及打码区域的示意图，一玻璃大板10’上具有四个面积相等的阵列玻璃基板11’，四个阵列玻璃基板11’四周边缘位置为边缘曝光区域12’，每个条形区域的宽度为0～50mm且所有的条形区域宽度保持一致。由于阵列玻璃基板11’的边缘位置在曝光制程中需要边缘曝光，因此不能将打码区域13’选择在边缘曝光区域12’之内，否则打码所形成的图案会在边缘曝光时消除，但如果将打码区域13’设置在边缘曝光区域12’之外，则会占用显示区域的空间，降低阵列玻璃基板的利用率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种边缘曝光机，能够在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域，避免打码区域的二次曝光，提高基板的利用率。
本发明的另一目的在于提供一种边缘曝光范围内打码方法，对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免打码区域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率。
为实现上述目的，本发明首先提供一种边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；
所述边缘曝光遮光板具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机用于控制所述边缘曝光遮光板上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；
所述打码区遮光板为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域。
所述方向驱动电动机包括横向方向驱动电动机和竖向方向驱动电动机，分别用于驱动所述打码区遮光板在横向和竖向上的移动；在对基板进行曝光时，所述横向方向驱动电动机和竖向方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码。
所述打码区遮光板的尺寸与基板上预设的打码区的尺寸相对应，尺寸大于所述基板上预设的打码区内号码的尺寸。
所述边缘曝光遮光板与所述曝光灯源为同步移动，所述曝光灯源为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，所述曝光灯源发出的光穿过所述边缘曝光遮光板的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。
本发明还提供一种边缘曝光区域的打码方法，包括以下步骤：
步骤1、提供一涂布有光阻材料的基板，在所述基板上预设位于其四周边缘位置的边缘曝光区域、及位于所述边缘曝光区域内的打码区域；
步骤2、提供一边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；
所述边缘曝光遮光板具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机用于控制所述边缘曝光遮光板上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；
所述打码区遮光板为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域；
将所述基板放置于所述边缘曝光机的载台上，将生产配方输入所述边缘曝光机中，所述生产配方包括预设的边缘曝光区域的宽度和打码区域的位置；
步骤3、所述边缘宽度控制电动机根据生产配方对所述边缘曝光遮光板上的透光区域的宽度进行调节，以使其对应预设的边缘曝光区域的宽度；
所述方向驱动电动机根据生产配方驱动所述打码区遮光板移动至所述基板上预设的打码区域的上方；
步骤4、所述曝光灯源发出的光穿过所述边缘曝光遮光板的透光区域照射在所述基板预设的边缘曝光区域上而进行曝光，在对应所述打码区域的位置，所述曝光灯源发出的光被所述打码区遮光板遮挡而使得位于所述边缘曝光区域内的打码区域不被曝光；
步骤5、在未被曝光的打码区域内进行打码。
所述步骤1中所提供的基板上涂布的光阻材料为正性光阻材料。
所述方向驱动电动机包括横向方向驱动电动机和竖向方向驱动电动机，分别用于驱动所述打码区遮光板在横向和竖向上的移动；所述步骤3中，所述横向方向驱动电动机和竖向方向驱动电动机根据生产配方将所述打码区遮光板移动至所述基板上预设的打码区域的上方。
所述步骤4中，所述边缘曝光遮光板与所述曝光灯源沿所述预设的边缘曝光区域同步移动，从而对所述边缘曝光区域逐步进行曝光直至完成。
所述打码区遮光板的尺寸与预设的打码区的尺寸相对应，尺寸大于所述打码区内号码的尺寸。
所述步骤5中通过镭射在未被曝光的打码区域内进行打码。
本发明的有益效果：本发明提供的边缘曝光机，包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；在边缘曝光机进行边缘曝光时，所述方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率；本发明提供的边缘曝光区域打码方法，利用上述边缘曝光机，在进行边缘曝光时，在生产配方内输入边缘曝光区域的宽度和打码区域的位置，使方向驱动电动机移动遮光板至相对应位置对曝光灯源发出的紫外光进行遮光，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参考以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为现有的玻璃基板上边缘曝光区域及打码区域的示意图；
图2为本发明边缘曝光机的结构示意图；
图3为本发明边缘曝光机的俯视示意图；
图4为本发明边缘曝光区域打码方法的流程图；
图5本发明边缘曝光区域打码方法的步骤1中提供的玻璃基板的示意图；
