JP2007138202A - エッチング液のリサイクル方法及びその装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく除去し、エッチング液の組成を変化させずリサイクルを可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置の提供。
【解決手段】リサイクル装置は、重金属やアルミニウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液Wを収容したエッチング液槽1と、エッチング液槽1に配管2を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽3と、沈殿槽3の下層部分3aに排水配管4を介して接続した沈殿物Gの中和処理工程5及び沈殿物除去工程6と、沈殿物Gの廃棄工程7及び廃液排水処理工程8と、沈殿槽3の上層部3bより上澄みエッチング液Wxを循環配管9を介してエッチング液槽1に戻す循環処理工程10とで構成される。上澄みエッチング液Wxの循環処理工程10とエッチング液槽1とを結ぶ循環配管11には、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程12が接続される。
【選択図】 図1

Description

この発明は、エッチング液のリサイクル方法及びその装置にかかわり、更に詳しくはエッチング液に含まれる重金属類の沈殿物とエッチング液とを比重差により分離させ、沈殿物を取り除いたエッチング液を再びエッチング液槽に戻して再利用可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置に関するものである。
従来、エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を電解再生装置等におけるイオン交換膜(例えば、特許文献1参照)や、珪藻土フィルター等の物理的処理を利用して除去する方法が知られている。
然しながら、上記のような物理的処理を高アルカリ性溶液を使用した場合、フィルターが溶液に溶解してエッチング液の組成を変化させてしまい、エッチング液をリサイクルすることが不可能となり、またフィルターが短時間に詰まってしまい除去することが難しいと言う問題があった。
特に、イオン交換膜の処理方法では、イオン交換膜が高アルカリ性溶液に短時間に溶解してしまうため、寿命が極端に短くなり、また大量の水酸化アルミが含まれているため、すぐにフィルターの目詰まりが発生し、マンガンが除去できないと言う問題があった。
また、珪藻土フィルターを使用した処理方法では、珪藻土自体が高アルカリ性溶液に溶解してしまうため、珪藻土の主成分であるシリコンが大量に溶解し、エッチング液の組成を変化させてしまうと言う問題があった。
特開2003−183858号公報
この発明はかかる従来の問題点に着目し、エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく除去することで、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
この発明は上記目的を達成するため、この発明のエッチング液のリサイクル方法は、エッチング液槽内に収容されたエッチング液を少なくとも一槽以上の沈殿槽に液送し、該沈殿槽で沈殿物と上澄みエッチング液とを比重差により分離した後、沈殿物を含む下層の廃液を中和処理槽に排水させ、中和処理槽にて廃液を中和させて沈殿物を除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽で分離した上澄みエッチング液を再び還流配管を介してエッチング液槽内に戻すことを要旨とするものである。
ここで、前記上澄みエッチング液をエッチング液槽内に戻す際、廃液として排水したエッチング液の量に対応するエッチング液を補給してエッチング液槽内に戻すようにする。
また、この発明のエッチング液のリサイクル装置は、エッチング処理したエッチング液を収容するエッチング液槽と、このエッチング液槽に、配管を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽と、この沈殿槽の下層部分に排水配管を介して接続した沈殿物の中和処理工程及び沈殿物除去工程と、沈殿物及び廃液排水処理工程と、前記沈殿槽に、上澄みエッチング液を循環配管を介してエッチング液槽に戻す循環処理工程とから成ることを要旨とするものである。ここで、前記上澄みエッチング液の循環配管に、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程を設けるものである。
このような方法によりエッチング液のリサイクルを行うので、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来る。
この発明は、上記のようにエッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく、比重差を利用して沈降分離させるようにしたので、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来る効果がある。
以下、添付図面に基づき、この発明の実施形態を説明する。
図1は、この発明のエッチング液のリサイクル方法を実施するためのリサイクル装置の概略構成図、図2はこの発明を実施したリサイクル装置の具体的な構成図を示している。
前記リサイクル装置は、図1に示すように重金属類や水酸化アルミニュウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液等のエッチング液Wを収容したエッチング液槽1と、このエッチング液槽1に、配管2を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽3と、この沈殿槽3の下層部分3aに排水配管4を介して接続した沈殿物Gの中和処理工程5及び沈殿物除去工程6と、沈殿物Gの廃棄工程7及び廃液排水処理工程8と、前記沈殿槽3の上層部3bに、上澄みエッチング液Wxを循環配管9を介して前記エッチング液槽1に戻す循環処理工程10とで構成されている。
また、前記上澄みエッチング液Wxの循環処理工程10とエッチング液槽1とを結ぶ循環配管11には、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程12が接続してある。
次に図2を参照しながらリサイクル装置の具体的な構成の実施形態について説明する。この発明の実施形態では、重金属類や水酸化アルミニュウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液Wを収容したエッチング液槽1として、中央に既設エッチング液槽1Aと既設シャワー槽1Bとが設置され、その両側には中継槽1C,1Dが設置され、既設エッチング液槽1A及び既設シャワー槽1Bと、中継槽1C,1Dとの底部には、バルブを備えた配管1xがそれぞれ接続されている。
前記既設エッチング液槽1Aと既設シャワー槽1Bとには、清水供給パイプ1yから清水が供給されるようになっている。
また、前記沈殿槽3は、この発明の実施形態では、3台の静置槽3x,3y,3zと新苛性槽3sとが設置され、静置槽3x,3y,3zの上層部3b及び新苛性槽3sと、前記既設エッチング液槽1Aとは、再利用ポンプP1を備えた配管2を介して接続して接続され、静置槽3x,3y,3zからは、再利用ポンプP2,P3,P4を備えた配管2介して静置槽3x,3y,3z内の上澄みエッチング液Wxをエッチング液槽1の既設エッチング液槽1Aに戻し、また新苛性槽3sからは新苛性ソーダをエッチング液槽1の既設エッチング液槽1Aに供給するように構成されている。
なお、静置槽3x,3y,3zは、3台に限定されず、3台以上設置することも可能であり、この実施形態では三日間で沈殿した静置槽3x,3y,3zが1サイクル出来るように3台の静置槽3x,3y,3zを設置したものである。また、前記中継槽1Cと静置槽3x,3y,3zとは、苛性ソーダ原液を供給する配管2aが接続され、中継槽1C内の苛性ソーダ原液を静置槽3x,3y,3zに順次供給出来るように構成されている。
前記静置槽3x,3y,3zの下層部分3aには、排水配管4a,4b,4cが挿入され、この排水配管4a,4b,4cを介して沈殿物Gの中和処理工程5を構成する洗浄廃水受槽5aと、この洗浄廃水受槽5aに配管4dを介して接続された原液反応槽5bとが接続されている。
また、洗浄廃水受槽5aと原液反応槽5bとの内部には、攪拌機M1,M2が取付けられ、洗浄廃水受槽5aと原液反応槽5bとの内部の洗浄廃水を攪拌するように構成され、更に洗浄廃水受槽5aには、前記中継槽1Dから洗浄廃液を供給する配管4eが接続されると共に、原液反応槽5bには、硫酸貯槽5cから配管4fを介して希硫酸が供給されるようになっている。
また、前記原液反応槽5bには、廃水管4gを介して沈殿物除去工程6を構成するドラム式の濾過装置6aが接続され、この濾過装置6aは、廃水タンク6xとフィルター6bを巻付けた回転ドラム6yと、フィルター6bに付着した重金属や水酸化アルミニュウム等の沈殿物Gを剥離させる剥離ナイフ装置6zとで構成され、剥離ナイフ装置6zにより剥離された沈殿物Gは、コンテナー13に移載させて外部に搬送廃棄されるものである。
前記濾過装置6aで濾過された廃液水は、バキュームポンプVPを備えた排水管14を介して調整槽15a,監視槽15bに排出され、ここからPH調整された排水が下水道に放出されるものである。また、前記濾過装置6aの廃水タンク6xからオーバーフローした廃液水は、排水管14aを介してプレコート槽16に供給されて収容される。
この発明のリサイクル装置は、上記のように構成され、この装置によりエッチング液Wをリサイクルする場合には、エッチング液槽1内に収容されたエッチング液Wを少なくとも一槽以上の沈殿槽3に液送する。そして、該沈殿槽3で沈殿物Gと上澄みエッチング液Wxとを比重差により分離した後、沈殿物Gを含む下層の廃液を中和処理槽5に排水させ、中和処理槽5にて廃液を中和させて沈殿物Gを除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽3で分離した上澄みエッチング液Wxを再び還流配管を介してエッチング液槽1内に戻すことでエッチング液のリサイクルを行うものである。
また、前記上澄みエッチング液Wxをエッチング液槽1内に戻す際、廃液として排水したエッチング液Wの量に対応するエッチング液Wを補給してエッチング液槽1内に戻すことで繰返しの作業を連続的に行うことが出来る。
このように、エッチング液W中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく、比重差を利用して沈降分離させるようにしたので、エッチング液Wの組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来るものである。
この発明のエッチング液のリサイクル方法を実施するためのリサイクル装置の概略構成図である。 この発明を実施したリサイクル装置の具体的な構成図である。
符号の説明
1 エッチング液槽 2 配管
3 沈殿槽 3a 下層部分
3b 上層部 4 排水配管
5 中和処理工程 6 沈殿物除去工程
7 廃棄工程 8 廃液排水処理工程
9 循環配管 10 循環処理工程
11 循環配管 12 エッチング液供給工程
W エッチング液 Wx 上澄みエッチング液
G 沈殿物
1A 既設エッチング液槽 1B 既設シャワー槽
1C,1D 中継槽 1x 配管
3x,3y,3z 静置槽 3s 新苛性槽
4a〜4c 排水配管 5a 洗浄廃水受槽
5b 原液反応槽 5c 硫酸貯槽
4d 配管 4f 配管
4e 配管 4g 廃水管
6a 濾過装置 6b フィルター
6x 廃水タンク 6y 回転ドラム
6z 剥離ナイフ装置 13 コンテナー
14 排水管 15a 調整槽
15b 監視槽 16 プレコート槽

