CN105451989A - 脱模片及使用其的背衬片叠层体 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种脱模片，其对背衬片叠层体赋予硬挺度，可以提高背衬片叠层体的适用性，且在背衬片叠层体进行卷绕时，不会在背衬片的表面产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹陷。本发明的脱模片可剥离地配置在叠层一体化于背衬片上的粘合剂层上而使用，所述背衬片介于被研磨物和台板之间而使用，其特征在于，所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。

Description

脱模片及使用其的背衬片叠层体

技术领域

本发明涉及一种脱模片及使用其的背衬片叠层体，所述脱模片可剥离地叠层于粘合剂层上，所述粘合剂层一体化地设置在用于将被研磨物固定在对半导体晶片或液晶用玻璃等被研磨物进行研磨的研磨装置的台板上的背衬片的背面。

背景技术

以半导体集成电路的高密度化为目的，产生布线的微细化，需要尽可能将半导体晶片或液晶用玻璃基盘等的表面的凹凸平坦化。就被研磨物而言，为了液晶的大画面化或减少制造成本而进行被研磨物的大张化，伴随被研磨物的大张化，用于将被研磨物固定于台板上的背衬片也进行大张化，短边或一边的长度为2.4m以上的矩形的背衬片也开始被使用。

背衬片通常由发泡片材等具有硬挺度的材料形成，载置被研磨物，使其固定而使用，因此，在背衬片的表面产生凹凸时，产生不能稳定地载置和固定被研磨物，不能精度良好地对被研磨物的表面进行研磨的问题点。

因此，在运输背衬片时，在叠层一体化于其一个表面的粘合剂层上可剥离地叠层脱模片而制成背衬片叠层体，并且，如图5所示，以背衬片作为内侧，并卷绕成松弛地卷绕仅一次或、数次的状态，而不卷绕成较强地卷绕于卷绕轴等上的状态，使其成为横倒的状态，从而在其表面不产生凹凸。

另外，在使用背衬片时，一边从背衬片叠层体上剥离脱模片，一边将背衬片利用叠层一体化于其一个表面的粘合剂层固定于下侧的台板上，但如上所述，背衬片由发泡片材等具有硬挺度的材料形成，因此硬挺度弱，向台板进行配设及固定时容易在背衬片上产生褶皱，背衬片上产生褶皱时，不能在背衬片上稳定地载置和固定被研磨物，不能稳定且精度好地进行被研磨物的研磨。

如上所述，脱模片可剥离地叠层在背衬片叠层体上，通过该脱模片的存在对背衬片赋予某种程度的硬挺度。

另一方面，作为用于背衬片的脱模片，如专利文献1的段落号[0030]中记载的那样，通常使用聚乙烯膜作为芯材。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2003-64327号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，聚乙烯膜的硬挺度弱，因此，从背衬片叠层体上剥离脱模片而使背衬片固定在下侧的台板上的操作中，背衬片叠层体的硬挺度不充分，因此，不能稳定地保持背衬片叠层体，其结果，产生在背衬片产生褶皱的问题。

因此，以使背衬片叠层体的硬挺度变强为目的，为了使脱模片的硬挺度变强，考虑加厚用作脱模片的芯材的聚乙烯膜的厚度。

这样一来，脱模片的重量变重，其结果，背衬片叠层体整体的重量也变重，为了运输背衬片叠层体，在使背衬片叠层体成为卷绕状态并使其成为横倒状态时，背衬片的卷绕始端由于背衬片叠层体的自重而被强力按压在卷绕于卷绕始端外侧的背衬片叠层体的内面，其结果，产生如下问题：在背衬片的表面产生背衬片叠层体卷绕始端引起的凹陷、损害背衬片的表面的平滑性。

本发明提供一种脱模片及使用有该脱模片的背衬片叠层体，所述脱模片可剥离地叠层于粘合剂层上而使用，所述粘合剂层叠层一体化在背衬片上(第一表面)，对背衬片叠层体赋予硬挺度，可以提高背衬片叠层体的操作性，且对背衬片叠层体进行卷绕时不会在背衬片的表面产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹陷。

