CN105237335B - Tfe回收工艺及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及TFE装置和PTFE装置排放气体回收领域，具体涉及一种TFE回收工艺及其装置，收集现有TFE装置和PTFE装置排放气体，含有CO的气体经铜氨溶液吸收其中的CO。脱CO后的气体和其他气体经混合、压缩、脱水、脱氧后去精馏；利用精馏分离和膜分离相结合得到高纯度TFE、HFP和R22产品。

Description

TFE回收工艺及其装置

技术领域

本发明涉及TFE装置和PTFE装置排放气体回收领域，具体涉及一种回收TFE、HFP、R22的TFE回收工艺及其装置。

背景技术

四氟乙烯(TFE)和六氟丙烯(HFP)是重要的含氟烯烃，是生产聚四氟乙烯(PTFE)和聚全氟乙丙烯(FEP)的重要原料；二氟一氯甲烷(R22)是生产TFE的主要原料。

现有TFE装置排放的气体中含有TFE,HFP,R22等组分，PTFE生产中也排放出一些TFE气体。为了减少全厂氟氯烃排放和提高经济效益，有必要建设一套四氟乙烯(TFE)回收装置，收集TFE装置和PTFE装置的排放气体，采用压缩、脱CO、脱水，脱氧、精馏和膜回收等工序得到聚合级TFE和HFP，并回收R22。

发明内容

本发明的技术目的在于克服上述问题，提供一种减少氟氯烃排放和提高经济效益的TFE回收工艺及装置。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案为：TFE回收装置，包括CO脱除装置、回收气收集压缩装置，其特征在于，还包括脱水脱氧装置、精馏装置、回收机构，所述的CO脱除装置、回收气收集压缩装置、脱水脱氧装置、精馏装置、回收装置顺序连接。

所述的CO脱除装置包括CO吸收塔，CO吸收塔底部连通的回流再生塔的上部，CO吸收塔顶部连通混合缓冲罐；回流再生塔结构为：上部回流器，中部再生器，下部还原器，回流器顶部与水洗槽连通，再生器的液体流动方式为：再生器-循环水冷却器、溶剂循环泵-溶剂冷却器-CO吸收塔。

CO脱除装置前端设有TFE装置排放气前处理装置，TFE装置排放气前处理装置包括顺序连接的机前缓冲罐、机前冷却器、膜压机、机后冷却器、机后缓冲罐，所述的机后缓冲罐还与粗分塔对应的冷凝器连通。

所述的回收气收集压缩装置和脱水脱氧装置为：收集来自界外的新鲜R22、由CO吸收塔塔顶排出的气体、真空缓冲罐排出的气体、TFE1装置和TFE2装置的排放气、HFP吸附器排出的气体、HPF分离膜排出的气体、HFP精馏塔排出的气体、TFE装置的检修排放气、D-PTFE装置回收的TFE、S-PTFE装置回收的TFE于混合缓冲罐中，得到的混合气的流动方向为：混合缓冲罐-压缩机-经冷却脱水器-脱水塔-二级缓冲罐-压缩机-二级冷却器-干燥器-脱氧塔；所述的脱水脱氧装置，还包括与脱氧塔连接的萜烯计量槽和萜烯泵。

所述的精馏装置包括与脱氧塔顶部连通的粗分塔、对应于粗分塔的1#塔冷凝器、与1#塔冷凝器下部连通的脱轻塔、与粗分塔塔釜连通的共沸塔，脱轻塔的塔顶连通萜烯槽、2#塔冷凝器，脱轻塔塔釜连通四氟乙烯精馏塔；所述的共沸塔塔顶连通HFP吸附器，共沸塔塔釜与R22回收塔连通，R22回收塔塔顶、硅胶吸附器、R22冷却器、R22贮槽顺序连接。

所述的回收机构包括顺序连接的所述的HFP吸附器、与HFP吸附器连通的HFP分离膜、粗HFP冷凝器、粗HFP贮槽、HFP精馏塔塔底、HFP冷凝器和HFP贮槽。

TFE回收工艺，其特征在于，包括如下步骤：TFE装置二级分离膜渗透气先后经机前缓冲罐、膜压机、机后缓冲罐、CO吸收塔进入混合缓冲罐，来自界外的新鲜R22、由CO吸收塔塔顶排出的气体、HFP吸附器排出的气体、HPF分离膜排出的气体、HFP精馏塔排出的气体、TFE装置的检修排放气、D-PTFE装置回收的TFE、S-PTFE装置回收的TFE均进入混合缓冲罐，混合缓冲罐的混合气经压缩、脱水、脱氧后精馏分别得到TFE、R22，再经过HFP回收处理得到HFP。

