CN105387646B - 超低温制冷机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种减少超低温制冷机所具备的马达所承受的外部磁场的影响的技术。超低温制冷机中，阀切换低压制冷剂气体的流路与高压制冷剂气体的流路。马达驱动阀。马达具备：转子(70)；及定子(71)，在径向内侧具备转子(70)。外壳(73)密闭地容纳转子(70)和定子(71)。定子(71)具有：后磁轭(71a)；及磁性部件(72)，配置在后磁轭(71a)的径向外侧且与后磁轭(71a)分开的位置，并且成为在外壳(73)的外部产生的外部磁场的磁路。外壳(73)密闭地容纳磁性部件(72)。

Description

超低温制冷机

本申请主张基于2014年9月2日申请的日本专利申请第2014-177744号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种超低温制冷机，尤其涉及一种适合冷却超导线圈的超低温制冷机。

背景技术

作为产生超低温的制冷机已知有吉福德-麦克马洪(Gifford-McMahon；GM)制冷机(参考专利文献1)和脉冲管制冷机。这些制冷机具备切换高压工作气体与低压工作气体的流动的阀及用于驱动该阀的马达。这种制冷机例如用于冷却产生强力磁场的超导线圈。

专利文献1：日本特开2013-2687号公报

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种减少超低温制冷机所具备的马达所承受的外部磁场的影响的技术。

为了解决上述课题，本发明的一种实施方式的超低温制冷机包括：阀，切换低压制冷剂气体的流路与高压制冷剂气体的流路；及马达，驱动阀。马达具备：转子；定子，在径向内侧具备转子；及外壳，密闭地容纳转子和定子。定子具有：后磁轭；及磁性部件，配置在后磁轭的径向外侧且与后磁轭分开的位置，并且成为在外壳的外部产生的外部磁场的磁路。外壳密闭地容纳磁性部件。

根据本发明，能够提供一种减少超低温制冷机所具备的马达所承受的外部磁场的影响的技术。

附图说明

图1为本发明的一种实施方式的GM制冷机的剖视图。

图2为放大表示止转棒轭机构的分解立体图。

图3为放大表示回转阀的分解立体图。

图4为示意性地表示实施方式所涉及的马达的内部结构的图。

图5(a)及图5(b)为用于说明实施方式所涉及的马达内部的外部磁场的流动的图。

图6(a)及图6(b)为用于说明实施方式的比较例所涉及的马达内部的磁场的流动的图。

图7为以表格形式表示存在低压制冷剂气体的部分的体积与制冷系数之间的关系的图。

图8(a)及图8(b)为表示实施方式的变形例所涉及的马达的图。

图中：1-压缩机，1a-低压配管，1b-高压配管，2-缸体，3-壳体，4-密闭容器，5-马达容纳部，10-GM制冷机，11-高温侧缸体，12-低温侧缸体，13-高温侧置换器，14-低温侧置换器，15-高温侧内部空间，16-低温侧内部空间，17-高温侧蓄冷器，18-低温侧蓄冷器，19-高温侧冷却台，20-低温侧冷却台，21-高温侧膨胀空间，22-低温侧膨胀空间，23-上部室，31-马达，31a-驱动旋转轴，32-止转棒轭机构，33-曲柄，33b-曲柄销，34-止转棒轭，35-轭板，35a-横长窗，36、36a、36b-驱动轴，37-轴承，37a-孔，38a、38b-滑动轴承，40-回转阀，41-定子阀，42-转子阀，43-固定销，44-制冷剂气体供给孔，45-定子侧滑动面，46-圆弧状槽，47-吐出口，48-开口部，49-气体流路，50-转子侧滑动面，51-椭圆状槽，52-相反侧端面，53-圆弧状孔，60、61-轴承，62-转子阀轴承，70-转子，71-定子，71a-后磁轭，71b-齿，72-磁性部件，73-外壳，74-外部磁场，75-内部磁场，76-连接部件，77-区域。

具体实施方式

在超低温制冷机中通常使用马达来提供用于驱动阀的动力。这种超低温制冷机有时例如与利用超导的装置等一同使用，并且用于超导线圈的冷却。

在将超低温制冷机使用于超导线圈的冷却时，若使用永磁马达作为提供阀的驱动动力的马达，则马达的转矩有时会受到冷却对象(即超导线圈)所产生的磁场的影响而下降。其结果，有可能对GM制冷机的运行带来障碍。

