CN105363729A - 一种蓝宝石晶片的清洗装置 - Google Patents
一种蓝宝石晶片的清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105363729A CN105363729A CN201510792500.8A CN201510792500A CN105363729A CN 105363729 A CN105363729 A CN 105363729A CN 201510792500 A CN201510792500 A CN 201510792500A CN 105363729 A CN105363729 A CN 105363729A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning
- concentration
- sapphire wafer
- cleaning device
- rinse bath
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
Abstract
本发明公开了一种蓝宝石晶片的清洗装置,包括清洗平台以及连接在清洗平台上的外壳,所述的清洗平台上设置有一水箱、一清洗槽,所述的水箱连接至所述的清洗槽,所述的清洗平台上设置有一储液罐,所述的储液罐连接至所述的清洗槽,所述的清洗槽内的侧壁上设置有浓度检测装置,所述的外壳上设置有浓度显示器。通过上述方式,本发明结构简单,该清洗装置能够通过检测清洗槽内的清洗液的浓度,然后进行浓度调节,从而对被清洗的蓝宝石晶片进行不同精度的清洗,粗洗或精洗,能够有效、精细的清除宝石晶片上的油污等杂质,高效、全面。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石加工技术领域,特别是涉及一种蓝宝石晶片的清洗装置。
背景技术
蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性优良、化学性能稳定等优点,广泛应用于机械、光学、信息等高技术领域,现有技术中,宝石加工后表面布满各种杂质污染物,如果不及时清洗,就会影响宝石的质量。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶片的清洗装置,能够通过检测清洗槽内的清洗液的浓度,然后进行浓度调节,从而对被清洗的蓝宝石晶片进行不同精度的清洗。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,包括:清洗平台以及连接在清洗平台上的外壳,所述的清洗平台上设置有一水箱、一清洗槽,所述的水箱连接至所述的清洗槽,所述的清洗平台上设置有一储液罐,所述的储液罐连接至所述的清洗槽,所述的清洗槽内的侧壁上设置有浓度检测装置,所述的外壳上设置有浓度显示器。
在本发明一个较佳实施例中,所述的外壳与清洗平台之间呈密闭式设置。
在本发明一个较佳实施例中,所述的清洗槽上设置有进水口和出水口。
在本发明一个较佳实施例中,所述的进水口与所述的水箱连接。
在本发明一个较佳实施例中,所述的浓度显示器与所述的浓度检测装置连接。
本发明的有益效果是:本发明结构简单,该清洗装置能够通过检测清洗槽内的清洗液的浓度,然后进行浓度调节,从而对被清洗的蓝宝石晶片进行不同精度的清洗,粗洗或精洗,能够有效、精细的清除宝石晶片上的油污等杂质,高效、全面。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:
图1是本发明一种蓝宝石晶片的清洗装置一较佳实施例的结构示意图;
附图中各部件的标记如下:1-清洗平台、2-外壳、3-水箱、4-清洗槽、5-储液罐、6-浓度检测装置、7-浓度显示器、41-进水口、42-出水口。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1,本发明实施例包括:
一种蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,包括:清洗平台1以及连接在清洗平台1上的外壳2,所述的清洗平台1上设置有一水箱3、一清洗槽4,所述的水箱3连接至所述的清洗槽4,所述的清洗平台1上设置有一储液罐5,所述的储液罐5连接至所述的清洗槽4,所述的清洗槽4内的侧壁上设置有浓度检测装置6,所述的外壳2上设置有浓度显示器7。
区别于现有技术。
在另一个实施例中,所述的外壳2与清洗平台1之间呈密闭式设置。
在另一个实施例中,所述的清洗槽4上设置有进水口41和出水口42。
在另一个实施例中,所述的进水口41与所述的水箱3连接,水箱3中的水通过进水口41进入清洗槽4。
在另一个实施例中,所述的浓度显示器7与所述的浓度检测装置6连接。
本发明结构简单,该清洗装置能够通过检测清洗槽内的清洗液的浓度,然后进行浓度调节,从而对被清洗的蓝宝石晶片进行不同精度的清洗,粗洗或精洗,能够有效、精细的清除宝石晶片上的油污等杂质,高效、全面。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,包括:清洗平台以及连接在清洗平台上的外壳,所述的清洗平台上设置有一水箱、一清洗槽,所述的水箱连接至所述的清洗槽,所述的清洗平台上设置有一储液罐,所述的储液罐连接至所述的清洗槽,所述的清洗槽内的侧壁上设置有浓度检测装置,所述的外壳上设置有浓度显示器。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,所述的外壳与清洗平台之间呈密闭式设置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,所述的清洗槽上设置有进水口和出水口。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,所述的进水口与所述的水箱连接。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的清洗装置,其特征在于,所述的浓度显示器与所述的浓度检测装置连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510792500.8A CN105363729A (zh) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510792500.8A CN105363729A (zh) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105363729A true CN105363729A (zh) | 2016-03-02 |
