CN106423999A - 一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，克服了现有双面研磨后蓝宝石衬底片清洗过程中需要用到多种化学试剂对蓝宝石衬底片表面残留的碳化硼微粉进行去除，清洗废液难处理，对环境污染大的缺点，使用本发明的清洗工艺，可有效减少表面碳化硼微粉残留，降低高温退火后蓝宝石衬底片表面的油亮斑比例，减少蓝宝石衬底片的返工成本，杜绝蓝宝石衬底片的报废情况，从而达到提高蓝宝石衬底片质量，降低蓝宝石衬底片生产成本的目的。

Description

一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，属于蓝宝石衬底研磨后的清洗加工技术领域。
背景技术
蓝宝石（Sapphire）晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料。蓝宝石衬底片为了获得优良的平坦度，需要以碳化硼为主要研磨材料对蓝宝石衬底片进行双面研磨加工，研磨后的蓝宝石衬底片表面残留有碳化硼微粉，在高温退火前需要进行清洗。由于碳化硼稳定的化学性能，研磨后的清洗非常困难，碳化硼微粉残留在蓝宝石衬底片表面，高温退火后在蓝宝石衬底片表面形成油亮斑，导致蓝宝石衬底片需要返工处理甚至报废。
发明内容
本发明的目的是针对现有清洗技术的缺陷，提供一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，具有操作方便，一次成品合格率高，清洗进程无二次化学污染，清洗废液无污染易处理等特点。
为解决以上技术问题，本发明提供的技术方案是:
一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：
（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；
（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3～5mm；
（3）启动超声清洗槽，使用频率40～60KHZ的超声，设置超声强度为60W/cm2～80W/cm2，超声震洗15min；
（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述氧化铝（AL2O3）的粒径在W80～W120之间。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。
本发明的有益效果为：
本发明公开的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，克服了现有双面研磨后蓝宝石衬底片清洗过程中需要用到多种化学试剂对蓝宝石衬底片表面残留的碳化硼微粉进行去除，清洗废液难处理，对环境污染大的缺点，使用本发明的清洗工艺，可有效减少表面碳化硼微粉残留，降低高温退火后蓝宝石衬底片表面的油亮斑比例，减少蓝宝石衬底片的返工成本，杜绝蓝宝石衬底片的报废情况，从而达到提高蓝宝石衬底片质量，降低蓝宝石衬底片生产成本的目的。
具体实施方式
实施例一
一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：
（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；
（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置粒径W120的氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面4mm；
（3）启动超声清洗槽，使用频率40KHZ的超声，设置超声强度为60W/cm2，超声震洗15min；
（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述蓝宝石衬底片的直径为2英寸。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。
实施例二
一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：
（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；
（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置粒径W80的氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面5mm；
（3）启动超声清洗槽，使用频率60KHZ的超声，设置超声强度为80W/cm2，超声震洗15min；
（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述蓝宝石衬底片的直径为4英寸。
上述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其中，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，具体步骤如下：
（1）将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min，清洗完成后取出，并在室温下自然晾干；
（2）将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内，随后向超声清洗槽内放置氧化铝（AL2O3），氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3～5mm；
（3）启动超声清洗槽，使用频率40～60KHZ的超声，设置超声强度为60W/cm2～80W/cm2，超声震洗15min；
（4）将步骤（3）中，超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（5）将步骤（4）中，清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（6）将步骤（5）中，碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内，用强度为50W/cm2的超声波清洗15min；
（7）将步骤（6）中，超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒，得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，所述氧化铝（AL2O3）的粒径在W80～W120之间。
3.如权利要求1所述的一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺，其特征在于，所述清洗碱液由分析纯AR级氢氧化钠（NaOH）与16M纯水以1kg：10L的配比制得。
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