因此，实施方式所涉及的超低温制冷机中，为了从外部磁场隔离马达的后磁轭而使用具备引导外部磁场的磁路的马达。

首先，对实施方式的超低温制冷机的整体结构进行说明。图1至图3为用于说明本发明的一种实施方式的超低温制冷机的图。本实施方式中，作为超低温制冷机举例说明吉福德-麦克马洪制冷机(以下，称为GM制冷机10)。然而，实施方式所涉及的超低温制冷机并不限于GM制冷机。只要是使用马达来驱动阀的超低温制冷机均可应用本发明，例如本发明也能够应用于脉冲管制冷机。

实施方式所涉及的GM制冷机10具有：压缩机1、缸体2、壳体3、马达容纳部5等。

压缩机1从连接有低压配管1a的吸气侧回收低压制冷剂气体，并将其压缩之后向连接在吐出侧的高压配管1b供给高压制冷剂气体。作为制冷剂气体，例如可以使用氦气，但并不限于此。

实施方式所涉及的GM制冷机10为2级式GM制冷机。2级式GM制冷机10中，缸体2具有高温侧缸体11和低温侧缸体12这两个缸体。高温侧缸体11的内部插入有高温侧置换器13。并且，低温侧缸体12的内部插入有低温侧置换器14。

高温侧置换器13及低温侧置换器14彼此相连，并且构成为分别在高温侧缸体11及低温侧缸体12的内部能够沿各缸体的轴向往复移动。在高温侧置换器13及低温侧置换器14的内部分别形成有高温侧内部空间15和低温侧内部空间16。高温侧内部空间15及低温侧内部空间16内填充有蓄冷材料，并且分别作为高温侧蓄冷器17及低温侧蓄冷器18而发挥功能。

位于上部的高温侧置换器13连结于向上方(Z1方向)延伸的驱动轴36。该驱动轴36构成后述止转棒轭机构32的一部分。

并且，在高温侧置换器13的高温端侧(Z1方向侧端部)形成有气体流路L1。此外，在高温侧置换器13的低温端侧(Z2方向侧端部)形成有使高温侧内部空间15与高温侧膨胀空间21连通的气体流路L2。

在高温侧缸体11的低温侧端部(图1中以箭头Z2表示的方向侧的端部)形成有高温侧膨胀空间21。并且，在高温侧缸体11的高温侧端部(图1中以箭头Z1表示的方向侧的端部)形成有上部室23。

并且，在低温侧缸体12内的低温侧端部(图1中以箭头Z2表示的方向侧的端部)形成有低温侧膨胀空间22。

低温侧置换器14通过未图示的连结机构安装于高温侧置换器13的下部。在该低温侧置换器14的高温侧端部(图1中以箭头Z1表示的方向侧的端部)形成有使高温侧膨胀空间21与低温侧内部空间16连通的气体流路L3。并且，在低温侧置换器14的低温侧端部(图1中以箭头Z2表示的方向侧的端部)形成有使低温侧内部空间16与低温侧膨胀空间22连通的气体流路L4。

高温侧冷却台19配设于高温侧缸体11的外周面上且与高温侧膨胀空间21对置的位置。并且，低温侧冷却台20配设于低温侧缸体12的外周面上且与低温侧膨胀空间22对置的位置。

上述高温侧置换器13及低温侧置换器14通过止转棒轭机构32在高温侧缸体11及低温侧缸体12内沿图中上下方向(箭头Z1、Z2方向)移动。

如图1所示，壳体3具有回转阀40等，且马达容纳部5中容纳有马达31。

马达31、驱动旋转轴31a及止转棒轭机构32构成驱动装置。马达31产生旋转驱动力，与马达31连接的旋转轴(以下，称为“驱动旋转轴31a”)将马达31的旋转运动传递至止转棒轭机构32。驱动旋转轴31a被轴承60支承。

图2放大表示止转棒轭机构32。止转棒轭机构32具有曲柄33和止转棒轭34等。例如能够通过马达31等驱动机构来驱动该止转棒轭机构32。

曲柄33固定于驱动旋转轴31a。曲柄33为从驱动旋转轴31a的安装位置偏心的位置上设置了曲柄销33b的结构。因此，若将曲柄33安装在驱动旋转轴31a，则曲柄销33b成为相对于驱动旋转轴31a偏心的状态。从这种意义来讲，曲柄销33b发挥偏心旋转体的功能。另外，驱动旋转轴31a也可以在其长度方向上的多个部位被支承为旋转自如。

