JP2600869B2 - 蓄冷式極低温冷凍機 - Google Patents
蓄冷式極低温冷凍機Info
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- JP2600869B2 JP2600869B2 JP31581388A JP31581388A JP2600869B2 JP 2600869 B2 JP2600869 B2 JP 2600869B2 JP 31581388 A JP31581388 A JP 31581388A JP 31581388 A JP31581388 A JP 31581388A JP 2600869 B2 JP2600869 B2 JP 2600869B2
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- Japan
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- stage
- shield member
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- magnetic shield
- regenerator
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は季土類金属を用いた合金または化合物を蓄
冷材とする蓄冷式極低温冷凍機に関するものである。
冷材とする蓄冷式極低温冷凍機に関するものである。
第７図は例えば、同一出願人による昭和63年11月９日
出願の明細書に示された従来の蓄冷式極低温冷凍機の一
種である三段膨脹式GM冷凍機を示す断面構成図である。
（１）は第３段蓄冷器で、蓄冷材として希土類を含む合
金または化合物、例えばGdRh等が用いられている。
（２）は第２段蓄冷器で、蓄冷材として鉛玉が用いら
れ、（３）は第１段蓄冷器で、蓄冷材として銅金網が用
いられている。（４）は第３段デイスプレーサ、（５）
は第２段デイスプレーサ、（６）は第１段デイスプレー
サである。（７）は第３段デイスプレーサ（４）の外周
からヘリウムガス（16）が漏れることを防ぐ第３段シー
ル、（８）は第２段デイスプレーサ（５）の外周からヘ
リウムガス（16）が漏れることを防ぐ第２段シール、
（９）は第１段デイスプレーサ（６）の外周からヘリウ
ムガス（16）が漏れることを防ぐ第３段シール、（10）
はホーニングパイプで作られ、３段になつているシリン
ダー、（11）はヘリウム圧縮機（13）で圧縮されたヘリ
ウムガス（16）を導入する吸気バルブで、（12）は同じ
くヘリウムガス（16）を排出する排気バルブ、（15）は
駆動モータ、（14）は駆動モーター（15）の回転を直線
運動に変換しこの動きに同期させて吸気バルブ（11）、
排出バルブ（12）を動作する駆動機構である。（17）は
ヘリウムガス（16）が膨張する第３段膨室、（18）は同
じく第２段膨張室、（19）も同じく第１段膨張室であ
る。（20）は第３段膨張室（17）で発生する冷凍により
超電導磁石（図示せず）を冷却する第３段サーマルステ
ージ、（21）は第２段サーマルステージ、（22）は第１
段サーマルステージである。また（23）は超電導磁石が
発生する磁束である。
出願の明細書に示された従来の蓄冷式極低温冷凍機の一
種である三段膨脹式GM冷凍機を示す断面構成図である。
（１）は第３段蓄冷器で、蓄冷材として希土類を含む合
金または化合物、例えばGdRh等が用いられている。
（２）は第２段蓄冷器で、蓄冷材として鉛玉が用いら
れ、（３）は第１段蓄冷器で、蓄冷材として銅金網が用
いられている。（４）は第３段デイスプレーサ、（５）
は第２段デイスプレーサ、（６）は第１段デイスプレー
サである。（７）は第３段デイスプレーサ（４）の外周
からヘリウムガス（16）が漏れることを防ぐ第３段シー
ル、（８）は第２段デイスプレーサ（５）の外周からヘ
リウムガス（16）が漏れることを防ぐ第２段シール、
（９）は第１段デイスプレーサ（６）の外周からヘリウ
ムガス（16）が漏れることを防ぐ第３段シール、（10）
はホーニングパイプで作られ、３段になつているシリン
ダー、（11）はヘリウム圧縮機（13）で圧縮されたヘリ
ウムガス（16）を導入する吸気バルブで、（12）は同じ
くヘリウムガス（16）を排出する排気バルブ、（15）は
駆動モータ、（14）は駆動モーター（15）の回転を直線
運動に変換しこの動きに同期させて吸気バルブ（11）、
排出バルブ（12）を動作する駆動機構である。（17）は
ヘリウムガス（16）が膨張する第３段膨室、（18）は同
じく第２段膨張室、（19）も同じく第１段膨張室であ
る。（20）は第３段膨張室（17）で発生する冷凍により
超電導磁石（図示せず）を冷却する第３段サーマルステ
ージ、（21）は第２段サーマルステージ、（22）は第１
段サーマルステージである。また（23）は超電導磁石が
発生する磁束である。
次に動作について説明する。第８図は各膨張室（17）
〜（19）のＰ−Ｖ線図である。縦軸は各膨張室（17）〜
（19）の圧力、横軸は同じく容積である。まず第８図に
おけるの状態ではデイスプレーサー（４）〜（６）は
最下端にあり、吸気バルブ（11）が開き排気バルブ（1
2）が閉じているので各膨張室（17）〜（19）の圧力は
高圧PHになつている。次に→ではデイスプレーサー
（４）〜（６）が上に動き、それに伴い高圧のヘリウム
ガス（16）がそれぞれの蓄冷器（１）〜（３）を通じ
て、それぞれの膨張室に導入される。この間各バルブ
（11）、（12）は動かない。高圧のヘリウムガス（16）
はそれぞれの蓄冷器で冷却され、所定の温度まで冷却さ
れる。金属の比熱は10K以下になると一般に急激に小さ
くなる。しかし、ヘリウムの比熱は逆に大きくなるの
で、第３段蓄冷器（１）の効率が低下する。そこで4K台
の温度を得るためには、希土類金属を含む化合物または
合金例えば、GdRh等（以後希土類物質と定義する。）を
第３段蓄冷器（１）の蓄冷材に用いる必要が生じる。
〜（19）のＰ−Ｖ線図である。縦軸は各膨張室（17）〜
（19）の圧力、横軸は同じく容積である。まず第８図に
おけるの状態ではデイスプレーサー（４）〜（６）は
最下端にあり、吸気バルブ（11）が開き排気バルブ（1
2）が閉じているので各膨張室（17）〜（19）の圧力は
高圧PHになつている。次に→ではデイスプレーサー
（４）〜（６）が上に動き、それに伴い高圧のヘリウム
ガス（16）がそれぞれの蓄冷器（１）〜（３）を通じ
て、それぞれの膨張室に導入される。この間各バルブ
（11）、（12）は動かない。高圧のヘリウムガス（16）
はそれぞれの蓄冷器で冷却され、所定の温度まで冷却さ
れる。金属の比熱は10K以下になると一般に急激に小さ
くなる。しかし、ヘリウムの比熱は逆に大きくなるの
で、第３段蓄冷器（１）の効率が低下する。そこで4K台
の温度を得るためには、希土類金属を含む化合物または
合金例えば、GdRh等（以後希土類物質と定義する。）を
第３段蓄冷器（１）の蓄冷材に用いる必要が生じる。
第９図に蓄冷材の比熱を示す。希土類物質の比熱が大
きのはキユリー点がこの付近の温度にあるからで比熱が
大きい状態では強磁性体になつている。第８図のは膨
張室の容積が最大になつた状態であり、この時吸気バル
ブ（11）は閉じて排気バルブ（12）が開く。この時、高
圧のヘリウムガス（16）が低圧ガス部に膨張して冷凍が
発生しの状態になる。→ではデイスプレーサー
（４）〜（６）が下方に移動し低圧のヘリウムガス（1
6）を排出する。この時の低圧のヘリウムガス（16）は
各蓄冷器（１）〜（３）を冷却し、自身は昇温されヘリ
ウム圧縮機（13）に戻る。は膨張室の容積が最少にな
つた状態で、この時排気バルブ（12）は閉じ、吸気バル
ブ（11）が開き膨張室（17）〜（19）の圧力は低圧から
高圧になつての状態に戻る。
きのはキユリー点がこの付近の温度にあるからで比熱が
大きい状態では強磁性体になつている。第８図のは膨
張室の容積が最大になつた状態であり、この時吸気バル
ブ（11）は閉じて排気バルブ（12）が開く。この時、高
圧のヘリウムガス（16）が低圧ガス部に膨張して冷凍が
発生しの状態になる。→ではデイスプレーサー
（４）〜（６）が下方に移動し低圧のヘリウムガス（1
6）を排出する。この時の低圧のヘリウムガス（16）は
各蓄冷器（１）〜（３）を冷却し、自身は昇温されヘリ
ウム圧縮機（13）に戻る。は膨張室の容積が最少にな
つた状態で、この時排気バルブ（12）は閉じ、吸気バル
ブ（11）が開き膨張室（17）〜（19）の圧力は低圧から
高圧になつての状態に戻る。
従来の蓄冷式極低温冷凍機は以上のように構成されて