TFE装置二级膜的排放气，进入机前缓冲罐稳压后，进入机前冷却器冷却，再进入膜压机加压，经机后冷却器冷却后进入机后缓冲罐，同时1#塔冷凝器排放的含CO气体也进入机后缓冲罐；

机后缓冲罐的混合气体进入CO吸收塔与乙酸铜氨溶液逆流接触，CO吸收塔塔顶气体减压后去混合缓冲罐；吸收CO的液体经减压后去回流再生塔上部；回流再生塔结构为：上部回流器，中部再生器，下部还原器；回流器顶部排放含CO的气体经水洗槽脱氨；再生器的液体去循环水冷却器降温后去溶剂循环泵加压，再去溶剂冷却器冷却到5℃再去CO吸收塔；

混合缓冲罐的混合气经压缩机压缩，一级出口气体经冷却脱水器降温除水后进入脱水塔，由低温脱水剂冷却到-10℃继续脱水，然后进入二级缓冲罐，再进入压缩机进行二级压缩；二级出口气体经二级冷却器降温后进入干燥器,干燥器中的硅胶吸附气体中的水分，使气体中水分含量小于100ppm去脱氧塔脱氧；

阻聚剂萜烯经由萜烯计量槽、萜烯泵向脱氧塔供应萜烯，萜烯经萜烯补充泵定期定量向1#塔冷凝器、2#塔冷凝器、3#塔冷凝器补加萜烯；

从脱氧塔顶部出来的气体，经过进料冷却器进入粗分塔；从粗分塔塔顶进入1#塔冷凝器下部的馏出物为含四氟乙烯、微量R22及轻组分，以上馏出物送入脱轻塔；粗分塔塔釜为含R22、微量四氟乙烯及其它重组分，送至共沸塔；脱轻塔从塔顶脱出沸点低于四氟乙烯的轻组分，通过萜烯槽的萜烯层，经2#塔冷凝器冷凝排出轻组分；脱轻塔塔釜的四氟乙烯进入四氟乙烯精馏塔；四氟乙烯精馏塔顶部采用侧线产出单体四氟乙烯的方式，经过计量以气态送至PTFE装置；共沸塔塔釜物料进入R22回收塔；R22回收塔塔顶蒸出较纯的R22，经硅胶吸附器、R22冷却器、进入R22贮槽；

共沸塔塔顶的共沸物以气态被送至HFP吸附器,再送至HFP分离膜再先后经粗HFP冷凝器、粗HFP贮槽进入HFP精馏塔；HFP精馏塔塔顶气体部分冷凝回流，部分经调节阀减压返回混合缓冲罐；HFP精馏塔塔底HFP气体经HFP冷凝器进入HFP贮槽。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：TFE回收装置用于回收现有TFE装置和PTFE装置排放气体中的TFE、HFP、R22；回收后的含CO废气和精馏残液送至焚烧装置焚烧处理。本装置和焚烧装置配套使用，可以使氟氯烃排放为零，达到环保要求；同时回收得到高纯度TFE、HFP和R22，TFE用于生产PTFE，HFP作为商品销售，而R22作为原料用于TFE生产。

附图说明

图1为本发明的工艺流程图；

图2为原料TFE二级膜渗透气在CO脱除前的处理装置；

图3为CO脱除部分装置图；

图4为回收气收集、压缩、脱水装置图；

图5为脱氧、精馏部分结构图；

图6‐7为回收部分结构图。

具体实施方式

为使本发明实现的技术方案、技术特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

回收四氟乙烯生产，是以回收现有TFE装置、D-PTFE、S-PTFE装置排放气体为原料，进行CO脱除、压缩、精馏等工序回收得到纯的较高的TFE、HFP和R22，TFE用于生产PTFE，HFP作为商品销售，R22作为原料用于TFE生产。D-PTEF装置为生产分散聚四氟乙烯的装置，S-PTFE装置为生产悬浮聚四氟乙烯的装置。

TFE回收装置收集现有TFE装置和PTFE装置排放气体，含有CO的气体经铜氨溶液吸收其中的CO。脱CO后的气体和其他气体经混合、压缩、脱水、脱氧后去精馏；利用精馏分离和膜分离相结合得到高纯度TFE、HFP和R22产品。

