CN105122962A - 基板夹紧装置 - Google Patents

Abstract

按压基板(13)的侧缘部的按压部件(22)以能够相对于输送机(12)的导轨(14)移动到上翘矫正位置和通常夹紧位置的方式进行安装，在上翘矫正位置，成为按压部件(22)的倾斜面(23)中的最低的前端部的位置比提升部件(21)的上端的位置向基板(13)的内侧方向偏移的位置关系，在该位置关系中，通过在该倾斜面(23)的前端部和该提升部件(21)的上端之间夹入该基板(13)的侧缘部，以对该基板(13)施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板(13)。在通常夹紧位置，成为按压部件(22)的倾斜面(23)的前端部位于提升部件(21)的上端的正上方的状态，通过在该倾斜面(23)的前端部和该提升部件(21)的上端之间夹入该基板(13)的侧缘部，以不对该基板(13)施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板(13)。

Description

基板夹紧装置

技术领域

本发明涉及一种基板夹紧装置，将由输送机输送来的基板的侧缘部夹入到提升部件和位于该提升部件上方的按压部件之间并夹紧。

背景技术

例如，在元件安装机中，通常，将由输送机输送来的基板从该输送机的宽度方向两侧的下方通过基板夹紧装置的提升部件进行提升，并将该基板的侧缘部夹入到该提升部件和位于该提升部件上方的按压部件之间并夹紧后，通过安装头将元件安装到该基板上。由于近年的基板逐渐变薄，强度逐渐变弱，因此容易产生翘曲。另外，为了满足近年来高密度安装化和小型化的要求，在基板的两面上安装元件的双面安装基板的需求也正在增加，在该双面安装基板中，首先，在基板的一面上安装元件并热固化焊料后，翻转基板，同样地，在基板的另一面上进行元件的安装和焊料的热固化。因此，有时会因热固化时的热量使基板产生翘曲。

如在基板产生翘曲的状态下安装元件，则会使元件安装精度变差，并会使产品品质变差，因此，如专利文献1(日本特开2004-335973号公报)和专利文献2(专利第2792931号公报)所述那样，将由基板夹紧装置夹紧两侧缘部的基板由支承销从下方向上顶起，矫正基板的翘曲。

但是，能够由支承销矫正的基板的翘曲仅为下翘(向下方的翘曲)，上翘(向上方的翘曲)无法用支承销矫正。

因此，在专利文献3(WO01/058233号公报)中，通过在基板的下侧排列有多个吸附垫并由多个吸附垫吸附基板，来矫正基板的上翘。

专利文献1：日本特开2004-335973号公报

专利文献2：专利第2792931号公报

专利文献3：WO01/058233号公报

发明内容

但是，如上述专利文献3所示，如在基板的下表面侧排列多个吸附垫，则不仅会使装置的结构复杂化，成本上升幅度变大，而且，在双面安装基板的另一面上安装元件时，吸附垫有可能会与该基板的下表面侧的先装元件发生干扰，而无法对该基板的上翘进行矫正。

因此，本发明要解决的课题在于提供一种基板夹紧装置，能够在缩小成本上升幅度的同时可靠地矫正基板的上翘。

为了解决上述课题，本发明构成为，一种基板夹紧装置，通过提升部件将由输送机输送来的基板从该基板的宽度方向两侧的下方进行提升，在上述提升部件与位于该提升部件上方的按压部件之间夹入该基板的侧缘部并夹紧，该基板夹紧装置具备上翘矫正单元，该上翘矫正单元通过在上述提升部件和上述按压部件之间夹入上述基板的侧缘部并夹紧而对该基板施加朝下的弯曲力矩，以矫正该基板的上翘。在该结构中，由于通过在提升部件和按压部件之间夹入基板的侧缘部并夹紧，上翘矫正单元对基板施加朝下的弯曲力矩，因此，能够通过该朝下的弯曲力矩可靠地矫正基板的上翘，而且，即使在矫正双面安装基板的上翘的情况下，上翘矫正单元也不会与该基板的下表面侧的先装元件发生干扰，而能够可靠地矫正该基板的上翘。而且，由于能够利用在提升部件和按压部件之间夹入基板的侧缘部的夹紧动作对基板施加朝下的弯曲力矩，因此能够简化矫正基板的上翘的结构，并能够缩小成本上升幅度。

本发明也可以按照如下方式构成，按压部件以能够相对于位于输送机的宽度方向两侧的导轨移动到上翘矫正位置和通常夹紧位置的方式进行安装，在上述上翘矫正位置，以通过上述上翘矫正单元对基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板，在上述通常夹紧位置，以不对基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板。这样一来，在夹紧没有上翘的基板的情况下，通过使按压部件移动到通常夹紧位置，能够以对基板不施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板。

