KR20140059480A - 엘씨디 유리기판 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트 로딩부, 복수의 알칼리조, 순수세척조 및 카세트 언로딩부를 포함하는 LCD 유리기판 세정장치로서, 상기 알칼리조는 알칼리 수용액을 상부에서 하부로 강제 순환시키는 세정액 순환장치와, 알칼리 수용액을 가열시키기 위한 세정액 가열수단 및 알칼리조에서 발생된 거품을 제거하기 위한 오버플로우 회수장치를 설치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 순환 펌프를 이용해 알칼리조 내의 알칼리 수용액을 순환시키는 한편, 이때 발생한 거품을 오버플로우 회수장치를 통해 제거되도록 하며, 세정액 가열수단을 이용해 알칼리 수용액을 일정 온도로 가열시킴으로써, LCD 유리기판의 세정력을 향상시킬 수 있고, LCD 유리기판의 식각시 유리 표면의 이물에 돌기 불량과 같은 불량을 최소화 하고, 에칭 균일도를 높여 상품성이 뛰어나고, 리싸이클링 시스템을 추가하여 알칼리 수용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 함으로써, 폐알칼리 용액의 발생을 최대한 줄여 환경친화적인 효과를 갖는다.

Description

엘씨디 유리기판 세정장치{CLEANING APPARATUS OF GLASS SUBSTRATES}
본 발명은 LCD 유리기판 세정장치에 관한 것으로, LCD 유리기판을 카세트에 담아 알칼리용액에 딥핑함으로써 LCD 유리기판에 오염되어 있는 유기성 이물 및 고착성 이물이 제거되도록 하는 LCD 유리기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자를 채용한 휴대폰, 노트북 컴퓨터 등의 기기 들은 휴대상의 편리성 때문에 사이즈 및 중량을 줄이는 것이 중요한데, 액정표시소자의 중량을 줄이기 위한 여러 가지 방법들이 제안되고 있다.
그 중에서 유리기판의 두께를 줄이는 방법이 있는데, 이와 같은 방법은 유리기판의 두께가 얇아지므로 액정표시소장의 무게를 줄이는데 기여하게 되며, 투과율이 증가되어 화면의 시인성이 좋아지는 장점을 갖게 된다.
그러나, 유리의 두께가 얇아지게 되면 유리의 파손 가능성이 증가되고 유리의 가공 과정에서도 유리표면의 상태가 나빠지게 되면 액정표시소자의 화질에 중대한 결함을 초래하기도 한다.
현재 유리기판의 두께를 줄여 중량을 감소시키기 위해서 가장 많이 사용되는 방식이 유리기판을 식각액을 사용하여 표면을 식각하는 방법이다.
이러한 방법에서는 기판 자체의 유기성 이물이나 고착성 이물 등으로 인해 식각이 불균일하게 되는 현상이 나타나 유리기판의 불량으로 나타난다. 이러한 현상을 없애기 위해서는 식각 전에 알칼리 용액을 사용하여 유리기판을 깨끗이 세정할 필요가 있다.
대한 민국 등록특허 제10-0223695호를 통해 반도체기판, 유리기판, 전자부품 및 이들의 제조장치부품의 세정방법에 대해 개시되고 있다.
그러나, 동 특허에 개시된 종래기술은 알칼리용액 디핑방식을 사용하는 것으로서, 수율이 낮고 폐알칼리 수용액의 발생으로 인해 공해요인을 갖는 문제가 있었다.