いたので、超電導磁石を冷却する際に強磁性体である第
３段蓄冷器（１）の希土類物質が超電導磁石の発生する
磁場中を移動するので超電導磁石の発生する磁場を乱す
問題点があつた。
いたので、超電導磁石を冷却する際に強磁性体である第
３段蓄冷器（１）の希土類物質が超電導磁石の発生する
磁場中を移動するので超電導磁石の発生する磁場を乱す
問題点があつた。
また、第10図に希土類物質であるGd0.5Er0.5RhのBHカ
ーブを示す。図より、その特性はヒステリシスを示す
が、この面積に比例した量の発熱があるので、磁場中で
蓄冷式極低温冷凍機を動作させると、発熱し、効率を低
下させるという問題点もあつた。
ーブを示す。図より、その特性はヒステリシスを示す
が、この面積に比例した量の発熱があるので、磁場中で
蓄冷式極低温冷凍機を動作させると、発熱し、効率を低
下させるという問題点もあつた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、磁場中で動作しても超電導磁石の発生する
磁場を乱さず、また、発熱による効率の低下もない蓄冷
式極低温冷凍機を得ることを目的とする。
れたもので、磁場中で動作しても超電導磁石の発生する
磁場を乱さず、また、発熱による効率の低下もない蓄冷
式極低温冷凍機を得ることを目的とする。
この発明に係る蓄冷式極低温冷凍機は希土類金属を用
いた合金または化合物よりなる蓄冷材の周囲に、強磁性
体または超電導体からなる磁気シールド部材を設けたも
のである。
いた合金または化合物よりなる蓄冷材の周囲に、強磁性
体または超電導体からなる磁気シールド部材を設けたも
のである。
また、強磁性体よりなる磁気シールド部材に、磁気シ
ールド部材における温度勾配方向の熱伝導を防ぐ手段を
設けてもよい。
ールド部材における温度勾配方向の熱伝導を防ぐ手段を
設けてもよい。
この発明における蓄冷式極低温冷凍機は、外部からの
磁束が強磁性体からなる磁気シールド部材の中を通り、
シールド内へ侵入しないので、外部磁場に対する影響は
静的なもののみで、蓄冷材の移動による影響は受けない
ため、対策が簡単となる。
磁束が強磁性体からなる磁気シールド部材の中を通り、
シールド内へ侵入しないので、外部磁場に対する影響は
静的なもののみで、蓄冷材の移動による影響は受けない
ため、対策が簡単となる。
また、外部磁場が侵入しないので、蓄冷器は発熱せ
ず、効率の低下がない。
ず、効率の低下がない。
また磁気シールド部材が完全反磁性体である超電導体
であれば、シールド内に外部からの磁束は侵入できない
ので、上述と同様の作用がある。
であれば、シールド内に外部からの磁束は侵入できない
ので、上述と同様の作用がある。
また、磁気シールド部材は蓄冷器の周囲に設けられて
いるので両端部で温度の異なる二つの膨脹室に隣接する
ため、とくに強磁性体よりなる磁気シールド部材の場合
は温度勾配が生じる。そのため、強磁性体よりなる磁気
シールド部材に温度勾配方向の熱伝導を防ぐ手段を設け
れば冷凍効率が上昇する。
いるので両端部で温度の異なる二つの膨脹室に隣接する
ため、とくに強磁性体よりなる磁気シールド部材の場合
は温度勾配が生じる。そのため、強磁性体よりなる磁気
シールド部材に温度勾配方向の熱伝導を防ぐ手段を設け
れば冷凍効率が上昇する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第
１図（ａ）（ｂ）は各々この発明の一実施例による蓄冷
式極低温冷凍機を示す断面構成図及び第１図（ａ）のＢ
−Ｂ線での断面図である。図において、（１）〜（23）
は従来装置と同一のものである。（24）は強磁性体から
なる円筒状の磁気シールド部材で、熱伝導率の低い材
料、例えばフエライト等よりなり、図に示すようにシリ
ンダー（10）の第３段部分より長くできている。
１図（ａ）（ｂ）は各々この発明の一実施例による蓄冷
式極低温冷凍機を示す断面構成図及び第１図（ａ）のＢ
−Ｂ線での断面図である。図において、（１）〜（23）
は従来装置と同一のものである。（24）は強磁性体から
なる円筒状の磁気シールド部材で、熱伝導率の低い材
料、例えばフエライト等よりなり、図に示すようにシリ
ンダー（10）の第３段部分より長くできている。
上記のように構成された蓄冷式極低温冷凍機において
は冷凍機の第３段蓄冷器（１）のまわりに強磁性体から
なる磁気シールド部材（24）が取り付けてあるので、磁