用于解决技术问题的技术方案

本发明提供一种脱模片，其是可剥离地配置在粘合剂层上而使用的脱模片，所述粘合剂层叠层一体化于介于被研磨物和台板之间而使用的背衬片上，所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。

作为背衬片1，只要可以稳定地固定半导体晶片或液晶用玻璃基盘等被研磨物，并使被研磨物稳定地载置和固定在表面上来进行被研磨物的研磨即可，可使用通用的背衬片。作为背衬片，可列举例如在表面露出气泡截面而成的聚氨酯类树脂发泡片材、在表面露出气泡截面而成的丙烯酸类树脂发泡片材等。

背衬片1与后述的脱模片4同样地形成为矩形，其宽度优选2.4m以上，更优选2.4～2.6m。在背衬片1为长方形的情况下，其短边优选为2.4m以上，更优选为2.4～2.6m。在背衬片1为正方形的情况下，其一边优选为2.4m以上，更优选为2.4～2.6m。

而且，如图1所示，在背衬片1的一个表面(第一表面)的整个面上对粘合剂层2进行叠层一体化。作为叠层一体化于背衬片1的一个表面的粘合剂层2，只要可以将背衬片1可剥离地固定在台板上即可，没有特别限定，可列举例如丙烯酸类粘合剂、橡胶类粘合剂、聚硅氧烷类粘合剂、聚氨酯类粘合剂等。

为了将粘合剂层2叠层一体化在背衬片1的一个表面上，可以将粘合剂层2直接叠层一体化在背衬片1的一个表面上，但如图2所示，可以通过将双面胶带3叠层一体化在背衬片1的一个表面上来将粘合剂层2叠层一体化在背衬片1的一个表面上。需要说明的是，作为在背衬片1的一个表面上直接叠层一体化粘合剂层2的方法，没有特别限定，可列举例如在对表面实施了脱模处理的合成树脂膜上，以指定厚度涂布含有粘合剂的粘合剂溶液，进行干燥从而在合成树脂膜上形成粘合剂层，将该粘合剂层转印于背衬片1的一个表面并进行一体化的方法等。

双面胶带3是通过将粘合剂层32、粘合剂层32叠层一体化在带状基材31的两个表面上而得到的。双面胶带3的粘合剂层32、粘合剂层32中露出于外侧的粘合剂层32是粘合剂层2。作为带状基材31，可列举：合成树脂膜、无纺布、织布、涂布纸、铸涂纸等。作为构成合成树脂膜的合成树脂，可列举例如：聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃类树脂、软质聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯类树脂等。

另外，作为构成叠层一体化于带状基材31的两个表面的粘合剂层32、粘合剂层32的粘合剂，没有特别限定，可列举例如：丙烯酸类粘合剂、橡胶类粘合剂、聚硅氧烷粘合剂、聚氨酯类粘合剂等。

本发明的脱模片4是可剥离地配置在叠层一体化于背衬片1上(背衬片1的第一个表面)的粘合剂层2的整个面上而使用的。如图3所示，脱模片4包含片材主体4a、和叠层一体化于片材主体4a的两个表面的脱模剂层43、脱模剂层43，所述片材主体4a包含聚酯类树脂膜41、及叠层一体化于聚酯类树脂膜41的一个表面(第一个表面)上的纸基材42。

脱模片4在其一部分具有厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜41。聚酯类树脂膜41为非发泡的膜。即使聚酯类树脂膜的厚度薄至10～60μm，也具有充分的硬挺度。因此，脱模片4具有充分的硬挺度的强度，可以由脱模片4对背衬片叠层体赋予充分的硬挺度的强度，由此，可以提高背衬片叠层体的操作性，从而将背衬片1配设并固定于台板上而不在背衬片产生褶皱。

并且，如图5所示，背衬片叠层体在其运输时，使背衬片为内侧，使其成为松弛地卷绕仅一次或数次的状态，而且使其为横倒的状态。需要说明的是，图5中，省略背衬片叠层体的层结构。

另一方面，就脱模片4而言，其聚酯类树脂膜的厚度为10～60μm且脱模片整体的厚度也控制为190μm以下，脱模片4自身的重量变轻，其结果，背衬片叠层体A的整体重量变轻。因此，背衬片叠层体A的卷绕始端A1不会较强地挤压卷绕于其外侧的背衬片叠层体的内面(背衬片1)，因此，背衬片1的表面不会产生背衬片叠层体A的卷绕始端A1引起的凹陷。

构成上述聚酯类树脂膜的聚酯类树脂为芳香族二羧酸和二醇发生缩合反应而得到的高分子量的线状聚酯。

作为芳香族二羧酸，没有特别限定，可以使用例如对苯二甲酸、间苯二甲酸、萘二羧酸、二苯基醚二羧酸、二苯基砜二羧酸、二苯氧基乙烷二羧酸等。

另外，作为二醇，没有特别限定，可列举例如：乙二醇、三亚甲基二醇、四亚甲基二醇、新戊二醇、六亚甲基二醇、二羟甲基环己烷、二羟甲基三环癸烷、2,2-双(4-β-羟基乙氧基苯基)丙烷、4,4’-双(β-羟基乙氧基)二苯基砜、二乙二醇等。

作为聚酯类树脂，没有特别限定，可列举例如：聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯硬挺度体、非结晶性聚酯、对苯二甲酸聚环己二醇酯等，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯。需要说明的是，聚酯类树脂可以单独使用，也可以组合使用两种以上。

聚酯类树脂膜41形成平面矩形。就聚酯类树脂膜41的厚度而言，其薄时，脱模片的硬挺度变弱，背衬片叠层体的硬挺度变弱从而操作性降低，在将背衬片配设于台板上时，有可能在背衬片上产生褶皱，当其厚时，脱模片的重量变重从而背衬片叠层体整体的重量变重，其结果，在将背衬片叠层体制成卷绕状态时，背衬片叠层体的卷绕始端较强地挤压背衬片的表面，在背衬片的表面产生凹陷，因此，聚酯类树脂膜41的厚度为10～60μm，优选12～38m，更优选15～38μm，特别优选20～37μm。

在聚酯类树脂膜41的一个表面(第一个表面)上叠层一体化纸基材42而构成片材主体4a。通过片材主体4a的一部分上具有纸基材，会变得比厚度与片材主体相同的合成树脂膜更为柔软。作为纸基材，没有特别限定，可列举例如：玻璃纸、道林纸(上質紙)、牛皮纸等。可以在纸基材42上叠层一体化填孔层(粘土层)。

作为在聚酯类树脂膜41的一个表面上叠层一体化纸基材42的方法，没有特别限定，可列举例如利用粘合剂对聚酯类树脂膜41和纸基材42进行叠层一体化的方法等。

在片材主体4a的两个表面上叠层一体化脱模剂层43、脱模剂层43而构成脱模片4。作为构成脱模剂层43的脱模剂，没有特别限定，可列举例如聚硅氧烷脱模剂、氟类脱模剂、聚烯烃类脱模剂等。需要说明的是，片材主体4a的两侧的脱模剂层43、脱模剂层43可以相同，也可以不同。

作为在片材主体4a的两个表面形成脱模剂层43、43的方法，没有特别限定，可列举例如通过在片材主体4a的两个表面涂布含有脱模剂的脱模剂溶液，并使其干燥，从而使脱模剂层叠层一体化在片材主体4a的两个表面上的方法等。

另外，可以对在脱模片4中的纸基材42上叠层一体化的脱模剂层43的表面实施凹凸加工。通过在脱模片4的脱模剂层43的表面实施凹凸加工，在卷绕背衬片叠层体A时，脱模片4的脱模剂层43和背衬片叠层体A的背衬片1之间的摩擦力变小，在松弛地卷绕背衬片叠层体A时，如图6所示，即使背衬片叠层体A发生斜行或弯折而产生中心错位的情况下，通过用手对背衬片叠层体A沿其宽度方向(与绕方向垂直的方向)按压而可以容易地矫正中心错位，容易地将背衬片叠层体A调整为正确的卷绕状态。需要说明的是，作为对脱模剂层43的表面实施凹凸加工的方法，没有特别限定，可列举例如在纸基材42的表面实施凹凸加工，以纸基材42的表面的凹凸加工不消失的方式沿纸基材42的表面形成脱模剂层43的方法。