대한 민국 등록특허 제10-0223695(등록일: 1999년7월12일)
종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 유리기판 표면에 부착된 오염원을 제거하여 식각 장치에서 에칭을 할 때, 불량율을 최소화하는 것이며, 특히, 알칼리 수용액을 이용한 딥핑공정에서 열을 가해 LCD 유리기판 표면의 유기성 이물이 보다 효과적으로 제거되도록 하는 LCD 유리기판 세정장치를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 목적은 알칼리 수용액을 반복적으로 사용함에 따라 발생하는 폐 알칼리 수용액을 필터링하여 재사용 가능하게 함에 따라 원가절감 및 친환경적인 LCD 유리기판 세정장치를 제공함에 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 카세트 로딩부, 복수의 알칼리조, 순수세척조 및 카세트 언로딩부를 포함하는 LCD 유리기판 세정장치로서, 상기 알칼리조는 알칼리 수용액을 상부에서 하부로 강제 순환시키는 세정액 순환장치와, 알칼리 수용액을 가열시키기 위한 세정액 가열수단 및 알칼리조에서 발생된 거품을 제거하기 위한 오버플로우 회수장치를 설치하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 세정액 순환장치는 알칼리조의 상, 하부 구간을 연결하는 외부순환관을 설치하고, 상기 외부순환관 상에 알칼리 수용액을 펌핑하기 위한 순환펌프를 설치하며, 상기 순환펌프에 의해 펌핑된 알칼리 수용액을 알칼리조 내부 바닥으로 공급하는 내부순환관이 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가열수단은 알칼리조 내의 온도를 10~60℃로 유지되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 오버플로우 회수장치는 알칼리조 상부 둘레에 설치되어 오버플로우되는 거품을 수용하는 거품받이와, 상기 거품받이와 연결되어 거품을 배출하는 회수배관과, 상기 회수배관을 통해 배출되는 거품을 수용하는 회수탱크로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 알칼리조의 세정액 순환장치에 알칼리용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 하는 리싸이클 시스템이 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 리싸이클 시스템은, 리싸이클 탱크의 상부에 형성된 입구를 통해 알칼리 수용액이 공급되며, 알칼리 수용액이 리싸이클 탱크 내에서 불순물이 침전되는 과정 후, 리싸이클 탱크의 상부층의 알칼리 수용액이 내부통로를 통해 필터부로 이동되어 필터링된 후, 출구를 통해 배출되어 알칼리조에 공급되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 필터부는 0.1㎛ 이상의 이물을 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 알칼리조 외측에 유리기판이 수납된 카세트가 승하강 작동되도록 하는 카세트 승강장치가 설치되도록 하되, 상기 카세트 승강장치는 카세트를 견인하도록 연결되는 SUS와이어 로프와, 상기 로프를 구동시키는 한 쌍의 풀리와, 상기 풀리 사이에 설치되어 로프를 가압시켜 장력유지되도록 하는 텐션롤러로 구성되며, 상기 풀리와 룰러 사이를 관통하는 로프의 꺽임 각도가 120~125도를 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 순환 펌프를 이용해 알칼리조 내의 알칼리 수용액을 순환시키는 한편, 이때 발생한 거품을 오버플로우 회수장치를 통해 제거되도록 하며, 세정액 가열수단을 이용해 알칼리 수용액을 일정 온도로 가열시킴으로써, LCD 유리기판의 세정력을 향상시킬 수 있고, LCD 유리기판의 식각시 유리 표면의 이물에 돌기 불량과 같은 불량을 최소화 하고, 에칭 균일도를 높여 상품성이 뛰어난 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 리싸이클링 시스템을 추가하여 알칼리 수용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 함으로써, 폐알칼리 용액의 발생을 최대한 줄여 환경친화적인 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 LCD 유리기판의 세정장치구조를 설명하기 위한 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 알칼리조에 세정액 순환장치 및 세정액 가열수단이 설치된 예를 도시한 부분확대도.
도 3은 본 발명에 따른 알칼리조에 오버플로우 회수장치가 설치된 예를 도시한 부분확대도.
도 4는 본 발명에 따른 알칼리조에 연결되는 리싸이클 시스템의 예를 도시한 부분확대도.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 승강장치의 구조를 도시한 부분확대도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 LCD 유리기판의 세정장치구조를 설명하기 위한 개략도로서, 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 유리기판 세정장치는 카세트 로딩부(110), 복수의 알칼리조(120), 순수세척조(130) 및 카세트 언로딩부(110)를 포함하여 구성되고, 상기 알칼리조(120)에는 리싸이클 시스템(150) 및 알칼리 공급부(160)가 연결 설치되며, 상기 순수세척조(130)에는 DI 공급부(170)가 연결되는 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 알칼리조에 세정액 순환장치 및 세정액 가열수단이 설치된 예를 도시한 부분확대도이고, 도 3은 본 발명에 따른 알칼리조에 오버플로우 회수장치가 설치된 예를 도시한 부분확대도이다.
도 2, 3을 참조하면, 상기 알칼리조(120)는 알칼리 수용액을 상부에서 하부로 강제 순환시키는 세정액 순환장치(123)와, 알칼리 수용액을 가열시키기 위한 세정액 가열수단(125) 및 알칼리조(120)에서 발생된 거품을 제거하기 위한 오버플로우 회수장치(126)를 설치하는 구조를 갖는다.