Claims (4)

  1. エッチング液槽内に収容されたエッチング液を少なくとも一槽以上の沈殿槽に液送し、該沈殿槽で沈殿物と上澄みエッチング液とを比重差により分離した後、沈殿物を含む下層の廃液を中和処理槽に排水させ、中和処理槽にて廃液を中和させて沈殿物を除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽で分離した上澄みエッチング液を再び還流配管を介してエッチング液槽内に戻すことを特徴とするエッチング液のリサイクル方法。
  2. 前記上澄みエッチング液をエッチング液槽内に戻す際、廃液として排水したエッチング液の量に対応するエッチング液を補給してエッチング液槽内に戻す請求項1に記載のエッチング液のリサイクル方法。
  3. エッチング処理したエッチング液を収容するエッチング液槽と、このエッチング液槽に、配管を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽と、この沈殿槽の下層部分に排水配管を介して接続した沈殿物の中和処理工程及び沈殿物除去工程と、沈殿物及び廃液排水処理工程と、前記沈殿槽に、上澄みエッチング液を循環配管を介してエッチング液槽に戻す循環処理工程とから成るエッチング液のリサイクル装置。
  4. 前記上澄みエッチング液の循環配管に、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程を設けた請求項3に記載のエッチング液のリサイクル装置。
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