CN105556671A - 成像元件、成像设备以及生产设备和方法 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法，凭借该生产装置和方法，可以改善对有机膜的保护性能。根据本公开的图像拾取设备包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换，有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成，以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。本公开可应用于图像拾取设备、图像拾取装置、图像拾取设备的生产装置，等等。

Description

成像元件、成像设备以及生产设备和方法
技术领域
本公开涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法，更具体地，涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法，凭借该生产装置和方法，可以改善对有机膜的保护性能。
背景技术
自从过去以来，已存在通过化学气相沉积(CVD)或蒸汽沉积而在由有机材料形成的滤光层(有机膜)的表面沉积用于防止湿气渗入的无机膜的方法，该滤光层设置在光电转换设备上(见例如专利文献1和2)。
专利文献1：日本专利申请特开号Sho60-247202
专利文献2：日本专利申请特开号Hei5-283668
发明内容
本发明要解决的问题
然而，在相关技术的方法中，由于该滤光层的侧表面变得基本竖直于该膜，从而难以将该无机膜沉积在该滤光层的侧表面上。因此，该滤光层的侧表面露在外面，从而，担心湿气等从那个部分渗入该滤光层(有机膜)中，造成该滤光层(有机膜)的劣化。
例如，专利文献1的图2示出一种状态，其中，在作为有机膜的彩色层的侧表面上形成保护膜，但是该保护膜需要有一定量的厚度来获得抑制湿气等的渗入的效果。然而，在实际中，如上所述，担心难以通过CVD或蒸汽沉积而在竖直的侧表面上沉积无机膜，从而不能形成具有足够厚度的保护膜，且湿气等从那个部分渗入该彩色层(有机膜)中，造成该彩色层(有机膜)的劣化。
此外，例如，专利文献2的图1和2示出一种状态，其中，在作为有机膜的夹层膜等之上层压保护膜。然而，由于竖直的侧表面是露出的，湿气等从作为有机膜的该夹层膜的侧表面渗入，造成该夹层膜的劣化。
考虑上述情形，已作出本公开，且其旨在改善对有机膜的保护性能。
用于解决问题的手段
根据本公开的一个方面，提供了一种图像拾取设备，其包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换，有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成，以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。
该无机膜可以是抑制湿气或氧或它们两者的渗入的保护膜，且该有机膜的侧表面可以倾斜一角度，在该角度下通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为这样的厚度：凭借该厚度，可以获得作为保护膜的足够效果。
在该有机膜的周边部分中，该无机膜还可以通过被层压在与光入射表面相对的有机膜的表面上，或是被层压在更多地形成在该光入射表面的对侧的层上，而非被层压在与该有机膜的与该光入射表面相对的表面相接触的层上而形成。
该图像拾取设备还可以包括肋条(rib)，这些肋条通过被层压在该无机膜的光入射表面上而形成。
该图像拾取设备还可以包括由玻璃或树脂形成的透明层，该透明层通过被层压在该无机膜的光入射表面上和肋条上而形成。
该无机膜还可以通过被层压在与该光入射表面相对的有机膜表面上而形成。
该无机膜可以被形成为使得多个具有不同折射率的层被构造，且该有机膜的侧表面可倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为透射预定波长范围的入射光的厚度，或成为抑制该预定波长范围的入射光的透射的厚度。
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的透射波长特性可以不同于通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜的透射波长特性。
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜可以透射由该光电转换设备进行光电转换的波长范围，且通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜可以抑制由该光电转换设备进行光电转换的波长范围的透射。
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜可以透射波长范围的可见光，且通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜可以抑制该波长范围的可见光的透射。
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜厚度以及通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜厚度可以不同。
通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜厚度与通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜厚度之比可以等于或小于透过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的波长范围下限与该波长范围上限之比。
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的层数目可以不同于通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜的层数目。
根据本公开的另一个方面，提供了一种图像拾取装置，其包括：图像拾取设备，该图像拾取设备包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换，有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成，以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度；以及图像处理部，该图像处理部对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
根据本公开的另一个方面，提供了一种生产图像拾取设备的生产装置，该生产装置包括：光电转换设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；有机膜形成部，其通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成有机膜；有机膜处理部，其处理由有机膜形成部形成的有机膜，同时给予有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度；以及无机膜形成部，其通过将无机膜层压在有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
该无机膜形成部可以在同一步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的无机膜和层压在该有机膜的侧表面上的无机膜。
该无机膜形成部可以在不同步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的无机膜和层压在该有机膜的侧表面上的无机膜。
根据本公开的另一个方面，提供了用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，该方法包括：形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成有机膜；处理该形成的有机膜，同时给予有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度；以及通过将无机膜层压在有机膜的光入射表面和侧面上而形成密封该有机膜的无机膜。
根据本公开的另一个方面，提供了一种生产图像拾取设备的生产装置，该生产装置包括：图像拾取设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；肋条形成部，其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；无机膜形成部，其通过将无机膜层压在由肋条形成部形成的肋条所在的透明层表面上而形成无机膜；有机膜形成部，其通过将有机膜层压在由无机膜形成部层压于透明层上形成的无机膜上而形成有机膜；以及结合(bonding)部，其将由有机膜形成部层压在透明层上而形成的有机膜与由图像拾取设备形成部形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
根据本公开的另一个方面，提供了一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，其包括：形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；通过将无机膜层压在肋条所在的透明层表面上而形成无机膜；通过将有机膜层压在被层压于透明层上而形成的无机膜上而形成有机膜；以及将层压在透明层上而形成的有机膜与形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
根据本公开的一个方面，该图像拾取设备包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。
根据本公开的另一个方面，该图像拾取装置包括：图像拾取设备，该图像拾取设备包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换，有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成，以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度；以及图像处理部，该图像处理部对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
根据本公开的另一个方面，在生产图像拾取设备的生产装置中：形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；通过将有机膜层压在光电转换设备的光入射表面上形成该有机膜；处理该形成的有机膜，同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角，在该角度下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度；且通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
根据本公开的另一个方面，在生产图像拾取设备的生产装置中：形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；通过将无机膜层压在肋条所在的透明层表面上而形成无机膜；通过将有机膜层压在被层压于透明层上而形成的无机膜上而形成有机膜；以及将层压在透明层上而形成的有机膜与该形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
本发明的效果
根据本公开，可以显现一个目标，更具体地，可以改善防潮性能。
附图说明
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
[图1]示出图像拾取设备的局部结构实例的截面图。
[图2]示出图1的一部分的放大图。
[图3]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[图4]示出图像拾取设备的其他结构实例的截面图。
[图5]用于解释透射波长特性的例子的图。
[图6]用于解释透射波长特性设计的例子的图。
[图7]用于解释无机膜的结构实例的图。
[图8]用于解释无机膜的厚度实例的图。
[图9]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[图10]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[图11]示出生产装置的主要结构实例的框图。
[图12]用于解释生产处理流程的流程图。
[图13]用于解释生产步骤状态的实例的图。
[图14]示出生产装置的另一结构实例的框图。
[图15]用于解释生产处理流程的另一实例的流程图。
[图16]用于解释生产步骤状态的另一实例的图。
[图17]示出生产装置的另一结构实例的框图。
[图18]用于解释生产处理流程的另一实例的流程图。
[图19]用于解释生产步骤状态的另一实例的图。
[图20]用于解释图19之后的生产步骤状态的另一实例的图。
[图21]示出图像拾取装置的主要结构实例的框图。
具体实施方式
以下，将描述用于表现本公开的配置(以下称为具体实施方式)。应当注意，将按以下次序进行描述。
1.第一具体实施方式(图像拾取设备)
2.第二具体实施方式(生产装置)
3.第三具体实施方式(图像拾取装置)
<1.第一具体实施方式>
(对有机膜防潮的关注)
自过去以来，在某些情况下，在图像拾取设备中形成了由有机材料形成的层(以下也称为有机膜)。例如，有时提供作为红外截止滤波器的由有机材料形成的滤光层。已存在这样的担忧：当暴露在户外时，由于湿气、氧等的渗入，这样的有机膜会发生劣化。
在这方面，为防止湿气、氧等渗入这样的有机膜，已经考虑在有机膜的表面(有机膜和空气之间)上提供用于抑制湿气、氧等的透过的由无机材料形成的层(以下也称为无机膜)。这样的无机膜是例如通过CVD(化学气相沉积)或蒸汽沉积形成的。
然而，由于在以往的方法中，有机膜的侧表面变为基本上竖直的，因而难以将该无机膜沉积在该有机膜的侧表面上。在CVD的情形中，例如，包括原材料(在这种情况下为无机材料)的气体由热或光或等离子体增强在高频下进行激励，使得该原材料变成自由基，以变为高度反应性的，且被吸收和沉积在基底上。因此，至少难以控制其厚度，且极难确定地形成具有足够厚度的无机膜。结果，该有机膜的侧表面的一部分或全部被露出(包括无机膜厚度不够的情形)，且从而存在关于湿气、氧等从那个部分渗入该有机膜且使得该有机膜劣化的担忧。
<保护膜的具体例子>
作为如上所述的形成为用于抑制有机膜劣化的保护膜的无机膜的具体例子，在专利文献1和2中公开了保护膜。
专利文献1的图2示出一种状态，其中保护膜(无机膜)由作为有机膜的彩色层的侧表面上的透明金属氧化物膜形成。然而，在实际中，存在担忧，因为如上所述，难以在竖直的侧表面上沉积具有足够厚度的保护膜，湿气、氧等从那个部分渗入作为有机膜的该彩色层，使得该彩色层发生劣化。
此外，例如，专利文献2的图1和图2示出一种状态，其中在作为有机膜的夹层膜等之上层压保护膜(无机膜)。然而，由于如图1和2中所示该夹层膜的竖直侧表面暴露于外，存在关于湿气、氧等从该夹层膜的侧表面渗入该夹层膜，导致该夹层膜的劣化的担忧。
<有机膜侧表面的倾斜>
在这方面，图像拾取设备中形成的有机膜的侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度。此外，通过被层压在有机膜的光入射表面和侧表面上形成抑制湿气、氧等的渗入的无机膜，从而，有机膜被密封。
凭借这样的结构，也可能在有机膜的侧表面上形成具有足够厚度的无机膜，以足够地获得抑制湿气、氧等渗入有机膜的效果。换言之，可以改善对有机膜的保护性能。
<图像拾取设备>
图1为示出图像拾取设备的像素的主要结构实例的截面图，可以将本技术应用在该图像拾取设备中。图1中所示的附着有有机膜的图像拾取设备100为背照式CMOS(互补金属氧化物半导体)图像传感器，其拾取物体的图像，并获得电子信号形式的拾取图像。附着有有机膜的图像拾取设备100包括多个排列在平面上(如阵列中)的像素。在每个像素处，对入射光进行光电转换。作为截面图，图1示出与附着有有机膜的图像拾取设备100的光接收相关的部分的层压结构实例。在图1中，为方便描述起见，示意性地示出该层压结构。而且在图1中，简化或省略了未用于描述本技术的结构。
同样，在图2和之后的附图中，如同在图1中那样，适当地以示意的方式示出了用于描述本技术的必要的结构，且将简化或省略其他结构。
在图1中，来自物体的光在图形中从上向下进入附着有有机膜的图像拾取设备100。尽管在图1中被示意性地示出，但附着有有机膜的图像拾取设备100的像素数目是任意的。例如，一般假设几十万像素、几百万像素、几千万像素等规模，但像素的数目可以小于这些或可以是单个像素。
如图1中所示，附着有有机膜的图像拾取设备100包括图像拾取设备101、作为有机膜的、通过被层压在图像拾取设备101的光入射表面侧而形成的红外截止滤波器102、以及密封该红外截止滤波器102的防潮膜103。
该图像拾取设备101包括例如光电二极管(对入射光进行光电转换的光电转换设备)、布线层、平整膜(flatteningfilm)、滤色器、以及形成在硅基底上的、能够拾取物体的图像和获得拾取图像的会聚透镜。
由有机材料形成的、作为有机膜的实例的红外截止滤波器102是一种抑制红外光透过的滤光器。换言之，红外截止滤波器102对红外光进入图像拾取设备101(从图像拾取设备101的入射光中去除红外波长范围的成分)进行抑制。
尽管使用硅的光电转换设备在等于或大于人类的光谱光视效率特性的波长范围上具有灵敏度，通过在光入射表面侧提供红外截止滤波器102，能够去除不必要的近红外光，从而图像拾取设备101能获得接近人类的光谱光视效率特性的拾取图像。
应当注意，红外截止滤波器102可以抑制所有波长范围的红外光的透过，或抑制部分波长范围的红外光的透过。而且，其透射受到红外截止滤波器102的光不限于红外光，其可以是任何波长范围的光。例如，可以使用抑制具有约650nm至750nm的波长的可见光的透过的带阻滤波器。或者，例如可以使用仅透射具有约400nm至650nm的波长的可见光的带通滤波器。
红外截止滤波器102是由有机材料形成的有机膜，且易于被由于低的防潮性能导致的湿气渗入造成劣化(易于在光学上受到影响)。
防潮膜103是由无机材料形成的且通过被层压在红外截止滤波器102的表面(至少包括光入射表面和侧表面以密封红外截止滤波器102)上而形成的无机膜。该无机材料的例子包括氧化二银(I)(Ag2O)、氧化银(AgO)、三氧化二铝(Al2O3)、三氟化铝(AlF3)、二氟化钡(BaF2)、二氧化铈(IV)(CeO2)、三氧化二铬(III)(Cr2O3)、三硫化二铬(III)(Cr2S3)、三氟化钆(GdF3)、二氧化铪(IV)(HfO2)、氧化铟锡(ITO)、三氟化镧(LaF3)、铌酸锂(LiNbO3)、二氟化镁(MgF2)、氧化镁(MgO)、六氟铝酸钠(Na3AlF6)、五氧化铌(Nb2O5)、镍铬合金(Ni-Cr)、镍铬合金的氮化物(NiCrNx)、氧化氮(OxNy)、四氮化硅(SiN4)、氧化硅(SiO)、二氧化硅(SiO2)、五氧化二钽(Ta2O5)、三氧化二钛(Ti2O3)、五氧化三钛(Ti3O5)、氧化钛(TiO)、二氧化钛(TiO2)、三氧化钨(WO3)、三氧化二钇(Y2O3)、三氟化钇(YF3)、硫化锌(ZnS)、二氧化锆(ZrO2)、三氧化二铟(In2O3)，然而当然也可以使用其他材料。
以一厚度沉积防潮膜103，凭借该厚度，可以足够地抑制与红外截止滤波器102相关的湿气渗入。
<有机膜的侧表面>
图2为图1中被虚线104包围的部分(也即作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面附近的部分)的放大图。
在图2中，平整膜111为图像拾取设备101的结构，且为平整非平坦会聚透镜的表面的层。平整膜111为邻近红外截止滤波器102的与光入射表面相对的表面的层。
同样在图2中，双头箭头112指示其中形成红外截止滤波器102的光入射表面(图2中的上表面)的部分。而且，双头箭头113指示其中形成红外截止滤波器102的侧表面的部分。再者，双头箭头114指示其中不形成红外截止滤波器102的部分(红外截止滤波器102的周边部分)。
如图2中所示，红外截止滤波器102的光入射表面(由双头箭头112指示的部分)基本上形成为平面，同时基本平行于与光入射表面相对的表面(平整膜111的光入射表面)。而且，红外截止滤波器102的侧表面(由双头箭头113指示的部分)不是竖直的，且相对于与由双头箭头115指示的光入射表面相对的表面倾斜预定角度α。
将红外截止滤波器102的侧表面的角度α设置为这样的角度水平：在该角度水平下，层压在该侧表面(由双头箭头113指示的部分)上的防潮膜103的厚度117成为能够足够地抑制与红外截止滤波器102相关的湿气渗入的厚度。换言之，红外截止滤波器102的侧表面被倾斜一角度，在该角度下，防潮膜103(无机膜)的厚度117成为能够借以获得保护膜的足够效果的厚度(即能够获得足够的防潮效果)。
侧表面的角度α可以是任何角度，只要它是这样的角度：在该角度下，防潮膜103的厚度117成为能够借以获得保护膜的足够效果的厚度(即能够获得足够的防潮效果的厚度)。
例如，当侧表面的角度α为约90度或更多时，担心难以控制如上所述层压在该侧表面上的防潮膜103的厚度，结果是防潮膜103的厚度不够，且红外截止滤波器102不能获得足够的防潮效果。
在这方面，例如将红外截止滤波器102的侧表面的角度α设置为小于90度的角度。凭借这样的结构，能够沉积防潮膜103，使得红外截止滤波器102的侧表面上的防潮膜103的厚度117成为容易通过CVD、蒸汽沉积等方法获得的足够厚度。
应当注意，取决于角度α的大小，由CVD、蒸汽沉积等在相同条件下沉积的防潮膜103的厚度117不同。基本上，防潮膜103的厚度117随角度α的大小线性变化，且当角度α变得更大时该厚度倾向于变得更小，而当角度α变得更小时该厚度倾向于变得更大。此外，当角度α变得更大时，形成红外截止滤波器102的侧表面必需的面积自然地变得更小，且当角度α变得更小时该面积变得更大。
而且，如之后将描述的，存在在不同步骤中使用掩膜在由双头箭头113指示的部分处沉积防潮膜103以及在由双头箭头112和114指示的部分处沉积防潮膜103的方法，也存在在同一步骤中在由双头箭头112指示的部分处、在由双头箭头113指示的部分处、在由双头箭头114指示的部分处沉积防潮膜103的方法。在后一种方法的情况下，当红外截止滤波器102的侧表面的角度α变得更小时，红外截止滤波器102的侧表面(由双头箭头113指示的部分)上的防潮膜103的厚度117更接近红外截止滤波器102的光入射表面(由双头箭头112指示的部分)上的防潮膜103的厚度116或红外截止滤波器102的周边部分(由双头箭头114指示的部分)中的防潮膜103的厚度118。
考虑如上所述的倾向性，可以在一范围内任意地设置角度α，在该范围内，防潮膜103的厚度117变为能够获得保护膜的足够效果的厚度(即能够获得足够的防潮效果的厚度)。
换言之，以一厚度沉积防潮膜103，借此在由双头箭头112至114所指示部分中的任一部分中均能足够地抑制与红外截止滤波器102相关的湿气渗入。此时，由于红外截止滤波器102的光入射表面以及红外截止滤波器102的周边部分中的平整膜111的光入射表面被形成为基本相互平行，可以容易地获得足够的厚度116和厚度118。而且，如上所述，由于红外截止滤波器102的侧表面倾斜角度α，也可以容易地获得足够的厚度117。
应当注意，由于防潮膜103仅需要密封红外截止滤波器102，因此仅需通过将其层压在红外截止滤波器102的至少光入射表面和侧表面上而形成该防潮膜(即仅需要在由双头箭头112和113指示的部分处形成)。当然，如图2中所示，可以通过同样在红外截止滤波器102的周边部分(由双头箭头114指示的部分)中的平整膜111上层压来形成该防潮膜103。凭借这样的结构，对湿气从平整膜111与防潮膜103的夹层(interlayer)渗入红外截止滤波器102进行更为确定地抑制成为可能。
应当注意，只要象如上所述的角度α那样控制该倾斜角，则作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面可以是平坦表面或是弯曲表面。
<透明层与肋条>
如图3A中所示，附着有有机膜的图像拾取设备100可以还包括通过层压在防潮膜103的光入射表面上而形成的透明层124。透明层124由玻璃(如石英)、树脂等形成。
而且，可以在红外截止滤波器102的侧表面及其周边部分上，在防潮膜103和透明层124之间形成肋条125。图3B示出由图3A的虚线126包围的部分的放大图。
如图3B中的虚线箭头127所指示的，湿气一般易于在透明层124和肋条125之间渗入。然而，如上所述，同样在红外截止滤波器102的侧表面102S上，以一厚度形成防潮膜103，凭借该厚度能获得足够的防潮效果。因此，在附着有有机膜的图像拾取设备100中，可以通过防潮膜103来抑制已渗入的湿气进入红外截止滤波器102(有机膜)。
<周边部分的防潮膜>
应当注意，如图4A中所示，红外截止滤波器102的周边部分中的平整膜111的光入射表面(层压有防潮膜103的表面)可以是平坦表面，或是如图4B和4C中所示可以包括凹陷和突起。
<基于侧表面厚度的光特性控制>
如上所述，通过将红外截止滤波器102的侧表面倾斜角度α，如图5A中所示，光也可以从侧表面进入。然而，由于侧表面的角度不同于光入射表面的角度，且红外截止滤波器102的各厚度也不同，从侧表面进入的光和从光入射表面进入的光很有可能在光学特征上不同。换言之，当试图使得从侧表面进入的光进入光电转换设备以被进行光电转换时，担心入射光的光学特征将在光电转换从侧表面进入的光的像素和光电转换从光入射表面进入的光的像素之间有所不同，从而造成拾取图像的图像质量下降。因此，希望红外截止滤波器102(有机膜)的侧表面的位置处于有效像素区域之外。
而且，即使在这样的情况下，尽管如箭头131所指示的进入侧表面的光如箭头132A所指示的在防潮膜103的表面上发生部分反射，如箭头132B所指示的另一部分进入红外截止滤波器102(有机膜)，并到达图像拾取设备101。该入射光到达该光电转换设备，同时重复红外截止滤波器102和图像拾取设备101的光入射表面(平整膜111的光入射表面)之间的夹层上的反射以及红外截止滤波器102(有机膜)和防潮膜103(无机膜)之间的夹层上的反射，且有时表现为拾取图像中的重影(ghost)和耀斑(flare)之类的噪声。
在这方面，防潮膜103由多个具有不同折射率的层(将防潮膜103构造为多层结构)组成，以透射希望波长范围的光。此外，如图5B中所示，区分了红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)的一部分处的防潮膜103A的厚度135和红外截止滤波器102的侧表面的一部分处的防潮膜103B的厚度136。
更具体地，将厚度135设置为这样的厚度，使得凭借该厚度红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)的一部分处的防潮膜103A透射希望波长范围的光(如可见光)，且将厚度136设置为这样的厚度，使得凭借该厚度红外截止滤波器102的侧表面的一部分处的防潮膜103B抑制该波长范围的光(如可见光)的透射。
如图5B中所示，当防潮膜103A的层数与防潮膜103B的层数相同时，由于膜的厚度不同，这些层的厚度也不同，结果是透射谱特性不同。换言之，在这种情况下，通过控制层压在作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面上的防潮膜103B的厚度，能够控制要透过的波长范围和要抑制其透过的波长范围(透射谱特性)。
例如，也可能使通过被层压在有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射由该光电转换设备进行光电转换的波长范围，以及使通过被层压在有机膜的侧表面上而形成的无机膜抑制由该光电转换设备进行光电转换的波长范围的透射。凭借这样的结构，可以抑制从有机膜的侧表面进入的入射光对光电转换的影响，以及抑制由图像拾取设备101获得的拾取图像的图像质量下降。
更具体地，例如，也可能使通过被层压在有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射一波长范围的可见光，且使通过被层压在有机膜的侧表面上而形成的无机膜抑制该波长范围的可见光的透射。
例如，在防潮膜103A(上表面)上，提供多层膜，如图5C的实线137所指示的，该多层膜透射具有400nm至650nm波长的可见光，去除具有400nm或更少波长的紫外光和具有650nm至1200nm的波长的近红外光。相比之下，在防潮膜103B(侧表面)上，提供通过将多层膜的每一层厚度变薄为约60％而获得的多层膜。由于多层膜的原理是层压具有1/4波长的厚度、具有不同折射率、且通过多重干涉(multipleinterference)来反射希望的波长带的各层，该多层膜的厚度与该波长成比例。
换言之，例如，当防潮膜103B的多层膜被变薄为防潮膜103A的约60％时，如图5C中的虚线138所指示的，获得至少去除390nm至720nm的波长范围内的光的谱透射特性。相应地，如图5A的箭头133和134所指示的，进入防潮膜103B(侧表面)的、处于390nm至720nm的波长范围内的可见光不能透过作为有机膜的红外截止滤波器102，且在防潮膜103的表面上被反射。
因此，减少了从红外截止滤波器102的侧表面进入且到达图像拾取设备101的光电转换设备的可见光数量。换言之，减少由图像拾取设备101获得的拾取图像中的重影和耀斑成为可能，也即，能够抑制拾取图像的图像质量下降。
<防潮膜的厚度>
如图6A中所示，作为有机膜的红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)上的作为无机膜的防潮膜103A的厚度以A表示。此外，如图6B中所示，作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面上的作为无机膜的防潮膜103B的厚度以B表示。此外，如图6C中所示，透过作为有机膜的红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)上的作为无机膜的防潮膜103A的波长的下限以C表示，且其上限以D表示。
在这种情况下，可以通过以下表达式(1)或(2)计算防潮膜103B的厚度B。
B≈C/D*A...(1)
或
B<C/D*A...(2)
具体地，可以将通过被层压在有机膜的侧表面上而形成的无机膜的厚度与通过被层压在有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的厚度之比设置为等于或小于透过通过被层压在有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的波长范围的下限波长与该波长范围的上限波长之比。
而且，相对于上表面层压厚度，可以将侧表面层压厚度设置为通过将透射可见光的最短波长除以去除红外光的最短波长所得的比的10点宽度内。
例如，当透射带为400nm至650nm，且剩余的带为去除带时，以A表示上表面层压厚度，将侧表面层压厚度设置为约0.615A(0.615＝400/650)且不必严格地为0.62A。0.615A或更少的侧表面层压厚度能截止400nm或更多，所以能极端地将其设置为0.2A。而且，0.6A的侧表面层压厚度能截止390nm或更多，且0.64A的侧表面层压厚度能截止420nm或更多。
<侧表面透射波长范围的控制>
而且，如上所述，通过随防潮膜103A的厚度改变防潮膜103B的厚度，能够将透过红外截止滤波器102的侧表面的波长范围移离透过光入射表面的波长范围。
例如，当相对于防潮膜103A的厚度使防潮膜103B的厚度变薄时，能够更多地在短波长侧移动透过红外截止滤波器102的侧表面的波长范围。如果是为了抑制可见光的透射的目的，仅需使防潮膜103B的厚度变得比当透过红外截止滤波器102的侧表面的波长范围上限成为可见光波长范围下限时的厚度薄。
相反，当相对于防潮膜103A的厚度使防潮膜103B的厚度变厚时，能够更多地在长波长侧移动透过红外截止滤波器102的侧表面的波长范围。如果是为了抑制可见光的透射的目的，仅需使防潮膜103B的厚度变得比当透过红外截止滤波器102的侧表面的波长范围下限成为可见光波长范围上限时的厚度厚。
应当注意，由于该多层膜的谱透射特性具有入射角依赖性，必须在提供多层膜的同时考虑防潮膜103B(侧表面)的可预先假定的倾斜角以及光束的入射角。
<基于侧表面层数的光特性控制>
应当注意，例如如图7中所示，也可以通过控制层压在作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面上的防潮膜103B的层数来控制透射的波长范围以及透射被抑制的波长范围(透射谱特性)。
之后将描述使用掩膜在不同步骤中实现在作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面上形成防潮膜103(无机膜)以及在红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)上形成防潮膜103(无机膜)(包括在红外截止滤波器102的周边部分中形成防潮膜)，能够彼此独立地设置光入射表面(上表面)上的防潮膜103A的层数和侧表面上的防潮膜103B的层数。
如图7中所示，当防潮膜103A的厚度和防潮膜103B的厚度(厚度139)相同时，如果层数不同，这些层的厚度也将不同。因此，如同在上述的控制厚度的情形中，通过控制层数，能够控制透过侧表面的光的波长范围。例如，可以抑制透过红外截止滤波器102的光入射表面的波长范围的光再透过红外截止滤波器102的侧表面。因此，可以抑制由图像拾取设备101获得的拾取图像的图像质量下降。
<厚度控制实例>
应当注意，如图8A中所示，可以将红外截止滤波器102的侧表面上的防潮膜103的厚度117制成比红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)的部分处的防潮膜厚度116和红外截止滤波器102的周边部分处的防潮膜厚度118薄，或者如图8B中所示，可以将该厚度117制成比厚度116和厚度118厚。
<周边部分中的防潮膜>
应当注意，尽管已结合图2给出关于通过将防潮膜103层压在一个层(该层(平整膜111)邻近红外截止滤波器102的与红外截止滤波器102的周边部分中的光入射表面相对的表面)上来形成防潮膜103的说明，也可以将防潮膜103层压在比该图中所示的层低的层上。换言之，可以通过将防潮膜103层压在更多地形成于光入射表面的另一侧的层上，而非将其层压在邻近红外截止滤波器102的与作为有机膜的红外截止滤波器102的周边部分中的光入射表面相对的表面的层(平整膜111)上来形成该防潮膜(无机膜)。
例如，如图9中所示，存在其中在红外线截止滤波器102的周边部分中形成用于连接该附着有有机膜的图像拾取设备100的布线层以及该附着有有机膜的图像拾取设备100的外侧的电极的情形。在图9所示的实例中，电极142-1形成在由虚线141-1包围的红外截止滤波器102的周边部分中。此外，电极142-2形成在由虚线141-2包围的红外截止滤波器102的周边部分中。在以下的描述中，除非需要区分电极142-1与142-2，将会把这些电极简称为电极142。
在这样的情况下，蚀刻红外截止滤波器102的周边部分，使电极142露出。换言之，通过将防潮膜103层压在更多地形成于光入射表面的另一侧的层(更具体地，其上形成电极142的层)上，而非将其层压在与有机膜的相对于光入射表面的表面接触的层(平整膜111)上，来形成防潮膜103。
凭借这样的结构，能够将防潮膜103沉积在不同于电极142的部分处，同时电极142露出，结果是能更确定地抑制红外截止滤波器102的湿气渗入。
应当注意，使电极露出的方法是任意的。而且，在这种情况下，如图3中的情形，附着有有机膜的图像拾取设备100可以包括通过被层压在防潮膜103的光入射表面上而形成的透明层124。透明层124例如由玻璃(如石英)或树脂形成。此外，可以在防潮膜103和透明层124之间、在红外截止滤波器102的侧表面上或其周边部分中形成肋条125。
<多层防潮膜>
而且，可以将防潮膜103形成为多个层。换言之，可以层压多个防潮膜103。例如，如图10的实例中所示，可以通过将防潮膜143层压在红外截止滤波器102的与光入射表面相对的表面上来形成该防潮膜143。
防潮膜143为保护膜(无机膜)，其由无机材料形成，且保护作为有机膜的平整膜(图中的画斜线部分)，在图中形成于图像拾取设备101的上方。防潮膜143为与上述的防潮膜103类似的无机膜，保护该平整膜，且抑制湿气渗入该平整膜。换言之，以一厚度沉积防潮膜143，借此可以足够的抑制湿气渗入该平整膜。
防潮膜143可以具有与如图2的实例等所示的防潮膜103类似的单层结构，或可以具有与如图5B的实例等所示的防潮膜103类似的多层结构。在图10的实例中，防潮膜143与防潮膜103可以具有相同结构或是可以具有不同结构。而且，其厚度可以相同或不同。
如图10中所示，在图中红外截止滤波器以及防潮膜103层压在这样的防潮膜143上方。换言之，红外截止滤波器102形成于防潮膜103和防潮膜143之间，且红外截止滤波器102的所有表面完全由防潮膜103和防潮膜143密封。因此，防潮膜143能进一步抑制湿气渗入红外截止滤波器102。
<阻氧膜>
迄今为止，已作为由无机材料形成的无机膜的实例来描述防潮膜103，但是该无机膜可以是任何膜，只要其是形成为保护有机膜的保护膜的层。例如，该无机膜可以是阻氧膜(氧阻隔物)，其例如抑制氧渗入作为保护对象的有机膜。而且，例如，该无机膜可以是抑制湿气和氧两者渗入(具有防潮和阻氧两方面效果)的保护膜。换言之，该无机膜可以包括作为防潮膜和阻氧膜两方面功能。
类似红外截止滤波器102的有机膜对氧的阻隔低，且易于因为氧渗入的缘故而劣化(易于受到光学上的影响)。因此，通过将阻氧膜层压在红外截止滤波器的表面(至少包括光入射表面和侧表面)上形成该阻氧膜(无机膜)以密封红外截止滤波器102，能够抑制由于氧渗入的缘故导致的红外截止滤波器(有机膜)的劣化。
换言之，如上所述作为有机膜的保护膜的防潮膜103可以不仅包括抑制湿气渗入作为保护对象的有机膜(防潮)，也包括抑制氧渗入作为保护对象的有机膜(阻氧)。在这种情况下，希望防潮膜103的厚度为这样的厚度，凭借该厚度，能获得作为保护膜的足够效果。此外，能获得足够的阻氧效果的厚度一般大于能获得足够的防潮效果的厚度。换言之，在这种情况下，红外截止滤波器102的侧表面倾斜一角度，在该角度下，防潮膜103(无机膜)的厚度117成为能获得足够的阻氧效果的厚度。而且，通过该倾斜，以一厚度形成该防潮膜103，由此能获得足够的阻氧效果。
<效果>
如迄今为止所述，在附着有有机膜的图像拾取设备100的情形中，能通过以无机保护膜覆盖作为有机膜的滤光器来提高对滤光器(有机膜)的保护性能。而且，由于将该无机保护膜设置为靠近图像拾取像素，同时其设置有多层膜滤光器的功能以执行谱修正，因而能够改善重影耀斑性能。
应当注意，减少重影耀斑的原理为，一般的，当在图像拾取光通道中提供多层膜形式的红外截止滤波器时，由图像拾取设备表面反再次到达射的光到达红外截止滤波器，以被再次反射和再次到达图像拾取设备的表面。如果将图像拾取设备和红外截止滤波器设置为相互分开，由于往复反射的缘故，首次进入图像拾取设备的光在位置上大幅偏离，且这被识别为重影和耀斑。然而，当将相同的红外截止滤波器设置为靠近图像拾取设备时，由于往复反射造成的位置偏离成为可忽略的数量(1个像素或更少至约几个像素)，以至于不被识别为重影或耀斑，且被识别为点图像的模糊表现。
通过将作为有机膜的红外截止滤波器102的侧表面的谱透射特性改变为例如去除可见光的特性，可见光透过光入射表面(上表面)以被成像，且能够减少由来自侧表面的入射光造成的重影和耀斑。
而且，也当同时层压作为有机膜的红外截止滤波器102的光入射表面(上表面)和侧表面时，由于侧表面上的无机膜(防潮膜103)的多层膜的每一层的厚度随光入射表面(上表面)的多层膜厚度成比例变薄，使得光入射表面(上表面)的红外截止波长带被移开，且可见光入射成分被反射而减少(由于纹波的缘故，未被完全反射，但大部分被反射)。
而且，当将玻璃基底271与图像拾取设备101进行连接时，即使存在外部冲击或类似情形，肋条能如同缓冲器一样吸收该冲击。或者，由于肋条阻止了开裂，该开裂不影响防潮膜。由于将多层膜滤光器设置为靠近图像拾取像素，同时其能执行谱修正，因而能够改善红色重影耀斑特性。由于滤光器的多层膜上不存在玻璃，可以将光学系统做得较薄。通过该多层膜，来自侧壁的可见光入射成分被反射减少。
迄今为止，已使用红外截止滤波器102作为由有机材料形成的有机膜的例子进行说明。然而，将由无机膜保护的有机膜可以是任何膜，只要其是由有机材料形成的层。而且，有机膜的形状可以是任何形状，只要它具有如上所述的光入射表面和侧表面。例如，可以仅在有效像素区域的一部分中或是可以在像素单元中形成该有机膜。
<2.第二实施方式>
<生产装置>
接下来，将描述如上所述的附着有有机膜的图像拾取设备100的生产。
作为附着有有机膜的图像拾取设备100的生产方法，存在在同一步骤中形成层压在有机膜的光入射表面上的一部分无机膜以及形成层压在侧表面上的一部分无机膜的方法。例如，也存在使用掩膜在不同步骤中形成层压在有机膜的光入射表面上的一部分无机膜以及形成层压在侧表面上的一部分无机膜的方法。此外，存在通过将无机膜等层压在由玻璃(如石英)、树脂等形成的透明层上形成该无机膜以及将该结构与图像拾取设备连接来生产附着有有机膜的图像拾取设备100的方法。
<同一步骤情形下的生产装置>
首先，将说明在同一步骤中形成层压在有机膜的光入射表面上的一部分无机膜以及层压在侧表面上的一部分无机膜的方法。
图11为示出生产装置的主要结构实例的框图，该生产装置生产应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图像传感器)。图11中所示的生产装置200包括控制部201和生产部202。
控制部201包括例如CPU(中央处理单元)、ROM(只读存储器)、RAM(随机存取存储器)，其控制生产部202的相应部分，并执行与附着有有机膜的图像拾取设备100的生产有关的控制处理。例如，控制部201的CPU根据存储在ROM中的程序执行各种类型的处理。该CPU也根据从存储部213装载到RAM的程序执行各种类型的处理。该RAM也酌情存储对该CPU执行各种类型的处理而言必要的数据。
在控制部201的控制下，生产部202执行与附着有有机膜的图像拾取设备的生产相关的处理。生产部202包括光电二极管形成部231、布线层形成部232、遮光膜形成部233、平整膜形成部234、滤波器形成部235、会聚透镜形成部236、有机膜形成部241、有机膜处理部242、无机膜形成部243、以及切割部244。
光电二极管形成部231在硅基底上形成光电二极管(光电转换设备)。布线层形成部232在该硅基底的与光入射表面相对的表面上(图1的下侧)形成布线层(未示出)。遮光膜形成部233形成遮光膜。平整膜形成部234形成平整膜。滤波器形成部235形成滤色器。会聚透镜形成部236形成会聚透镜。
有机膜形成部241形成有机膜。有机膜处理部242处理由有机膜形成部241形成的有机膜的侧表面，且使得该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度。
无机膜形成部243通过CVD或蒸汽沉积的方法形成无机膜，以密封该有机膜。此时，无机膜形成部243通过在同一步骤中将无机膜层压在有机膜的光入射表面和侧表面两者上形成该无机膜。
切割部244将附着有有机膜的图像拾取设备100切割成各个个体的片。
光电二极管形成部231至切割部244由控制部201控制，且执行用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的步骤处理，如之后所述。
而且，生产装置200包括输入部211、输出部212、存储部213、通信部214、以及驱动器215。
输入部211由键盘、鼠标、触摸屏、外部输入终端等组成，其接受用户指令和外部信息的输入，且将它们提供给控制部201。输出部212由诸如CRT(阴极射线管)显示器和LCD(液晶显示器)的显示器、扬声器、外部输出终端等组成，其将控制部201提供的各种类型的信息输出为图像、音频、模拟信号和数字数据。
存储部213包括诸如闪存、SSD(固态硬盘)、硬盘的任意存储介质，其存储控制部201提供的信息，且根据来自控制部201的请求读出和提供存储的信息。
通信部214由有线LAN(局域网)和无线LAN的接口或调制解调器组成，且经由包括互联网的网络执行与外部设备的通信处理。例如，通信部214将控制部201提供的信息发送给通信对应体，或将从通信对应体接收的信息提供给控制部201。
驱动器215根据需要连接到控制部201。而且，根据实际情况将诸如磁盘、光盘、磁光盘和半导体存储器的可移除存储介质221装入驱动器215。之后，根据需要，将经由驱动器215从可移除介质221读出的计算机程序安装在存储部213中。
<在同一步骤情况下的生产处理流程>
参见图12的流程图，将描述在这种情况下由生产装置200执行的、用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的生产处理流程的例子。
随着该生产处理的启动，在控制部201的控制下，在步骤S201中，光电二极管形成部231为每个像素在从外部提供的硅基底上形成光电二极管(光电转换设备)。
在步骤S202中，布线层形成部232在控制部201的控制下形成布线层(未示出)，该布线层包括使用诸如铜和铝的金属的多层布线，且将该布线层层压在硅基底的与其上已形成光电二极管的光入射表面相对的表面上(图1中的下侧)。
在步骤S203中，在控制部201的控制下，遮光膜形成部233在该硅基底的像素周向部分处形成遮光膜。
在步骤S204中，在控制部201的控制下，平整膜形成部234形成平整膜，同时将其层压在硅基底上，其上已形成遮光膜。
在步骤S205中，在控制部201的控制下，滤波器形成部235形成滤色器，同时将其层压在平整膜上。
在步骤S206中，在控制部201的控制下，会聚透镜形成部236形成会聚透镜，同时将其层压在滤色器上。
如上所述，形成图像拾取设备101的结构如图13A中所示。应当注意，图像拾取设备101的结构是任意的，且其生产方法也不限于上述的例子。
在步骤S207中，在控制部201的控制下，有机膜形成部241通过旋涂法等在图像拾取设备101的光入射表面上形成有机膜(红外截止滤波器102)(图13B)。
在固化该有机膜后，在步骤S208中，在控制部201的控制下，有机膜处理部242通过蚀刻等处理在步骤S207中形成的有机膜(红外截止滤波器102)，且为每个图像拾取设备形成有机膜(红外截止滤波器102A至102C)，在这些有机膜中，侧表面倾斜预定角度α(图13C)。
在步骤S209中，在控制部201的控制下，无机膜形成部243通过CVD、蒸汽沉积等方法从该有机膜的光入射表面侧起以一厚度形成无机膜(防潮膜103)，凭借该厚度能获得足够的防潮效果，以便密封通过步骤S207和S208的处理生成的每个图像拾取设备的有机膜(红外截止滤波器102A至102C)(图13D)。
换言之，在该步骤中，不使用掩膜，无机膜形成部243在有机膜(红外截止滤波器102A至102C)的光入射表面和侧表面两者上形成无机膜(防潮膜103)。
如第一实施方式中所述，该无机膜(防潮膜103)可以具有单层结构或多层结构。而且，如以上结合图5至7所述，当控制该有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面的透射波长范围时，如以上在第一实施方式中所述的控制层压在该有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面上的那个部分的厚度。
在步骤S210中，在控制部201的控制下，切割部244将如上述生成的结构切割成个体的附着有有机膜的图像拾取设备(附着有有机膜的图像拾取设备100A至100C)(图13E)。
在结束步骤S210的处理时，将这些个体的附着有有机膜的图像拾取设备提供给生产装置200的外部设备，且该生产处理结束。
通过如上所述执行生产处理，生产装置200能生成应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图1)。换言之，通过进行如上所述的生产，能够由该无机膜确定地密封该有机膜的各层，且能够改善对该有机膜的保护性能。
<分开步骤情况下的生产装置>
接下来，将描述在不同的步骤中在有机膜的光入射表面上层压一部分无机膜和在侧表面上层压一部分无机膜的方法。
图14为示出生产装置的主要结构实例的框图，该生产装置生产应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图像传感器)。在图14中，生产装置200基本上具有与图11中所示的实例结构类似的结构。
应当注意，在图14的情形中，提供上表面无机膜形成部251和侧表面无机膜形成部252来取代图11中所示的生产装置202的无机膜形成部243。
使用掩膜，上表面无机膜形成部251仅在有机膜(红外截止滤波器102)的光入射表面(上表面)上形成无机膜。
此外，使用掩膜，侧表面无机膜形成部252仅在有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面上形成无机膜。
换言之，在不同的步骤中，上表面无机膜形成部251和侧表面无机膜形成部252形成层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上的无机膜。
其他结构与图11中的相应结构相同。如之后将描述的，在控制部201的控制下，光电二极管形成部231至切割部244、上表面无机膜形成部251、侧表面无机膜形成部252执行用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的步骤处理。
<分开步骤情况下的生产处理流程>
参见图15的流程图，将描述在这种情况下由生产装置200执行的用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的生产处理流程。
与图12中的步骤S201至S208的处理类似地执行图15的情形中步骤S231至S238的处理。因此，例如，通过步骤S231至S236的处理生产图像拾取设备101，如图16A中所示，通过步骤S237的处理形成有机膜，如图16B中所示，且通过步骤S238的处理形成具有倾斜预定角度α的侧表面的每个图像拾取设备的有机膜(红外截止滤波器102A至102C)，如图16C中所示。
在步骤S239中，在控制部201的控制下，上表面无机膜形成部251掩蔽这些有机膜的侧表面，且通过CVD、蒸汽沉积等方法以能够获得足够防潮效果的厚度形成每个无机膜(防潮膜103A至103E)，使得这些无机膜被层压在这些有机膜的光入射表面(上表面)以及这些有机膜的周边部分上(图16D)。
如第一实施方式中所述，该无机膜(防潮膜103)可以具有单层结构或多层结构。应当注意，在沉积这些无机膜后，去除了这些有机膜的侧表面上的掩膜。
在步骤240中，在控制部201的控制下，侧表面无机膜形成部252掩蔽这些有机膜的光入射表面(上表面)和这些有机膜的周边部分，且通过CVD、蒸汽沉积等方法以能够获得足够防潮效果的厚度形成每个无机膜(防潮膜103F至103J)，使得这些无机膜被层压在这些有机膜的侧表面上(图16E)。
该无机膜(防潮膜103)可以如第一实施方式中所述具有单层结构或多层结构。应当注意，在沉积这些无机膜后，移除了这些有机膜的侧表面上的掩膜。而且，如以上结合图5至7所述的，当控制有机膜(红外截止滤波器102)的透射波长范围时，如以上在第一实施方式中所述的来控制层压在有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面上的部分的厚度或层数。
应当注意，在沉积这些无机膜后，移除了这些有机膜的光入射表面(上表面)和这些有机膜的周边部分上的掩膜。
在步骤S241中，在控制部201的控制下，如步骤S210中那样，切割部244将如上所述生产的结构切割成各个个体的附着有有机膜的图像拾取设备(附着有有机膜的图像拾取设备100A至100C)(图16F)。
通过如上所述执行生产处理，生产装置200能生成应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图1)。换言之，通过如上所述进行生产，能够由无机膜确定地密封有机膜的各个层，且能够改善对有机膜的保护性能。
应当注意，如在本实例中一样，在不同步骤中，通过形成层压在有机膜的光入射表面和周边部分上的无机膜的各部分，以及层压在侧表面上的无机膜的各部分，可以如第一实施方式中所述相互独立地设置每个部分处的有机膜的层数。例如，能够将层压在有机膜的侧表面上的无机膜的层数与层压在有机膜的光入射表面和周边部分上的无机膜的层数进行区分。因此，可以更为自由地设置层压在有机膜的侧表面上的无机膜的谱透射特性。
<当连接透明层与图像拾取设备时的生产装置>
接下来，将描述连接透明层和图像拾取设备的方法。
图17为示出生产应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图像传感器)(如图3)的生产装置的主要结构实例的框图。同样在图17的情形中，生产装置200基本上具有与图11中的生产装置类似的结构。
应当注意，在图17的情形中，提供肋条形成部261、无机膜形成部262、有机膜形成部263、胶施加部264、结合部265、布线形成部266、以及切割部267，它们取代了如图11中所示的有机膜形成部241至切割部244。
肋条形成部261在防潮膜103和透明层124之间形成肋条125。无机膜形成部262形成作为防潮膜103的由无机材料形成的无机膜，该防潮膜103密封作为有机膜的红外截止滤波器102。有机膜形成部263形成由有机材料形成的作为有机膜的红外截止滤波器102。胶施加部264将用于结合透明层124和图像拾取设备101的胶施加到其上形成有肋条125、防潮膜103、红外截止滤波器102等的透明层124上。结合部265将已施加有胶的透明层124的该表面与图像拾取设备101的光入射表面相结合。布线形成部266形成端子、通孔等。切割部267将附着有有机膜的图像拾取设备100切割成个体的图像拾取设备。
之后将描述在控制部201的控制下，光电二极管形成部231至切割部267执行用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的步骤的处理。
<在结合透明层与图像拾取设备情况下的生产处理流程>
参见图18的流程图，将描述在这种情况下由生产装置200执行的用于生产附着有有机膜的图像拾取设备100的生产处理流程。
类似于图12的步骤S201至S206的处理来执行图18的情形中步骤S261至S266的处理。
在步骤S267中，在控制部201的控制下，肋条形成部261在不欲形成有机膜(红外截止滤波器102)的玻璃基底271的部分(如图19A中所示)上通过光刻形成肋条125(如图19B中的肋条125A和125B)。此时，肋条形成部261使得肋条125的侧表面倾斜预定角度α，使得有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面倾斜该预定角度α。
在步骤S268中，在控制部201的控制下，通过CVD、蒸汽沉积等方法，无机膜形成部262在形成有肋条125的玻璃基底271上以一能获得足够的防潮效果的厚度形成无机膜(防潮膜103)，以密封该有机膜(图19C)。如第一实施方式中所述该无机膜(防潮膜103)可以具有单层结构或多层结构。而且，如以上结合图5至7所述，当控制有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面的透射波长范围时，如以上在第一实施方式中所述控制层压在有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面的部分的厚度或层数。
在步骤S269中，在控制部201的控制下，有机膜形成部263通过旋涂等方法在其上形成有肋条125和防潮膜103的玻璃基底271上形成有机膜(红外截止滤波器102)。如上所述，由于肋条125A和125B的侧表面倾斜预定角度α，通过被层压在肋条125上而形成的有机膜(红外截止滤波器102)的侧表面也倾斜该预定角度α(图19D)。
之后，如上所述，其上形成有肋条125、无机膜(防潮膜103)、以及有机膜(红外截止滤波器102)的玻璃基底271与通过步骤S261至S266的处理而形成的图像拾取设备101相结合(图19E)。
因此，当固化该有机膜时，在步骤S270中，在控制部201的控制下，胶施加部264将胶273施加到有机膜(红外截止滤波器102)的表面上(图19D的上侧)(图20A)。
在步骤S271中，在控制部201的控制下，结合部265定位其上已施加胶的玻璃基底271的该表面与图像拾取设备101的光入射表面，并将它们进行结合(图20B和20C)。
在将胶固化以及将玻璃基底271与图像拾取设备101集成在一起后(图20D)，在步骤S272中，在控制部201的控制下，布线形成部266形成端子和通孔，或抛光图像拾取设备101的背表面。
在步骤S273中，在控制部201的控制下，切割部267将如上述生产的结构切割为各个个体的附着有有机膜的图像拾取设备(附着有有机膜的图像拾取设备100A至100C)(图20E)。
在步骤S273的处理结束时，将这些个体的附着有有机膜的图像拾取设备提供给生产装置200的外部设备，且该生产处理结束。
通过如上述执行生产处理，生产装置200能生成应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100(图3)。换言之，通过如上述进行生产，能够由无机膜确定地密封该有机膜的各层，且能改善对该有机膜的保护性能。
应当注意，同样在当结合该玻璃基底与该图像拾取设备时，可以在同一步骤或不同步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面或周边部分上的无机膜以及层压在该有机膜的侧表面上的无机膜。
而且，如上所述，在将玻璃基底271结合到图像拾取设备101后，可以仅移除玻璃基底271。凭借这样的结构，能够降低该附着有有机膜的图像拾取设备100的高度。
<3.第三实施方式>
<图像拾取设备>
能够将通过应用本技术生产的附着有有机膜的图像拾取设备100(图像传感器)应用于诸如图像拾取设备的装置。换言之，不仅能将本技术实施为图像拾取设备，也能将其实施为使用该图像拾取设备的装置(如图像拾取设备)。
图21为示出该图像拾取设备的主要结构实例的框图。图21中所示的图像拾取设备600为拾取物体的图像且将该物体的图像输出为电信号的设备。
如图21中所示，图像拾取设备600包括光学部611、CMOS(互补金属氧化物半导体)传感器、模数转换器613、操作部614、控制部615、图像处理部616、显示部617、编解码器处理部618、以及记录部619。
光学部611由镜头、光圈、快门等组成，该镜头相对于物体调节焦点和采集来自聚焦位置的光，该光圈调节曝光，该快门控制图像拾取时机。光学部611透射来自物体的光(入射光)，且将该光提供给CMOS传感器612。
CMOS传感器612光电转换该入射光，且提供每个像素的信号(像素信号)给模数转换器613。
模数转换器613将由CMOS传感器612提供的像素信号在预定时刻转换为数字数据(图像数据)，且在预定时刻接连地将该数据提供给图像处理部616。
操作部614由例如jogdial(慢速转轮)(注册商标)、键、按钮、以及触摸屏组成，其从用户接收操作输入，且将与这些操作输入对应的信号提供给控制部615。
控制部615根据与从操作部614输入的用户操作输入对应的信号来控制光学部611、CMOS传感器612、模数转换器613、图像处理部616、显示部617、编解码器处理部618、以及记录部619的驱动，且使得各个部执行与图像拾取相关的处理。
图像处理部616对模数转换器613提供的图像数据执行各种类型的图像处理，诸如混色修正、黑电平修正、白平衡调整、去马赛克处理、矩阵处理、伽马处理、以及YC转换。图像处理部616将经过图像处理的图像数据提供给显示部617和编解码器处理部618。
显示部617例如被构造为液晶显示器，且根据图像处理部616提供的图像数据显示物体的图像。
编解码器处理部618对图像处理部616提供的图像数据执行预定系统的编码处理，且将获得的已编码数据提供给记录部619。
记录部619记录来自编解码器处理部618的已编码数据。根据需要，由图像处理部616读出和解码记录在记录部619中的已编码数据。将通过解码处理获得的图像数据提供给显示部617，使得显示对应的图像。
如上所述，将如上所述的本技术应用于图像拾取设备600的CMOS传感器612。换言之，应用本技术的附着有有机膜的图像拾取设备100用作CMOS传感器612。因此，CMOS传感器612包括光电转换从外部进入的入射光的光电转换设备、通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成的有机膜、以及通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成的和密封该有机膜的无机膜，该有机膜的侧表面被倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度。因此，CMOS传感器612能改善对有机膜的保护性能，且也能提高可靠性。随着图像拾取设备600的可靠性的提高，通过图像拾取设备600拾取物体的图像，能获得更高图像质量的图像(能抑制拾取图像的图像质量的降低)。
应当注意，应用本技术的图像拾取设备不限于上述的结构，也可以使用其他结构。例如，不仅可以使用数字的静止相机或摄像机，也可以使用诸如蜂窝电话、智能电话、平板设备、个人计算机的包括图像拾取功能的信息处理设备。而且，也可以使用安装在其他待使用的信息处理设备上的(或安装为内置设备的)照相机模块。
可通过硬件或软件执行上述的一系列处理。当由软件执行上述的一系列处理时，从网络或记录介质安装构成该软件的程序。
例如，如图11、14和17中所示，该记录介质由其上记录有程序的可移除介质221组成，该可移除介质不同于设备主体，其被发行以用于将该程序送交给用户。该可移除介质221包括磁盘(包括软盘)和光盘(包括只读光盘和数字多功能光盘DVD)。而且，也可以包括磁光盘(包括MD(迷你盘))、半导体存储器等。而且，也可以使上述的记录介质不仅可以由上述的可移除介质221组成，也可以由其中记录程序的只读存储器、包括在存储部213中的硬盘、以及被事先内建在设备主体中和送交给用户的类似存储装置组成。
应当注意，由计算机执行的该程序可以是按照说明书中所述的顺序以时间序列执行该处理的程序，或是在当被调用时平行地或在必须的时刻执行该处理的程序，等等。
而且，在说明书中，描述被记录到记录介质之上的该程序的那些步骤不仅包括按照所述的顺序以时间序列执行的处理，也包括被平行地或个体地执行的且不总是需要以时间顺序进行的处理。
而且，可以将以上的描述中被描述为单个设备(或处理部)的结构分为和构造为多个设备(或处理部)。相反地，可以将被描述为多个设备(或处理部)的结构一体地构造为单个设备(或处理部)。而且，当然可以将不同于上述的结构加入每个设备(或处理部)的结构。此外，只要作为整个系统的结构和操作基本上相同，可以将某个设备(或处理部)的一部分结构并入到另一设备(或另一处理部)的结构之中。
迄今为止，已结合附图具体描述了本公开的优选实施方式。然而，本公开的技术范围不限于以上的实例。显然，那些在本公开所属的技术领域中具有普通知识的人能够取得处于权利要求的范围中所述的技术思想范围内的各种变更实例和修改实例，且不言而喻，也将这些视为属于本公开的技术范围。
例如，本技术可以采用云计算结构，其将一个功能经由网络分配给多个设备，使它们相互合作地进行处理。
而且，除了通过单个设备来执行上述的流程图中所述的步骤以外，也可以通过该多个设备来分担和执行这些步骤。
而且，当将多个处理包括在单个步骤中时，除了通过单个设备来执行该多个处理以外，也可以通过该多个设备来分担和执行包括在该单个步骤中的该多个处理。
迄今为止，已在描述本技术的过程中例示了该图像拾取设备。然而，本技术不限于该图像拾取设备，且也能应用于任何半导体设备。
应当注意，本技术也可以采用以下结构。
(1)一种图像拾取设备，包括：
光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；
有机膜，其通过被层压在所述光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及
无机膜，其通过被层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封所述有机膜，
所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度。
(2)根据(1)以及(3)至(13)中任一项的图像拾取设备，其中：
该无机膜为保护膜，其抑制湿气或氧或它们两者的渗入；以及
该有机膜的侧表面被倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为能够借以获得该保护膜的足够效果的厚度。
(3)根据(1)、(2)以及(4)至(13)中任一项的图像拾取设备，
其中，在该有机膜的周边部分中，该无机膜还通过被层压在与该有机膜的与该光入射表面相对的表面接触的层上，或是被层压在更多地形成于该光入射表面的对侧的层上，而非与该有机膜的与该光入射表面相对的表面接触的层上而形成。
(4)根据(1)至(3)以及(5)至(13)中任一项的图像拾取设备，还包括：
肋条，其通过被层压在该无机膜的光入射表面上而形成。
(5)根据(1)至(4)以及(6)至(13)中任一项的图像拾取设备，还包括：
透明层，其由玻璃或树脂形成，且通过被层压在该无机膜的光入射表面和该肋条上而形成。
(6)根据(1)至(5)以及(7)至(13)中任一项的图像拾取设备，其中该无机膜还通过被层压在该有机膜的与该光入射表面相对的表面上而形成。
(7)根据(1)至(6)以及(8)至(13)中任一项的图像拾取设备，其中：
形成该无机膜，使得构造出具有不同折射率的多个层；以及
该有机膜的所该侧表面被倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为透射预定波长范围的入射光的厚度，或是成为抑制该预定波长范围的入射光的透射的厚度。
(8)根据(1)至(7)以及(9)至(13)中任一项的图像拾取设备，
其中通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的该无机膜的透射波长特性不同于通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜的透射波长特性。
(9)根据(1)至(8)以及(10)至(13)中任一项的图像拾取设备，其中：
通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的无机膜透射由该光电转换设备进行光电转换的波长范围；以及
通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的无机膜抑制由该光电转换设备进行光电转换的该波长范围的透射。
(10)根据(1)至(9)以及(11)至(13)中任一项的图像拾取设备，其中：
通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的该无机膜透射波长范围的可见光；以及
通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜抑制所述波长范围的可见光的透射。
(11)根据(1)至(10)以及(12)、(13)中任一项的图像拾取设备，
其中通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的无机膜的厚度与通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的无机膜的厚度不同。
(12)根据(1)至(11)以及(13)中任一项的图像拾取设备，
其中通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜的厚度与通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的无机膜的厚度之比等于或小于透过通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的该无机膜的波长范围的下限与该波长范围的上限之比。
(13)根据(1)至(12)中任一项的图像拾取设备，
其中通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的该无机膜的层数不同于通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜的层数。
(14)一种图像拾取设备，包括：
图像拾取设备，其包括
光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；
有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及
无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，
该有机膜的该侧表面被倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
图像处理部，其对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
(15)一种生产图像拾取设备的生产装置，包括：
光电转换设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；
有机膜形成部，其通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面上而形成有机膜；
有机膜处理部，其处理由该有机膜形成部形成的该有机膜，同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
无机膜形成部，其通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
(16)根据(15)或(17)的生产装置，
其中该无机膜形成部在同一步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的该无机膜以及层压在该有机膜的该侧表面上的无机膜。
(17)根据(15)或(16)的生产装置，
其中该无机膜形成部在不同步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的该无机膜以及层压在该有机膜的该侧表面上的无机膜。
(18)一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括：
形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；
通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面上形成该有机膜；
处理形成的该有机膜，同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上形成密封该有机膜的无机膜。
(19)一种生产图像拾取设备的生产装置，包括：
图像拾取设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；
肋条形成部，其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
无机膜形成部，其通过将无机膜层压在其上形成有由该肋条形成部形成的该肋条的该透明层的表面上形成无机膜；
