CN103846250A - 一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法，包括依次连接的过滤器、排液管路、超声波清洗槽，所述排液管路相对于水平面倾斜设置，所述排液管路的低处端设有三通接头，所述三通接头包括第一接头、第二接头、第三接头，所述第一接头、第二接头连通所述排液管路，所述第三接头用于排出所述排液管路中的液体，且所述第三接头上设有手阀用于控制所述第三接头打开或关闭。本发明在排液管路上设有将液体排出的三通接头，且三通接头上设有手阀，可方便快速地排净排液管路中的液体，避免在更换过滤器时所述排液管道出现残留液体溢出或回流现象，且节约排液时间。

Description

一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法
技术领域
本发明属于半导体制造领域，涉及一种过滤器排液装置及方法，尤其涉及一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法。
背景技术
半导体随着IC组件逐渐进入小尺寸高聚集化之多层导线后，对平坦化技术的需求显得更加重要，化学机械研磨(ChemicalMechanical Polishing,简称为CMP)制程也因此逐渐被广泛使用,是目前集成电路制程中最受瞩目的新技术，利用CMP制程可大大降低晶片表面的凹凸、扭曲程度，以达到高精度平坦化的效果。
在半导体集成电路制造过程中，晶片在化学机械研磨机台(即CMP机台)中经过抛光后，要继续经过一系列的清洗步骤，除去在抛光过程中，晶片表面所残留的研磨液，以及微粒等脏污，用以保证晶片后续加工制造过程中的质量，从而完整的完成了化学业机械研磨的工艺。
CMP机台内置清洗结构包括超声波清洗槽，采用传统工艺利用清洗剂清洗晶片，对半导体晶片清洗后，通常会对排放水经过滤器处理后输送至超声波清洗槽，由于过滤器需要定期清洗，因此过滤器的更换频率较高。
如图1所示，图1为现有超声波清洗槽的过滤器排液装置，包括依次连接的过滤器100、排液管路200、超声波清洗槽300；所述过滤器100固定安装在底盘900上。在更换过滤器时，由于过滤器的排液管路高于过滤器本身，不能通过重力排液，而且过滤器内部排液管路比较复杂，只能依靠送液泵（图上未标出）把过滤器内的液体抽出去。但是，使用这样的排液装置不仅速度慢而且排不干净，甚至管路中会有部分残液回流现象，造成在更换过滤器时有残留液体溢出。
因此，本领域技术人员需对现有的过滤器的排液装置及方法进行改进，防止在更换过滤器时残留液体溢出。
发明内容
针对现有技术的不足之处，本发明的目的是提供一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法，避免在更换过滤器时残留液体溢出。
本发明目的通过下述技术方案来实现：
本发明提供一种超声波清洗槽的过滤器排液装置，包括依次连接的过滤器、排液管路、超声波清洗槽，所述排液管路相对于水平面倾斜设置，所述排液管路的低处端设有三通接头，所述三通接头包括第一接头、第二接头、第三接头，所述第一接头、第二接头连通所述排液管路，所述第三接头用于排出所述排液管路中的液体，且所述第三接头上设有手阀用于控制所述第三接头打开或关闭。
优选的，所述第三接头上增设一段延伸管路。
优选的，所述过滤器的下方设有底盘，所述底盘用于固定安装所述过滤器，且所述底盘上设有排液口供所述延伸管路伸出排液。
优选的，所述底盘相对于水平面倾斜设置且与所述排液管路平行。
优选的，所述延伸管路的下方配置一个用于盛装排出液的容器。
优选的，所述容器为1L的量杯。
优选的，所述排液管路上设有用于将所述排液管路中液体抽出的送液泵。
本发明还提供一种基于上述所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置的排液方法，包括以下步骤：
S1、打开手阀，所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头；
S2、等待所述排液管路中的液体排送完毕，关闭手阀。
优选的，所述步骤S1中首先通过送液泵从所述排液管路中抽出部分液体，然后打开手阀，所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头。
本发明提供的超声波清洗槽的过滤器排液装置在正常工作状态下，阀门关闭，液体经过过滤器处理后经过第一接头、第二接头排送至超声波清洗槽；在更换过滤器时，打开手阀，排液管路中的液体在重力的影响下，从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头，所述第三接头上设有一段延伸管路，所述延伸管路从所述底盘的排液口伸出，最终排送至延伸管路下方的容器内，有效避免在更换过滤器时残留液体溢出。
本发明在排液管路上设有将液体排出的三通接头，且三通接头上设有手阀，可方便快速地排净排液管路中的液体，避免在更换过滤器时所述排液管道出现残留液体溢出或回流现象，且节约排液时间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有超声波清洗槽的过滤器排液装置的结构示意图；
图2为本发明超声波清洗槽的过滤器排液装置的结构示意图。
图中标号说明如下：
100、过滤器；200、排液管路；300、超声波清洗槽；400、三通接头；500、排液口；600、手阀；700、容器；800、延伸管路；900、底盘。
具体实施方式