在该情况下，也可以如下构成，具备：位置显示部，用于识别按压部件的位置；相机，拍摄上述位置显示部；及图像处理装置，通过对由上述相机拍摄到的图像进行处理来识别上述位置显示部，确认上述按压部件的位置。这样一来，能够事先确认生产时按压部件的位置是否移动至正确的位置。

另外，本发明也可以由一按压部件按压基板的侧缘部整个区域，或者，也可以将分开的多个按压部件沿基板的侧缘部排列，各按压部件以能够单独移动到上述上翘矫正位置和上述通常夹紧位置的方式进行安装。在该结构中，仅将沿基板的侧缘部排列的多个按压部件中的、对应位于基板的侧缘部中的空白空间的按压部件移动至上翘矫正位置，能够矫正该基板的上翘，并能够使按压部件的无用空间限制到最小限度。

另外，作为本发明的另一实施方式，也可以构成为，以通过上翘矫正单元对基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板的上翘矫正用按压部件和以不对基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板的通常夹紧用按压部件能够互换。

或者，也可以构成为，通过将作为上翘矫正单元发挥功能的上翘矫正用附件以能够拆装的方式安装于以不对基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板的通常夹紧用按压部件，对该基板施加朝下的弯曲力矩。无论哪一结构，均能够获得相同的效果。

另外，上翘矫正单元也可以构成为，通过将与按压部件的下表面中的与基板的侧缘部重叠的重叠部分形成为前端侧向下方突出的倾斜状或突出状，并以上述重叠部分的最低部分的位置比提升部件的上端的位置向该基板的内侧方向偏移的状态，在该最低部分和该提升部件的上端之间夹入该基板的侧缘部，对该基板施加朝下的弯曲力矩。这样一来，能够以在按压部件的下表面设置倾斜状或阶梯状的部分并使其最低部分的位置从提升部件的上端的位置偏移的极简单的结构对基板施加朝下的弯曲力矩，能够将成本上升限制到最小限度。

附图说明

图1是表示本发明的实施例1的元件安装机的元件安装台的立体图。

图2(a)是表示按压部件在通常夹紧位置且提升部件在基板未夹紧位置(输送位置)的状态的主要部分的纵向剖视图，图2(b)是表示按压部件在通常夹紧位置且提升部件在基板夹紧位置的状态的主要部分的纵向剖视图。

图3(a)是表示按压部件在上翘矫正位置且提升部件在基板未夹紧位置(输送位置)的状态的主要部分的纵向剖视图，图3(b)是表示按压部件在上翘矫正位置且提升部件在基板夹紧位置的状态的主要部分的纵向剖视图。

图4是说明矫正基板的上翘的作用的主要部分的纵向剖视图。

图5(a)是说明按压部件的卡合槽和卡合销的卡合状态的立体图，图5(b)是该部分的平面图。

图6是表示将按压部件替换为(a)上翘矫正位置、(b)通常夹紧位置和(c)基板取出位置时的状态的各位置的俯视图和纵向剖视图。

图7是表示本发明的实施例2的元件安装机的元件安装台的立体图。

图8(a)是表示本发明的实施例3的上翘矫正时的状态的主要部分的纵向剖视图，图8(b)是表示通常夹紧时的状态的主要部分的纵向剖视图。

图9(a)是表示本发明的实施例4的上翘矫正时的状态的主要部分的纵向剖视图，图9(b)是表示通常夹紧时的状态的主要部分的纵向剖视图。

具体实施方式

以下，对具体化用于实施本发明的方式的四个实施例1～4进行说明。

实施例1

基于图1～图6对本发明的实施例1进行说明。

首先，使用图1对元件安装机的元件安装台11的结构进行说明。

元件安装台11为在由输送机12沿X方向输送来的基板13上由元件安装机的安装头(未图示)安装元件的场所。输送机12以载置基板13的左右两侧缘部并输送的方式由两条输送带12a(参照图2)构成，通过使保持一条输送带12a的导轨14根据基板13的宽度沿其宽度方向(Y方向)移动，能够根据基板13的宽度调节输送机12的宽度(两条输送带12a的间隔)。

在元件安装台11上水平设置有载置支承销15(支承部件)的支承板16。该支承板16由铁等磁性材料形成，并能够将支承销15通过设于其下部的磁铁(未图示)吸附保持在支承板16上的任意的位置(不与基板13的下表面的先装元件18等发生干扰的位置)。支承板16以由升降机构17升降的方式构成，下降动作时的下限位置成为图2(a)和图3(a)所示的基板未夹紧位置，上升动作时的上限位置成为图2(b)和图3(b)所示的基板夹紧位置。

在支承板16的两侧部，经由支撑部件19以位于输送机12的宽度方向两侧(各输送带12a的内侧)的方式分别安装有板状的提升部件21。在各导轨14的上端，以向内侧呈凸缘状突出的方式分别安装有板状的按压部件22。

如图2(a)和图3(a)所示，在支承板16下降至基板未夹紧位置的状态下，支承板16上的支承销15的上端位于比输送机12上的基板13的下表面低的位置，且在输送机12上的基板13的下表面安装有先装元件18的情况下，支承板16上的支承销15的上端位于比该基板13的下表面的先装元件18的下端低的位置。

另一方面，如图2(b)和图3(b)所示，在支承板16上升至基板夹紧位置的状态下，支承板16上的支承销15上升，该支承销15的上端与输送机12上的基板13的下表面抵接，从下方支承该基板13，防止该基板13的下翘(向下方弯曲)。在支承板16上升至基板夹紧位置时，提升部件21与支承板16一体地上升，在安装在导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。

如图4所示，在按压部件22的下表面中的与基板13的侧缘部重叠的重叠部分，以前端侧向下方突出的方式形成有倾斜面23(上翘矫正单元)。如图2、图3、图6所示，按压部件22以能够相对于导轨14移动到上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置的方式进行安装，如图3和图4所示，在上翘矫正位置成为作为按压部件22的倾斜面23中的最低部分即倾斜面23的前端部的位置比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向偏移的位置关系，在该位置关系下，通过在该倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以对该基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。

另一方面，如图2所示，在通常夹紧位置，按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方，两者没有位置偏移，在该位置关系下，通过在该倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以对该基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。

如图6(c)所示，基板取出位置为用于在发生故障时等使按压部件22向基板13的外侧方向移动并向上方取出该基板13的位置。

如图5、图6所示，为了将按压部件22卡合保持在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置，在该按压部件22上形成有具有上述三个卡合位置24a、24b、24c的迷宫槽等卡合槽24，通过切换卡合固定在导轨14的上端的卡合销25的卡合槽24的位置24a、24b、24c，使按压部件22的位置在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置之间切换。此外，图5中图示有两个卡合槽24，但在一卡合槽24中省略了卡合销25的图示。

在本实施例1中，按照如下方式构成，为了通过图像处理确认按压部件22的位置，如图5(a)和(b)所示，在导轨14的上端面上形成有位置显示标记26(位置显示部)，通过使按压部件22的位置在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置之间切换，位置显示标记26与形成在按压部件22上的三个贯通孔20a～20c中的任一个匹配并露出。并且，通过元件安装机的相机(拍摄基板13的基准标记的相机)拍摄包含按压部件22的三个贯通孔20a～20c的区域，通过由元件安装机的图像处理装置(未图示)处理该图像，并通过识别三个贯通孔20a～20c中的露出位置显示标记26的贯通孔的位置，确认按压部件22的位置。由此，能够事先确认生产时按压部件22的位置是否移动到正确的位置。在该情况下，在导轨14的上端面的长度方向(X方向)的两处以上形成有位置显示标记26，并且，在按压部件22的长度方向(X方向)的两处以上分别形成有三个贯通孔20a～20c，如对两处以上露出位置显示标记26的贯通孔的位置进行图像识别，能够确认有无按压部件22的倾斜。

或者，也可以通过在按压部件22的上表面形成多个位置显示标记(位置显示部)，并通过元件安装机的相机拍摄位置显示标记，处理该图像，由此识别多个位置显示标记的位置并确认有无按压部件22的位置、倾斜。

另外，也可以通过将按压部件22的卡合槽24用作位置显示部，并由相机拍摄卡合槽24，对该图像进行处理，由此识别卡合销25相对于卡合槽24的卡合位置，确认按压部件22的位置。

或者，也可以通过在导轨14的上端面中的与上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置对应的位置分别在X方向(基板输送方向)上使位置偏移而形成位置显示标记，而且，在按压部件22上，按照沿X方向延伸的方式形成在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置露出各个位置的位置显示标记的狭缝，并由相机拍摄按压部件22的狭缝，对该图像进行处理，由此识别狭缝内的位置显示标记的位置并确认按压部件22的位置。