铜氨溶液吸收CO

采取铜氨溶液吸收CO的方法，脱除氟膜装置排放气中的CO；脱除CO后的气体去精馏系统回收TFE等有用组分；回收后含有CO的解吸气送至焚烧装置焚烧。

反应原理如下：

铜氨溶液在游离氨存在下，依靠低价铜离子吸收CO，其反应式为：

Cu(NH₃)₂Ac+CO(液相)+NH₃＝＝Cu(NH₃)₃COAc+52754kJ。

这是一个包含气液相平衡和液相中化学平衡的吸收反应。首先是CO与铜氨溶液接触而被溶解，CO再与低价铜离子作用生成络合物，并放出热量。

铜液吸收CO的反应为瞬间可逆反应，反应向右进行为吸收，反应向左则称为解吸。当游离氨浓度较大时，影响吸收速度的主要是气膜阻力。

V_CO＝22.4[Cu⁺]αP_CO/(1+αP_CO)；

V_CO：平衡时吸收的CO量，CO Nm³/m³铜液；

[Cu⁺]：摩尔浓度mol/l；

α：吸收系数，与溶液温度、组成有关；

P_CO：CO分压，大气压。

增大CO压力，有利于CO溶解，有利于吸收反应；增加游离氨和低价铜浓度，也有利于CO的吸收。

降低温度有利于CO的溶解，同时吸收反应为放热反应，降低温度有利于CO吸收反应。

降低压力，提高温度有利于铜氨溶液中CO解吸。

混合气体压缩、脱水和除氧

采用无油活塞二级压缩机(C-6801)压缩，一级出口压力约3.5kg/cm²，二级出口压力约16kg/cm²。

采用冷却脱水、低温氯化钙溶液脱水和硅胶干燥剂脱水相结合，脱水后混合气体中水分含量小于100ppm。

采用萜烯脱氧，脱氧后混合气体中氧含量小于10ppm。

加压精馏

精馏工序是通过精馏的办法，回收得到聚合级四氟乙烯单体、HFP和R22。

精馏原理，是利用不同的物质有不同的沸点，在混合物中各组分的相对挥发度不一样，在具有适当塔板的精馏装置中，通过塔釜(再沸器)加热蒸发，塔顶冷凝回流，物料在塔内反复部分汽化、部分冷凝，经过多次传热、传质过程，使系统中难以挥发组分逐步得到分离，高沸点组分在塔釜内富集，低沸点组分在塔顶浓缩，控制一定条件，便可得到所需组分。

由于TFE回收物料的沸点比较低，如常压精馏，势必在塔顶设置极低的温度才能使其冷凝，而采用加压精馏方法，在塔顶用一般的冷媒即可。

含HFP排放气的分离与回收

利用膜分离原理把HFP共沸物分离为富含HFP的渗余气和富含R22的渗透气，再利用精馏原理得到99.99％纯度的HFP产品。

氢氟烃排放气的最终处置

整个装置排放的废气包括含CO的解吸气、含R23的脱轻塔排放气、含C₂HF₃的精馏塔排放气等所有排放气体收集后送界外焚烧装置焚烧；整个装置排放含有R22、HFP的精馏残液，也送焚烧装置焚烧，焚烧变成CO₂、HF、HCl等组分；用水吸收和碱洗后达标高空排放。

现有TFE1和TFE2、S-PTFE、D-PTFE装置的排放气，具体来源如下：

TFE1/TFE2二级氟膜装置的渗透气，含CO、TFE等组分。

TFE1/TFE2装置四氟乙烯精馏塔塔底排放气，含TFE、C₂HF₃组分。

TFE1/TFE2装置HFP精馏塔塔顶排放气，含HFP、R22等组分。

TFE1/TFE2装置HFP氟膜装置的渗透气,含HFP、R22等组分。

TFE1/TFE2装置设备停车、检修的排放气,含TFE、R22等组分。

S-PTFE装置回收的TFE,含TFE、H₂O等组分。

D-PTFE装置回收的TFE,含TFE、H₂O等组分。

萜烯terpene(s)

实际生产过程中使用的萜烯是一个混合物，其中主要含有二戊烯(dipentene)、柠檬烯(limonene)和α—蒎烯(α—pinene)等。柠檬烯和二戊烯均属单环烯烃。