이때, 상기 세정액 순환장치(123)는 알칼리조(120)의 상, 하부 구간을 연결하는 외부순환관(123a)을 설치하고, 상기 외부순환관(123a) 상에 알칼리 수용액을 펌핑하기 위한 순환펌프(123b)를 설치하며, 상기 순환펌프(123b)에 의해 펌핑된 알칼리 수용액을 알칼리조(120) 내부 바닥으로 공급하는 내부순환관(123c)이 설치되는 구조를 갖는다.
또한, 상기 가열수단(125)은 알칼리조(120) 내의 온도를 10~60℃로 유지되도록 하는 것으로서, 전기 히터 등이 사용될 수 있다.
또한, 상기 오버플로우 회수장치(126)는 알칼리조(120) 상부 둘레에 설치되어 오버플로우되는 거품을 수용하는 거품받이(126a)와, 상기 거품받이(126a)와 연결되어 거품을 배출하는 회수배관(126b)과, 상기 회수배관(126b)을 통해 배출되는 거품을 수용하는 회수탱크(126c)로 구성될 수 있다.
이때, 알칼리조(120)의 외벽(121)은 알칼리에 변색 또는 부식이 없는 SUS 또는 PVC 소재로 이루어진다.
도 4는 본 발명에 따른 알칼리조에 연결되는 리싸이클 시스템의 예를 도시한 부분확대도로서, 도 4를 참조하면, 상기 알칼리조(120)의 세정액 순환장치(123)에 알칼리용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 하는 리싸이클 시스템(150)이 연결되도록 할 수 있는데, 상기 리싸이클 시스템(150)은, 리싸이클 탱크(151)의 상부에 형성된 입구(152)를 통해 알칼리 수용액이 공급되며, 알칼리 수용액이 리싸이클 탱크(151) 내에서 불순물이 침전되는 과정 후, 리싸이클 탱크(151)의 상부층의 알칼리 수용액이 내부통로(153)를 통해 필터부(154)로 이동되어 필터링된 후, 출구(155)를 통해 배출되어 알칼리조(120)에 공급되는 한다.
이때, 상기 필터부(154)는 0.1㎛ 이상의 이물을 제거하도록 한다.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 승강장치의 구조를 도시한 부분확대도로사, 도 5를 참조하면, 상기 알칼리조(120) 외측에 유리기판이 수납된 카세트(181)가 승하강 작동되도록 하는 카세트 승강장치(180)가 설치되도록 하되, 상기 카세트 승강장치(180)는 카세트(181)를 견인하도록 연결되는 SUS와이어 로프(182)와, 상기 로프(182)를 구동시키는 한 쌍의 풀리(183)와, 상기 풀리(183) 사이에 설치되어 로프(182)를 가압시켜 장력유지되도록 하는 텐션롤러(184)로 구성되며, 상기 풀리(183)와 룰러() 사이를 관통하는 로프(182)의 꺽임 각도가 120~125도를 유지하도록 한다.
이때, 본 발명에서 사용되는 알칼리 수용액은 Patassium hydroxide, Diethylene glycol n-butyl ether, Surfactants 등으로 구성된 pH 12이상의 수용액을 의미하는 것이다.
그리고, 상기 알칼리조(120)에서 세정을 마친 유리기판은 순수 세척조(130)에서 잔여 알칼리 용액을 세정하게 된다. 이때, 상기 순수 세척조(130)는 스프레이 분사방식을 사용한다.
앞서 살펴본 바와 같은 본 발명은 순환 펌프를 이용해 알칼리조 내의 알칼리 수용액을 순환시키는 한편, 이때 발생한 거품을 오버플로우 회수장치를 통해 제거되도록 하며, 세정액 가열수단을 이용해 알칼리 수용액을 일정 온도로 가열시킴으로써, LCD 유리기판의 세정력을 향상시킬 수 있고, LCD 유리기판의 식각시 유리 표면의 이물에 돌기 불량과 같은 불량을 최소화 하고, 에칭 균일도를 높여 상품성이 뛰어나고, 리싸이클링 시스템을 추가하여 알칼리 수용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 함으로써, 폐알칼리 용액의 발생을 최대한 줄여 환경친화적인 이점을 갖는다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어 당업자는 각 구성요소의 재질, 크기 등을 적용 분야에 따라 변경하거나, 실시형태들을 조합 또는 치환하여 본 발명의 실시예에 명확하게 개시되지 않은 형태로 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것으로 한정적인 것으로 이해해서는 안되며, 이러한 변형된 실시예는 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다고 하여야 할 것이다.
