CN107505815A - 一种边缘曝光装置及边缘曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，驱动器分别与设置在显影装置入口外的基板传送装置以及遮光板相连接，曝光灯位于遮光板的上方；驱动器用于在检测到基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光；本发明采用的边缘曝光装置结构简单、操作方便且精度高，相比传统的边缘曝光机机台，本发明的边缘曝光装置还具有成本低、维护容易、边缘曝光装置量产高及生产周期短等优点。

Description

一种边缘曝光装置及边缘曝光方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种边缘曝光装置及边缘曝光方法。

背景技术

半导体行业里，将硅片等镜片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤，使其光刻出一定图形，这种工艺叫黄光制程，它是精细电路的制程工艺之一。

黄光制程程序为涂布－曝光－显影，在进行金属制程时，传统打码位置必须选择边缘曝光区域以外，否则打码所形成的数字图案会被边缘曝光消除，因此打码后会出现边缘金属残留等问题，需要进行边缘曝光，使边缘正性光阻被曝掉，以刻掉残留金属，防止在后段切割时由于金属残留等问题导致破片。传统的边缘曝光机机台成本高、维护难及机台产量低等缺点。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，解决传统边缘曝光机机台成本高、维护难及机台量产低等问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是提供一种边缘曝光装置，包括：

边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，驱动器分别与设置在显影装置入口外的基板传送装置以及遮光板相连接，曝光灯位于遮光板的上方；驱动器用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过所述曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

为解决上述技术问题，本发明采用的又一技术方案是提供一种边缘曝光方法，包括：

边缘曝光装置通过驱动器采集设置在显影装置入口外的基板传送装置启动移动时发送的触发信号；其中，边缘曝光装置设置于显影装置的入口区；获取传送装置当前传送的基板的类型；根据基板的类型控制遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

区别现有技术，本发明指出提供一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，边缘曝光装置取代传统的边缘高光机，来实现边缘曝光的功能。本发明采用的边缘曝光装置结构简单、操作方便且精度高，相比传统的边缘曝光机机台，本发明的边缘曝光装置还具有成本低、维护容易、边缘曝光装置量产高及生产周期短等优点。

附图说明

图1是本发明提供的一种边缘曝光系统一实施例的结构示意图；

图2是本发明提供的一种边缘曝光装置一实施例的结构示意图；

图3是本发明提供的一种边缘曝光方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明保护的范围。

参阅图1，图1是本发明提供的一种边缘曝光系统一实施例的结构示意图。其中该边缘曝光系统在显影装置的入口处，通过边缘系统进行边缘曝光后进入到显影装置中进行下一步操作。

具体地，如图1所示，该边缘曝光系统500包括边缘曝光装置100，基板传送装置200、基板300。图1中箭头400为基板300前进方向，基板300在基板传送装置200带动下朝着显影装置入口处流动。

具体地，先将基板300安装在基板传送装置200上，通过程序智能控制基板传送装置200的移动方向和速度，边缘曝光装置100通过驱动器(图2中示出)采集设置在显影装置入口外的基板传送装置200移动时发送的触发信号，在基板传送装置200带动基板300移动到边缘曝光装置100下方时，触发信号并会激活，并传送信号到边缘曝光装置100，此时通过程序配合边缘曝光装置100实现边缘曝光装置100对该移动的基板300进行预设的边缘区域进行曝光。

为了清楚说明边缘曝光装置100对基板的边缘的曝光过程，在一个具体的实施方式中，如图2所述，图2是本发明边缘曝光装置一实施方式的结构示意图。其中，该边缘曝光装置设置于显影装置的入口区。

本实施方式的边缘曝光装置包括：驱动器201，遮光板202以及曝光灯203。驱动器201分别与设置在显影装置入口外的基板传送装置以及遮光板202相连接，曝光灯203位于所述遮光板202的上方。

在本实施方式中，该驱动器201为伺服马达，在其他实施方式中，还可以为为其他驱动器，如伺服电机、步进电机等。

该曝光灯203为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，曝光灯源发出的光穿过边缘遮光板202的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。