在使用如上构成的基板夹紧装置，在矫正基板13的上翘并夹紧的情况下，首先，如图3、图4、图6(a)所示，操作者使按压部件22移动至上翘矫正位置，成为使按压部件22的倾斜面23的前端部比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向突出的状态。在该状态下，对输送机12投入基板13，并将该基板13输送至预定的作业位置。其后，使支承板16向基板夹紧位置上升，并使提升部件21与支承板16一体地上升，并在安装于导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。

由于在上翘矫正位置，成为按压部件22的倾斜面23的前端部的位置比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向偏移的位置关系，因此，通过在按压部件22的倾斜面23的前端部和提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，对该基板13施加朝下的弯曲力矩，并通过该朝下的弯曲力矩矫正基板13的上翘。此时，由于由支承销15的上端从下侧支承施加了朝下的弯曲力矩的基板13，因此，还防止了该基板13的下翘。

另一方面，在夹紧不需要矫正的基板13的情况下，首先，如图2、图6(b)所示，操作者使按压部件22移动至通常夹紧位置，成为使按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方而两者没有位置偏移的状态。在该状态下，对输送机12投入基板13，并将该基板13输送至预定的作业位置后，使支承板16上升至基板夹紧位置，并使提升部件21与支承板16一起上升，在安装于导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。

由于在通常夹紧位置，按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方而两者没有位置偏移，因此，通过在按压部件22的倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以不对该基板13施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。此时，由于由支承销15的上端从下侧支承基板13，因此防止该基板13的下翘(向下方弯曲)。

此外，在发生故障时等向上方取出按压部件22的情况下，如图6(c)所示，通过操作者将按压部件22移动至基板取出位置，成为将按压部件22移动至基板13的外侧而两者没有重叠的状态，并从上方取出输送机12上的基板13。

根据以上说明的本实施例1，由于通过在提升部件21和按压部件22之间夹入基板13的侧缘部并夹紧，对该基板13施加朝下的弯曲力矩，因此，通过该朝下的弯曲力矩能够可靠地矫正基板13的上翘，而且，即使在矫正双面安装基板的上翘的情况下，矫正上翘的单元(倾斜面23)也能够不与该基板13的下表面侧的先装元件18发生干扰而可靠地矫正该基板13的上翘。而且，由于利用在提升部件21和按压部件22之间夹入基板13的侧缘部的夹紧动作对基板13施加朝下的弯曲力矩，因此，能够简化矫正基板13的上翘的结构，并能够缩小成本上升幅度。

而且，在本实施例1中，能够以在按压部件22的下表面形成倾斜面23作为上翘矫正单元并使作为该倾斜面23的最低部分即倾斜面23的前端部的位置从提升部件21的上端的位置偏移的极简单的结构对基板13施加朝下的弯曲力矩，并能够将成本上升抑制在最小限度。

在该情况下，如施加到基板13的朝下的弯曲力矩过大，则基板13会越过平面状态而成为下翘状态，而在本实施例1中，由于由支承销15从下侧支承施加了朝下的弯曲力矩的基板13，因此，能够通过支承销15可靠地防止因施加到基板13的朝下的弯曲力矩而使该基板13越过平面状态成为下翘状态。

此外，在本实施例1中，在按压部件22的下表面形成有倾斜面23作为上翘矫正单元，也可以代替这种结构，使按压部件22的下表面的前端侧部分形成为向下方突出的突出状，在该结构中，通过在按压部件22的下表面的前端侧的最低部分和提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部并夹紧，也能够对该基板13施加朝下的弯曲力矩。

实施例2

在上述实施例1中，通过一按压部件22按压基板13的侧缘部整个区域，而在图7所示的本发明的实施例2中，将分开的多个按压部件22沿基板13的侧缘部排列，并以能够单独移动至上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置的方式安装各按压部件22。各按压部件22与上述实施例1相同，通过固定在导轨14的上端的卡合销25和卡合槽24的卡合以能够移动的方式安装在该导轨14的上端。其它结构实质上也与上述实施例1相同。

在以上说明的本实施例2中，能够仅将沿基板13的侧缘部排列的多个按压部件22中的、对应位于基板13的侧缘部中的空白空间的按压部件22移动至上翘矫正位置来矫正该基板13的上翘，且能够将按压部件22的无用空间限制在最小限度。

实施例3

在上述实施例1和2中，在导轨14的上端，将按压部件22以能够移动到上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置的方式进行安装，但在图8所示的本发明的实施例3中，按照与上述实施例1相同的结构，以对基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13的上翘矫正用按压部件22和以不对基板13施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13的通常夹紧用按压部件31以能够通过卡合单元、螺钉等进行互换的方式安装在导轨14的上端。在通常夹紧用按压部件31的下表面无需形成倾斜面，而以通常夹紧用按压部件31的前端部位于提升部件21的上端的正上方的方式进行安装。其它结构实质上也与上述实施例1相同。