脱水剂(氯化钙溶液，百分比为质量分数)

CaCl₂≥30％PH＞7

乙酸铜氨溶液

乙酸铜氨溶液：(mol/L)

总铜

Cu+/Cu2+

Cu+

Cu2+

总氨

游离氨

CH3COOH

2.35～2.5

5～7

7.5～9.5

2～3

2.5～3

2.40

7.00

2.10

0.30

8.00

2.36

3.00

浅蓝色溶液，有氨味，pH 9～11。

硅胶

在25℃和以下相对湿度时，对水蒸汽的吸附量为：

相对湿度(％)	20	40	60	100
					对水蒸汽的吸附量(％)	≥11	≥22	≥33	≥42

下面介绍TFE回收工艺的具体流程。

CO脱除部分

根据图2，第一TFE装置(即TFE1装置)、第二TFE装置(即TFE2装置)二级分离膜的排放气，常温、压力1.3kg/cm²进入机前缓冲罐3稳压后，进入机前冷却器1冷却到15℃进入膜压机4加压到6kg/cm²，经机后冷却器2冷却到25℃进入机后缓冲罐5，同时1#塔冷凝器33排放的含CO气体也进入机后缓冲罐5。

机后缓冲罐的混合气体进入CO吸收塔6与溶剂(乙酸铜氨溶液)逆流接触，CO吸收塔塔顶气体经调节阀减压后去混合缓冲罐；吸收CO的液体经塔底调节阀减压后去回流再生塔上部。回流再生塔结构为：上部回流器7a，中部再生器7b，下部还原器7c。回流器顶部排放含CO的气体经水洗槽8脱氨后去废气罐9稳压，由鼓风机10加压送至废气混合缓冲罐，再送至界外焚烧装置焚烧。再生器的液体去循环水冷却器11降温后去溶剂循环泵12加压，再去溶剂冷却器13冷却到5℃再去CO吸收塔(图3)。

若溶剂中铜比过高，溶剂配制槽14中加入压缩空气调节。溶剂配置槽位于再生器与循环水冷却器之间。

若溶剂中总氨过低，溶剂配制槽14中补充氨气。

若总铜过低，再生器出来的液体经溶剂配制槽14调节总铜。

设置溶剂收集槽15,收集停车检修排放的铜液。

回收气收集、压缩、脱水和脱氧

TFE装置的检修排放气经检修缓冲罐16调压后进入混合缓冲罐17；D-PTFE装置回收的TFE经D-PTFE缓冲罐18、S-PTFE回收的TFE经S-PTFE缓冲罐19调压后进入混合缓冲罐17；其他连续排放的原料气(包括来自界外的新鲜R22、由CO吸收塔塔顶排出的气体、真空缓冲罐排出的气体、TFE1装置和TFE2装置的排放气)和本装置精馏系统的回收气体(包括HFP吸附器排出的气体、HPF分离膜排出的气体、HFP精馏塔排出的气体、四氟乙烯精馏塔排放气一起进入混合缓冲罐17。若混合缓冲罐中TFE含量大于65％，则需补加新鲜R22，使其TFE含量小于65％(图4)。

混合缓冲罐17的混合气经压缩机20压缩，一级出口气体经冷却脱水器21降温除水后进入脱水塔22，由低温脱水剂冷却到-10℃继续脱水，然后进入二级缓冲罐23，再进入压缩机20进行二级压缩；二级出口气体经二级冷却器24降温后进入干燥器29,干燥器中的硅胶吸附气体中的水分，使气体中水分含量小于100ppm去脱氧塔26脱氧。若气体中水分接近100ppm，换用干燥器，停用的干燥器用蒸汽加热与抽真空方法进行活化。其中脱水剂槽27(内含氯化钙)与脱水塔22连接，由脱水塔冷却器28实现脱水塔的冷却，脱水塔冷却器和脱水塔之间设有脱水塔循环泵25(图4)。

阻聚剂萜烯经由萜烯计量槽31、萜烯泵30向脱氧塔26供应萜烯，萜烯经萜烯补充泵32定期定量向1#塔冷凝器33、2#塔冷凝器34、3#塔冷凝器35补加萜烯(图5)。

精馏部分

从脱氧塔26顶部出来的气体，经过进料冷却器36进入粗分塔37。从粗分塔塔顶进入1#塔冷凝器下部的馏出物为含四氟乙烯、微量R22及轻组分，以上馏出物送入脱轻塔38；粗分塔塔釜为含R22、微量四氟乙烯及其它重组分，送至共沸塔40。1#塔冷凝器33的塔顶不凝物以气态排出，去机后缓冲罐5。

