CN104259133A - 蓝宝石晶片退火前的清洗工艺 - Google Patents

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戴磊
王禄宝
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    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
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Abstract

本发明涉及一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，属蓝宝石加工技术领域，使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，0.2-0.3V，18M纯水，震洗5分钟；将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水；用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，0.3-0.4V，18M纯水，震洗8分钟；使用清洗机碱洗，用AR级固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前加热至60℃，超声频率28KHZ，0.4-0.5V，清洗30分钟；将晶片喷淋冲洗5分钟；使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，0.4-0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟；甩干。

Description

蓝宝石晶片退火前的清洗工艺
 
技术领域
本发明涉及蓝宝石加工清洗工艺，特别涉及一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，属于晶体加工技术领域。
背景技术
在蓝宝石衬底加工行业内，研磨后蓝宝石衬底晶片表面有很多脏污，主要有：研磨盘铁锈，悬浮液残留，研磨粉颗粒残留，退火前必须将所有脏污全部去除，以便达到退火后要求的洁净度。研磨后清洗一直是一个困扰各厂家的问题，清洗不干净会导致退火后大量的油量片，需返工处理，有些甚至直接报废，造成损失。
随着大尺寸晶片的需求量越来越高，目前的退火温度（1400℃）已经无法满足加工需求，但是提高退火温度，油量比例会大幅度上涨，清洗难度高。退火温度为1500℃时按常规工艺残余油量比例高达9%。
发明内容
针对上述技术问题，本发明提供一种1500℃退火残余油量比例1.5%、满足批量生产要求的蓝宝石晶片退火前的清洗工艺。
本发明是通过以下技术方案予以实现的。
一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，包括如下步骤：
（1）使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.2V-0.3V，使用18M纯水，震洗5分钟；
（2）将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%工业级硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水； 
（3）使用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，强度调节至0.3V-0.4V，使用18M纯水，震洗8分钟； 
（4）使用清洗机碱洗，用AR级（分析纯试剂）固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前需加热至60℃，超声频率28KHZ，超声强度调节至0.4V-0.5V，清洗30分钟；
（5）将晶片喷淋冲洗5分钟；
（6）使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.4V-0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟；
（7）将晶片完全甩干。
具体实施方式
以下通过具体实施例对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
（1）使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.2V-0.3V，使用18M纯水，震洗5分钟，每清洗800片晶片后更换为佳；（2）将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%工业级硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水，每升硫酸浸泡1500片更换为佳； （3）使用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，强度调节至0.3V-0.4V，使用18M纯水，震洗8分钟，每清洗800片晶片后更换为佳；（4）使用清洗机碱洗，用AR级固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前需加热至60℃，超声频率28KHZ，超声强度调节至0.4V-0.5V，清洗30分钟，每公斤KOH碱洗1000片更换为佳；（5）将晶片喷淋冲洗5分钟；（6）使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.4V-0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟，每清洗800片后换水为佳；（7）将晶片完全甩干。
以上实施例的描述较为具体、详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于包括以下步骤：
（1）使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.2V-0.3V，使用18M纯水，震洗5分钟；
（2）将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%工业级硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水； 
（3）使用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，强度调节至0.3V-0.4V，使用18M纯水，震洗8分钟； 
（4）使用清洗机碱洗，用AR级固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前需加热至60℃，超声频率28KHZ，超声强度调节至0.4V-0.5V，清洗30分钟；
（5）将晶片喷淋冲洗5分钟；
（6）使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.4V-0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟；
（7）将晶片完全甩干。
2.根据权利要求1所述蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于：步骤（1）所述清洗液，每清洗800片晶片后更换。
3.根据权利要求1所述蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于：步骤（2）所述酸液，每升硫酸浸泡1500片更换。
4.根据权利要求1所述蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于：步骤（3）所述清洗液，每清洗800片晶片后更换。
5.根据权利要求1所述蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于：步骤（4）所述碱液，每公斤KOH碱洗1000片更换。
6.根据权利要求1所述蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于：步骤（6）所述清洗液，每清洗800片晶片后更换。
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