图6为本发明边缘曝光区域打码方法的步骤3中驱动打码区遮光板移动的示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参考图2至图3，本发明提供一种边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台10、位于载台上方的边缘曝光遮光板20与打码区遮光板30、位于所述边缘曝光遮光板20与打码区遮光板30上方的曝光灯源40、边缘宽度控制电动机50、及驱动所述打码区遮光板30移动的方向驱动电动机60；
所述边缘曝光遮光板20具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机50用于控制所述边缘曝光遮光板20上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；
所述打码区遮光板30为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域。
具体地，所述方向驱动电动机60包括横向方向驱动电动机61和竖向方向驱动电动机62，分别用于驱动所述打码区遮光板30在横向和竖向上的移动；在对基板进行曝光时，所述横向方向驱动电动机61和竖向方向驱动电动机62根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板30移动至对应所述边缘曝光遮光板20的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码。
具体地，所述打码区遮光板30的尺寸与基板上预设的打码区的尺寸相对应，尺寸稍大于所述基板上预设的打码区内号码的尺寸。
具体地，所述边缘曝光遮光板20与所述曝光灯源40为同步移动，所述曝光灯源40为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，所述曝光灯源40发出的光穿过所述边缘曝光遮光板20的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。
具体地，如图5所示，本发明的边缘曝光机可应用于对待切割的玻璃大板上的多个基板单元的边缘进行曝光。
请参考图4，本发明还提供一种边缘曝光区域打码方法，包括以下步骤：
步骤1、提供一涂布有光阻材料的基板80，在所述基板80上预设位于其四周边缘位置的边缘曝光区域81、及位于所述边缘曝光区域81内的打码区域82。
具体地，所述步骤1中所提供的基板80上涂布的光阻材料为正性光阻材料，对基板80进行边缘曝光后，边缘曝光区域81上经曝光的正性光阻材料通过显影制程而去除。
具体地，如图5所示，所述基板80为一待切割的玻璃大板的基板单元，为玻璃基板。
步骤2、提供一边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台10、位于载台上方的边缘曝光遮光板20与打码区遮光板30、位于所述边缘曝光遮光板20与打码区遮光板30上方的曝光灯源40、边缘宽度控制电动机50、及驱动所述打码区遮光板30移动的方向驱动电动机60；
所述边缘曝光遮光板20具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机50用于控制所述边缘曝光遮光板20上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；
所述打码区遮光板30为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域；
将所述基板80放置于所述边缘曝光机的载台10上，将生产配方输入所述边缘曝光机中，所述生产配方包括预设的边缘曝光区域81的宽度和打码区域82的位置。
具体地，所述边缘曝光遮光板20与所述曝光灯源40为同步移动，所述曝光灯源40为紫外光灯源，所述打码区遮光板30独立于所述曝光灯源40移动。
具体地，所述方向驱动电动机60包括横向方向驱动电动机61和竖向方向驱动电动机62，分别用于驱动所述打码区遮光板30在横向和竖向上的移动。
具体地，所述打码区遮光板30的尺寸与预设的打码区82的尺寸相对应，尺寸大于所述打码区82内号码的尺寸。
步骤3、所述边缘宽度控制电动机50根据生产配方对所述边缘曝光遮光板20上的透光区域的宽度进行调节，以使其对应预设的边缘曝光区域81的宽度；
所述方向驱动电动机60根据生产配方驱动所述打码区遮光板30移动至所述基板80上预设的打码区域82的上方。
具体地，所述步骤3中，所述横向方向驱动电动机61和竖向方向驱动电动机62根据生产配方将所述打码区遮光板30移动至所述基板80上预设的打码区域81的上方。
具体地，请参考图6，所述打码区域82的位置为：在阵列玻璃基板所在平面中以阵列玻璃基板的两条边作为直角坐标系的X轴和Y轴，打码区域82的一个顶点距离X轴的距离为x，距离Y轴的距离为y，即此顶点的坐标为(x，y)；所述横向方向驱动电动机61和竖向方向驱动电动机62根据该坐标位置将将所述打码区遮光板30移动至所述基板80上预设的打码区域81的上方。
步骤4、所述曝光灯源40发出的光穿过所述边缘曝光遮光板20的透光区域照射在所述基板80预设的边缘曝光区域81上而进行曝光，在对应所述打码区域82的位置，所述曝光灯源40发出的光被所述打码区遮光板30遮挡而使得位于所述边缘曝光区域81内的打码区域82不被曝光。
具体地，所述步骤4中，所述边缘曝光遮光板20与所述曝光灯源40沿所述预设的边缘曝光区域81同步移动，从而对所述边缘曝光区域81逐步进行曝光直至完成。
步骤5、通过镭射在未被曝光的打码区域82内进行打码。
具体地，所述打码区域81上的光阻材料由于未被曝光，因此可以在后续制程中利用镭射光照射该打码区域82，形成特定的数字号码图案。