以上说明的本实施例3也能够获取与上述实施例1相同的效果。

实施例4

在图9所示的本发明的实施例4中，通过螺钉、卡合单元等以能够拆装的方式将作为上翘矫正单元发挥功能的上翘矫正用附件32安装于以不对基板13施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13的通常夹紧用按压部件31，由此对该基板13施加朝下的弯曲力矩。

通常夹紧用按压部件31与上述实施例3相同，通过卡合单元、螺钉等安装在导轨14的上端。在通常夹紧用按压部件31的上表面部形成有用于定位安装上翘矫正用附件32的阶梯部33，并能够通过螺钉、卡合单元等将上翘矫正用附件32以能够拆装的方式安装在该阶梯部33上。由此，通过在通常夹紧用按压部件31上安装上翘矫正用附件32，作为“上翘矫正用按压部件”发挥功能。

如图9(a)所示，在将上翘矫正用附件32安装在通常夹紧用按压部件31上的状态下，成为该附件32的前端部的最低部分32a的高度比该按压部件31的下表面的高度低、且该附件32的前端部的最低部分32a的位置比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向偏移的位置关系，在该位置关系下，通过在该附件32的前端部的最低部分32a和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以对该基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。

另一方面，如图9(b)所示，在从通常夹紧用按压部件31取下上翘矫正用附件32的状态下，通过使该按压部件31的前端部位于提升部件21的上端的正上方，并在该按压部件31的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以不对该基板13施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。其它结构实质上与上述实施例1相同。

以上说明的本实施例4也能够获得与上述实施例1相同的效果。

此外，自不必说，本发明不限于元件安装机的基板夹紧装置，也可以适用实施于丝网印刷机的基板夹紧装置，另外，也可以适用实施于由输送机输送基板并在预定的作业位置进行夹紧的多种装置等，在不脱离主旨的范围内能够进行各种变更并实施。

附图标记说明

11…元件安装台

12…输送机

12a…输送带

13…基板

14…导轨

15…支承销(支承部件)

16…支承板

17…升降机构

18…先装元件

21…提升部件

22…按压部件

23…倾斜面(上翘矫正单元)

24…卡合槽

25…卡合销

26…位置显示标记(位置显示部)

31…通常夹紧用按压部件

32…上翘矫正用附件

Claims (7)

1.一种基板夹紧装置，通过提升部件将由输送机输送来的基板从该基板的宽度方向两侧的下方进行提升，在所述提升部件与位于该提升部件上方的按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧，所述基板夹紧装置的特征在于，

具备上翘矫正单元，所述上翘矫正单元通过在所述提升部件和所述按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧而对所述基板施加朝下的弯曲力矩，以矫正所述基板的上翘。

2.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其特征在于，

构成为，所述按压部件以能够相对于位于所述输送机的宽度方向两侧的导轨移动到上翘矫正位置和通常夹紧位置的方式进行安装，在所述上翘矫正位置，以通过所述上翘矫正单元对所述基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板，在所述通常夹紧位置，以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板。

3.根据权利要求2所述的基板夹紧装置，其特征在于，

具备：位置显示部，用于识别所述按压部件的位置；相机，拍摄所述位置显示部；及图像处理装置，通过对由所述相机拍摄到的图像进行处理来识别所述位置显示部，确认所述按压部件的位置。

4.根据权利要求2或3所述的基板夹紧装置，其特征在于，

作为所述按压部件，将被分割的多个按压部件沿所述基板的侧缘部排列，各按压部件以能够单独移动到所述上翘矫正位置和所述通常夹紧位置的方式进行安装。

5.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其特征在于，

以通过所述上翘矫正单元对所述基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的上翘矫正用按压部件和以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的通常夹紧用按压部件能够互换。

6.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其特征在于，

构成为，通过将作为所述上翘矫正单元发挥功能的上翘矫正用附件以能够拆装的方式安装于以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的通常夹紧用按压部件，对所述基板施加朝下的弯曲力矩。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的基板夹紧装置，其特征在于，

所述上翘矫正单元构成为，通过将所述按压部件的下表面中的与所述基板的侧缘部重叠的重叠部分形成为前端侧向下方突出的倾斜状或突出状，并以所述重叠部分的最低部分的位置比所述提升部件的上端的位置向所述基板的内侧方向偏移的状态，在所述最低部分和所述提升部件的上端之间夹入所述基板的侧缘部，对所述基板施加朝下的弯曲力矩。