力線（23）は第１図（ａ）、（ｂ）に示すように磁気シ
ールド部材の中を通り、シールド内に侵入することがで
きない。そこで強磁性を示す希土類物質からなる蓄冷材
を用いる第３段蓄冷器（１）が移動しても、外部磁界が
変動することはない。またシールド内に磁力線（23）が
侵入しないので磁界がなく、希土類物質が発熱すること
もないので冷凍効率が向上する。
は冷凍機の第３段蓄冷器（１）のまわりに強磁性体から
なる磁気シールド部材（24）が取り付けてあるので、磁
力線（23）は第１図（ａ）、（ｂ）に示すように磁気シ
ールド部材の中を通り、シールド内に侵入することがで
きない。そこで強磁性を示す希土類物質からなる蓄冷材
を用いる第３段蓄冷器（１）が移動しても、外部磁界が
変動することはない。またシールド内に磁力線（23）が
侵入しないので磁界がなく、希土類物質が発熱すること
もないので冷凍効率が向上する。
なお、磁気シールド部材（24）は両端部で温度の異な
る二つの膨脹室（17）（18）に隣接し、温度勾配が生じ
るが、磁気シールド部材（24）は熱伝導率の低い材料が
でできているため、冷凍効率の低下を防ぐことができ
る。
る二つの膨脹室（17）（18）に隣接し、温度勾配が生じ
るが、磁気シールド部材（24）は熱伝導率の低い材料が
でできているため、冷凍効率の低下を防ぐことができ
る。
第２図はこの発明の他の実施例による蓄冷式極低温冷
凍機を示す断面構成図であり、強磁性体よりなる磁気シ
ールド部材（24）にスリツト（25）を入れ、軸方向（温
度勾配方向）の熱伝導をさらに小さくしたものであり、
冷凍効率の低下をさらに防ぐものである。さらに第３図
はスリツト（25）の入つた磁気シールド部材（24）を二
重に設けたもので、各シールド部材（24）のスリツト
（25）が重ならないようにして設置されている。このよ
うにすることにより熱伝導は小さく抑えられ、かつシー
ルド効率は強くなる。また第４図に示すように複数個以
上の磁気シールド部材（24）を同軸上に設ければシール
ド効率が向上する。
凍機を示す断面構成図であり、強磁性体よりなる磁気シ
ールド部材（24）にスリツト（25）を入れ、軸方向（温
度勾配方向）の熱伝導をさらに小さくしたものであり、
冷凍効率の低下をさらに防ぐものである。さらに第３図
はスリツト（25）の入つた磁気シールド部材（24）を二
重に設けたもので、各シールド部材（24）のスリツト
（25）が重ならないようにして設置されている。このよ
うにすることにより熱伝導は小さく抑えられ、かつシー
ルド効率は強くなる。また第４図に示すように複数個以
上の磁気シールド部材（24）を同軸上に設ければシール
ド効率が向上する。
また第５図（ａ）（ｂ）に示すように、磁気シールド
部材（24）の材料として超電導体（例えばNbTi、Nb3S
b、Nb3Ge、Ｙ系高温超電導材、Bi系高温超電導材）を超
電導状態で用いれば、完全反磁性を示すため、磁束が排
除されるので上記した実施例と同様の効果を示す。
部材（24）の材料として超電導体（例えばNbTi、Nb3S
b、Nb3Ge、Ｙ系高温超電導材、Bi系高温超電導材）を超
電導状態で用いれば、完全反磁性を示すため、磁束が排
除されるので上記した実施例と同様の効果を示す。
また第６図に示すように、第３段サーマルステージ
（20）と第２サーマルステージ（21）を強磁性を示し比
較的熱伝導率の高い材料（例えばコバルト、ニツケル）
で作り、かつシリンダー（10）のまわりは強磁性体で熱
伝導率の低い材料（例えばフエライト）を用い、複数の
リング状の磁気シールド部材（24）をシリンダー（10）
に密着させて設ければ、コンパクトでかつ上述と同様の
効果が得られる。また上記実施例では３段膨脹式GM冷凍
機について述べたが、その他の希土類物質を蓄冷材に用
いる冷凍機（例えばスターリング冷凍機、ヴイマイヤー
冷凍機、ソルベー冷凍機等）に適用できることはいうま
でもない。
（20）と第２サーマルステージ（21）を強磁性を示し比
較的熱伝導率の高い材料（例えばコバルト、ニツケル）
で作り、かつシリンダー（10）のまわりは強磁性体で熱
伝導率の低い材料（例えばフエライト）を用い、複数の
リング状の磁気シールド部材（24）をシリンダー（10）
に密着させて設ければ、コンパクトでかつ上述と同様の
効果が得られる。また上記実施例では３段膨脹式GM冷凍