Family
ID=55366641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510792500.8A Pending CN105363729A (zh) | 2015-11-18 | 2015-11-18 | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105363729A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109335581A (zh) * | 2018-09-10 | 2019-02-15 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种传送皮带清理方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN202015707U (zh) * | 2011-03-04 | 2011-10-26 | 宁波大发化纤有限公司 | 一种自动调节碱液浓度的pet瓶片清洗系统 |
CN203196939U (zh) * | 2013-04-02 | 2013-09-18 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种用于晶片的超声波清洗装置 |
JP2014159020A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置および洗浄装置を備えた加工装置 |
CN104550098A (zh) * | 2014-12-18 | 2015-04-29 | 无锡科诺达电子有限公司 | 蓝宝石的清洗装置 |
CN205289101U (zh) * | 2015-11-18 | 2016-06-08 | 无锡科诺达电子有限公司 | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 |
-
2015
- 2015-11-18 CN CN201510792500.8A patent/CN105363729A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN202015707U (zh) * | 2011-03-04 | 2011-10-26 | 宁波大发化纤有限公司 | 一种自动调节碱液浓度的pet瓶片清洗系统 |
JP2014159020A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置および洗浄装置を備えた加工装置 |
CN203196939U (zh) * | 2013-04-02 | 2013-09-18 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种用于晶片的超声波清洗装置 |
CN104550098A (zh) * | 2014-12-18 | 2015-04-29 | 无锡科诺达电子有限公司 | 蓝宝石的清洗装置 |
CN205289101U (zh) * | 2015-11-18 | 2016-06-08 | 无锡科诺达电子有限公司 | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109335581A (zh) * | 2018-09-10 | 2019-02-15 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种传送皮带清理方法 |
CN109335581B (zh) * | 2018-09-10 | 2021-01-01 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种传送皮带清理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200243349A1 (en) | Semiconductor processing apparatus and method | |
CN205289101U (zh) | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 | |
CN204424231U (zh) | 硅片腐蚀提篮 | |
CN103846250A (zh) | 一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法 | |
CN105363729A (zh) | 一种蓝宝石晶片的清洗装置 | |
CN108630518A (zh) | 半导体晶圆的清洗方法 | |
CN104550098A (zh) | 蓝宝石的清洗装置 | |
CN203124337U (zh) | 晶圆清洗装置 | |
CN205845907U (zh) | 晶圆清洗机台 | |
CN202601704U (zh) | 一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置 | |
CN203155619U (zh) | 滤光片清洗夹具 | |
CN104190666A (zh) | 上冲式铝板脱脂装置 | |
CN205442658U (zh) | 一种节能环保硅料清洗机 | |
KR101424725B1 (ko) | 케미컬 오염물 세척방법 | |
KR20140059480A (ko) | 엘씨디 유리기판 세정장치 | |
CN204769666U (zh) | 一种硅片清洗单元 | |
CN207250468U (zh) | 一种用于8寸晶圆片的快速清洗槽 | |
CN106252201A (zh) | 一种硅片的水清洗方法和系统 | |
CN103839773B (zh) | 用于湿法刻蚀工艺的酸槽 | |
CN101289640A (zh) | 晶圆研磨用清洗剂 | |
KR20090068633A (ko) | 반도체 소자 제조용 습식 세정 장치 | |
CN104377146B (zh) | 区分cmp工艺后衬底上划伤缺陷与颗粒缺陷的方法 | |
CN205004346U (zh) | 晶硅制绒槽 | |
CN212461606U (zh) | 防滴溅装置 | |
CN105436138A (zh) | 一种蓝宝石清洗装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20160302 |
|
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |