CN105396755B - 一种涂胶机头、涂胶机及涂胶方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种涂胶机头、涂胶机及涂胶方法，所述涂胶机头具有容纳胶体的腔室、连通所述腔室的扁平状的胶嘴和供胶管路，所述胶嘴的宽度延伸方向与所述腔室的轴向平行；还包括设置于所述腔室内的、可水平移动的两个隔板，两个所述隔板相对设置且平行于所述腔室的横截面。涂胶机头在腔室内设置有两个可在水平方向移动的隔板，在由隔板上的入胶口输入胶体后，隔板可以推动两隔板之间的胶体进行水平方向上的移动，使腔室内胶体的位置可以控制，进而可以控制胶嘴在基板上的涂胶位置以及涂胶机头在行进时涂覆胶体的宽度，提高涂胶机在面板上涂覆胶体位置的灵活性。

Description

一种涂胶机头、涂胶机及涂胶方法

技术领域

本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种涂胶机头、涂胶机及涂胶方法。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)，在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上明显优于传统的阴极射线管显示器，它的性能优良、大规模生产特性好，自动化程度高，原材料成本低廉，发展空间广阔，迅速成为了新世纪的主流显示产品。

在TFT-LCD的光刻工艺制作过程中，由于涂胶机的限制，使不同型号的产品所涂覆的光刻胶距玻璃基板边缘的距离都相等。即目前的涂胶机只能涂覆出固定宽度的胶体，这会使得面板上所形成的图形存在均一性较差的问题。这是由于在后期的显影刻蚀过程中，由于面板中部的像素边缘区域溶解的光刻胶较少，而面板边缘的像素边缘区域溶解的光刻胶较多，不同区域溶解的光刻胶的量不同会导致显影液从高浓度区域向低浓度区域流动，从而导致面板边缘区域与面板中部区域形成的图形形状不能完全一致，使得整张面板的图形不均匀，降低了TFT-LCD产品的良率。

如图1所示，为目前光刻工艺中所使用的光刻机机头结构示意图，主要有容纳胶体的腔室1，腔室1的外侧壁上设置的入胶口2，入胶口2用于与向腔室1内输送胶体的供给管路3相连通。腔室1下方还设置有胶嘴4，胶嘴4宽度的延伸方向与腔室1的轴向平行。胶嘴4与腔室1底部接触的部分形成有上下连通的长形缝隙。由于胶嘴4与腔室1底部所形成的长形缝隙的长度固定，因此，目前的光刻机在行进的过程中只能涂覆出固定宽度的光刻胶，并不能根据具体需要灵活地选择涂胶位置。

发明内容

本发明的目的是提供一种涂胶机头、涂胶机及涂胶方法，该涂胶机可以根据具体设定的位置在面板上进行涂胶，可以对面板所需要涂覆的涂胶宽度进行控制，从而使面板中部区域与面板边缘区域在显影过程中溶解的光刻胶量一致，进而使面板中部与边缘处形成的图形均匀一致，提高面板的制作良率。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施例提供一种涂胶机头，所述涂胶机头具有容纳胶体的腔室、连通所述腔室的扁平状的胶嘴和供胶管路，所述胶嘴的宽度延伸方向与所述腔室的轴向平行；还包括设置于所述腔室内的、可水平移动的两个隔板，两个所述隔板相对设置且平行于所述腔室的横截面；

所述隔板具有入胶孔，所述供胶管路的出胶端固定于所述入胶孔内且出胶方向朝向两个所述隔板之间。

本实施例中，所述涂胶机头在所述腔室内设置有两个可在水平方向移动的隔板，可移动隔板可以推动两个所述隔板之间的胶体进行移动，进而可以控制所述腔室内的胶体通过所述胶嘴的出胶位置，提高涂胶机在面板上涂覆胶体位置的灵活性。

优选的，每一个所述隔板背对另一个所述隔板的一面通过传动部件连接驱动装置，所述驱动装置驱动所述传动部件带动所述隔板进行水平移动。本实施例中，两个隔板相背的面通过传动部件连接驱动装置，所述驱动装置驱动所述传动部件带动所述隔板进行水平移动，可以使腔室内胶体的所处位置进行相应的改变，进而可以控制所述涂胶机头通过所述胶嘴的出胶宽度。