機について述べたが、その他の希土類物質を蓄冷材に用
いる冷凍機（例えばスターリング冷凍機、ヴイマイヤー
冷凍機、ソルベー冷凍機等）に適用できることはいうま
でもない。
また上記実施例では超電導磁石の冷却に用いる冷凍機
について述べたが、SQUID等磁気的なノイズを嫌うセン
サー等の冷却にも使用できる。
について述べたが、SQUID等磁気的なノイズを嫌うセン
サー等の冷却にも使用できる。
以上のように、この発明によれば、希土類金属を用い
た合金または化合物よりなる蓄冷材の周囲に、強磁性体
または超電導体からなる磁気シールド部材を設けたの
で、外部磁界を乱すことがなく、また、効率の高い蓄冷
式極低温冷凍機が得られる効果がある。
た合金または化合物よりなる蓄冷材の周囲に、強磁性体
または超電導体からなる磁気シールド部材を設けたの
で、外部磁界を乱すことがなく、また、効率の高い蓄冷
式極低温冷凍機が得られる効果がある。
さらに、上記強磁性体よりなる磁気シールド部材に、
磁気シールド部材における温度勾配方向の熱伝導を防ぐ
手段を設けることにより、冷凍効率の低下を防ぐ効果が
ある。
磁気シールド部材における温度勾配方向の熱伝導を防ぐ
手段を設けることにより、冷凍効率の低下を防ぐ効果が
ある。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例による蓄冷式極低温
冷凍機を示す断面構成図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）
のＢ−Ｂ線での断面図、第２図，第３図，第４図，第５
図（ａ），及び第６図は各々この発明の他の実施例によ
る蓄冷式極低温冷凍機を示す断面構成図、第５図（ｂ）
は第５図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図、第７図は従来の
蓄冷式極低温冷凍機を示す断面構成図、第８図は冷凍サ
イクルを示すＰ−Ｖ線図、第９図は蓄冷材の比熱の温度
特性を示す特性図、並びに第10図はGd0.5Er0.5RhのBH特
性を示す特性図である。 （１）……第３段蓄冷器、（17）……第３段膨脹室、
（24）……磁気シールド部材、（25）……スリツト なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
冷凍機を示す断面構成図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）
のＢ−Ｂ線での断面図、第２図，第３図，第４図，第５
図（ａ），及び第６図は各々この発明の他の実施例によ
る蓄冷式極低温冷凍機を示す断面構成図、第５図（ｂ）
は第５図（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図、第７図は従来の
蓄冷式極低温冷凍機を示す断面構成図、第８図は冷凍サ
イクルを示すＰ−Ｖ線図、第９図は蓄冷材の比熱の温度
特性を示す特性図、並びに第10図はGd0.5Er0.5RhのBH特
性を示す特性図である。 （１）……第３段蓄冷器、（17）……第３段膨脹室、
（24）……磁気シールド部材、（25）……スリツト なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 守田 正夫 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機株式会社中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−62760（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−79952（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−97511（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】希土類金属を用いた合金または化合物を蓄
冷材とする蓄冷式極低温冷凍機において、上記蓄冷材の
周囲に強磁体または超電導体からなる磁気シールド部材
を設けたことを特徴とする蓄冷式極低温冷凍機。 - 【請求項２】請求項１記載の強磁性体よりなる磁気シー
ルド部材は、上記磁気シールド部材における温度勾配方
向の熱伝導を防ぐ手段を有することを特徴とする蓄冷式