止转棒轭34具有：驱动轴36a、驱动轴36b、轭板35、滚子轴承37等。壳体3内形成有容纳空间。该容纳空间成为容纳止转棒轭34及后述回转阀40的转子阀42等的具有密闭性的密闭容器。因此，以下在本说明书中，将壳体3内的容纳空间称为“密闭容器4”。密闭容器4经由低压配管1a与压缩机1的吸气口连通。因此，密闭容器4始终维持低压。

驱动轴36a从轭板35向上方(Z1方向)延伸。该驱动轴36a被设置于壳体3内的滑动轴承38a支承。因此，驱动轴36a构成为能够沿图中上下方向(图中箭头Z1、Z2方向)移动。

驱动轴36b从轭板35向下方(Z2方向)延伸。该驱动轴36b被设置于壳体3内的滑动轴承38b支承。因此，驱动轴36也构成为能够沿图中上下方向(图中箭头Z1、Z2方向)移动。

由于驱动轴36a及驱动轴36b分别被滑动轴承38a及滑动轴承38b支承，因此止转棒轭34构成为能够在壳体3内沿上下方向(图中箭头Z1、Z2方向)移动。

另外，本实施方式中，为了更清楚地表示超低温制冷机的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”的术语。轴向表示驱动轴36a及驱动轴36b延伸的方向，也与高温侧置换器13及低温侧置换器14的移动方向一致。为了方便说明，有时将轴向上相对靠近膨胀空间或冷却台的方向称为“下”，将相对较远的方向称为“上”。即，有时将离低温侧端部相对较远的方向称为“上”，将相对较近的方向称为“下”。另外，这种表达方式与安装了GM制冷机10时的配置无关。例如，GM制冷机10也可以以沿铅垂方向使膨胀空间朝上的方式安装。

轭板35形成有横长窗35a。该横长窗35a沿与驱动轴36a及驱动轴36b的延伸方向交叉的方向例如正交的方向(图2中箭头X1、X2方向)延伸。

滚子轴承37配设于该横长窗35a内。滚子轴承37构成为能够在横长窗35a内滚动。并且，与曲柄销33b卡合的孔37a形成于滚子轴承37的中心位置。横长窗35a允许曲柄销33b及滚子轴承37的横向移动。横长窗35a具备：横向延伸的上框部及下框部；及在上框部及下框部各自的横向端部沿轴向或纵向延伸而结合上框部与下框部的第1侧框部及第2侧框部。

若马达31驱动而使驱动旋转轴31a旋转，则曲柄销33b以描绘圆弧的方式旋转。由此，止转棒轭34沿图中的箭头Z1、Z2方向往复移动。此时，滚子轴承37在横长窗35a内沿图中的箭头X1、X2方向往复移动。

高温侧置换器13与配设于止转棒轭34的下部的驱动轴36b连接。因此，通过止转棒轭34沿图中的箭头Z1、Z2方向往复移动，高温侧置换器13及与此连结的低温侧置换器14在高温侧缸体11及低温侧缸体12内也沿箭头Z1、Z2方向往复移动。

接着，对阀机构进行说明。实施方式所涉及的GM制冷机10将回转阀40用作阀机构。

回转阀40用于切换低压制冷剂气体的流路与高压制冷剂气体的流路。回转阀40通过马达31而驱动。该回转阀40作为将从压缩机1的吐出侧吐出的高压制冷剂气体导入至高温侧置换器13的上部室23的供给用阀而发挥功能，并且作为将制冷剂气体从上部室23引导至压缩机1的吸气侧的排气用阀而发挥功能。

如图1及图3所示，该回转阀40具有定子阀41和转子阀42。定子阀41具有平坦的定子侧滑动面45，转子阀42同样具有平坦的转子侧滑动面50。而且，通过该定子侧滑动面45与转子侧滑动面50的面接触来防止制冷剂气体的泄漏。

定子阀41利用固定销43固定在壳体3内。通过利用该固定销43进行固定，限制定子阀41的旋转。

转子阀42被转子阀轴承62支承为能够旋转。在位于转子阀42的与转子侧滑动面50相反的一侧的相反侧端面52上形成有与曲柄销33b卡合的卡合孔(未图示)。在曲柄销33b插通于滚子轴承37的情况下，其前端部从滚子轴承37向箭头Y1方向突出(参考图1)。