综上所述，本发明的边缘曝光机，包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；在边缘曝光机进行边缘曝光时，所述方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率；本发明提供的边缘曝光区域打码方法，利用上述边缘曝光机，在进行边缘曝光时，在生产配方内输入边缘曝光区域的宽度和打码区域的位置，使方向驱动电动机移动遮光板至相对应位置对曝光灯源发出的紫外光进行遮光，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高玻璃基板的利用率。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台(10)、位于载台上方的边缘曝光遮光板(20)、位于所述边缘曝光遮光板(20)上方的曝光灯源(40)，所述边缘曝光遮光板(20)具有宽度可调的透光区域，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制，其特征在于，还包括：位于载台上方的打码区遮光板(30)、边缘宽度控制电动机(50)、及驱动所述打码区遮光板(30)移动的方向驱动电动机(60)；
所述边缘宽度控制电动机(50)用于控制所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度；
所述打码区遮光板(30)为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域。
2.如权利要求1所述的边缘曝光机，其特征在于，所述方向驱动电动机(60)包括横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)，分别用于驱动所述打码区遮光板(30)在横向和竖向上的移动；在对基板进行曝光时，所述横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板(30)移动至对应所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码。
3.如权利要求2所述的边缘曝光机，其特征在于，所述打码区遮光板(30)的尺寸与基板上预设的打码区的尺寸相对应，尺寸大于所述基板上预设的打码区内号码的尺寸。
4.如权利要求1所述的边缘曝光机，其特征在于，所述边缘曝光遮光板(20)与所述曝光灯源(40)为同步移动，所述曝光灯源(40)为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，所述曝光灯源(40)发出的光穿过所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。
5.一种边缘曝光区域的打码方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、提供一涂布有光阻材料的基板(80)，在所述基板(80)上预设位于其四周边缘位置的边缘曝光区域(81)、及位于所述边缘曝光区域(81)内的打码区域(82)；
步骤2、提供一边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台(10)、位于载台上方的边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)、位于所述边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)上方的曝光灯源(40)、边缘宽度控制电动机(50)、及驱动所述打码区遮光板(30)移动的方向驱动电动机(60)；
所述边缘曝光遮光板(20)具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机(50)用于控制所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；
所述打码区遮光板(30)为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域；
将所述基板(80)放置于所述边缘曝光机的载台(10)上，将生产配方输入所述边缘曝光机中，所述生产配方包括预设的边缘曝光区域(81)的宽度和打码区域(82)的位置；
步骤3、所述边缘宽度控制电动机(50)根据生产配方对所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度进行调节，以使其对应预设的边缘曝光区域(81)的宽度；
所述方向驱动电动机(60)根据生产配方驱动所述打码区遮光板(30)移动至所述基板(80)上预设的打码区域(82)的上方；
步骤4、所述曝光灯源(40)发出的光穿过所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域照射在所述基板(80)预设的边缘曝光区域(81)上而进行曝光，在对应所述打码区域(82)的位置，所述曝光灯源(40)发出的光被所述打码区遮光板(30)遮挡而使得位于所述边缘曝光区域(81)内的打码区域(82)不被曝光；
步骤5、在未被曝光的打码区域(82)内进行打码。
6.如权利要求5所述的边缘曝光区域打码方法，其特征在于，所述步骤1中所提供的基板(80)上涂布的光阻材料为正性光阻材料。
7.如权利要求5所述的边缘曝光区域打码方法，其特征在于，所述方向驱动电动机(60)包括横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)，分别用于驱动所述打码区遮光板(30)在横向和竖向上的移动；所述步骤3中，所述横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)根据生产配方将所述打码区遮光板(30)移动至所述基板(80)上预设的打码区域(81)的上方。
8.如权利要求5所述的边缘曝光区域打码方法，其特征在于，所述步骤4中，所述边缘曝光遮光板(20)与所述曝光灯源(40)沿所述预设的边缘曝光区域(81)同步移动，从而对所述边缘曝光区域(81)逐步进行曝光直至完成。
9.如权利要求5所述的边缘曝光区域打码方法，其特征在于，所述打码区遮光板(30)的尺寸与预设的打码区(82)的尺寸相对应，尺寸大于所述打码区(82)内号码的尺寸。
10.如权利要求5所述的边缘曝光区域打码方法，其特征在于，所述步骤5中通过镭射在未被曝光的打码区域(82)内进行打码。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |