CN105555994A - 电子枪装置以及真空蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元以及控制部。第1和第2丝极能够产生第1和第2电子束。电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使第1丝极或者第2丝极产生电子束的加热电流；偏压供给部，其将偏压施加给加热电流。切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，其中，第1状态为向第1丝极供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极供给驱动电流的状态。控制部控制第1状态和第2状态的切换，其中，驱动电流是对加热电流施加偏压后形成的电流。

Description

电子枪装置以及真空蒸镀装置

技术领域

本发明涉及一种用于真空蒸镀法(真空蒸发镀膜法)等的电子枪装置以及真空蒸镀装置。

背景技术

电子枪装置是通过加热丝极来产生电子束的装置。电子枪装置例如用于真空蒸镀法中的加热蒸发源，其构成为，通过对配置在蒸镀装置内的蒸发材料照射电子束并对其进行加热，能够使该蒸发材料蒸发(例如参照专利文献1～3)。这种电子枪装置典型的是，具有用于加热丝极的加热电流用电源、用于控制电子束的轨道的线圈以及该线圈用的电源等。另外，如专利文献4所示，例如采用2个电子枪装置来进行蒸镀的方法也众所周知。

专利文献1：日本发明专利公开公报特开2013-112894号

专利文献2：日本发明专利公开公报特开2002-97566号

专利文献3：日本发明专利公开公报平1-149955号

专利文献4：日本发明专利公开公报特开2004-55180号

但是，在采用2个电子枪装置对蒸发材料进行交替加热的情况下，在使用一个电子枪装置时，而使另一个电子枪装置停止工作。或者，与该情况相同的是，仅使用2个电子枪装置中的一个电子枪装置。在这些情况下，可能会导致该另一个电子枪装置的加热电流用电源和线圈用的电源等设备过剩，使设备成本上升。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。

为了达成上述目的，本发明的一个技术方案所涉及的电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部。

上述第1丝极能够产生第1电子束。

上述第2丝极能够产生第2电子束。

上述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使上述第1丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。

上述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，上述第1状态为向上述第1丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流。

上述控制部控制上述第1状态和上述第2状态的切换。

附图说明

图1是表示具有本发明的第1实施方式所涉及的电子枪装置的真空蒸镀装置。

图2是上述电子枪装置的电路图。

图3是表示上述电子枪装置的控制部的一个动作例的流程图。

图4是本发明的第1实施方式的比较例所涉及的电子枪装置的电路图。

图5是本发明的第1实施方式的参考例所涉及的真空蒸镀装置的示意图。

图6是本发明的第2实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。

图7是表示本发明的电子枪装置的连接部的结构和连接关系的局部电路图。

图8是本发明的第2实施方式的参考例所涉及的电子枪装置的电路图。

图9是本发明的第3实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。

具体实施方式

本发明的一个实施方式所涉及的电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部。

上述第1丝极能够产生第1电子束。

上述第2丝极能够产生第2电子束。

上述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使上述第1丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。

上述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，上述第1状态为向上述第1丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流。

上述控制部控制上述第1状态和上述第2状态的切换。

采用上述电子枪装置时，能够通过切换单元选择性地由加热电流供给部向第1丝极和第2丝极中的任意一个供给加热电流。从而能够利用1个加热电流供给部产生第1电子束和第2电子束中的任意一个，并且能够省略无用的结构，简化设备。

另外，上述加热电流供给部可以具有：

加热电流用电源；

第1加热电流电路，其与上述第1丝极连接，

上述切换单元具有：

第2加热电流电路，其与上述第2丝极连接；

加热电流切换部，其在上述第1状态下连接上述加热电流用电源和第1加热电流电路，在上述第2状态下连接上述加热电流用电源和第2加热电流电路。

通过上述加热电流切换部能够选择性地将来自加热电流用电源的加热电流供给给第1加热电流电路和第2加热电流电路中的任意一个。

再者，上述切换单元还可以具有偏压切换部，上述偏压切换部在上述第1状态下连接上述偏压供给部和上述第1加热电流电路，在上述第2状态下连接上述偏压供给部和上述第2加热电流电路。

由于上述偏压切换部能够连接偏压供给部和第1、第2加热电流电路，因而可以在作为高电压的偏压被施加前由加热电流切换部切换加热电流的路径。

再者，由于加热电流切换部可以在与高偏压绝缘的加热用电源侧切换加热电流，因而能够由较为简单的继电器或电磁接触器等构成加热电流切换部。

另外，上述第1加热电流电路可以包括第1变压部，上述第1变压部能够改变上述加热电流的电压值，

上述第2加热电流电路可以包括第2变压部，上述第2变压部能够改变上述加热电流的电压值。

通过第1变压部和第2变压部能够将加热电流(驱动电流)的电压值变为适当的电压值。

或者，上述偏压供给部与上述第1加热电流电路和上述第2加热电流电路这两者连接。

从而，不用进行高偏压的切换，就能够以更为便宜的价格构成电子枪装置。

另外，上述控制部可以对上述第1加热电流电路和上述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为上述第1加热电流电路和上述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，上述控制部可以使上述加热电流用电源停止上述加热电流的供给。

通过上述控制部能够监视对第1加热电流电路和第2加热电流电路的电流的供给，检测出丝极接触不良、加热电源故障以及偏压切换部故障等异常情况。因此，能够对实际的驱动电流的供给进行确认，以进行可靠的切换，防止因切换异常引起的成膜问题。

上述控制部可以对上述加热电流是否正被上述偏压供给部施加上述偏压进行判定，当判定结果为没有施加上述偏压时，上述控制部可以切换上述第1状态和上述第2状态。

从而能够避免在偏压被施加了的状态下进行切换，防止出现加热电流切换部等的触点粘连等问题。

或者，上述电子枪装置

还可以具有：

第1致偏器，其能够使上述第1电子束发生偏转；

第2致偏器，其能够使上述第2电子束发生偏转，

上述电源单元还可以具有致偏电流供给部，上述致偏电流供给部向上述第1致偏器和上述第2致偏器中的任意一个供给电流，

上述切换单元可以具有致偏电流切换部，上述致偏电流切换部在上述第1状态下连接上述致偏电流供给部和第1致偏器，在上述第2状态下连接上述致偏电流供给部和第2致偏器。

通过上述致偏电流切换部切换来自1个致偏电流供给部的电流的路径，从而能够使第1电子束和第2电子束中的任意一个发生偏转。因此，能够进一步实现设备的简化。

这种情况下，上述控制部可以对上述第1致偏器和上述第2致偏器中的任意一个是否正被上述致偏用电源供给部供给电流进行判定，

当判定结果为上述第1致偏器和上述第2致偏器这两者均没有被供给所述电流时，上述控制部可以切换上述第1状态和上述第2状态。

上述电子枪装置还可以具有连接部，上述连接部以能够使上述电源和上述切换单元拆开的方式连接这两者。

通过上述连接部能够以后续安装的方式连接切换单元，并且能够在保管时或运输时分别处理电源单元和切换单元。因此，能够容易进行保管或运输，提高处理效率。

本发明的其他实施方式所涉及的真空蒸镀装置具有能够维持真空状态的腔室、支承部、第1蒸发材料保持部、第2蒸发材料保持部与电子枪装置。

上述支承部配置在上述腔室内，支承基板。

上述第1蒸发材料保持部以与上述支承部相向的方式配置在上述腔室内，其被维持在地电位，保持第1蒸发材料。

上述第2蒸发材料保持部以与上述支承部相向的方式配置在上述腔室内，其被维持在地电位，保持第2蒸发材料。

上述电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元、控制部。

上述第1丝极能够向上述第1蒸发材料射出第1电子束。

上述第2丝极能够向上述第2蒸发材料射出第2电子束。

上述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使上述第1丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。

上述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，上述第1状态为向上述第1丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是所述加热电流被施加所述偏压后形成的电流。

上述控制部控制上述第1状态和上述第2状态的切换。

采用上述真空蒸镀装置时，能够利用1个加热电流供给部交替产生第1电子束和第2电子束，并且能够省略无用的结构，简化设备。再者，由于具有1个腔室，因而能够向已做好蒸镀准备的具有适当的真空环境的腔室内射出第1电子束和第2电子束中的任意一个，以能够构成安全性更高的结构。

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

<第1实施方式>

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的真空蒸镀装置的示意图。真空蒸镀装置1具有腔室2、第1蒸发材料保持部3a、第2蒸发材料保持部3b、支承部4、主控制器5以及电子枪装置100。真空蒸镀装置1通过利用电子枪装置100对被第2蒸发材料保持部3a、第2蒸发材料保持部3b保持的第1蒸发材料31a和第2蒸发材料31b进行加热，以在真空环境中使第1蒸发材料31a和第2蒸发材料31b蒸发，而在基板W上成膜。

腔室2是构成为能够维持真空结构的真空腔，腔室2连接着未图示的真空泵。

在腔室2的上部安装着支承多个基板W的支承部4。支承部4例如可以由能够保持多个基板W的拱形夹具构成，这种情况下，该支承部4可以构成为能够被未图示的驱动部驱动而转动的结构。从而，能够在多个基板W上均匀成膜。另外，支承部4并不局限于上述结构。

第1蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b例如与支承部4相向，配置在腔室2的下部。第1蒸发材料保持部3a保持第1蒸发材料31a，第2蒸发材料保持部3b保持第2蒸发材料31b。第1蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b典型的是，分别构成为收装蒸发材料的坩埚。这种情况下，真空蒸镀装置1可以具有能够安装该坩埚的基座。另外，第1蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b可以具有能够保持固体的第1和第2蒸发材料31a、31b的环形座。

第1蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b分别被维持在地电位。从而，可以使后述的第1丝极100a和第2丝极100b维持正电位。

主控制器5控制真空蒸镀装置1的整体驱动。主控制器5例如生成切换控制信号，该切换控制信号用于控制切换第1电子束B1和第2电子束B2的射出。该切换控制信号被用于后述的电子枪装置100的控制部150的处理。

电子枪装置100向腔室2内选择性地射出第1电子束B1和第2电子束B2中的任意一个。通过控制由电子枪装置100射出的第1电子束B1或者第2电子束B2各自的轨道，使该第1电子束B1或者第2电子束B2入射到第1蒸发材料31a或者第2材料31b上，对这些材料进行加热，使其蒸发。另外，在图1中，表示出了第1电子束B1入射到第1蒸发材料31a上的情况。下面对电子枪装置100的详细结构进行说明。

[电子枪装置]

电子枪装置100具有第1丝极110a、第2丝极100b、第1致偏线圈120a、第2致偏线圈120b、电源单元130、切换单元140、控制部150以及检测部160。在本实施方式中，电子枪装置100构成为，通过交替射出第1电子束B1和第2电子束B2，能够使含有蒸发材料31a的膜和含有蒸发材料31b的膜交替层积在基板W上。或者，电子枪装置100可以构成为，连续射出第1电子束B1和第2电子束B2中的任意一个。

第1丝极100a产生第1电子束B1。具体来说，第1丝极100a被通过在后述的加热电流上施加偏压而形成的驱动电流加热，射出热电子，形成第1电子束B1。第1电子束B1被定义为，与起到阴极作用的第1丝极100a相离设置的阳极(未图示)通过电场吸引产生的热电子。

射出第1电子束B1的射出方法并没有特别限定。例如，第1电子束B1例如可以通过形成于阳极中央的孔等向腔室2内射出，也可以由与第1丝极100a平行设置的上述阳极引出，通过与第1丝极100a同电位的文纳尔电极(Wehnelt)向腔室2内射出。或者，可以通过使第1丝极100a射出的热电子与其他的阴极碰撞，从而由该阴极放出热电子，产生第1电子束B1。另外，可以在该阴极与阳极之间设置用于使第1电子束B1聚集的文纳尔电极(未图示)。

在本实施方式中，第1丝极100a向第1蒸发材料31a射出第1电子束B1。

第2丝极100b产生第2电子束B2，且具有与第1丝极100a相同的结构。即，具体来说，第2丝极100b通电后被加热，放出形成第2电子束B2的热电子。第2电子束B2也被定义为，与起到阴极作用的第2丝极100b相离设置的阳极(未图示)通过电场吸引产生的热电子。

在本实施方式中，第2丝极100b对第2蒸发材料31b射出第2电子束B2。

第1致偏线圈120a作为本实施方式所涉及的第1致偏器发挥功能，其使第1电子束B1发生偏转。第1致偏线圈120a构成为，通过控制流经第1致偏线圈120a自身的电流，从而能够以磁性方式控制第1电子束B1的轨道。通过第1致偏线圈120a能够使第1电子束B1以所期望的轨道入射到第1蒸发材料31a上。

第2致偏线圈120b作为本实施方式所涉及的第2致偏器发挥功能，其使第2电子束B2发生偏转。与第1致偏线圈120a相同，第2致偏线圈120b构成为，控制流经第2致偏线圈120b自身的电流，从而能够通过磁场控制第2电子束B2的轨道。通过第2致偏线圈120b能够使第2电子束B2以所期望的轨道入射到第2蒸发材料31b上。

图2是电源单元130和切换单元140的电路图。

电源单元130供给用于使第1丝极100a和第2丝极100b中的任意一个产生电子束B1、B2的驱动电流。如图2所示，电源单元130具有加热电流供给部131、偏压供给部132以及致偏用电源(致偏电流供给部)133。

加热电流用供给部131供给加热电流，该加热电流用于使第1丝极100a和第2丝极100b中的任意一个产生电子束。如图2所示，加热电流供给部131具有加热电流用电源134、晶闸管(thyristor)135以及第1加热电流电路136。

加热电流用电源134由交流电源构成，其供给规定频率的电流，使其作为加热电流。加热电流用电源134构成为，能够对第1加热电流电路136和第2加热电流电路144供给例如最大约50A的驱动电流。晶闸管135构成为，控制由加热电流用电源134供给的加热电流的导通以及不导通，在驱动状态下使加热电流导通，在不驱动状态下使加热电流不导通。

第1加热电流电路136与第1丝极100a连接。第1加热电流电路136构成为，通过切换单元140如后述那样与加热电流用电源134连接。第1加热电流电路136包括第1变压部137，该第1变压部137能够改变加热电流的电压值。

第1变压部137可以由加热电流用的变压器构成，例如，其可以具有卷数分别不同的一次线圈和二次线圈。这种情况下，一次线圈能够通过晶闸管135与加热电流用电源134连接，二次线圈与第1丝极100a连接。通过第1变压部137能够将加热电流(驱动电流)的电压值变为适当的电压值。再者，能够防止高偏压被施加给一次线圈侧的加热电流用电源134等而导致问题的发生。

偏压供给部132将偏压施加给加热电流。通过对加热电流施加了偏压而形成的电流能够作为驱动电流驱动第1丝极100a或者第2丝极100b。另外，偏压供给部132通过切换单元140选择性地与第1加热电流电路136和第2加热电流电路144中的一个连接。在本实施方式中，偏压供给部132包括偏压电源138和电阻器139。

偏压电源138由直流电源构成，正极侧与电阻元件139连接，负极侧与加热电流供给部131连接。电阻器139可以构成为，一侧与偏压电源138的正极侧连接，另一侧维持在地电位，例如具有约3Ω的电阻值。利用偏压电源138和电阻器139能够对加热电流施加作为偏压的例如约10kV的负的高电压。

致偏用电源133作为本实施方式所涉及的致偏电流供给部发挥功能，其向第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b中的任意一个供给电流。致偏用电源133可以通过将规定频率的交流电源与直流电源重叠来构成。从而能够进行恒电流控制，即使在第1和第2致偏线圈120a、120b的温度上升时，也能够产生一定的致偏磁场。致偏用电源133通过切换单元140选择性地与第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b中的一个连接。致偏用电源133构成为，能够向第1和第2致偏线圈120a、120b供给例如最大约1.5A的电流。

切换单元140构成为，能够选择性地切换向第1丝极110a供给驱动电流的第1状态和向第2丝极110b供给驱动电流的第2状态。即，切换单元140构成为，能够选择性地在第1丝极110a和第2丝极110b间切换供给加热电流。具体来说，第1状态为由第1丝极110a产生第1电子束B1的状态，第2状态为由第2丝极110b产生第2电子束B2的状态。在本实施方式中，切换单元140具有加热电流切换部141、偏压切换部142、致偏电流切换部143以及第2加热电流电路144。

第2加热电流电路144具有与第1加热电流电路136相同的结构，其与第2丝极110b连接。第2加热电流电路144构成为，能够通过加热电流切换部141与电源单元130的加热电流用电源134连接。第2加热电流电路144包括第2变压部145，该第2变压部145能够改变加热电流的电压值。

与第1变压部137相同，第2变压部145可以由加热电流用的变压器构成，例如，可以具有卷数分别不同的一次线圈和二次线圈。这种情况下，一次线圈能够与加热电流用电源134连接，二次线圈能够与第2丝极110b连接。通过第2变压部145能够将加热电流(驱动电流)的电压值变为适当的电压值。再者，能够防止高电压的偏压被施加给一次线圈侧的加热电流用电源134等而导致问题的发生。

加热电流切换部141、偏压切换部142以及致偏电流切换143例如可以由继电器、电磁接触器、作为半导体继电器的SSR(Solid-StateRelay)等构成。

加热电流切换部141在第1状态下连接加热电流用电源134和第1加热电流电路136，其在第2状态下连接加热电流用电流134和第2加热电流电路144。在本实施方式中，加热电流切换部141包括第1触点141a、第2触点141b以及开关构件141c。第1触点141a包括与第1加热电流电路136连接的固定触点，例如其与第1变压部137的一次线圈侧连接。第2触点141b包括与第2加热电流电路144连接的静触点，例如其与第2变压部145的一次线圈侧连接。开关构件141c与加热电流用电源134连接，该开关构件141c包括动触点。

开关构件141c的动触点在第1状态下与第1触点141a连接。从而，由加热电流用电源134供给的加热电流能够流向第1加热电流电路136。另外，开关构件141c的动触点在第2状态下与第2触点141b连接。从而，由加热电流用电源134供给的加热电流能够流向第2加热电流电路144。

偏压切换部142在第1状态下将偏压供给部132和第1加热电流电路136连接，其在第2状态下将偏压供给部132和第2加热电流电路144连接。在本实施方式中，偏压切换部142包括第1触点142a、第2触点142b以及开关构件142c。第1触点142a包括与第1加热电流电路136连接的静触点，第1触点142a例如与第1变压部137的二次线圈侧连接。第2触点142b包括与第2加热电流电路144连接的静触点，第2触点142b例如与第2变压部145的二次线圈侧连接。开关构件142c与偏压供给部132的偏压电源138连接，该开关构件142c包括动触点。

开关构件142c的动触点在第1状态下与第1触点142a连接。从而，由偏压供给部132供给的偏压能够被供给给第1加热电源电路136。另外，开关构件141c的动触点在第2状态下与第2触点142b连接。从而，由偏压供给部132供给的偏压能够被供给给第2加热电流电路144。

致偏电流切换部143在第1状态下将致偏用电源133和第1致偏线圈120a连接，其在第2状态下将致偏用电源133和第2致偏线圈120b连接。在本实施方式中，致偏电流切换部143具有第1触点143a、第2触点143b以及开关构件143c。第1触点143a包括与第1致偏线圈120a连接的静触点。第2触点143b包括与第2致偏线圈120b连接的静触点。开关构件143c与致偏用电源133连接，该开关构件143c包括动触点。

开关构件143c的动触点在第1状态下与第1触点143a连接。从而，由致偏用电源133供给的电流能够被供给给第1致偏线圈120a。另外，开关构件143c动触点在第2状态下与第1触点143b连接。从而，由致偏用电源133供给的电流能够被供给给第2致偏线圈120b。

另外，加热电流切换部141、偏压切换部142以及致偏电流切换部143所具有的各构成要素(第1触点、第2触点以及开关构件)的配置、各构成要素所包括的静触点和动触点的数量等并没有特别限定，可以根据电路的结构适当地确定。例如，各构成要素所包括的静触点和动触点可以分别为1个(参照图2中的偏压切换部142和致偏电流切换部143)，也可以分别为2个(参照图2中的加热电流切换部141)。

检测部160构成为，能够检测出流经第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的驱动电流、被施加给第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的偏压以及流经第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的电流。即，检测部160具有第1驱动电流检测部161a、第2驱动电流检测部161b、偏压检测部162、第1致偏电流检测部163a以及第2致偏电流检测部163b。

第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b分别设置在第1加热电流电路136和第2加热电流电路144上。第1驱动电流检测部161a例如设置在加热电流切换部141与第1变压部137之间，第2驱动电流检测部161b例如设置在加热电流切换部141与第2变压部145之间。第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b例如可以采用电流互感器(CT)等。

偏压检测部162构成为，能够检测出偏压。在本实施方式中，在偏压切换部142与第1加热电流电路136之间以及偏压切换部142与第2加热电流电路144之间分别设置偏压检测部162。偏压检测部162例如构成为，能够通过分压电阻检测出电压，具体来说，该偏压检测部162可以包括：第1电阻器；第2电阻器，其与第1电阻器连接并且接地；电压检测器，其接于第1电阻器和第2电阻器之间。

第1致偏电流检测部163a例如设置在致偏电流切换部143与第1致偏线圈120a之间，第2致偏电流检测部163b设置在致偏电流切换部143与第2致偏线圈120b之间。第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b可以采用低电阻器、霍尔元件型电流传感器等。

参照图1，控制部150控制第1状态和第2状态的切换。在本实施方式中，控制部150构成为，能够基于由真空蒸镀装置1的主控制器5生成的控制信号来控制电源单元130和切换单元140的各结构的驱动。另外，控制部150可以构成为主控制器5的一部分，也可以具有独立的结构。当控制部150具有独立的结构时，控制部150可以由具有CPU(CentralProcessingUnit，中央处理器)、RAM(RandomAccessMemory，易挥发性随机存取存储器)、ROM(ReadOnlyMemory，只读存储器)等硬件的计算机构成。

在第1状态下，控制部150使加热电流用电源134和致偏用电源133驱动，而且使晶闸管135处于驱动状态。再者，控制部150分别使加热电流切换部141、偏压切换部142以及致偏电流切换部143各自包括的开关构件141c、142c、143c分别与第1触点141a、142a、143a连接。从而，驱动电流被供给给丝极110a，使该丝极110a产生第1电子束B1，而且，通过第1致偏线圈120a使第1电子束B1发生偏转。

在第2状态下，控制部150使加热电流用电源134和致偏用电源133驱动，而且使晶闸管135处于驱动状态。再者，控制部150分别使加热电流切换部141、偏压切换部142以及致偏电流切换部143各自包括的开关构件141c、142c、143c分别与第2触点141b、142b、143b连接。从而，驱动电流被供给给丝极110b，使该丝极110b产生第2电子束B2，而且，通过第2致偏线圈120b使第2电子束B2发生偏转。

在本实施方式中，控制部150构成为，能够在蒸镀过程中基于检测部160的检测结果，来监视流经第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的驱动电流以及流经第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的电流。具体来说，控制部150构成为，能够基于来自第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b的输出信号，来对是否有电流流经第1加热电流电路136和第2加热电流电路144进行判定，并且，控制部150构成为，能够基于来自第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b的输出信号，来对是否电流流经第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b。

图3是表示控制部150的一个动作例的流程图。在本动作例中，对控制部150的一系列动作进行说明，其中，该一系动作为：相互切换第1状态和第2状态的切换工序(ST100)，之后，在利用真空蒸镀装置1进行蒸镀的过程中对电流进行监视的电流监视工序(ST200)。另外，切换工序(ST100)包括下面的ST101～ST110，电流监视工序(ST200)包括下面的ST201～ST203。

首先，控制部150为了将射出一个电子束的状态切换为射出另一个电子束的状态，而相互切换第1状态和第2状态(ST100)。控制部150周期性地对是否接收到了由主控制器5生成的切换控制信号进行判定(ST101)。当判定结果为没有接收到切换控制信号时(ST101的判定结果为“否”)，重新对是否接收到了切换控制信号进行判定(ST101)。当判定结果为接收到了切换控制信号时(ST101的判定结果为“是”)，控制部150基于来自偏压检测部162的输出信号，对偏压供给部132是否停止了偏压的供给进行判定(ST102)。当判定结果为没有停止时(ST102的判定结果为“否”)，不进行基于切换控制信号的处理，而重新对是否接收到了切换控制信号进行判定(ST101)。当判定结果为停止了偏压的供给时(ST102的判定结果为“是”)，向致偏用电源133发送用于使电流的供给停止的信号(ST103)。从而，使偏压供给部132(偏压电压138)和致偏用电源133均停止驱动。

接着，控制部150基于来自第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b的输出信号，对来自致偏用电源133的电流的供给是否已停止进行判定(ST104)。当判定结果为来自致偏用电源133的电流的供给已停止时(ST104的判定结果为“是”)，向切换单元140发送用于选择性地切换第1状态和第2状态的切换信号(ST105)。接收到切换信号的切换单元140的加热电流切换部141、偏压切换部142以及致偏电流切换部143通过将各自的开关构件141c、142c、143c连接的触点切换为其他触点，来切换第1状态和第2状态。

另外，当判定结果为来自致偏用电源133的电流的供给没有停止时(ST104的判定结果为“否”)，不发送切换信号，而是向电源单元130发送出错信号(ST110)。从而，电源单元130处于加热电流用电源134的驱动停止、不驱动晶闸管135的状态，由此使加热电流供给部131停止加热电流的供给。

在向切换单元140发送了切换信号之后，控制部150向致偏电流切换部143发送开始供给电流的信号(ST106)，对由致偏用电源133向第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b中的任意一个的电流供给是否已开始进行判定(ST107)。当判定结果为已开始时(ST107的判定结果为“是”)，同样对由偏压供给部132对第1和第2加热电流电路136、144中的任意一个的偏压供给是否已开始进行判定(ST108)。当判定结果为已开始时(ST108的判定结果为“是”)，认为切换已完成，并将表示切换已完成的信息输出给主控制器5(ST109)。另外，当判定结果为来自偏向电流切换部143的电流供给没有开始时(ST107的判定结果为“否”)，以及当来自偏压供给部132的偏压供给没有开始时(ST108的判定结果为“否”)时，向电源单元130发送出错信号(ST110)。

在切换已完成之后(ST109)，开始由真空蒸镀装置1进行的蒸镀，控制部150对电流路径进行监视(ST200)。即，对电源单元130的第1加热电流电路136和第2加热电流电路144中的任意一个中是否有电流流动进行判定(ST201)。当判定结果为电源单元130的第1加热电流电路136和第2加热电流电路144中的任意一个中有电流流动时(ST201的判定结果为“是”)，控制部150对与电流流经的第1加热电流电路136或第2加热电流电路144相对应的第1致偏线圈120a或第2致偏线圈120b中是否有电流流动进行判定(ST202)。当判定结果为与电流流经的第1加热电流电路136或第2加热电流电路144相对应的第1致偏线圈120a或第2致偏线圈120b中有电流流动时，(ST202的判定结果为“是”)控制部150使电源单元130继续运转，并且，重新返回ST201，继续对电流路径进行监视(ST201)。

另外，当判定结果为第1加热电流电路136和第2加热电流电路144中均没有电流流动时(ST201的判定结果为“否”)，以及当判定结果为与第1加热电流电路136或第2加热电流电路144相对应的第1致偏线圈120a或第2致偏线圈120b中没有电流流动时(ST202的判定结果为“否”)，由切换单元140进行的切换可能无法正常进行，因而，向电源单元130发送切换异常信号(ST203)。从而，电源单元130使加热电流供给部131停止加热电流的供给。

如上所示，控制部150仅在偏压的供给和来自致偏用电源133的电流供给停止时，使切换单元140进行切换。从而，能够将切换单元140的各切换部141、142、143的放电等的风险抑制到最小限度，以能够安全地进行切换。

另外，控制部150在蒸镀过程中对电源单元130的电流的路径进行监视。从而，不仅能够指示切换单元140进行切换，还能够对实际上是否进行了适当的切换进行确认。因此，能够降低因切换单元140的各切换部141、142、143的故障等而对成膜产生问题的风险。

另外，控制部150能够通过监视电流的路径，来对电流是否流经与第1和第2加热电流电路136、144相对应的第1和第2致偏线圈120a、120b进行确认。从而，能够可靠地对切换后的电子束的轨道进行控制。

具有上述结构的电子枪装置100构成为，能够产生分别与2个蒸发材料31a、31b相对应的第1和第2电子束B1、B2，而且该电子枪装置100构成为，仅具有1个加热电流用电源134和1个致偏用电源133。下面，基于比较例对本实施方式的作用效果进行说明。

图4是本实施方式的比较例所涉及的电子枪装置400的电路图。与电子枪装置100相同，电子枪装置400也构成为，交替射出第1电子束B1和第2电子束B2。电子枪装置400具有第1和第2丝极410a、410b、第1和第2加热电流供给部431a、431b、偏压供给部432、第1和第2致偏用电源433a、433b、第1和第2致偏线圈420a、420b以及偏压切换部460。与电子枪装置100的主要不同点为：具有2个加热电流供给部431a、431b；具有2个致偏用电源433a、433b。由于电子枪装置400的其他结构与电子枪装置100相同，因而，省略或者简化其说明。

2个加热电流供给部431a、431b分别具有加热电流用电源434a、434b，这2个加热电流供给部431a、431b分别与第1和第2丝极41a、41b连接。偏压切换部460具有与电子枪装置100的偏压切换部142相同的结构。即，在第1电子束B1被射出的第1状态下偏压供给部432与加热电流供给部431a连接，在第2电子束B2被射出的第2状态下偏压供给部432与加热电流供给部431b连接。

在电子枪装置400中，在第1状态下，一个加热电流用电源434a和一个致偏电流供给部433a被驱动，而另一个加热电流用电源434b和另一个致偏用电源433b则停止工作。在第2状态下，则与之相反。因此，即使在蒸镀过程中，必须要有一个加热电流用电源和一个致偏用电源停止工作，由此导致设备过剩。这种设备过剩的问题不仅会导致设备引进成本的上升，还会导致设备维持成本的上升，以及设备的设置空间的增大。

另外，本实施方式所涉及的电子枪装置100因设置了切换单元140，可以构成为仅具有1个加热电流供给部131(加热电流用电源134)和1个致偏用电源133的结构。因此，即使在交替射出第1和第2电子束B1、B2时，也能够简化设备，消除设备成本和设置空间的问题。

再者，电子枪装置100能够在被施加高电压的偏压之前，通过加热电流切换部141对加热电流的路径进行切换。如果加热电流切换部141被施加了高电压，可能会产生因电弧放电引起的触点粘连等问题。因此，采用上述结构，不仅能够防止加热电流切换部产生触点粘连等问题，还能够由较为简单的继电器或电磁接触器等构成加热电流切换部141。

另外，图5是表示本实施方式的参考例的真空蒸镀装置的示意图。由该图所示，真空蒸镀装置6具有2个腔室7、8、第1蒸发材料保持部9a、第2蒸发材料保持部9b以及电子枪装置600。在2个腔室7、8内分别配置有保持第1蒸发材料91a的第1蒸发材料保持部9a和保持第2蒸发材料91的第2蒸发材料保持部9b。电子枪装置600具有与电子枪装置100相同的结构，其选择性地切换向腔室7内射出第1电子束B1的第1状态和向腔室8内射出第2电子束B2的第2状态。另外，在图5中，省略了支承部、主控制器等。

采用上述结构也能够对配置在腔室内的所期望的蒸发材料照射电子束。另外，在上述结构的情况下，如果控制部或者切换单元发生问题，而对与指令不符的腔室射出电子束时，可能会向处于没有被充分抽真空的状态或者蒸发材料没有准备好的状态的腔室射出电子束。

因此，采用本实施方式的真空蒸镀装置1时，由于该真空蒸镀装置1构成为仅具有1个腔室2的结构，因而，能够向已做好蒸镀准备的具有适当的内部环境的腔室2内射出第1和第2电子束B1、B2中的任意一个。从而能够构成安全性更高的结构。

<第2实施方式>

图6是本发明的第2实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。与第1实施方式相同，电子枪装置200具有第1丝极210a、第2丝极210b、第1致偏线圈220a、第2致偏线圈220b、电源单元230、切换单元240、控制部250以及连接部260。电子枪装置200与第1实施方式所涉及的电子枪装置100的不同点为：切换单元240构成为，能够通过连接部260安装在电源单元230上以及从该电源单元230上拆下来。下面，对与第1实施方式的相同点，省略或者简化其说明。

与第1实施方式相同，第1丝极210a产生第1电子束B1。第1丝极210a与电源单元230的第1加热电流电路236连接。同样与第1实施方式相同，第2丝极210b产生第2电子束B2。第2丝极210b与切换单元240的第2加热电流电路244连接。

与第1实施方式相同，第1致偏线圈220a作为第1致偏器发挥功能，其使第1电子束B1发生偏转。同样与第1实施方式相同，第2致偏线圈220b作为第2致偏器发挥功能，其使第2电子束B2发生偏转。第1致偏线圈220a和第2致偏线圈220b均通过切换单元240的致偏电流切换部243与致偏用电源233连接。

电源单元230具有加热电流供给部231、偏压供给部232、致偏用电源(致偏电流供给部)233。

加热电流供给部231供给用于使第1丝极210a和第2丝极210b中的任意一个产生电子束的加热电流，与第1实施方式相同，加热电流供给部231具有加热电流用电源234、晶闸管235以及第1加热电流电路236。与第1实施方式相同，第1加热电流电路236包括能够改变加热电流的电压值的第1变压部237。偏压供给部232包括偏压电源238和电阻器239，其对加热电流施加偏压。致偏用电源233向第1致偏线圈220a和第2致偏线圈220b中的任意一个提供电流。

切换单元240构成为，能够选择性地切换向第1丝极210a供给驱动电流的第1状态和相第2丝极210b供给驱动电流的第2状态。与第1实施方式相同，切换单元240具有加热电流切换部241、偏压切换部242、致偏电流切换部243以及第2加热电流电路244。

与第1实施方式相同，第2加热电流电路244与第2丝极210b连接。第2加热电流电路244包括能够改变加热电流的电压值的第2变压部245。

加热电流切换部241在第1状态下连接加热电流用电源234和第1加热电流电路236，其在第2状态下连接加热电流用电源234和第2加热电流电路244。与第1实施方式相同，加热电流切换部241包括第1触点241a、第2触点241b以及开关构件241c。

偏压切换部242在第1状态下连接偏压供给部232和第1加热电流电路236，其在第2状态下连接偏压供给部232和第2加热电流电路244。与第1实施方式相同，偏压切换部242包括第1触点242a、第2触点242b以及开关构件242c。

在第1状态下，致偏电流切换部243连接致偏用电源233和第1致偏线圈220a，在第2状态下，连接致偏用电源233和第2致偏线圈220b。与第1实施方式相同，致偏电流切换部243包括第1触点243a、第2触点243b以及开关构件243c。

控制部250控制第1状态和第2状态的切换。在本实施方式中，控制部250构成为，能够对切换模式和连接了后述的第2电源单元280时的2电源供电模式进行选择切换。在具有切换单元240的电子枪装置200中，选择切换模式。在切换模式下，可以构成为，能够控制射出第1电子束B1和第2电子束B2中的任意一个，进行与第1实施方式相同的动作。这种情况下，可以构成为，能够对流经第1致偏线圈220a和第2致偏线圈220b的电流和流经第1加热电流电路236和第2加热电流电路244的电流进行监视。

另外，虽未图示，但是电子枪装置200可以具有与第1实施方式结构相同的检测部。

接下来，对连接部260的结构进行说明。

图7是表示连接部260的结构和连接关系的局部电路图。在图7中，为了表示连接部260与各结构要素的连接关系，仅表示出了图6所示电路图的一部分，例如，省略了第2变压部237、晶闸管235以及第2加热电流电路244等。在本实施方式中，连接部260具有：电源单元侧端子部261，其与电源单元230连接；切换单元侧端子部262，其与切换单元240连接。

在本实施方式中，电源单元侧端子部261包括第1端子261a、第2端子261b、第3端子261c、第4端子261d、第5端子261e以及第6端子261f。另外，切换单元侧端子部262也包括第1端子262a、第2端子262b、第3端子262c、第4端子262d、第5端子262e以及第6端子262f。第1端子261a与第1端子262a之间、第2端子261b与第1端子262b之间、第3端子261c与第3端子262c之间、第4端子261d与第4端子262d之间、第5端子261e与第5端子262e之间、以及第6端子261f与第6端子262f之间以能够相互连接的方式构成。这些端子261a～261f、262a～262f中的各端子可以由弹簧端子等构成，相对应的端子可以以能够通过螺钉等连接的方式构成。

电源单元侧端子部261的第1端子261a与加热电流用电源234连接。切换单元侧端子部262的第1端子262a与加热电流切换部241的开关构件241c连接。

电源单元侧端子部261的第2端子261b与第1加热电流电路236连接。切换单元侧端子部262的第2端子262b与加热电流切换部241的第1触点241a连接。

电源单元侧端子部261的第3端子261c与第1加热电流电路236连接。切换单元侧端子部262的第3端子262c与偏压切换部242的第1触点242a连接。

电源单元侧端子部261的第4端子261d与偏压供给部232连接。切换单元侧端子部262的第4端子262d与偏压切换部242的开关构件242c连接。

电源单元侧端子部261的第5端子261e与致偏用电源233连接。切换单元侧端子部262的第5端子262e与致偏电流切换部243的开关构件243c连接。

电源单元侧端子部261的第6端子261f与第1致偏线圈220a连接。切换单元侧端子部262的第6端子262f与致偏电流切换部243的第1触点243a连接。

电源单元侧端子部261的各端子261a～261f例如可以构成为，能够以露出于电源单元230的未图示的框体的一部分的方式配置。同样，切换单元侧端子部262的各端子262a～262f可以以露出于切换单元240的未图示的框体的一部分的方式配置。这种情况下，电源单元侧端子部261的各端子261a～261f与切换单元侧端子部262的各端子262a～262f相对应配置。

通过具有上述结构的连接部260能够使切换单元240与电源单元230连接，并且能够拆下来。具体来说，例如，通过将切换单元侧端子部262插入电源单元侧端子部261，使电源单元侧端子部261的各端子261a～261f与切换单元侧端子部262的各端子262a～262f连接。

另外，通过连接电源单元230和切换单元240，能够构成与第1实施方式等效的电路。从而，与第1实施方式相同，本实施方式也能够有利于简化设备。

另外，通过连接部260，能够在保管时或运输时分别处理电源单元230和切换单元240。从而，不仅能够缩小保管和运输时所需的空间，还能够提高处理效率。

电源单元230还可以具有连接切换部270。连接切换部270对电源单元侧端子部261进行控制，在切换单元连接状态和闭合电路状态之间切换，其中，切换单元连接状态为电源单元侧端子部261与切换单元侧端子部262能够连接的状态；闭合电路状态为加热电流供给部231与第1丝极210a不通过切换单元240而构成闭合电路的状态。图6和图7表示电源单元侧端子部261切换为切换单元连接状态的情况。后面会对连接切换部270的具体结构进行说明。

通过连接切换部270切换为闭合电路状态，代替切换单元240，将第2电源单元280与电源单元230连接，能够构成电子枪装置300。

[参考例]

图8是本实施方式的参考例所涉及的电子枪装置300的电路图。电子枪装置300具有第1电源单元230和第2电源单元280。另外，由于第1电源单元230具有与电子枪装置200的电源单元230相同的结构，因而利用与电源单元230相同的标记进行说明。

在本参考例中，第1电源单元230构成为，其与第1丝极210a连接，能够供给用于产生第1电子束B1的驱动电流。另外，第2电源单元280构成为，其与第2丝极210b连接，能够供给用于产生第2电子束B2的驱动电流。即，电子枪装置300构成为，能够交替或者同时射出第1电子束B1和第2电子束B2。

在本参考例中，第1电源单元230的加热电流供给部231供给用于使第1丝极210a产生第1电子束B1的加热电流。致偏用电源233向第1致偏线圈220a供给电力。

偏压供给部232对加热电流施加偏压。如后所述，偏压供给部232对第1电源单元230的第1加热电流电路236和第2电源单元280的第2加热电流电路286中的至少一个电路施加偏压。如后所述，偏压供给部232与第2电源单元280的偏压连接部282连接。

如图7和图8所示，连接切换部270包括第1连接切换部271和第2连接切换部272。

第1连接切换部271构成为，能够切换第1端子261a和第2端子261b的配置。具体来说，在切换单元连接状态下，第1端子261a和第2端子261b以露出于电源单元230的未图示的框体的一部分的方式配置(参照图6和图7)。另外，在闭合电路状态下，第1端子261a和第2端子261b相互连接(参照图8)。第1连接切换部271的结构并没有特别限定，例如，可以具有分别与第1端子261a和第2端子261b连接的施力构件(未图示)。这种情况下，可以构成为，在闭合电路状态下，施力构件对第1端子261a和第2端子261b施力，但是，伴随着切换单元测电子部262的插入，该施力状态被解除，而使闭合电路状态切换为切换单元连接状态。

第2连接切换部272构成为，能够切换第5端子262e和第6端子261f。具体来说，在切换单元连接状态下，第5端子262e和第6端子261f以露出于电源单元230的未图示的框体的一部分的方式配置(参照图6和图7)。另外，在闭合电路状态下，第5端子262e和第6端子261f相互连接。第2连接切换部272的结构并没有特别限定，例如，可以具有与第1连接切换部271相同的结构。

在连接第2电源单元280时，连接切换部270将连接部260的电源单元侧端子部261(参照图6和图7)切换为闭合电路状态。从而，第1电源单元230构成为，包括2个闭合电路，其中，一个闭合电路包括第1变压部237和第1丝极210a，另一个闭合电路包括致偏用电源233和致偏线圈220a。

第2电源单元280具有加热电流供给部281、偏压连接部282以及致偏用电源283。

加热电流供给部281例如与加热电流供给部231相同，具有加热电流用电源284、晶闸管285以及第2加热电流电路286，其供给用于使第2丝极210b产生第2电子束B2的加热电流。第2加热电流电路286包括第2变压部287。致偏用电源283向第2致偏线圈22b供给电力。

偏压连接部282构成为，能够连接偏压供给部232与第1加热电流电路236和第2加热电流电路286这二者中的至少一个。偏压连接部282例如包括第1触点282a、第2触点282b、第1连接端子282c、第2连接端子282d、第1开关构件282e以及第2开关构件282f。

第1触点282a构成为，能够通过第1连接端子282c与第1加热电流电路236连接。第1连接端子282c构成为，能够与电源单元侧端子部261的第3端子261c连接。

第2触点282b与第2加热电流电路286连接。第2连接端子282d构成为，能够与电源单元侧端子部261的第4端子261d连接。第1开关构件282e和第2开关构件282f均与第2连接端子282d连接。

第1开关构件282e具有与第1触点282a连接的闭合状态和不与第1触点282a连接的断开状态。在闭合状态下，偏压供给部232与第1触点282a连接，偏压被施加给第1加热电路电路236。

第2开关构件282f具有与第2触点282b连接的闭合状态和不与第2触点282b连接的断开状态。在闭合状态下，偏压供给部232与第2触点282b连接，偏压被施加给第2加热电路电路286。

在本参考例中，在第1开关构件282e和第2开关构件282f两者均处于闭合状态时，偏压被施加给第1加热电流电路236和第2加热电流电路286这两者的加热电流。这种情况下，被分别施加给第1和第2加热电流电路236、286的偏压的电压值的合计值在偏压供给部232的额定电压范围内即可。

根据上述结构，第2电源单元280构成为，包括2个闭合电路，其中，一个闭合电路包括加热电流用电源284、第2变压部287以及第2丝极210b，另一个闭合电路包括致偏用电源283和致偏线圈220b。

如上所述，控制部250选择2源电源供电模式。在2源电源供电模式下，控制部250构成为，能够选择性地切换第1状态、第2状态以及第3状态，其中，第1状态为向第1丝极210a供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极210b供给驱动电流的状态；第3状态为向第1丝极210a和第2丝极210b这两者供给驱动电流的状态。

在第1状态下，控制部250使加热电流用电源234和致偏用电源233驱动，并且使偏压连接部282的第1开关构件282e与第1触点282a连接。从而，通过被供给给第1丝极210a的驱动电流，第1电子束B1被射出，而且，通过致偏线圈220a，第1电子束B1发生偏转。

在第2状态下，控制部250使加热电流用电源284和致偏用电源283驱动，并且使偏压连接部282的第2开关构件282f与第2触点282b连接。从而，通过被供给给第2丝极210b的驱动电流，第2电子束B2被射出，而且，通过致偏线圈220b，第2电子束B2发生偏转。

在第3状态下，控制部250使第1加热电流用电源234、第2加热电流用电源284、第1致偏用电源233以及第2致偏用电源283驱动，并且使偏压连接部282的第1开关构件282e与第1触点282a连接，以及使第2开关构件282f与第2触点282b连接。从而，通过被供给给第1丝极210a和第2丝极210b的驱动电流，第1和第2电子束B1、B2被射出，而且，通过致偏线圈220a、220b，第1和第2电子束B1、B2分别发生偏转。

如上所示，根据本实施方式，能够选择性地使切换单元240和第2电源单元280中的任意一个与第1电源单元230连接。即，通过具有切换单元240的电子枪装置200能够应对使第1和第2电子束B1、B2交替产生的情况，通过具有第2电源单元280的电子枪装置300能够应对同时射出第1和第2电子束B1、B2的情况。即，能够实现电子枪装置200和电子枪装置300对第1电源单元230的共用，提高生产效率，并且，能够容易应对电子枪装置200和电子枪装置300的任何要求。另外，能够缩小库存时的空间。

再者，控制部250也能够通过上述模式切换被电子枪装置200、300共用，并且能有利于进一步提高生产效率，缩小库存时的空间。

<第3实施方式>

图9是本发明的第3实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。

上述的加热电流切换部141和致偏电流切换部143由于切换较低电压的电流，因而可以使用价格便宜的继电器或者电磁接触器等。另外，在切换偏压时，使用应对高电压的真空继电器等，因而可能会导致成本上升。

因此，本发明者们着眼于偏压与加热电流叠加后才产生电子束这一事项，而想到了构成这样的电子枪装置500：在该电子枪装置500中，偏压始终被施加于两个加热电流电路，不是通过切换偏压，而是通过切换加热电流的方式来切换射出电子束的丝极。

即，在本实施方式中，除上述目的外，另一目的为，提供一种价格便宜且能够更可靠地防止装置随着射出的电子束的切换而出现问题。

即，电子枪装置500的特征在于，具有第1丝极110a、第2丝极110b、第1致偏线圈120a、第2致偏线圈120b、电源单元530、切换单元540、控制部550以及检测部160，切换单元540不具有偏压切换部。另外，对于与上述的第1实施方式相同的结构标注相同标记，并省略其说明。

另外，在本实施方式中，电子枪装置500也可以构成为，如图1所示那样向1个腔室内射出第1和第2电子束中的任意一个。

电源单元530供给使第1丝极110a和第2丝极110b中的任意一个产生电子束B1、B2的驱动电流。如图9所示，电源单元530具有加热电流供给部131、偏压供给部532以及致偏用电源(致偏电流供给部)133。

偏压供给部532向加热电流施加偏压。在本实施方式中，偏压供给部532与第1加热电流电路136和第2加热电流电路144这两者连接。在本实施方式中，偏压供给部532包括：偏压电源538，其与第1加热电流电路136和第2加热电流电路144这两者连接；电阻器539。偏压电源538和电阻器539分别具有与偏压电源138和电阻器139相同的结构，因而省略说明。

切换单元540构成为，能够选择性地切换向第1丝极110a供给驱动电流的第1状态和向第2丝极110b供给驱动电流的第2状态。即，切换单元540构成为，能够在第1丝极110a和第2丝极110b间选择性地切换加热电流的供给。在本实施方式中，切换单元540具有加热电流切换部141、致偏电流切换部143以及第2加热电流电路144，但是，其不具有偏压切换部。另外，致偏电流切换部143与加热电流切换部141相同，可以配置在第1和第2变压部137、145的一次线圈侧。

另外，在本实施方式中，可以在第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的附近分别设置用于检测线圈不良的电阻值检测器(interlock、未图示)。电阻值检测器通过监视致偏线圈的电压和电流，能够检测出电阻不良。致偏线圈一般可能会因长期使用而出现线圈卷线的劣化，在卷线间产生层间短路等，并且产生没有达到规定磁场的线圈不良。电阻值检测器通过检测出异常的电阻值，能够检测出像这样的线圈不良的问题。

检测部160构成为，能够检测出流经第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的驱动电流、施加给第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的偏压、以及流经第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的电流。即，检测部160具有第1驱动电流检测部161a、第2驱动电流检测部161b、偏压检测部162、第1致偏电流检测部163a以及第2致偏电流检测部163b。在本实施方式中，偏压检测部162设置在至少设置在偏压供给部532与第1加热电流电路136之间以及/或者偏压供给部532与第2加热电流电路144之间。

控制部550控制第1状态和第2状态的切换。另外，控制部550在第1状态下使加热电流用电源134和致偏用电源133驱动，而且使晶闸管135处于驱动状态。控制部550还使加热电流切换部141和致偏电流切换部143各自的开关构件141c、143c分别与第1触点141a、143a连接。从而，驱动电流被供给给丝极110a，产生第1电子束B1，而且通过第1致偏线圈120a，第1电子束B1发生偏转。

控制部550在第2状态下使加热电流用电源134和致偏用电源133驱动，而且使晶闸管135处于驱动状态。控制部550还使加热电流切换部141和致偏电流切换部143各自的开关构件141c、143c分别与第2触点141b、143b连接。从而，驱动电流被供给给丝极110b，产生第2电子束B2，而且通过第2致偏线圈120b，第2电子束B2发生偏转。

在本实施方式中，无论是在第1状态下还是在第2状态下，偏压均由偏压供给部532被供给给加热电流。从而，即使不具有偏压切换部，通过加热电流切换部141的切换，也能够使驱动电流被供给给丝极110a和丝极110b中的任意一个。

在本实施方式中，控制部550构成为，能够基于检测部160的检测结果，来监视流经第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的驱动电流、施加给第1加热电流电路136和第2加热电流电路144的偏压、以及流经第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的电流。

接下来，对控制部550的切换工序(参照图3中的ST100)的一个动作例进行说明。在本动作例的切换工序中，不具有偏压的切换工序。另外，上述的电流监视工序可以适用图3所示的ST201～ST203。

首先，控制部550周期性地对是否接收到了主控制器(参照图1)生成的切换控制信号进行判定。当判定结果为接收到了切换控制信号时，控制部550发送用于使偏压供给部532停止偏压的供给的信号，而且发送使加热电流用电源134停止电流的供给的信号。接着，控制部550基于第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b的输出信号，对来自加热电流用电源134的电流的供给是否已停止进行判定。当判定结果为没有停止时，控制部50向电源单元530发送出错信号。从而，电源单元530处于停止驱动加热电流用电源134，不驱动晶闸管135的状态，从而使加热电流供给部131停止加热电流的供给。

当判定结果为来自加热电流用电源134的电流的供给已停止时，控制部550基于偏压检测部162的输出信号，对是否施加了偏压进行判定。

当判定结果为施加了偏压时，发送使致偏用电源133停止电流的供给的信号，并且基于第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b的输出信号，对来自致偏用电源133的电流的供给是否已停止进行判定。当判定结果为来自致偏用电源133的电流的供给已停止时，控制部550向致偏电流切换部143发送用于将与开关构件143c连接的触点切换为其他触点的切换信号。另外，当判定结果为来自致偏用电源133的电流的供给没有停止时，不发送切换信号，而是向电源单元530发送出错信号。

在发送了切换信号后，控制部550发送使致偏用电源133开始供给电流的信号，将致偏用电源133的电流值设定为规定的值。然后，控制部550基于第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b的输出信号，对电流是否由致偏用电源133被供给给了第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b中的一个所期望的致偏线圈进行判定。当判定结果为电流没有被供给给所期望的致偏线圈时，控制部550向电源单元530发送出错信号。

这样，由于本动作例中的致偏电流的切换是在致偏电流没有被供给的状态下进行的，因而能够防止致偏电流切换部143的触点粘连等问题。另外，上述致偏电流的切换在驱动电流没有被供给的状态下进行，而且在驱动电流切换后，通过第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b对电流是否被供给给了所期望的致偏线圈进行判定。从而能够防止电子束被射向与期望相反的方向，以更安全地运转电子枪装置500。

当判定结果为电流被供给给了所期望的致偏线圈时，控制部550对加热电流用电源134是否已停止驱动进行判定，当判定结果为加热电流用电源134没有停止驱动时，控制部550进一步基于第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b的输出信号，对来自加热电流用电源134的电流的供给是否继续停止着进行判定。当判定结果为没有停止时，控制部550向电源单元530发送出错信号。

当判定结果为已停止时，控制部550向加热电流切换部141发送用于将与开关构件143c连接的触点切换为其他触点的切换信号，将加热电流用电源134的电流值设定为规定的值。然后，控制部550基于第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b的输出信号，对加热电流是否被供给给了第1和第2加热电流电路136、144中的所期望的电路进行判定。当判定结果为加热电流没有被供给给第1和第2加热电流电路136、144中的所期望的电路时，向电源单元530发送出错信号。

这样，本动作例中的加热电流的切换能够在加热电流没有被供给的状态下进行，因而能够防止加热电流切换部141出现触点粘连等问题。另外，上述切换能够在致偏电流被供给给所期望的致偏线圈之后进行，因而，能够防止在加热电流被供给之后电子束被射向与期望相反的方向，以能够更安全地运转电子枪装置500。

当加热电流被供给给所期望的加热电流电路时，控制部550向偏压供给部532发送用于使驱动开始的信号。然后，控制部550基于偏压检测部162的输出信号，对是否被施加了偏压进行判定。当判定结果为施加了偏压时，便视为切换完成，并将该信息输出给主控制器。

如上所示，根据本实施方式，由于偏压供给部532与第1和第2加热电流电路136、144这两者连接，因而，不用切换偏压，便能够通过加热电流切换部141的切换对射出电子束的丝极进行切换。从而，不用采取切换高电压的方法，便能够提供具有价格更为便宜的结构的电子枪装置500。

再者，由于不具有偏压切换部，因而能够排除偏压切换部的电弧放电以及因该电弧放电引起的触点粘连等的风险。

另外，在本实施方式中，也可以构成为，能够向1个腔室内射出第1和第2电子束中的任意一个。因此，能够得到能够向已做好蒸镀准备的具有适当的空气环境的腔室射出电子束且安全性更高的结构。

另外，在致偏用电源133进行恒流控制，且致偏电流切换部143在通电状态下进行切换时，可能会产生电弧放电，通电不良的问题。因此，根据本实施方式，控制部550能够基于第1致偏电流检测部163a和第2致偏电流检测部163b的输出信号，对来自致偏用电源133的电流的供给是否已停止进行判定。从而能够防止致偏电流切换部163在通电状态下的切换，并且能够防止因电弧放电等引起的致偏电流切换部143的接触不良。

另外，当致偏电流切换部143在通电状态下进行切换时，在切换的瞬间，致偏电流电路的电阻值可能为异常的高值。因此，如上所述，当在第1致偏线圈120a和第2致偏线圈120b的附近设置电阻值检测器时，该电阻值检测器检测出异常值，可能会判定为线圈不良。因此，根据本实施方式，通过在对来自致偏用电源133的电流的供给是否已停止进行判定之后由致偏电流切换部143进行切换动作，从而能够防止像这样的误判定。

另外，根据本实施方式，控制部550能够在致偏电流切换部143和加热电流切换部141进行切换动作之后，参照检测部160的输出信号，对此时的状态是否为适当的通电状态进行确认。从而能够应对致偏电流切换部143和加热电流切换部141出现机械性的触点问题的情况。因此，能够防止产生与期望相反的电子束，以能够提供安全性更高的电子枪装置500。

上面对本发明的本实施方式进行了说明，但是，本发明并不局限于此，可以基于本发明的技术思想进行各种变形。另外，上述的第1～第3的各实施方式只要不发生矛盾就可以在任意组合后执行。

在上面的各实施方式中对电路图进行了说明，当然，也可以采用与该电路图等效的各种结构。

在上面的实施方式中，第1和第2加热电流电路可以构成为，不具有第1和第2变压部。这种情况下，只要加热电流切换部具有可耐高偏压的的结构，偏压供给部的偏压电压例如就可以构成为，能够连接在加热电流切换部与加热电流用电源之间。

在上面的实施方式中，对加热电流供给部具有晶闸管进行了说明，但是，加热电流供给部也可以不具有晶闸管，其可以根据需要具有其他元件。另外，致偏电流供给部可以具有致偏用电源和晶闸管等。

如图2和图9所示，第1驱动电流检测部161a和第2驱动电流检测部161b除可以设置在加热电流切换部141与第1和第2变压部137、145之间以外，例如还可以分别设置在第1变压部137和第2变压部145的高压(二次线圈)一侧。

在上面的第2实施方式中，对具有连接切换部270的结构进行了说明，但是，也可以采用不具有连接切换部270的结构。

100、200、300、500：电子枪装置；110a、210a…：第1丝极；110b、210b…：第2丝极；120a、220a…：第1致偏线圈(第1致偏器)；120b、220b…：第2致偏线圈(第2致偏器)；130、230、530：电源单元；131、231…：加热电流供给部；132、232…：偏压供给部；133、233…：致偏电流供给部；134、234…：加热电流用电源；136、236…：第1加热电流电路；137、237…：第1变压部；140、240、540…：切换单元；141、241…：加热电流切换部；142、242…：偏压切换部；143、243：致偏电流切换部；144、244…：第2加热电流电路；145、245…：第2变压部；150、250、550…：控制部；260：连接部。

Claims (11)

1.一种电子枪装置，其特征在于，具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部，其中，

所述第1丝极能够产生第1电子束；

所述第2丝极能够产生第2电子束；

所述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使所述第1丝极和所述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向所述加热电流施加偏压；

所述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，所述第1状态为向所述第1丝极供给驱动电流的状态，所述第2状态为向所述第2丝极供给所述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流；

所述控制部控制所述第1状态和所述第2状态的切换。

2.根据权利要求1所述的电子枪装置，其特征在于，

所述加热电流供给部具有：

加热电流用电源；

第1加热电流电路，其与所述第1丝极连接，

所述切换单元具有：

第2加热电流电路，其与所述第2丝极连接；

加热电流切换部，其在所述第1状态下连接所述加热电流用电源和第1加热电流电路，在所述第2状态下连接所述加热电流用电源和第2加热电流电路。

3.根据权利要求2所述的电子枪装置，其特征在于，

所述切换单元还具有偏压切换部，所述偏压切换部在所述第1状态下连接所述偏压供给部和所述第1加热电流电路，在所述第2状态下连接所述偏压供给部和所述第2加热电流电路。

4.根据权利要求2或3所述的电子枪装置，其特征在于，

所述第1加热电流电路包括第1变压部，所述第1变压部能够改变所述加热电流的电压值，

所述第2加热电流电路包括第2变压部，所述第2变压部能够改变所述加热电流的电压值。

5.根据权利要求2所述的电子枪装置，其特征在于，

所述偏压供给部与所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者连接。

6.根据权利要求2～5中任意一项所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，

当判定结果为所述第1加热电流电路和所述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，所述控制部使所述加热电流用电源停止所述加热电流的供给。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述加热电流是否正被所述偏压供给部施加所述偏压进行判定，当判定结果为没有施加所述偏压时，所述控制部切换所述第1状态和所述第2状态。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的电子枪装置，其特征在于，

还具有：

第1致偏器，其能够使所述第1电子束发生偏转；

第2致偏器，其能够使所述第1电子束发生偏转，

所述电源单元还具有致偏电流供给部，所述致偏电流供给部向所述第1致偏器和所述第2致偏器中的任意一个供给电流，

所述切换单元具有致偏电流切换部，所述致偏电流切换部在所述第1状态下连接所述致偏电流供给部和第1致偏器，在所述第2状态下连接所述致偏电流供给部和第2致偏器。

9.根据权利要求8所述的电子枪装置，其特征在于，

所述控制部对所述第1致偏器和所述第2致偏器中的任意一个是否正被所述致偏用电源供给部供给电流进行判定，

当判定结果为所述第1致偏器和所述第2致偏器这两者均没有被供给所述电流时，所述控制部切换所述第1状态和所述第2状态。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的电子枪装置，其特征在于，

还具有连接部，所述连接部以能够使所述电源和所述切换单元拆开的方式连接这两者。

11.一种真空蒸镀装置，其特征在于，

具有能够维持真空状态的腔室、支承部、第1蒸发材料保持部、第2蒸发材料保持部与电子枪装置，其中，

所述支承部配置在所述腔室内，支承基板；

所述第1蒸发材料保持部以与所述支承部相向的方式配置在所述腔室内，其被维持在地电位，保持第1蒸发材料；

所述第2蒸发材料保持部以与所述支承部相向的方式配置在所述腔室内，其被维持在地电位，保持第2蒸发材料，

所述电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元、控制部，其中，

所述第1丝极能够向所述第1蒸发材料射出第1电子束；

所述第2丝极能够向所述第2蒸发材料射出第2电子束；

所述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使所述第1丝极和所述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向所述加热电流施加偏压；

所述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，所述第1状态为向所述第1丝极供给驱动电流的状态，所述第2状态为向所述第2丝极供给所述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是所述加热电流被施加所述偏压后形成的电流；

所述控制部控制所述第1状态和所述第2状态的切换。