脱轻塔38从塔顶脱出沸点低于四氟乙烯的轻组分，通过萜烯槽41的萜烯层，经2#塔冷凝器34冷凝排出轻组分去废气混合缓冲罐。脱轻塔塔釜的四氟乙烯进入四氟乙烯精馏塔39。

四氟乙烯精馏塔39顶部采用侧线产出单体四氟乙烯的方式，经过计量以气态送至PTFE装置。精馏塔塔釜物料则进入废气混合缓冲罐。混合废气去界外焚烧装置焚烧处置(图5)。

共沸塔40塔顶蒸出C₃F₆～R22共沸物，以气态送至HFP吸附器42,再送至HFP分离膜43(为两级分离膜)。共沸塔塔釜物料进入R22回收塔44。

R22回收塔塔顶蒸出较纯的R22，经硅胶吸附器45、R22冷却器46、进入R22贮槽47,定期由R22输送泵48送回界外罐区R22贮槽。R22回收塔塔釜物料为高沸点残液，放入残液贮槽49，定期将残液压入钢瓶，送界外焚烧装置处理(图6)。

粗分塔、脱轻塔、四氟乙烯精馏塔、共沸塔、R22回收塔均配备有塔再沸器，此四种塔通过控制加热温度以实现不同沸点的组分的分离。且这五种塔均配备有冷凝器。

回收部分

共沸塔40塔顶的共沸物以气态被送至HFP吸附器42,再送至HFP分离膜43(为两级分离膜)再先后经粗HFP冷凝器50、粗HFP贮槽51进入HFP精馏塔52。HFP精馏塔塔顶气体部分冷凝回流，部分经调节阀减压返回混合缓冲罐17。HFP精馏塔塔底HFP气体经HFP冷凝器52进入HFP贮槽53，定期经灌装泵装钢瓶销售(图7)。

装置中凡有高浓度四氟乙烯等易产生爆炸的设备和管线，均设置安全泄放设施。

废水经地沟排入装置内废液池，定期用废液泵送至界区外污水处理系统，达到安全排放标准。

装置内用蒸汽设备所排放冷凝水，统一由冷凝水输送系统送至界区外。

装置内设有热媒系统，供脱轻塔再沸器，四氟乙烯精馏塔再沸器，残液贮槽49加热用。包含热媒槽，热媒泵。

装置内设有真空系统，包含真空缓冲罐，真空泵，供系统抽真空用。

设备的操作工艺参数见表1。

表1 设备的操作工艺参数

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.TFE回收装置，包括CO脱除装置、回收气收集压缩装置，其特征在于，还包括脱水脱氧装置、精馏装置、回收机构，所述的CO脱除装置、回收气收集压缩装置、脱水脱氧装置、精馏装置、回收装置顺序连接；所述的CO脱除装置包括CO吸收塔，CO吸收塔底部连通的回流再生塔的上部，CO吸收塔顶部连通混合缓冲罐；回流再生塔结构为：上部回流器，中部再生器，下部还原器，回流器顶部与水洗槽连通，再生器的液体流动方式为：再生器-循环水冷却器、溶剂循环泵-溶剂冷却器-CO吸收塔。

2.根据权利要求1所述的TFE回收装置，其特征在于，CO脱除装置前端设有TFE装置排放气前处理装置，TFE装置排放气前处理装置包括顺序连接的机前缓冲罐、机前冷却器、膜压机、机后冷却器、机后缓冲罐，所述的机后缓冲罐还与粗分塔对应的冷凝器连通。

3.根据权利要求1所述的TFE回收装置，其特征在于，所述的回收气收集压缩装置和脱水脱氧装置为：收集来自界外的新鲜R22、由CO吸收塔塔顶排出的气体、真空缓冲罐排出的气体、TFE1装置和TFE2装置的排放气、HFP吸附器排出的气体、HPF分离膜排出的气体、HFP精馏塔排出的气体、TFE装置的检修排放气、D-PTFE装置回收的TFE、S-PTFE装置回收的TFE于混合缓冲罐中，得到的混合气的流动方向为：混合缓冲罐-压缩机-经冷却脱水器-脱水塔-二级缓冲罐-压缩机-二级冷却器-干燥器-脱氧塔；所述的脱水脱氧装置，还包括与脱氧塔连接的萜烯计量槽和萜烯泵。