该遮光板202上具有宽度可调的透光区域，通过驱动器201来控制边缘曝光遮光板202上的透光区域的宽度，从而实现对基板300的边缘曝光区域的宽度进行控制，进而完成对基板300上预设的边缘区域进行曝光。

在一个具体的实施方式中，驱动器201检测到基板传送装置200移动时，启动遮光板202以及曝光灯203。根据传送的基板300的类型来控制遮光板202的透光区域的打开面积。

具体地，由于面板的用途不同，一般裁切的尺寸也不同，因此所需曝光的遮光板的开口大小以及所光强也不同。且不同类型的基板所需曝光承担也不同。因此，驱动器在启动遮光板之前首先需要获取基板传送装置传送的基板的类型以及尺寸。其中，该基板的类型包括阵列基板、彩膜基板中的至少一种，在其他实施方式中也可以为其他需要边缘曝光的基板，在此不再赘述。

该尺寸可以为常规的大尺寸或小尺寸，还可以为特定的某个尺寸，在此不再限定。一般情况下，在曝光前，已经在驱动器中保存不同类型以及不同尺寸的基板对应的所需遮光板以及曝光灯的参数，以提高曝光效率。

在另一个实施方式中，驱动器进一步获取基板传送装置200的前进方向及速度，根据传送基板前进的方向和速度确定曝光灯的亮度以及遮光板的透光区域大小以及所处位置。例如，当传送装置带动基板传输速度较快时，可适当增大曝光灯的亮度，以加快曝光程度。通过上述过程，共同配合工作使得基板的预设边缘区域进行充分曝光。

在另一个实施方式中，为了控制曝光灯203发出光线的方向，还设置有灯罩，如图2所示的灯罩204，灯罩204设置设置在曝光灯203的上方，曝光灯203发出的光是向四周发散的，而需要照射的光线只有正下方，因此，通过灯罩204来吸收并遮挡曝光灯203向其他方向发出的光线。

进一步地，为了充分利用曝光灯203所发出的光线，同时还在灯罩的内表面至少部分设置有反射镜。反射镜可以是平面镜、凹面镜等，通过反射镜来控制曝光灯203的发光方向及强度，发射镜将曝光灯203向除了下方的其他方向发出的光线反射，通过反射镜的安装角度和位置，可以控制所有的光线最后都朝向下方发射，这样便充分利用了曝光灯203的所有光线，避免浪费。

其中，曝光装置100还包括开关(图中未示出)，开关分别于驱动器201以及遮光板202连接，驱动器201具体用于在检测到基板传送装置200移动时，根据传送的基板300的尺寸大小或/和功能类型控制遮光板的透光区域的打开面积，具体地，当边缘曝光预设区域来到曝光灯光线下时，曝光装置100通过控制开关的接通和断开来控制遮光板的透光区域，根据程序智能控制预设边缘曝光区域，当基板300完全通过后，即达到基板300的边缘曝光目的。

区别于现有技术，本发明指出提供一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，边缘曝光装置取代传统的边缘高光机，来实现边缘曝光的功能。本发明采用的边缘曝光装置结构简单、操作方便且精度高，相比传统的边缘曝光机机台，本发明的边缘曝光装置还具有成本低、维护容易、边缘曝光装置量产高及生产周期短等优点。

图3是本发明提供的一种边缘曝光方法一实施例的流程示意图。

本实施方式的边缘曝光方法包括：

301：边缘曝光装置通过驱动器采集设置在显影装置入口外的基板传送装置移动时发送的触发信号，其中，边缘曝光装置设置于显影装置的入口区。

边缘曝光装置通过驱动器来实时检测并控制基板传送装置的移动，基板传送装置带动基板朝着显影装置方向移动。其中，基板传送装置上安装有触发器，触发器通过程序控制，当基板到达预定位置时，触发触发器，此时驱动器便检测到该触发信号，做好边缘曝光的准备。