110: 카세트 로딩부 120: 알칼리조
121: 외벽 123: 세정액 순환장치
123a: 외부순환관 123b: 순환펌프
123c: 내부순환관 125: 세정액 가열수단
126: 오버플로우 회수장치 126a: 거품받이
126b: 회수배관 126c: 회수탱크
130: 순수세척조 140: 카세트 언로딩부
150: 리싸이클 시스템 151: 리싸이클 탱크
152: 입구 153: 내부통로
154: 필터부 155: 출구
157: 측면드레인 158: 하부드레인
160: 알칼리 공급부 170: DI 공급부
180: 카세트 승강장치 181: 카세트
182: 로프 183: 풀리
184: 텐션롤러

Claims (8)

  1. 카세트 로딩부(110), 복수의 알칼리조(120), 순수세척조(130) 및 카세트 언로딩부(110)를 포함하는 LCD 유리기판 세정장치로서,
    상기 알칼리조(120)는 알칼리 수용액을 상부에서 하부로 강제 순환시키는 세정액 순환장치(123)와, 알칼리 수용액을 가열시키기 위한 세정액 가열수단(125) 및 알칼리조(120)에서 발생된 거품을 제거하기 위한 오버플로우 회수장치(126)를 설치하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 순환장치(123)는 알칼리조(120)의 상, 하부 구간을 연결하는 외부순환관(123a)을 설치하고, 상기 외부순환관(123a) 상에 알칼리 수용액을 펌핑하기 위한 순환펌프(123b)를 설치하며, 상기 순환펌프(123b)에 의해 펌핑된 알칼리 수용액을 알칼리조(120) 내부 바닥으로 공급하는 내부순환관(123c)이 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  3. 제1항에 있어서
    상기 가열수단(125)은 알칼리조(120) 내의 온도를 10~60℃로 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 오버플로우 회수장치(126)는 알칼리조(120) 상부 둘레에 설치되어 오버플로우되는 거품을 수용하는 거품받이(126a)와, 상기 거품받이(126a)와 연결되어 거품을 배출하는 회수배관(126b)과, 상기 회수배관(126b)을 통해 배출되는 거품을 수용하는 회수탱크(126c)로 구성되는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 알칼리조(120)의 세정액 순환장치(123)에 알칼리용액 내의 이물을 필터링하여 재사용되도록 하는 리싸이클 시스템(150)이 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 리싸이클 시스템(150)은,
    리싸이클 탱크(151)의 상부에 형성된 입구(152)를 통해 알칼리 수용액이 공급되며, 알칼리 수용액이 리싸이클 탱크(151) 내에서 불순물이 침전되는 과정 후, 리싸이클 탱크(151)의 상부층의 알칼리 수용액이 내부통로(153)를 통해 필터부(154)로 이동되어 필터링된 후, 출구(155)를 통해 배출되어 알칼리조(120)에 공급되는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 필터부(154)는 0.1㎛ 이상의 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 알칼리조(120) 외측에 유리기판이 수납된 카세트(181)가 승하강 작동되도록 하는 카세트 승강장치(180)가 설치되도록 하되, 상기 카세트 승강장치(180)는 카세트(181)를 견인하도록 연결되는 SUS와이어 로프(182)와, 상기 로프(182)를 구동시키는 한 쌍의 풀리(183)와, 상기 풀리(183) 사이에 설치되어 로프(182)를 가압시켜 장력유지되도록 하는 텐션롤러(184)로 구성되며, 상기 풀리(183)와 룰러() 사이를 관통하는 로프(182)의 꺽임 각도가 120~125도를 유지하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리기판 세정장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107456858A (zh) * 2017-09-19 2017-12-12 田勇 一种艾烟净化器
CN108393592A (zh) * 2017-12-11 2018-08-14 住华科技股份有限公司 裁切设备及应用其的裁切方法
KR20220106708A (ko) * 2021-01-22 2022-07-29 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 반송 장치, 현상 장치 및 현상 방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107456858A (zh) * 2017-09-19 2017-12-12 田勇 一种艾烟净化器
CN107456858B (zh) * 2017-09-19 2024-02-23 田勇 一种艾烟净化器
CN108393592A (zh) * 2017-12-11 2018-08-14 住华科技股份有限公司 裁切设备及应用其的裁切方法
KR20220106708A (ko) * 2021-01-22 2022-07-29 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 기판 반송 장치, 현상 장치 및 현상 방법

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