脱模片4形成为矩形，从腐蚀观察时与背衬片1为相同形状且形成为相同大小，其宽度调整为2.4m以上、优选2.4～2.6m，被形成为大张。在脱模片4为长方形的情况下，其短边优选为2.4m以上，更优选为2.4～2.6m。在脱模片4为正方形的情况下，其一边优选为2.4m以上，更优选为2.4～2.6m。

就脱模片4的厚度而言，其厚时，有时产生如下问题点：背衬片叠层体的重量变重，背衬片叠层体的卷绕始端A1较强地挤压卷绕于外侧的背衬片叠层体的内面(背衬片1)，在背衬片1的表面产生背衬片叠层体A的卷绕始端A1引起的凹陷，因此，脱模片4的厚度为190μm以下，优选80～180μm，更优选80～170μm，特别优选80～160μm，最优选90～140μm。

下面，对本发明的脱模片4的使用要领进行说明。如图4所示，本发明的脱模片4通过将聚酯类树脂膜41上的脱模剂层43可剥离地叠层于背衬片1的粘合剂层2上而使用。需要说明的是，为了保持粘合剂层2的表面平滑性，脱模片4以聚酯类树脂膜41为背衬片1侧的方式可剥离地叠层在背衬片1的粘合剂层2上。

而且，如图4所示，脱模片4可剥离地叠层在背衬片1的粘合剂层2上而形成的背衬片叠层体A在其运输时，如图5所示，使背衬片1为内侧，使其成为松弛地卷绕仅一次或多次的状态，然后，使其成为横倒的状态。图5中示出了背衬片叠层体A仅松弛地卷绕一次的状态。

另一方面，脱模片4其整体的厚度设为190μm以下，并且聚酯类树脂膜的厚度也设为10～60μm，因此，脱模片4自身的重量变轻，背衬片叠层体A整体的重量也变轻。因此，背衬片叠层体A的卷绕始端A1不会由于背衬片叠层体A的自重而较强地挤压卷绕于外侧的背衬片叠层体A的内面(背衬片1)，因此，不会在背衬片1的表面产生由背衬片叠层体A的卷绕始端A1引起的凹陷。

另外，使对背衬片叠层体A的背衬片1为内侧而在将背衬片叠层体A松弛地卷绕仅一次或多次的状态下，脱模片4在其一部分具有聚酯类树脂膜41，因此，具有适当的硬挺度。

因此，在卷绕背衬片叠层体A时，如图6所示，背衬片叠层体A不会发生倾斜或蛇行而导致中心错位，从而可以稳定且顺利地卷绕背衬片叠层体A。

下面，对背衬片叠层体A的使用要领进行说明。如上所述，在背衬片叠层体A处于松弛地卷绕的状态时，调整为平面矩形的展开状态。

如图7所示，背衬片1利用叠层一体化在其一个表面(第一个表面)的粘合剂层2而在可剥离地固定在研磨装置的下侧的台板B上的状态下而被使用。为了将背衬片1固定于下侧的台板B上，首先，将背衬片叠层体A在其脱模片4与下侧的台板B对置的状态下位于下侧的台板B的上方。

然后，将背衬片叠层体A的脱模片4从其任意的端部，优选从短边侧的端部缓慢地剥离，从而依次使叠层一体化在背衬片1的一个表面的粘合剂层2露出。使该露出的粘合剂层2从背衬片1的端部开始依次可剥离地粘贴在下侧的台板B上。

此时，在背衬片叠层体A中，在从粘合剂层2上剥离了脱模片4的部分以外的部分中，在粘合剂层2上可剥离地叠层有脱模片4，因此，背衬片叠层体A具有适当的硬挺度，可以在稳定地保持背衬片叠层体A的同时，将背衬片1稳定地粘贴并固定在下侧的台板B上。

而且，在研磨装置的下侧的台板B上可剥离地粘贴和固定背衬片1之后，在该背衬片1上载置被研磨物C并固定。接着，一边在被研磨物C上滴加研磨浆料，一边使下侧的台板B旋转从而使被研磨物C旋转。并且，将砂布E固定在研磨装置的上侧台板D上。一边使上侧的台板D向与下侧的台板B相反方向旋转，一边将砂布E按压于被研磨物C，由此用砂布E对被研磨物C的表面进行研磨。

在背衬片1的表面，在其运输时或保管时，即使在松弛地卷绕仅一次或多次的状态的情况下，也可以在背衬片1上稳定地载置和固定被研磨物C而不会在背衬片1的表面产生凹凸，可以利用砂布E稳定且高精度地对被研磨物C进行研磨。

发明的效果

本发明的脱模片具有如上所述的构成，在其一部分上具有厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜，因此，尽管重量轻，但是具有适当的硬挺度。

因此，使用本申请发明的脱模片得到的背衬片叠层体可以使其重量变轻。即使在使背衬片叠层体松弛地卷绕仅一次或多次而使其成为横倒的状态时，背衬片叠层体的卷绕始端也不会由于背衬片叠层体自身的自重而较强地对卷绕于其外侧的背衬片叠层体的背衬片的表面进行挤压，不会在背衬片的表面产生不希望的凹凸。

因此，可以在表面平滑的背衬片上稳定地载置被研磨物，可以稳定地且高精度地对被研磨物进行研磨。

另外，在上述脱模片中，在对形成于纸基材上的脱模剂层的表面实施凹凸加工的情况下，在卷绕了背衬片叠层体时，可以减少背衬片和脱模片的脱模剂层的摩擦。因此，在卷绕了背衬片叠层体时，即使在背衬片叠层体产生中心错位的情况下，也可以通过用手对背衬片叠层体在与其卷绕方向垂直的方向进行按压，容易地对背衬片叠层体的中心错位进行矫正，从而容易地以正确的状态卷绕背衬片叠层体。

附图说明

图1是示出背衬片和叠层一体化于该背衬片的一个表面(第一个表面)的粘合剂层的剖面图；

图2是示出背衬片和叠层一体化于该背衬片的一个表面(第一个表面)的粘合剂层的其它一例的剖面图；

图3是示出本发明的脱模片的剖面图；

图4是示出本发明的背衬片叠层体的剖面图；

图5是示出背衬片叠层体的卷绕状态的立体图；

图6是示出背衬片叠层体产生了中心错位的状态的立体图；

图7是示出背衬片的使用状态的示意剖面图。

标记说明

1背衬片

2粘合剂层

3双面胶带

4脱模片

4a片材主体

31带状基材

32粘合剂层

41聚酯类树脂膜

42纸基材

43脱模剂层

A背衬片叠层体

A1卷绕始端

B台板

C被研磨物

D台板

E砂布

具体实施方式

以下，一边参照其具体的实施例，一边对本发明详细地进行说明。需要说明的是，本发明并不限定于以下的实施例。

(实施例1～11、比较例1～3)

从由在表面露出气泡截面而成的聚氨酯类树脂发泡片构成的背衬片材(厚度：800μm)切出一边为3500mm的平面正方形的背衬片1。

在一边为3500mm的平面正方形且厚度为75μm的聚酯类树脂膜(东洋纺株式会社制造商品名“E5200”)的两个表面实施电晕放电处理，然后，将含有丙烯酸类粘合剂的粘合剂溶液涂布在聚酯类树脂膜的两个表面上并使其干燥，从而制造使厚度为50μm的丙烯酸类粘合剂层32、丙烯酸类粘合剂层32叠层一体化在聚酯类树脂膜的两个表面而成的双面胶带3。