302：获取传送装置当前传送的基板的类型。

基板的类型包括基板的尺寸大小或功能类型中的至少一种。本实施例中的基板在进行边缘曝光之前已经设置好边缘曝光预设区域，驱动器获取基板的类型后，便得知了基板的边缘曝光预设区域，并配合触发器信号来共同控制驱动器进而控制遮光板来进行相应操作。

具体地，先将基板安装在基板传送装置上，通过程序智能控制基板传送装置的移动方向和速度，边缘曝光装置通过驱动器采集设置在显影装置入口外的基板传送装置移动时发送的触发信号，在基板传送装置带动基板移动到边缘曝光装置下方时，触发信号并会激活，并传送信号到边缘曝光装置，此时通过程序配合边缘曝光装置实现边缘曝光装置对该移动的基板进行预设的边缘区域进行曝光。

303：根据基板的类型控制遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对基板的预设边缘区域进行曝光。

当检测到基板的类型后，通过程序控制驱动器进而控制遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯发出的光线经过设置在曝光灯上的灯罩上的反射镜反射的光来对基板的预设边缘区域进行曝光，其中反射镜设置在灯罩的内表面，根据使用设计和加工需要，反射镜设置在灯罩的至少部分内表面，通过反射镜的类型和大小、设置位置，可以控制光线的强弱及照射方向及照射区域大小，因此，根据实际需要，以最快、最彻底曝光基板的预设边缘区域为准则来选择反射镜及类型、设置位置。

具体地，由于面板的用途不同，一般裁切的尺寸也不同，因此所需曝光的遮光板的开口大小以及所光强也不同。且不同类型的基板所需曝光承担也不同。因此，驱动器在启动遮光板之前首先需要获取基板传送装置传送的基板的类型以及尺寸。其中，该基板的类型包括阵列基板、彩膜基板中的至少一种，在其他实施方式中也可以为其他需要边缘曝光的基板，在此不再赘述

该曝光灯为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，曝光灯源发出的光穿过边缘遮光板的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。

该遮光板上具有宽度可调的透光区域，通过驱动器来控制边缘曝光遮光板上的透光区域的宽度，从而实现对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制，进而完成对基板上预设的边缘区域进行曝光。

区别现有技术，本发明指出提供一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，边缘曝光装置取代传统的边缘高光机，来实现边缘曝光的功能。本发明采用的边缘曝光装置结构简单、操作方便且精度高，相比传统的边缘曝光机机台，本发明的边缘曝光装置还具有成本低、维护容易、边缘曝光装置量产高及生产周期短等优点。

当基板完全通过曝光装置充分曝光完成后，基板传送装置就会关闭移动时发送的触发信号，根据所述触发信号关闭遮光板。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，所述边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，所述驱动器分别与设置在所述显影装置入口外的基板传送装置以及所述遮光板相连接，所述曝光灯位于所述遮光板的上方；

所述驱动器用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过所述曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

2.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置还包括灯罩，所述灯罩设于所述曝光灯的上方；所述灯罩的内表面至少部分设置有反射镜。

3.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述曝光装置还包括开关，所述开关分别与所述驱动器以及所述遮光板连接，所述曝光装置通过控制所述开关的通/断，控制所述遮光板的透光区域。

4.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述驱动器具体用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板的尺寸大小或/和功能类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，以对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

5.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述驱动器为伺服马达。

6.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述曝光灯为紫外光灯源。

7.一种边缘曝光方法，其特征在于，包括：

边缘曝光装置通过驱动器采集设置在显影装置入口外的基板传送装置移动时发送的触发信号；其中，所述边缘曝光装置设置于所述显影装置的入口区；

获取所述传送装置当前传送的基板的类型；

根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

8.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光的步骤具体包括：

根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积；

通过曝光灯发出的光以及，设置在所述曝光灯的灯罩上的反射镜反射的光对所述基板的预设边缘区域进行曝光；其中，所述反射镜设置在所述灯罩的至少部分内表面。

9.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述基板的类型包括基板的尺寸大小或功能类型中的至少一种。

10.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光的步骤之后还包括：

通过设置在显影装置入口外的基板传送装置关闭移动时发送的触发信号，根据所述触发信号关闭遮光板。