有机膜形成部，其通过将有机膜层压在由该无机膜形成部层压在该透明层上而形成的无机膜上形成有机膜；以及
结合部，其将通过被该有机膜形成部层压在该透明层上而形成的该有机膜与由该图像拾取设备形成部形成的该图像拾取设备的光入射表面相结合。
(20)一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括：
形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；
在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
通过将无机膜层压在其上形成有该肋条的该透明层的表面上形成无机膜；
通过将有机膜层压在因被层压在该透明层上而形成的该无机膜上形成有机膜；以及
将通过被层压在该透明层上而形成的该有机膜与所形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
附图标记说明
100附着有有机膜的图像拾取设备
101图像拾取设备
102红外截止滤波器
103防潮膜
111平整膜
124透明层
125肋条
142电极
143防潮膜
200生产装置
201控制部
202生产部
231光电二极管形成部
232布线层形成部
233遮光膜形成部
234平整膜形成部
235滤波器形成部
236会聚透镜形成部
241有机膜形成部
242有机膜处理部
243无机膜形成部
244切割部
251上表面无机膜形成部
252侧表面无机膜形成部
261肋条形成部
262无机膜形成部
263有机膜形成部
264胶施加部
265结合部
266布线形成部
267切割部
600图像拾取设备
612CMOS传感器

Claims (20)

1.一种图像拾取设备，包括：
光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；
有机膜，其通过被层压在所述光电转换设备的光入射表面侧上而形成；以及
无机膜，其通过被层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封所述有机膜，
所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度。
2.根据权利要求1所述的图像拾取设备，其中：
所述无机膜为保护膜，其抑制湿气或氧或它们两者的渗入；以及
所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为能够借以获得作为所述保护膜的足够效果的厚度。
3.根据权利要求2所述的图像拾取设备，
其中，在所述有机膜的周边部分中，所述无机膜进一步通过被层压在与所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面接触的层上，或是被层压在更多地形成于所述光入射表面的对侧的层上，而非与所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面接触的层上而形成。
4.根据权利要求3所述的图像拾取设备，还包括：
肋条，其通过被层压在所述无机膜的光入射表面上而形成。
5.根据权利要求4所述的图像拾取设备，进一步包括：
透明层，其由玻璃或树脂形成，且通过被层压在所述无机膜的光入射表面和所述肋条上而形成。
6.根据权利要求1所述的图像拾取设备，
其中所述无机膜还进一步通过被层压在所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面上而形成。
7.根据权利要求1所述的图像拾取设备，其中：
形成所述无机膜，使得构造出具有不同折射率的多个层；以及
所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为透射预定波长范围的入射光的厚度，或是成为抑制所述预定波长范围的入射光的透射的厚度。
8.根据权利要求7所述的图像拾取设备，
其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的透射波长特性不同于通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜的透射波长特性。
9.根据权利要求8所述的图像拾取设备，其中：
通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射由所述光电转换设备进行光电转换的波长范围；以及
通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜抑制由所述光电转换设备进行光电转换的所述波长范围的透射。
10.根据权利要求8所述的图像拾取设备，其中：
通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射波长范围的可见光；以及
通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜抑制所述波长范围的可见光的透射。
11.根据权利要求7所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的厚度与通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度不同。
12.根据权利要求11所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度与通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的厚度之比等于或小于透过通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的波长范围的下限与所述波长范围的上限之比。
13.根据权利要求7所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的层数不同于通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的层数。
14.一种图像拾取装置，包括：
图像拾取设备，其包括
光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；
有机膜，其通过被层压在所述光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及
无机膜，其通过被层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封所述有机膜，
所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
图像处理部，其对由所述图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
15.一种生产图像拾取设备的生产装置，包括：
光电转换设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；
有机膜形成部，其通过将有机膜层压在所述光电转换设备的光入射表面上而形成有机膜；
有机膜处理部，其处理由所述有机膜形成部形成的所述有机膜，同时给予所述有机膜的侧表面一倾斜角，在所述倾斜角下，通过被层压在所述侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
无机膜形成部，其通过将无机膜层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封所述有机膜的所述无机膜。
16.根据权利要求15所述的生产装置，
其中所述无机膜形成部在同一步骤中形成层压在所述有机膜的光入射表面上的所述无机膜以及层压在所述有机膜的所述侧表面上的所述无机膜。
17.根据权利要求15所述的生产装置，
其中所述无机膜形成部在不同步骤中形成层压在所述有机膜的光入射表面上的所述无机膜以及层压在所述有机膜的所述侧表面上的所述无机膜。
18.一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括：
形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；
通过将有机膜层压在所述光电转换设备的光入射表面上形成所述有机膜；
处理形成的所述有机膜，同时给予所述有机膜的侧表面一倾斜角，在所述倾斜角下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
通过将无机膜层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上形成密封所述有机膜的无机膜。
19.一种生产图像拾取设备的生产装置，包括：
图像拾取设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；
肋条形成部，其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
无机膜形成部，其通过将无机膜层压在其上形成有由所述肋条形成部形成的所述肋条的所述透明层的表面上形成无机膜；
有机膜形成部，其通过将有机膜层压在由所述无机膜形成部层压在所述透明层上而形成的无机膜上形成有机膜；以及
结合部，其将通过被所述有机膜形成部层压在所述透明层上而形成的所述有机膜与由所述图像拾取设备形成部形成的所述图像拾取设备的光入射表面相结合。
20.一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括：
形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；
在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
通过将无机膜层压在其上形成有所述肋条的所述透明层的表面上形成无机膜；
通过将有机膜层压在因被层压在所述透明层上而形成的所述无机膜上形成有机膜；以及
将通过被层压在所述透明层上而形成的所述有机膜与所形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
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