極低温冷凍機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31581388A JP2600869B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 蓄冷式極低温冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31581388A JP2600869B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 蓄冷式極低温冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02161260A JPH02161260A (ja) | 1990-06-21 |
| JP2600869B2 true JP2600869B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=18069863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31581388A Expired - Lifetime JP2600869B2 (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | 蓄冷式極低温冷凍機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2600869B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155319A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 磁気シールド付き冷凍機 |
| JP2007333285A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷器式極低温装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2598164B2 (ja) * | 1990-10-29 | 1997-04-09 | 中部電力株式会社 | 高温超電導材を用いた無誘導磁気シールド型ブッシング |
| JP2510373B2 (ja) * | 1992-03-12 | 1996-06-26 | 中部電力株式会社 | 複合超電導体を用いた磁気シ−ルド型ブッシング |
| CN101213468B (zh) * | 2005-06-28 | 2012-06-27 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于磁共振成像的铁磁屏蔽罩 |
| JP2009293909A (ja) | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷型膨張機、パルス管冷凍機、磁気共鳴イメージング装置、核磁気共鳴装置、超伝導量子干渉素子磁束計及び蓄冷型膨張機の磁気シールド方法 |
| JP6214498B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2017-10-18 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
-
1988
- 1988-12-13 JP JP31581388A patent/JP2600869B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155319A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 磁気シールド付き冷凍機 |
| JP2007333285A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 蓄冷器式極低温装置 |
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| JPH02161260A (ja) | 1990-06-21 |
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