将含有丙烯酸类粘合剂的粘合剂溶液涂布在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜41的一个表面(第一个表面)上并使其干燥，从而形成表1所示的厚度的粘合剂层，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯膜41是一边为3500mm的平面正方形，其具有表1所示厚度且两个表面实施了电晕放电处理。聚对苯二甲酸乙二醇酯膜41为非发泡膜。将具有表1所示的厚度的玻璃纸重叠在该粘合剂层上，将玻璃纸叠层一体化在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜41的一个表面(第一个表面)上，从而制造具有表1所示厚度的片材主体4a。需要说明的是，表1中，将聚对苯二甲酸乙二醇酯膜记载为“PET膜”。

接着，将脱模剂溶液(信越化学株式会社制造商品名“KS-847T”)涂布在片材主体4a的两个表面并使其干燥，将具有表1所示的厚度的脱模剂层叠层一体化在片材主体4a的两个表面上，从而制造具有表1所示的厚度的脱模片4。

将脱模片4可剥离地叠层在上述双面胶带3的一个粘合剂层32上，使其聚对苯二甲酸乙二醇酯膜41位于双面胶带3侧，然后，使双面胶带3的另一个粘合剂层32粘贴一体化在背衬片1的一个表面(第一个表面)上，从而制造背衬片叠层体A。

对得到的背衬片叠层体A，按照下述的要领测定凹凸的产生及弯曲，将其结果示于表1。

[凹凸的产生(卷一周)]

使得到的背衬片叠层体A如图5所示那样松弛地卷绕仅一圈。背衬片叠层体的卷绕始端A1成为与卷绕于其外侧的背衬片叠层体的背衬片表面抵接的状态。背衬片叠层体A的卷绕始端A1在位于最下方的横倒状态下放置72小时。

接着，将背衬片叠层体A展开，目视观察背衬片的表面，确认在背衬片的表面是否产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸，基于下述基准进行评价。

A···在背衬片的表面没有产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸。

B···在背衬片的表面产生了背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸。

[凹凸的产生(卷三周)]

对在凹凸的产生(卷一周)中评价为“A”的背叠层体，进行设定为苛刻条件的下述评价。将背衬片叠层体A松弛地卷绕成三层。形成背衬片叠层体的卷绕始端A1与卷绕于其外侧背衬片叠层体的背衬片表面抵接的状态。背衬片叠层体A的卷绕始端A1在位于最下方的横倒状态下放置72小时。

接着，将背衬片叠层体A展开，目视观察背衬片的表面，确认是否在背衬片的表面产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸，基于下述基准进行评价。

A···在背衬片的表面没有产生背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸。

B···在背衬片的表面产生了背衬片叠层体的卷绕始端引起的凹凸。

[弯曲]

A···在抱起横倒状态的背衬片叠层体A而移动时，可以保持背衬片叠层体A而不弯，可以容易地固定在台板上。另外，没有观察到使背衬片移动而产生的褶皱。

B···在抱起横倒状态的背衬片叠层体A而移动时，有时背衬片叠层体A整体上弯曲，但至少可以保持，可以固定在台板上。另外，没有观察到使背衬片移动而产生的褶皱。

(关联申请的相互参照)

本申请基于2013年9月5日所申请的日本国专利申请第2013-184388号主张优先权，该申请的公开通过参照这些申请整体而被引入本说明书中。

工业上实用性

本发明的脱模片用于对在研磨装置中介于被研磨物和台板之间而使用的背衬片上叠层一体化的粘合剂层进行保护。

Claims (4)

1.一种脱模片，其可剥离地配置在叠层一体化于背衬片上的粘合剂层上而使用，所述背衬片介于被研磨物和台板之间而使用，

所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，

所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。

2.如权利要求1所述的脱模片，其中，聚酯类树脂膜包含聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。

3.如权利要求1或2所述的脱模片，其中，形成于纸基材上的脱模剂层的表面实施了凹凸加工。

4.一种背衬片叠层体，其包括：

介于被研磨物和台板之间而使用的背衬片、

叠层一体化于所述背衬片上的粘合剂层、和

可剥离地叠层于所述粘合剂层上的脱模片，

所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，

所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。