优选的，所述驱动装置为液压驱动装置或伺服电极。

优选的，所述传动部件为伸缩杆或驱动螺杆。本实施例中，所述传动部件为伸缩杆或驱动螺杆可使可移动隔板在水平方向进行稳定的移动，防止所述可移动隔板在移动过程中发生晃动，影响出胶位置的精确度。

优选的，每一个所述隔板背对另一个所述隔板的一面还通过弹性结构固定于所述腔室的内壁。

优选的，所述涂胶机头还包括控制器，所述控制器与所述驱动装置电连接；

所述控制器用于根据设定出胶位置和出胶宽度，控制所述驱动装置驱动所述所述传动部件的传动精度。

本实施例中，所述涂胶机头还包括控制器，所述控制器用于根据设定出胶位置和出胶宽度，所述控制器的设置可以使所述涂胶机更加智能化，可以直接根据设定出的胶位置和出胶宽度使所述涂胶机在面板上涂覆出需要的胶体图形。控制所述驱动装置驱动所述所述传动部件的传动精度。

优选的，所述控制器为中央处理器、单片机或数字信号处理器。

优选的，所述隔板还包括设置于下端的条状阻挡部件，所述阻挡部件延伸至所述胶嘴内；

所述阻挡部件与所述隔板下端固定连接，或者所述阻挡部件与所述隔板为一体结构，所述阻挡部件的延伸方向与所述胶嘴的出胶方向相同。

本实施例中，位于所述隔板下端的条状阻挡部件可以控制胶体在通过所述胶嘴时的流动方向，避免由于胶体流动方向的随意性最终影响胶体在面板上的涂覆精准度。所述阻挡部件与所述隔板可以为一体结构，也可以不为一体结构，而是通过其他连接结构将所述阻挡部件与所述隔板固定在一起。当所述阻挡部件与所述隔板不为一起结构时，单独的阻挡部件有利于损毁时的更换方便；当所述阻挡部件与所述隔板为一起结构时，制作过程方便简单、涂胶位置易于确定。

优选的，所述隔板与所述腔室的内壁间隙配合。本实施例中，所述隔板与所述腔室的内壁间隙配合可以使胶体位于两可移动隔板相对的区域内，使所述腔室内的胶体在两所述可移动隔板之间排出。

本实施例的有益效果如下：所述涂胶机头在所述腔室内设置有两个可在水 平方向移动的隔板，可移动隔板可以推动两个所述隔板之间的胶体进行移动，进而可以控制所述腔室内的胶体通过所述胶嘴的出胶位置，提高涂胶机在面板上涂覆胶体位置的灵活性。

本发明实施例提供一种涂胶机，包括上述实施例提供的涂胶机头。

本发明实施例还提供一种采用所述涂胶机的涂胶方法，包括：

在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后检测所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差；

根据所述偏差调整所述涂胶机头的所述腔室内的两个所述隔板，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置；

以调整后的所述涂胶机头完成当前图层的光刻胶涂覆工艺。

本实施例中，完成第一图层的光刻工艺后检测到所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差时，能够根据偏差，通过涂胶机头和设置在腔室内的两个隔板重新调整涂胶位置，使再次涂胶的图形与第一图层的形状一致，避免基板涂胶面积不均匀使得基板在后期显影过程中形成的图形关键尺寸不尽相同，整个基板均一性较差的现象出现。

优选的，在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后检测所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差，具体包括：

在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后通过检测所述第一图层中心位置处的坐标相对所述基板中心位置处的坐标偏移来确认所述第一图层相对所述基板的偏差。

优选的，根据所述偏差调整所述涂胶机头的所述腔室内的两个所述隔板，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置，具体包括：

根据所述偏差，通过所述控制器控制所述驱动装置，使所述驱动装置驱动所述传动部件带动两个所述隔板进行移动，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴 的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置。

本实施例中，通过控制器控制驱动装置，使驱动装置驱动传动部件使两个隔板进行移动，可以实现通过隔板控制腔室内胶体的位置，进而使当前图层可以保持与第一图层的图形一致。

本实施例的有益效果如下：所述涂胶机头在所述腔室内设置有两个可在水平方向移动的隔板，可移动隔板可以推动两个所述隔板之间的胶体进行移动，进而可以在检测到所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差时，能够根据偏差，通过设置在腔室内的两个隔板重新调整涂胶位置，使再次涂胶的图形与第一图层的形状一致，避免基板涂胶面积不均匀使得基板在后期显影过程中形成的图形关键尺寸不尽相同，整个基板均一性较差的现象出现。

附图说明

图1为现有涂胶机头的结构示意图；

图2为为现有涂胶机头的俯视结构示意图；

图3为本发明实施例提供的涂胶机头的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的涂胶机头的剖视结构示意图；

图5为本发明实施例提供的涂胶机头的俯视结构示意图；

图6为本发明实施例提供的涂胶机头的具体结构示意图；

图7为本发明实施例提供的一种隔板的具体结构示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种隔板的具体结构示意图；

图9为本发明实施例提供的一种涂胶方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本发明实施例的实现过程进行详细说明。需要注意的是，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明， 而不能理解为对本发明的限制。

如图1所示，为现有涂胶机机头的结构示意图，具有容纳胶体的腔室1，用于向腔室1输送胶体的供给管路3。腔室1下端还设有扁平状的胶嘴4。如图2所示，胶嘴4宽度的延伸方向与腔室1的轴向平行，在腔室1与胶嘴4重叠的区域开有上下连通的缝隙，以使腔室1内的胶体通过该缝隙经胶嘴4排出腔室1以外。

由于现有涂胶机的胶嘴4长度固定，因此，目前的涂胶机只能在基板上涂覆出固定宽度的胶体，并不能根据具体需要灵活地选择涂胶位置。为此，本发明提供一种涂胶机头，如图3所示，该涂胶机头具有容纳胶体的腔室1、连通腔室1的扁平状的胶嘴4和供给管路3，胶嘴4的宽度延伸方向与所述腔室1的轴向平行。其中，涂胶机头在腔室1内还设置两个可水平移动的隔板5，两个隔板5相对设置且平行于所述腔室1的横截面。可移动隔板5上设置有入胶孔6，供给管路3的出胶端固定于入胶孔6内且出胶方向朝向两个隔板5之间，供给管路3通过该入胶孔将腔室1外的胶体输送到两个隔板5之间的腔室区域内。

图4和图5为本发明实施例提供的涂胶机机头的剖视图和俯视图。如图所示，两隔板5垂直于腔室1底面，与腔室1的内壁间隙配合。在由隔板5上的入胶孔6输胶体后，隔板5可以推动两隔板5之间的胶体进行水平方向上的移动，使腔室1内胶体的位置可以控制，进而可以控制腔室1内的胶体在基板上的涂胶位置以及控制在机头向前行进涂覆胶体的宽度。

需要说明的是，本发明实施例以腔室1的横截面为长方形进行举例说明，腔室1的结构也可以为其他结构形状，如，正方形，圆形，三角形，梯形等等。相应腔室1内隔板5的形状也可以为正方形，圆形，三角形，梯形等等。

具体的，为了使隔板5实现水平方向上的移动，进而使腔室1内胶体的所处位置进行相应的改变。如图6所示，每一个隔板5背对另一个隔板5的一面通过传动部件7连接驱动装置8，驱动装置8驱动传动部件7带动隔板5进行 水平移动。

优选的，驱动装置8为液压驱动装置或伺服电极。

优选的，传动部件7为伸缩杆或驱动螺杆。本实施例中，传动部件7为伸缩杆或驱动螺杆可使可移动隔板5在水平方向进行稳定的移动，防止可移动隔板5在移动过程中发生晃动，影响出胶位置的精确度。

优选的，每一个隔板5背对另一个隔板5的一面还通过弹性结构固定于腔室1的内壁。

具体的，在本发明实施例中，涂胶机头还可以包括控制器，控制器与驱动装置8电连接。控制器用于根据设定出胶位置和出胶宽度，控制驱动装置8驱动传动部件7的传动精度。本实施例中，控制器的设置可以使涂胶机更加智能化，可以直接根据设定出的胶位置和出胶宽度使涂胶机在面板上涂覆出需要的胶体图形。

优选的，控制器为中央处理器、单片机或数字信号处理器。

由于胶体的流动性，使得腔室1内的胶体在沿扁平状的胶嘴4排出时可能不会直线向下排出，因此，为了控制腔室1内胶体通过胶嘴4的排出方向，优选的，本发明实施例提供的隔板5还包括设置于下端的条状阻挡部件9，阻挡部件9延伸至胶嘴4内。

如图7所示，阻挡部件9与隔板5可以为一体结构，阻挡部件9的延伸方向与胶嘴4的出胶方向相同。阻挡部件9与隔板5为一起结构时，制作过程方便简单、涂胶位置易于确定。

或者，如图8所示，阻挡部件9与隔板5也可以不为一体结构，即，阻挡部件9与隔板5的下端通过固定部件连接。例如，可以通过螺母将阻挡部件9固定于隔板5上。当阻挡部件9与隔板5不为一起结构时，有利于单独的阻挡部件9在损毁时的更换方便。

本实施例中，条状阻挡部件9的设置可以控制胶体在通过胶嘴4时的流动方向，避免由于胶体流动方向的随意性最终影响胶体在面板上的涂覆精准 度。

本实施例的有益效果如下：涂胶机头在腔室内设置有两个可在水平方向移动的隔板，在由隔板上的入胶口输入胶体后，隔板可以推动两隔板之间的胶体进行水平方向上的移动，使腔室内胶体的位置可以控制，进而可以控制胶嘴在基板上的涂胶位置以及涂胶机头在行进时涂覆胶体的宽度，提高涂胶机在面板上涂覆胶体位置的灵活性。

本发明实施例提供一种涂胶机，包括上述实施例提供的涂胶机头。

参见图9，本发明实施例还提供一种涂胶方法，采用上述实施例提供的涂胶机进行涂胶，包括：

901、在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后检测第一图层坐标相对基板坐标存在的偏差。

具体的，可以通过检测第一图层中心位置处的坐标相对基板中心位置处的坐标偏移来确认第一图层相对基板的偏差。

902、根据偏差调整涂胶机头的腔室内的两个隔板，使由两个隔板所限定胶嘴的出胶范围与第一图层对应和/或调整涂胶机头行程的起始位置。

在具体的检测结果中，第一图层坐标相对基板坐标存在的偏差可能为零也可能不为零，具体的：

第一图层坐标在垂直于涂胶机头行进的方向上相对基板坐标的偏差不为零时，通过控制器控制驱动装置，使驱动装置驱动传动部件带动两个隔板进行移动，使由两个隔板所限定胶嘴的出胶范围与第一图层对应；

第一图层坐标在平行于涂胶机头行进的方向上相对基板坐标的偏差不为零时，调整涂胶机头的起始位置并控制涂胶机头的行程，使涂胶机头在平行于涂胶机头行进的方向上的涂胶范围与第一图层的一致；

第一图层坐标在垂直于涂胶机头行进的方向上以及在平行于涂胶机头行进的方向上相对基板坐标的偏差均不为零时，通过控制器控制驱动装置，使驱动装置驱动传动部件带动两个隔板进行移动，使由两个隔板所限定胶嘴的出胶 范围与第一图层对应，同时，调整涂胶机头的起始位置，使当前图层在平行于涂胶机头行进的方向上与第一图层一致；

第一图层坐标在垂直于涂胶机头行进的方向上以及在平行于涂胶机头行进的方向上相对基板坐标的偏差均为零时，此时，不需要重新调整隔板以及涂胶机头的位置，直接涂覆。

需要说明的是，使由两个隔板所限定胶嘴的出胶范围与第一图层对应，具体的对应关系为，使由两个隔板所限定胶嘴的出胶范围与第一图层在垂直于涂胶机头行进方向上的图层宽度对应，即，在垂直于涂胶机头行进方向上，能够使所需的当前图层的涂胶宽度与第一图层的涂胶宽度一致。