以下将配合图式及实施例来详细说明本发明的实施方式，藉此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。
本发明提供一种超声波清洗槽的过滤器排液装置，包括依次连接的过滤器100、排液管路200、超声波清洗槽300，所述排液管路200相对于水平面倾斜设置，所述排液管路200的低处端设有三通接头400，所述三通接头400包括第一接头、第二接头、第三接头，所述第一接头、第二接头连通所述排液管路200，所述第三接头用于排出所述排液管路200中的液体，且所述第三接头上设有手阀600用于控制所述第三接头打开或关闭。
请参考图2，所述第三接头上增设一段延伸管路800，所述过滤器100的下方设有底盘900，所述底盘900用于固定安装所述过滤器100，且所述底盘900上设有排液口500供所述延伸管路800伸出排液。所述排液口500的位置与所述延伸管路800的位置相应，所述延伸管路800从所述排液口500伸出排液。所述延伸管路800的下方配置一个用于盛装排出液的容器700，优选的，所述容器700为1L的量杯。其中，所述底盘900相对于水平面倾斜设置且与所述排液管路200平行。
较佳的，所述排液管路200上设有用于将所述排液管路200中液体抽出的送液泵（图中未标出）。本发明提供的超声波清洗槽的过滤器排液装置可配合送液泵排液，也可单独打开手阀600通过三通接头400排液。
本发明还提供一种基于上述所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置的排液方法，包括以下步骤：
S1、打开手阀600，所述排液管路200中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头；
S2、等待所述排液管路200中的液体排送完毕，关闭手阀600。
其中，所述步骤S1中首先通过送液泵从所述排液管路200中抽出部分液体，然后打开手阀600，所述排液管路200中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头。
本发明提供的超声波清洗槽的过滤器排液装置在正常工作状态下，阀门关闭，液体经过过滤器100处理后经过第一接头、第二接头排送至超声波清洗槽300；在更换过滤器100时，打开手阀600，排液管路200中的液体在重力的影响下，从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头，所述第三接头上设有一段延伸管路800，所述延伸管路800从所述底盘900的排液口500伸出，最终排送至延伸管路800下方的容器内，有效避免在更换过滤器100时残留液体溢出。
本发明在排液管路200上设有将液体排出的三通接头400，且三通接头400上设有手阀600，可方便快速地排净排液管路200中的液体，避免在更换过滤器100时所述排液管道200出现残留液体溢出或回流现象，且节约排液时间。
上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种超声波清洗槽的过滤器排液装置，包括依次连接的过滤器、排液管路、超声波清洗槽，所述排液管路相对于水平面倾斜设置，其特征在于，所述排液管路的低处端设有三通接头，所述三通接头包括第一接头、第二接头、第三接头，所述第一接头、第二接头连通所述排液管路，所述第三接头用于排出所述排液管路中的液体，且所述第三接头上设有手阀用于控制所述第三接头打开或关闭。
2.根据权利要求1所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述第三接头上增设一段延伸管路。
3.根据权利要求2所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述过滤器的下方设有底盘，所述底盘用于固定安装所述过滤器，且所述底盘上设有排液口供所述延伸管路伸出排液。
4.根据权利要求3所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述底盘相对于水平面倾斜设置且与所述排液管路平行。
5.根据权利要求3所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述延伸管路的下方配置一个用于盛装排出液的容器。
6.根据权利要求5所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述容器为1L的量杯。
7.根据权利要求1所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置，其特征在于，所述排液管路上设有用于将所述排液管路中液体抽出的送液泵。
8.一种基于权利要求1-7任一所述的超声波清洗槽的过滤器排液装置的排液方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、打开手阀，所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头；
S2、等待所述排液管路中的液体排送完毕，关闭手阀。
9.根据权利要求8所述的排液方法，其特征在于，所述步骤S1中首先通过送液泵从所述排液管路中抽出部分液体，然后打开手阀，所述排液管路中的液体从所述第一接头或所述第二接头排送至所述第三接头。
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