而且，从滚子轴承37突出的曲柄销33b的前端部与形成在转子阀42上的卡合孔卡合。因此，通过曲柄销33b的旋转(偏心旋转)，转子阀42与止转棒轭机构32同步旋转。

定子阀41具有：制冷剂气体供给孔44、圆弧状槽46及气体流路49。制冷剂气体供给孔44形成为与压缩机1的高压配管1b连接且贯穿定子阀41的中心部。

圆弧状槽46形成于定子侧滑动面45。该圆弧状槽46具有以制冷剂气体供给孔44为中心的圆弧形状。

气体流路49遍及定子阀41和壳体3而形成。气体流路49中，阀侧的一端部在圆弧状槽46内开口并形成开口部48。并且，气体流路49中，在定子阀41的侧面开有吐出口47。吐出口47与壳体内的气体流路49连通。并且，壳体内的气体流路49的另一端部经由上部室23、气体流路L1、高温侧蓄冷器17等与高温侧膨胀空间21连接。

另一方面，转子阀42具有椭圆状槽51及圆弧状孔53。

椭圆状槽51形成为在转子侧滑动面50从其中心向径向延伸。并且，圆弧状孔53从转子阀42的转子侧滑动面50贯穿至相反侧端面52，且与密闭容器4连接。该圆弧状孔53形成为位于与定子阀41的圆弧状槽46相同的圆周上。

供给阀由上述制冷剂气体供给孔44、椭圆状槽51、圆弧状槽46及开口部48构成。并且，排气阀由开口部48、圆弧状槽46及圆弧状孔53构成。本实施方式中，有时将椭圆状槽51、圆弧状槽46等存在于阀内部的空间统称为阀内部空间。

在上述结构的GM制冷机10中，若马达31的旋转驱动力经由驱动旋转轴31a传递至止转棒轭机构32而使止转棒轭机构32驱动，则止转棒轭34沿Z1、Z2方向往复移动。通过该止转棒轭34的动作，高温侧置换器13及低温侧置换器14在高温侧缸体11及低温侧缸体12内的下止点LP与上止点UP之间往复移动。

在高温侧置换器13及低温侧置换器14到达下止点LP之前，关闭排气阀，之后打开供给阀。即，在制冷剂气体供给孔44、椭圆状槽51、圆弧状槽46及气体流路49之间形成制冷剂气体流路。

因此，高压制冷剂气体开始从压缩机1填充到上部室23。之后，高温侧置换器13及低温侧置换器14超过下止点LP而开始上升，制冷剂气体自上而下通过高温侧蓄冷器17及低温侧蓄冷器18，分别填充于高温侧膨胀空间21及低温侧膨胀空间22。

而且，在高温侧置换器13及低温侧置换器14到达上止点UP时，关闭供给阀。与此同时，或者之后打开排气阀。即，在气体流路49、圆弧状槽46及圆弧状孔53之间形成制冷剂气体流路。

由此，高压制冷剂气体在高温侧膨胀空间21及低温侧膨胀空间22内膨胀而产生寒冷，并冷却高温侧冷却台19及低温侧冷却台20。并且，产生了寒冷的低温制冷剂气体冷却高温侧蓄冷器17及低温侧蓄冷器18内的蓄冷材料的同时自下而上流动，之后回流到压缩机1的低压配管1a。

之后，在高温侧置换器13及低温侧置换器14到达下止点LP之前，关闭排气阀，之后打开供给阀而结束1个周期。如此，通过反复制冷剂气体的压缩、膨胀的周期，使GM制冷机10的高温侧冷却台19及低温侧冷却台20冷却至超低温。GM制冷机10的高温侧冷却台19及低温侧冷却台20分别将通过使高温侧膨胀空间21及低温侧膨胀空间22内的制冷剂气体膨胀来产生的寒冷传导至高温侧缸体11及低温侧缸体12的外部。

如以上说明，在实施方式所涉及的GM制冷机10中，通过将马达31等驱动装置的驱动力转换成高温侧置换器13及低温侧置换器14的往复移动来产生寒冷。由此，低温侧冷却台20的温度成为大致4K的超低温。

作为实施方式所述涉及的GM制冷机10的冷却对象物的一例有超导线圈。超导线圈通常用于产生较强的磁场。因此，若将GM制冷机10作为超导线圈的冷却用制冷机，则马达31也会暴露于超导线圈所产生的磁场中。

图4为示意性地表示实施方式所涉及的马达31的内部结构的图。马达31包括：转子70、定子71、磁性部件72、驱动旋转轴31a、轴承61及密闭地容纳这些部件的外壳73。在实施方式所涉及的马达31中，转子70的周围配置有定子71。即，定子71在径向内侧具备转子70，驱动旋转轴31a贯穿转子70的中心。详细内容在后面进行叙述，在定子71的径向外侧配置有磁性部件72。

图5(a)及图5(b)为用于说明实施方式所涉及的马达31内部的磁场的流动的图。

图5(a)为示意性地表示用与驱动旋转轴31a垂直的平面剖切了实施方式所涉及的马达31的剖面的图，即为图4中的A-A剖视图。如图5(a)所示，定子71包括圆环形状的后磁轭71a及形成于后磁轭的径向内侧的多个齿71b。磁性部件72配置于后磁轭71a的径向外侧且与后磁轭71a分开的位置。与定子71和转子70相同，磁性部件72也密闭地容纳于外壳73的内侧。

在图5(a)所示的例子中，后磁轭71a与磁性部件72经由连接部件76而直接连接。更具体而言，定子71、磁性部件72及连接部件76由层叠钢板部件形成，构成层叠钢板部件的各层通过冲切加工而一体形成有后磁轭71a、齿71b及磁性部件72。由此，后磁轭71a与磁性部件72固定为其相对位置不变。因此，可以理解为磁性部件72构成定子71的一部分。

图5(b)为表示马达31中的外部磁场74与内部磁场75的图。在图5(b)中，虚线表示在外壳73的外部产生的外部磁场74的流动。并且，粗实线表示成为马达31的驱动力的内部磁场的流动。外部磁场74例如为GM制冷机10的冷却对象(即超导线圈)所产生的磁场。另外，在图5(b)中，为方便说明，省略了外壳73的图示。

如图5(b)所示，马达31的内部磁场75形成通过后磁轭71a、齿71b及转子70的环状磁路。后磁轭71a与磁性部件72分开，因此马达31的内部磁场75基本与磁性部件72隔离。

并且，如图5(b)所示，磁性部件72成为在外壳73的外部产生的外部磁场74的磁路。因此，大部分外部磁场74被磁性部件72引导，而从与后磁轭71a隔离。如此，外部磁场74几乎不干扰马达31的内部磁场75。即，能够抑制马达的外部磁场74影响马达31的输出转矩。

图6(a)及图6(b)为用于说明实施方式的比较例所涉及的马达内部的磁场的流动的图。

图6(a)为示意性地表示用与驱动旋转轴垂直的平面剖切了比较例所涉及的马达的剖面的图，即为与图5(a)相对应的图。如图6(a)所示，在比较例所涉及的马达中，后磁轭71a、齿71b及转子70容纳于外壳73。然而，比较例所涉及的马达不同于实施方式所涉及的马达31，其不具备磁性部件72。

图6(b)为表示比较例所涉及的马达中的外部磁场74与内部磁场75的图。如图6(b)所示，在比较例所涉及的马达中，外部磁场74通过成为内部磁场75的磁路的后磁轭71a。因此，外部磁场74干扰内部磁场75，可能成为使马达的输出转矩下降的主要原因。若马达的输出转矩低于高温侧置换器13及低温侧置换器14往复移动所需的转矩，则GM制冷机10有可能无法正常运行。实施方式所涉及的马达31所具备的磁性部件72能够抑制这种外部磁场74干扰马达31的动作。另外，与图5(b)相同，为方便说明，在图6(b)中也省略了外壳73的图示。

回到图5的说明。在后磁轭71a与磁性部件72之间的区域77可以填充非磁性材料。例如能够使用不锈钢、铜、铝等金属或G-FRP、环氧树脂等树脂。从轻型化的观点考虑的话优选使用树脂。并且，区域77也可以是空心的空间。此时，区域77优选与上述密闭容器4连通。由于密闭容器4经由低压配管1a与压缩机1的吸气口连通，因此区域77也成为与低压制冷剂气体的流路连通的空间。

在实施方式所涉及的GM制冷机10中，通过将后磁轭71a与磁性部件72之间的区域77设为空心，GM制冷机10中存在低压制冷剂气体的部分的体积增加。本申请的发明人通过实验确认到，通过加大GM制冷机10中存在低压制冷剂气体的部分的体积，能够提高GM制冷机10的制冷系数(Coefficient Of Performance；COP)。

图7为以表格形式表示存在低压制冷剂气体的部分的体积与制冷系数之间的关系的图。本申请的发明人进行了在高温侧冷却台19的温度为41.23K、低温侧冷却台20的温度为3.96K、制冷系数为0.832的GM制冷机10中增加存在低压制冷剂气体的部分的体积的实验。具体而言，将存在低压制冷剂气体的部分的体积设为2.25倍之后，高温侧冷却台19的温度提高至39.8K、低温侧冷却台20的温度提高至3.935K、制冷系数提高至0.872。

通过以上实验可知，通过将后磁轭71a与磁性部件72之间的区域77设为空心并与密闭容器4连通，能够提高GM制冷机10的性能。

如以上说明，根据实施方式所涉及的GM制冷机10，能够减少GM制冷机10所具备的马达31所承受的外部磁场74的影响。并且，通过将后磁轭71a与磁性部件72之间的区域77设为空心并与密闭容器4连通，能够提高GM制冷机10的性能。

以上，根据实施方式对本发明进行了说明，但实施方式仅表示本发明的原理、应用而已。并且，作为实施方式，在不脱离技术范围所规定的本发明的思想的范围内，可以有很多变形例或配置的变更。

(第1变形例)

图8(a)及图8(b)为表示实施方式的变形例所涉及的马达31的图。具体而言，图8(a)为示意性地表示变形例所涉及的马达31的内部结构的图。并且，图8(b)为示意性地表示用与驱动旋转轴31a垂直的平面剖切了变形例所涉及的马达31的剖面的图，即为图8(a)中的A-A剖视图。

如图8(a)及图8(b)所示，变形例所涉及的马达31也具备磁性部件72。然而，与实施方式所涉及的马达31不同，在变形例所涉及的马达31中，磁性部件72与后磁轭71a并未直接连接。取而代之，在变形例所涉及的马达31中，磁性部件72经由外壳73与后磁轭71a连接。由此，后磁轭71a与磁性部件72固定为其相对位置不变。与实施方式所涉及的马达31相比，变形例所涉及的马达31由于不存在连接部件76因而存在低压制冷剂气体的部分的体积得到增加。因此，具有能够进一步提高GM制冷机10的性能的效果。

(第2变形例)

上述说明中，作为超低温制冷机以2级GM制冷机10为例进行了说明。此外，本发明也可以应用于单级GM制冷机或3级GM制冷机等中。并且，作为超低温制冷机使用脉冲管制冷机时，也能够应用本发明。即，脉冲管制冷机之中也有作为切换低压制冷剂气体的流路与高压制冷剂气体的流路的阀的驱动力而采用马达的脉冲管制冷机。将这种脉冲管制冷机例如用于超导线圈的冷却时，超导线圈所产生的磁场有可能影响马达的动作。这种情况下，通过采用具备上述磁性部件72的马达31，能够减轻外部磁场对马达的驱动力的影响。

Claims (6)

1.一种超低温制冷机，其特征在于，包括：

阀，切换低压制冷剂气体的流路与高压制冷剂气体的流路；及

马达，驱动所述阀，

所述马达具备：

转子；

定子，在径向内侧具备所述转子；及

外壳，密闭地容纳所述转子和所述定子，

所述定子具有：

后磁轭；及

磁性部件，配置在所述后磁轭的径向外侧且与所述后磁轭分开的位置，并且成为在所述外壳的外部产生的外部磁场的磁路，

所述外壳密闭地容纳所述磁性部件，所述磁性部件由层叠钢板部件形成，所述磁性部件与所述后磁轭固定为其相对位置不变。

2.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述磁性部件与所述后磁轭直接连接。

3.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述定子由层叠钢板部件形成，

构成所述层叠钢板部件的各层通过冲切加工而一体形成有所述后磁轭与所述磁性部件。

4.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述磁性部件经由所述外壳与所述后磁轭连接。

5.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

在所述后磁轭与所述磁性部件之间设有与所述低压制冷剂气体的流路连通的空间。

6.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

在所述后磁轭与所述磁性部件之间填充有非磁性材料。