903、以调整后的涂胶机头完成当前图层的光刻胶涂覆工艺。

在根据第一图层坐标相对基板坐标存在的偏差设置完隔板以及涂胶机头的位置后，使涂胶机完成当前图层的光刻胶涂覆工艺。

本实施例的有益效果如下：涂胶机头在腔室内设置有两个可在水平方向移动的隔板，可移动隔板可以推动两个隔板之间的胶体进行移动，进而可以在检测到第一图层坐标相对基板坐标存在的偏差时，能够根据偏差，通过设置在腔室内的两个隔板重新调整涂胶位置，使再次涂胶的图形与第一图层的形状一致，避免基板涂胶面积不均匀使得基板在后期显影过程中形成的图形关键尺寸不尽相同，整个基板均一性较差的现象出现。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种涂胶方法，所述涂胶方法采用一种涂胶机来实现，所述涂胶机包括涂胶机头，所述涂胶机头具有容纳胶体的腔室、连通所述腔室的扁平状的胶嘴和供胶管路，所述胶嘴的宽度延伸方向与所述腔室的轴向平行，还包括设置于所述腔室内的、可水平移动的两个隔板，两个所述隔板相对设置且平行于所述腔室的横截面，所述隔板具有入胶孔，所述供胶管路的出胶端固定于所述入胶孔内且出胶方向朝向两个所述隔板之间，其特征在于，所述涂胶方法包括：

在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后检测所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差；

根据所述偏差调整所述涂胶机头的所述腔室内的两个所述隔板，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置；

以便调整后的所述涂胶机头完成当前图层的光刻胶涂覆工艺。

2.如权利要求1所述的涂胶方法，其特征在于，每一个所述隔板背对另一个所述隔板的一面通过传动部件连接驱动装置，所述驱动装置驱动所述传动部件带动所述隔板进行水平移动。

3.如权利要求2所述的涂胶方法，其特征在于，所述驱动装置为液压驱动装置或伺服电机。

4.如权利要求2所述的涂胶方法，其特征在于，所述传动部件为伸缩杆或驱动螺杆。

5.如权利要求2所述的涂胶方法，其特征在于，每一个所述隔板背对另一个所述隔板的一面还通过弹性结构固定于所述腔室的内壁。

6.如权利要求2所述的涂胶方法，其特征在于，所述涂胶机头还包括控制器，所述控制器与所述驱动装置电连接；

所述控制器用于根据设定出胶位置和出胶宽度，控制所述驱动装置驱动所述传动部件的传动精度。

7.如权利要求6所述的涂胶方法，其特征在于，所述控制器为中央处理器、单片机或数字信号处理器。

8.如权利要求1所述的涂胶方法，其特征在于，所述隔板还包括设置于下端的条状阻挡部件，所述阻挡部件延伸至所述胶嘴内；

所述阻挡部件与所述隔板下端固定连接，或者所述阻挡部件与所述隔板为一体结构，所述阻挡部件的延伸方向与所述胶嘴的出胶方向相同。

9.如权利要求1所述的涂胶方法，其特征在于，所述隔板与所述腔室的内壁间隙配合。

10.如权利要求1所述的涂胶方法，其特征在于，在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后检测所述第一图层坐标相对所述基板坐标存在的偏差，具体包括：

在基板上形成多层图层的工序中，完成第一图层的光刻工艺后通过检测所述第一图层中心位置处的坐标相对所述基板中心位置处的坐标偏移来确认所述第一图层相对所述基板的偏差。

11.如权利要求6所述的涂胶方法，其特征在于，根据所述偏差调整所述涂胶机头的所述腔室内的两个所述隔板，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置，具体包括：

根据所述偏差，通过所述控制器控制所述驱动装置，使所述驱动装置驱动所述传动部件带动两个所述隔板进行移动，使由两个所述隔板所限定所述胶嘴的出胶范围与所述第一图层对应和/或调整所述涂胶机头行程的起始位置。