4.根据权利要求1所述的TFE回收装置，其特征在于，所述的精馏装置包括与脱氧塔顶部连通的粗分塔、对应于粗分塔的1#塔冷凝器、与1#塔冷凝器下部连通的脱轻塔、与粗分塔塔釜连通的共沸塔，脱轻塔的塔顶连通萜烯槽、2#塔冷凝器，脱轻塔塔釜连通四氟乙烯精馏塔；所述的共沸塔塔顶连通HFP吸附器，共沸塔塔釜与R22回收塔连通，R22回收塔塔顶、硅胶吸附器、R22冷却器、R22贮槽顺序连接。

5.根据权利要求4所述的TFE回收装置，其特征在于，所述的回收机构包括顺序连接的所述的HFP吸附器、与HFP吸附器连通的HFP分离膜、粗HFP冷凝器、粗HFP贮槽、HFP精馏塔塔底、HFP冷凝器和HFP贮槽。

6.TFE回收工艺，其特征在于，包括如下步骤： TFE装置二级分离膜渗透气先后经机前缓冲罐、膜压机、机后缓冲罐、CO吸收塔进入混合缓冲罐，来自界外的新鲜R22、由CO吸收塔塔顶排出的气体、HFP吸附器排出的气体、HPF分离膜排出的气体、HFP精馏塔排出的气体、TFE装置的检修排放气、D-PTFE装置回收的TFE、S-PTFE装置回收的TFE均进入混合缓冲罐，混合缓冲罐的混合气经压缩、脱水、脱氧后精馏分别得到TFE、R22，再经过HFP回收处理得到HFP；

TFE装置二级膜的排放气，进入机前缓冲罐稳压后，进入机前冷却器冷却，再进入膜压机加压，经机后冷却器冷却后进入机后缓冲罐，同时1#塔冷凝器排放的含CO气体也进入机后缓冲罐；

机后缓冲罐的混合气体进入CO吸收塔与乙酸铜氨溶液逆流接触，CO吸收塔塔顶气体减压后去混合缓冲罐；吸收CO的液体经减压后去回流再生塔上部；回流再生塔结构为：上部回流器，中部再生器，下部还原器；回流器顶部排放含CO的气体经水洗槽脱氨；再生器的液体去循环水冷却器降温后去溶剂循环泵加压，再去溶剂冷却器冷却到5℃再去CO吸收塔；

混合缓冲罐的混合气经压缩机压缩，一级出口气体经冷却脱水器降温除水后进入脱水塔，由低温脱水剂冷却到-10℃继续脱水，然后进入二级缓冲罐，再进入压缩机进行二级压缩；二级出口气体经二级冷却器降温后进入干燥器,干燥器中的硅胶吸附气体中的水分，使气体中水分含量小于100ppm去脱氧塔脱氧；

阻聚剂萜烯经由萜烯计量槽、萜烯泵向脱氧塔供应萜烯，萜烯经萜烯补充泵定期定量向1#塔冷凝器、2#塔冷凝器、3#塔冷凝器补加萜烯；

从脱氧塔顶部出来的气体，经过进料冷却器进入粗分塔；从粗分塔塔顶进入1#塔冷凝器下部的馏出物为含四氟乙烯、微量R22及轻组分，以上馏出物送入脱轻塔；粗分塔塔釜为含R22、微量四氟乙烯及其它重组分，送至共沸塔；脱轻塔从塔顶脱出沸点低于四氟乙烯的轻组分，通过萜烯槽的萜烯层，经2#塔冷凝器冷凝排出轻组分；脱轻塔塔釜的四氟乙烯进入四氟乙烯精馏塔；四氟乙烯精馏塔顶部采用侧线产出单体四氟乙烯的方式，经过计量以气态送至PTFE装置；共沸塔塔釜物料进入R22回收塔；R22回收塔塔顶蒸出较纯的R22，经硅胶吸附器、R22冷却器、进入R22贮槽；

共沸塔塔顶的共沸物以气态被送至HFP吸附器,再送至HFP分离膜再先后经粗HFP冷凝器、粗HFP贮槽进入HFP精馏塔；HFP精馏塔塔顶气体部分冷凝回流，部分经调节阀减压返回混合缓冲罐；HFP精馏塔塔底HFP气体经HFP冷凝器进入HFP贮槽。